JPS61258345A - 光ピツクアツプの対物レンズ支持駆動装置 - Google Patents
光ピツクアツプの対物レンズ支持駆動装置Info
- Publication number
- JPS61258345A JPS61258345A JP9961185A JP9961185A JPS61258345A JP S61258345 A JPS61258345 A JP S61258345A JP 9961185 A JP9961185 A JP 9961185A JP 9961185 A JP9961185 A JP 9961185A JP S61258345 A JPS61258345 A JP S61258345A
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- Japan
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- magnet
- objective lens
- magnets
- drive
- lens
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光学式記録媒体に対して情報の記録及γＫ 百
月ヒ メジ ダ； ＾ ４μ し” ・リ ｈ マ
・ν Ｍ’／ｎ 勃 ｈ勤 １− ・７ プ ± 七
暢 霞ノ動装置に関する。
月ヒ メジ ダ； ＾ ４μ し” ・リ ｈ マ
・ν Ｍ’／ｎ 勃 ｈ勤 １− ・７ プ ± 七
暢 霞ノ動装置に関する。
近年実用化されているレーザー光を用いた高密、・度記
録再生装置は、一般に回転するディスク上に螺線状ある
いは同心円状の微細な溝に凹凸で記録された音声や画像
の情報を、この溝に焦点を結ぶように制御されたコヒー
レントな光であるレーザー光のエネルギによって、記録
すべき情報をその溝の上に作る方式のものである。これ
に類似した装置では、レーザー光を微細な溝に正確に焦
点を結ばせることが必要となる。
録再生装置は、一般に回転するディスク上に螺線状ある
いは同心円状の微細な溝に凹凸で記録された音声や画像
の情報を、この溝に焦点を結ぶように制御されたコヒー
レントな光であるレーザー光のエネルギによって、記録
すべき情報をその溝の上に作る方式のものである。これ
に類似した装置では、レーザー光を微細な溝に正確に焦
点を結ばせることが必要となる。
一般に、光ディスクは機械的に若干の反りや歪みを生じ
ている。
ている。
さらに、この光ディスクは、その中心を軸に回転させら
れるが、回転軸に取付ける精度の悪さ、即ち偏心量も、
その記録の密度に比較すると桁違いに患いのが普通であ
る。高密度情報及び非接触読取りを最大の特徴とする光
デイスクシステムは、その情報読取りにレーザービーム
の正確な位置制御、即ち、フォーカス方向とディスクの
ラジアル方向及びタンジエンシャル方向への制御を必要
とするものである。従来、光ディスクの情報読取りに使
用されている光ピックアップでは、レーザービームの位
置制御を行なうために、対物レンズのフォーカス方向へ
の駆動の他に、対物レンズに入射するレーザー光を、電
磁駆動されるミラーによって、その光波面に傾きを与え
ることでレーザービームのスポットを移動させる方式や
、第４図の従来例に示すような、音響用スピーカーと同
じ原理によるボイスコイルの組合せによって、直接対物
レンズを三次元あるいは二次元に駆動する方式等がある
。後者の場合、特に三次元駆動するために、構造が複雑
になり小さな対物レンズを駆動する目的に比較して大き
な駆動機構となる。この様な対物レンズ駆動機構で重要
なことは、その光軸方向と光軸に直角方向に二次元ある
いは三次元に平行運動させることである。この性能を決
定する大きな安置は可動部を支える支持系の構造、つま
り第４図に示すサスペンション２０の機械的性能である
。
れるが、回転軸に取付ける精度の悪さ、即ち偏心量も、
その記録の密度に比較すると桁違いに患いのが普通であ
る。高密度情報及び非接触読取りを最大の特徴とする光
デイスクシステムは、その情報読取りにレーザービーム
の正確な位置制御、即ち、フォーカス方向とディスクの
ラジアル方向及びタンジエンシャル方向への制御を必要
とするものである。従来、光ディスクの情報読取りに使
用されている光ピックアップでは、レーザービームの位
置制御を行なうために、対物レンズのフォーカス方向へ
の駆動の他に、対物レンズに入射するレーザー光を、電
磁駆動されるミラーによって、その光波面に傾きを与え
ることでレーザービームのスポットを移動させる方式や
、第４図の従来例に示すような、音響用スピーカーと同
じ原理によるボイスコイルの組合せによって、直接対物
レンズを三次元あるいは二次元に駆動する方式等がある
。後者の場合、特に三次元駆動するために、構造が複雑
になり小さな対物レンズを駆動する目的に比較して大き
な駆動機構となる。この様な対物レンズ駆動機構で重要
なことは、その光軸方向と光軸に直角方向に二次元ある
いは三次元に平行運動させることである。この性能を決
定する大きな安置は可動部を支える支持系の構造、つま
り第４図に示すサスペンション２０の機械的性能である
。
１８．１９はフォーカスボ駆動用磁気回路と駆動用コイ
ルである。このサスペンション２０のように、光軸に対
して対象な形状の八本の曲り梁の構造のばねで、比較的
自由度を規制しない機構では、それぞれのバネ定数やそ
の固定条件等が一致していなければ可動部の平行運動は
望めない。
ルである。このサスペンション２０のように、光軸に対
して対象な形状の八本の曲り梁の構造のばねで、比較的
自由度を規制しない機構では、それぞれのバネ定数やそ
の固定条件等が一致していなければ可動部の平行運動は
