JPS61256779A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はガスレーザ発生装置に係り、特に放電管内に高
速のガスを流す、いわゆる軸流型ガスレーザ装置に関す
る。

〔発明の背景〕

軸流型ガスレーザにおいて、小形化、高出力化を達成す
る方法として１例えば特開昭５８−５７７６８号公報に
示されるように、多数の短い放電管部分がそれぞれ別個
の電流供給線及び、ガス導入及びガス排出管に接続する
方法が知られている。この方法は、放電管部分、ガス入
口管およびガス出口管が互に平行に位置するように保持
されるので、装置を小形化できるという特長がある。

ため、組立工数及び、シール箇所が多く１組立がしにく
い。ま九、放電管部品に供給される混合ガスは、供給口
と排出口との間の長文になり、混合ガスが緩められて、
レーザ出力が低下する恐れがあつ九。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、高出力が得られ、且つ、製作容易なガ
スレーザ発生装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明のガスレーザ発生装置グロー放電を行う放電路内
に混合ガスを供給し、かつ排出するものにおいて、絶縁
体に形成しため）に路とガス供給路およびガス排出路と
、絶縁体の一方側に形成したガス供給路と放電路と？：
連絡する供給口と、供給口と反対側の絶縁体に形成した
放電路とガス排出路とを連絡する排出口と、から構成す
ることにある。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第１図ないし第４図により説明
する。

発振器本体１は棒状絶縁体２の外側に絶縁シース３およ
び金属筋４を設けて、内部を真空にしている。棒状絶縁
体２は３個の平行な中空穴より成る放電路５とガス供給
路６およびガス排出路７を形成している。放電路５の直
径をＤＨｓ　ガス供給路６およびガス排出路７の直径を
Ｄｚとすれば、Ｄｚ＞Ｄｘの関係にある。この理由は、
後述する。

放電路５の両端は、反射使８および出力鏡９とに対応配
置ｔＬ、反射億８、出力＠９は図示していないベローズ
を介して発掘器本体１の７ランク面１０に支持されてい
る。ガス供給管１１およびガス排出管１２はフランジ面
１０を介して、ガス供給路６およびガス排出路７に連通
している。ガス供給路６、ガス排出路７は混合ガス１３
を矢印方向に流通している。

混合ガス１３は３個の供給口１４より放電路５の一方側
より放電路内に供給し、他方側の放電路排出される。供
給口１４および排出口１５は棒状絶縁体２の一方側およ
び反対側に半円形状に切欠いて形成されている。供給口
１４は放電路５およびガス供給路７に連通している。排
出口１５は供給口１４と反対側の放電路端およびガス排
出路７に連通している。リング形状の電［１６，１７ｆ
ｄ供給ロ１４および排出口１５よシ放電路端に装着され
、両電極１６．１７間に図示していない直流電源を印加
すれば、両電極間にグロー放電Ｇ！。

Ｇ！を生じ、混合ガス１３が励起されて、レーザ光１８
が両鏡間で共損し、出力鏡７より外部に照射される。

ガス供給管１１よシ供給され次混合ガス１３は。

供給口１４により放電路５とガス供給路６とに分流する
。ガス供給路６の混合ガス１３は、ガス供給路６より供
給口１４念とえば１４Ａ、１４Ｂを介して他方側放電路
端よシ放電路内に供給され、この供給路長は供給口１４
より供給する混合ガスを放電路内に供給される供給路長
より長く、混合ガス１３の流通抵抗は大きく、混合ガス
１３を供給しにくいが、本発明では、Ｄｚ　＞ＤＩの関
係により、ガス供給路６の流通抵抗を減少して供給口１
４Ａ、１４Ｂより放電路内に混合ガス１３を供給しやす
くして、放電路内には両方の供給口１４゜１４Ａより均
一に混合ガス１３を供給できるようになつ次。この結果
、放電路内で均一に冷却された混合ガスを供給できるの
で、グロー放電Ｇｌ＋Ｇりを均一に行うことができる。

し九がって、レーザ光出力を向上させることができる。

特に、細い放電路５は複数の供給口１４，１４Ａ、１４
Ｂおよび排気口１ｓｔ−設けることにより、混合ガス１
３を放電路内に均一に供給した９、或いは排気できるの
で、各グロー放電をよシ均一に出来る。

ま九、各供給口１４および排出口１５より電極１６．１
７を装着しやすく、装着作業が容易に出来る。更に、棒
状絶縁体２に放電路５およびガス供給路６およびガス排
出路７を平行に製作する時には、放電路５の下側にガス
供給路６を、上側にガス排出路７を配置すれば、ガス排
出路内で緩められ次温度は、外気に直接上昇し、放電路
内の混合ガス１３を緩めることなく、更にレーザ出力を
向上させるばかりで彦く、反射＠６および出力鏡７等が
狂いにくい。このことは、放電路に対して左右つまり水
平方向にガス供給路６およびガス排気路７を配置しても
よい。

次に、他の実施例を第５図、第６図により説明する。

第５図は、放電路５とガス供給路６およびガス排出路７
を有する単位発振器ブロック２０Ａ〜２０Ｅを６個製作
し、各単位発振器ブロック２０人〜２０Ｅに電極を装着
しやすいようにすると共に、電極装着後に図示していな
い挿入穴２１に支持棒を挿入し、支持棒に各単位発振器
ブロック２０Ａ〜２０Ｆを支持して、発振器本体を製作
する。

第６図は第１図の構成で一方側に棒状電極１６Ａを使用
し、棒状電極１６人の一端をガス供給路側に突出して、
細い放電路内に棒状電極１６Ａを使用できるようにする
と共に、棒状型［１６ＡＨ混合ガス１３で冷却されるの
で、寿命を長くすることができる。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明のガスレーザ発振器によれば、レ
ーザ出力を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

８１図は本発明の実施例であるガスレーザ発生装置に使
用し九発振器本体の斜視図、第２図は第１図のＩ−ｆ線
断面図、第３図および＠４図は発振器本体の斜視図、第
５図および第６図は本発明の他の実施例として示した発
振器本体の斜視図および側断面図である。 ２・・・棒状絶縁体、５・・・放電路、６・・・ガス供
給路、第１図 １５３０　　　　　　暮斗口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、グロー放電を行う放電路内に混合ガスを供給し、か
   つ排出するものにおいて、絶縁体に形成した放電路とガ
   ス供給路およびガス排出路と、絶縁体の一方側に形成し
   たガス供給路と放電路とを連絡する供給口と、供給口と
   反対側の絶縁体に形成した放電路とガス排出路とを連絡
   する排出口と、から成ることを特徴とするガスレーザ発
   生装置。 ２、上記放電路と同じ位置か又はそれより上側にガス排
   出路および排出口を絶縁体に形成することを特徴とする
   特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発生装置。