望めない。
対物レンズの傾きによるコマ収差の発生を嫌う光学信号
検出系の要求条件から、このサスペンション２０の製作
精度は必然的に高くなる。
検出系の要求条件から、このサスペンション２０の製作
精度は必然的に高くなる。
そして、これら構造の複雑さや精度要求は量産性を著し
く低下させる。
く低下させる。
これに対して、支持部材を用いずに対物レンズを含む可
動部を空間に浮上保持し、かつ位置制御を行なうように
した提案がなされている。
動部を空間に浮上保持し、かつ位置制御を行なうように
した提案がなされている。
例えば、特開昭５８−１１５６３５は磁気機構を用いて
対物レンズを空間に保持しているが、基本的に電気制御
によるものであり、光ディスクのピットからのエラー信
号による対物レンズの移動制御の他に対物レンツの位置
検出も行なわなければならず、中立位置に自動的に支持
することができない。そのため、何らかの位置検出手ｆ
ｆ設ける必 要がある。また、フォーカス方向と、ラジ
アル方向の移動制御を別々の駆動機構で受持っているた
めに部品点数が多くなっている。
対物レンズを空間に保持しているが、基本的に電気制御
によるものであり、光ディスクのピットからのエラー信
号による対物レンズの移動制御の他に対物レンツの位置
検出も行なわなければならず、中立位置に自動的に支持
することができない。そのため、何らかの位置検出手ｆ
ｆ設ける必 要がある。また、フォーカス方向と、ラジ
アル方向の移動制御を別々の駆動機構で受持っているた
めに部品点数が多くなっている。
特開昭５９−６８８３９は、永久磁石の反発により中立
位置に自動的に対物レンズを浮上保持できるような構造
になっているが、フォーカス方向のみの駆動力しか得ら
れないために実用には不向きである０ 〔発明の目的〕 本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、支持部材
を用いることなしに簡単な構造で対物レンズを中立点位
置に保持でき、かつ小型で、三次元あるいは二次元に駆
動可能な光ピックアップの対物レンズ支持駆動装置を提
供することを目的とする。
位置に自動的に対物レンズを浮上保持できるような構造
になっているが、フォーカス方向のみの駆動力しか得ら
れないために実用には不向きである０ 〔発明の目的〕 本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、支持部材
を用いることなしに簡単な構造で対物レンズを中立点位
置に保持でき、かつ小型で、三次元あるいは二次元に駆
動可能な光ピックアップの対物レンズ支持駆動装置を提
供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明では、対物レンズを取
付けた保持筒の周囲に、対物レンズの光軸方向に一定の
間隔をおいて配置した第１の磁石と、この第１の磁石と
反発し合い保持筒を浮上保持させるための第２の磁石を
、第１の磁石の間隙に対物レンズの可動距離の隙間をあ
けて固定部側に取付け、第２の磁石の両面には平板状の
駆動用コイルを張付けたことを特徴とする光ピックアッ
プの対物レンズ支持駆動装置を提供する。
付けた保持筒の周囲に、対物レンズの光軸方向に一定の
間隔をおいて配置した第１の磁石と、この第１の磁石と
反発し合い保持筒を浮上保持させるための第２の磁石を
、第１の磁石の間隙に対物レンズの可動距離の隙間をあ
けて固定部側に取付け、第２の磁石の両面には平板状の
駆動用コイルを張付けたことを特徴とする光ピックアッ
プの対物レンズ支持駆動装置を提供する。
以下、第１図から第３図を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
第１図において、可動部１５は対物レンズ１と、対物レ
ンズｌの光軸方向に着磁された第１の磁石であるリング
状の上部リング磁石２と下部リング磁石３と、対物レン
ズ１の位置及び傾き検出用ミラー８と、これらを結合さ
せる保持筒７から成り、小型軽量かつ比較的剛な構造で
ある。なお、上部リング磁石２と下部リング磁石３は対
物レンズ１の光軸方向に一定間隔を置いて平行に配置さ
れている。
ンズｌの光軸方向に着磁された第１の磁石であるリング
状の上部リング磁石２と下部リング磁石３と、対物レン
ズ１の位置及び傾き検出用ミラー８と、これらを結合さ
せる保持筒７から成り、小型軽量かつ比較的剛な構造で
ある。なお、上部リング磁石２と下部リング磁石３は対
物レンズ１の光軸方向に一定間隔を置いて平行に配置さ
れている。
第２の磁石である平板磁石４は、上部リング磁石２、下
部リング磁石３よりも半径の大きなリング磁石を四分割
したもので、上部駆動用フィル５と下部駆動用コイル６
をそれぞれ上面、下面に張付けである。そして上部リン
グ磁石２と下部リング磁石３の間に、四方から駆動範囲
の隙間を置いて挿入しである。なお、この４つの平板磁
石４は固定部側（図示省略）に取付けられ、上部リング
磁石２、下部リング磁石３と反発するように向い合う面
が異極となるように配置されている。このように配置す
ることにより可動部１５は固定部に対して浮上保持され
る。
部リング磁石３よりも半径の大きなリング磁石を四分割
したもので、上部駆動用フィル５と下部駆動用コイル６
をそれぞれ上面、下面に張付けである。そして上部リン
グ磁石２と下部リング磁石３の間に、四方から駆動範囲
の隙間を置いて挿入しである。なお、この４つの平板磁
石４は固定部側（図示省略）に取付けられ、上部リング
磁石２、下部リング磁石３と反発するように向い合う面
が異極となるように配置されている。このように配置す
ることにより可動部１５は固定部に対して浮上保持され
る。
第２図は、上部リング磁石２、下部リング磁石３と平板
磁石４によって生じる磁力線の分布９を示す０上部リン
グ磁石２と下部リング磁石３は同じ大きさであるが、平
板磁石４は、上部リング磁石２、下部リング磁石３より
半径が大きいため合成された磁力線分布９は保持筒７の
中心に反発力の安定点を有するような軸対象な分布とな
る。
磁石４によって生じる磁力線の分布９を示す０上部リン
グ磁石２と下部リング磁石３は同じ大きさであるが、平
板磁石４は、上部リング磁石２、下部リング磁石３より
半径が大きいため合成された磁力線分布９は保持筒７の
中心に反発力の安定点を有するような軸対象な分布とな
る。
第３図は反発力のベクトル表示である。第３図（５）は
、可動部１５が中立位置にある場合に、可動部１５が四
方の平板磁石４から受ける反発力のベクトルであり、図
示の４つのベクトル１０−８％１１−８％１２− ａ
、 １３− ａが同じ大きさで、合成された駆動力は零
になる。
、可動部１５が中立位置にある場合に、可動部１５が四
方の平板磁石４から受ける反発力のベクトルであり、図
示の４つのベクトル１０−８％１１−８％１２− ａ
、 １３− ａが同じ大きさで、合成された駆動力は零
になる。
第３図０は、上部駆動用コイル５に平板磁石４と同じ方
向に磁極が発生するように電流を流し、下部駆動用コイ
ル６には、反対方向に磁極が発生するように電流を流し
た場合の可動部１５の受ける力のベクトル表示である。
向に磁極が発生するように電流を流し、下部駆動用コイ
ル６には、反対方向に磁極が発生するように電流を流し
た場合の可動部１５の受ける力のベクトル表示である。
駆動用コイル５／６と平板磁石４とで作られる磁界は、
等価的に平板磁石４を上方に移動した場合と同じになり
、反発力の安定点が上方に移動する。したがって、４つ
のベクトル１０−ｂ、 １１−ｂ、 １２−ｂ、 １３
−ｂの合成された力のベクトル１４−１は、上方に向き
フォーカス方向の駆動力となる。上記と逆に駆動用コイ
ル５／、６に電流を流した場合は、合成された力のベク
トルは下方に向きフォーカス方向の駆動力となる。
等価的に平板磁石４を上方に移動した場合と同じになり
、反発力の安定点が上方に移動する。したがって、４つ
のベクトル１０−ｂ、 １１−ｂ、 １２−ｂ、 １３
−ｂの合成された力のベクトル１４−１は、上方に向き
フォーカス方向の駆動力となる。上記と逆に駆動用コイ
ル５／、６に電流を流した場合は、合成された力のベク
トルは下方に向きフォーカス方向の駆動力となる。
第３図（Ｃ）は、光軸を中心として図中右側、実際には
移動させる方向と逆側の上部駆動層コイル５と下部駆動
用コイル６に、平板磁石４の発生する磁界の強さを増加
させる方向に電流を流し、図中左側の上部駆動用コイル
５と下部駆動用コイル６は、平板磁石４の発生する磁界
の強さを減少させる方向に電流を流したものである。反
発力のベクトルは、光軸に対して図中右側の力のベクト
ル１Ｏ−Ｃ１３−Ｃが図中左側の力のベクトル１１−Ｃ
，１２−Ｃより大きく、合成された力のベクトル１４−
ｂは図中左側を向くことになる。このように、４分割さ
れた平板磁石４に張付けられた駆動用コイル５イ６に流
す電流をいろいろ調節することによリーラシアル方向、
タンジエンシャル方向の駆動力を得ることができる。
移動させる方向と逆側の上部駆動層コイル５と下部駆動
用コイル６に、平板磁石４の発生する磁界の強さを増加
させる方向に電流を流し、図中左側の上部駆動用コイル
５と下部駆動用コイル６は、平板磁石４の発生する磁界
の強さを減少させる方向に電流を流したものである。反
発力のベクトルは、光軸に対して図中右側の力のベクト
ル１Ｏ−Ｃ１３−Ｃが図中左側の力のベクトル１１−Ｃ
，１２−Ｃより大きく、合成された力のベクトル１４−
ｂは図中左側を向くことになる。このように、４分割さ
れた平板磁石４に張付けられた駆動用コイル５イ６に流
す電流をいろいろ調節することによリーラシアル方向、
タンジエンシャル方向の駆動力を得ることができる。
ここで用いられるリング磁石２／、３、平板磁石４は保
持力が非常に大きな永久磁石で、例えば、希土類磁石の
ようなものであり、上述のような反磁界中にあっても十
分長期間にわたって減磁することのないものである。
持力が非常に大きな永久磁石で、例えば、希土類磁石の
ようなものであり、上述のような反磁界中にあっても十
分長期間にわたって減磁することのないものである。
また本発明では、基本的に可動磁石方式の駆動機構であ
り、駆動用コイルは固定部側に張付けられ、可動部から
リード線を引き出す必要はない。
り、駆動用コイルは固定部側に張付けられ、可動部から
リード線を引き出す必要はない。
このため、リード線の剛性など機械的特性が可動部の運
動に影響することはない。
動に影響することはない。
さらに、４分割の平板礎石に駆動用フィルを彊付けたた
めに可動部の平行運動はもちろん、可動部の回転制御も
可能とする駆動機構である。
めに可動部の平行運動はもちろん、可動部の回転制御も
可能とする駆動機構である。
なお、平板磁石の個数は、４個に限らず、例えば２個、
８個と、駆動力にバランスがとれるようになっていれば
よい。
８個と、駆動力にバランスがとれるようになっていれば
よい。
以上詳述してきたように、本発明によれば、対物レンズ
を支持部材を用いることなしに磁石の反発力を利用して
中立点位置に浮上保持し、駆動磁気回路を４分割したた
めに、構造が簡単な、小型で精度の良い三次元あるいは
二次元に駆動可能な光ピックアップの対物レンズ支持駆
動装置が得られる。
を支持部材を用いることなしに磁石の反発力を利用して
中立点位置に浮上保持し、駆動磁気回路を４分割したた
めに、構造が簡単な、小型で精度の良い三次元あるいは
二次元に駆動可能な光ピックアップの対物レンズ支持駆
動装置が得られる。
第１図は、本発明の一実施例を示す光ピックアツブの対
物レンズ支持駆動装置の斜視図、第２図は、本発明の支
持方式の原理説明図、第３図は、本発明の駆動方式の原
理説明図、第４図は、従来の支持駆動方式を示す斜視図
である。 ｌ・・・対物レンズ ２・・・上部リング磁石（第１の 磁石）３・・・下
部リング磁石（第１の 磁石）４・・・平板状磁石（
第２の 磁石）５・・・上部駆動用コイル ６・・・下部駆動用コイル ７・・・保持筒 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第８図 第４図
物レンズ支持駆動装置の斜視図、第２図は、本発明の支
持方式の原理説明図、第３図は、本発明の駆動方式の原
理説明図、第４図は、従来の支持駆動方式を示す斜視図
である。 ｌ・・・対物レンズ ２・・・上部リング磁石（第１の 磁石）３・・・下
部リング磁石（第１の 磁石）４・・・平板状磁石（
第２の 磁石）５・・・上部駆動用コイル ６・・・下部駆動用コイル ７・・・保持筒 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）第８図 第４図
Claims (1)
- 対物レンズと、この対物レンズを保持する保持筒と、前
記対物レンズの光軸方向に着磁され、この光軸方向に一
定の間隔をおいて前記保持筒の周囲に固定された少なく
とも２個の第１の磁石と、この第１の磁石の着磁方向と
逆方向に着磁され、前記第１の磁石の間隙に前記対物レ
ンズの可動距離の隙間をあけて固定部側に取付けられた
第２の磁石と、この第２の磁石の着磁方向の両面に張付
けられる平板状の駆動用コイルとからなることを特徴と
する光ピックアップの対物レンズ支持駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9961185A JPS61258345A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 光ピツクアツプの対物レンズ支持駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9961185A JPS61258345A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 光ピツクアツプの対物レンズ支持駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61258345A true JPS61258345A (ja) | 1986-11-15 |
Family
ID=14251890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9961185A Pending JPS61258345A (ja) | 1985-05-13 | 1985-05-13 | 光ピツクアツプの対物レンズ支持駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61258345A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6127749A (en) * | 1999-02-10 | 2000-10-03 | Nikon Corporation Of Japan | Two-dimensional electric motor |
| KR100761630B1 (ko) | 2003-04-16 | 2007-09-27 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 렌즈 구동 장치 및 카메라 부착 휴대 기기 |
| JP2015111298A (ja) * | 2009-08-21 | 2015-06-18 | ミツミ電機株式会社 | レンズ駆動装置、カメラモジュール及びカメラ |
| JP2016157103A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-09-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 構成体及び構成体を備えたリソグラフィ装置 |
| US9459465B2 (en) | 2009-08-21 | 2016-10-04 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| JP2022531349A (ja) * | 2019-04-30 | 2022-07-06 | インガン セミコンダクター テクノロジー カンパニー リミテッド | 磁気浮上式重力補償装置 |
-
1985
- 1985-05-13 JP JP9961185A patent/JPS61258345A/ja active Pending
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6127749A (en) * | 1999-02-10 | 2000-10-03 | Nikon Corporation Of Japan | Two-dimensional electric motor |
| US6455956B1 (en) | 1999-02-10 | 2002-09-24 | Nikon Corporation | Two-dimensional electric motor |
| KR100761630B1 (ko) | 2003-04-16 | 2007-09-27 | 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 | 렌즈 구동 장치 및 카메라 부착 휴대 기기 |
| US9753302B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-09-05 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9769386B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-09-19 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9459465B2 (en) | 2009-08-21 | 2016-10-04 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9477093B2 (en) | 2009-08-21 | 2016-10-25 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9625737B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-04-18 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US11159728B2 (en) | 2009-08-21 | 2021-10-26 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9651797B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-05-16 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9658466B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-05-23 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9753301B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-09-05 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| JP2015111298A (ja) * | 2009-08-21 | 2015-06-18 | ミツミ電機株式会社 | レンズ駆動装置、カメラモジュール及びカメラ |
| US9766475B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-09-19 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US10721406B2 (en) | 2009-08-21 | 2020-07-21 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9766474B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-09-19 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US9798159B2 (en) | 2009-08-21 | 2017-10-24 | Mitsumi Electronics Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US10075641B2 (en) | 2009-08-21 | 2018-09-11 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US10097760B2 (en) | 2009-08-21 | 2018-10-09 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Lens drive apparatus, camera module and camera |
| US10321061B2 (en) | 2009-08-21 | 2019-06-11 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Camera-shake correction apparatus, camera module and camera |
| JP2016157103A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-09-01 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 構成体及び構成体を備えたリソグラフィ装置 |
| US9632421B2 (en) | 2015-01-26 | 2017-04-25 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Arrangement and lithography apparatus with arrangement |
| JP2022531349A (ja) * | 2019-04-30 | 2022-07-06 | インガン セミコンダクター テクノロジー カンパニー リミテッド | 磁気浮上式重力補償装置 |
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