JPS61252442A - 無給水型加湿装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、水蒸気選択透過膜を利用してなる無給水型加
湿装置に関する。この加湿装置は、家庭用の他に、職場
用、医療用または実験用としても利用することができ、
幅広い用途を有するものである。

〈従来の技術〉 一般に、部屋の中の空気が乾燥していると、人は喉や鼻
を痛めたシネ快感を覚えたプする。

このため、乾燥時ＫＦｉ加湿器を使用して湿度を高める
方法が従来よりよく取られている。特に空気が強く乾燥
する冬期には加湿が必要でｂる場合が多い。

そして従来、家庭用加湿器等としては、水を加熱して蒸
発させ得られた水蒸気を吐出する加熱方式の加湿器中、
超音波により水を振動させて微小な水滴としこれを飛散
”させる超音波方式の加湿器などが市販され、利用され
ている。ｔた、医療用としては、例えば酸素吸入時にお
いて気泡を水の中に導入し泡立九せて水分を発散させる
バブリング方式の加湿器が従来使用されている。

〈発明が解決しようとする問題点〉 しかし、上記の従来加湿器は、いずれの方式のものでお
っても、水の補給が不可欠でおるという欠点を有してい
た。その上、加熱方式の加湿器にあっては、加熱のため
の熱源が必要であること、消費電力量が非常に大きいこ
と、水中の溶解塩の析出によって加湿性能の低下や腐食
が進行すること、および空焚きによって装置の破損が起
きる場合があることなどの問題点を有していた。ま九、
超音波方式の加湿器にあっては、作動時水中の溶解塩が
水と共に空気中に飛散することがらるのに加えて、長期
間継続使用すると細菌やカビ等の微生物が加湿器内に繁
殖し、この結果これが水と共に空気中に散らばることに
なるという問題点を有していた。さらに、バブリング方
式の加湿器に６っても、微生物が水中に繁殖する虞れが
あるという問題点を有していた。ここで、微生物の繁殖
防止のため、加湿用水として蒸留水を使用する方法が考
えられる。しかしながら、蒸留水の入手がと９わけ家庭
用の場合ＪＬｄ困難であり、また蒸留水が一般に高価で
あることから、上記の方法は、実用的な手段でない。

本発明の目的は、上記の問題点を解消し、水の補給が不
要であり、しかも微生物の繁殖などの不具合が生じない
無給水屋加湿装置を提供することにある。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明者は、無給水の加湿方法を、鋭意研究し九ところ
、！願昭５８−２０７１１２号見に示される水蒸気選択
透過膜を利用し、空気中の水蒸気・を常罠該透過膜の一
方側表面に接触せしめ、かつ水蒸気分圧差を前記透過膜
の一方側と他方側との間に作ることにより、水蒸気が透
過膜の一方側より他方側べ連続的に透過し、透過膜の他
方側気体の水分が濃縮されることを見い出し、本発明を
完成するに至りｆｔ。

すなわち、本発明の無給水型加湿装置は、水蒸気選択透
過膜と、水蒸気含有気体を該透過膜の一方側に供給する
給気手段と、前記透過膜の他方側気体を減圧する減圧機
構を備えてなり、前記透過膜の他方側に水分の濃縮され
九加湿気体が得られるようにしたことを特徴とするもの
である。

本発明の加湿装置においては、給気手段例えば送風ファ
ンによって水蒸気含有気体が水蒸気選択透過膜の一方側
表面と常に接触し、一方減圧機構例えば真空ポンプ等に
よって水蒸気含有気体よシ低王の減圧気体が水蒸気選択
透過膜の他方側表面と常に接触する。よって、水蒸気分
圧の差が水蒸気選択透過膜の一方側と他方側との間に形
成されるため、水蒸気含有気体中の水蒸気が前記透過膜
の一方側よシ他方側へ連続的に透過し、減圧気体の水分
が濃縮される。即ち、前記透過膜の他方側に水分の濃縮
された加湿気体が得られることになる。その後、この加
湿気体は、加湿対象の空間（常圧であっても加圧されて
いてもよい。）Ｋ供給される。

また、本発明の加湿装置は、次の構成要素（ａ）ないし
くｃｌを備えることにより、加湿気体の相対湿度を水滴
を含む状態から殆ど非加湿の状態まで任意の値に制御す
ることができる。

（ａｌ水蒸気含有気体および／ま九は加湿気体の相対湿
度を測定する湿度センサ、 （ｂ）希釈用気体を減圧気体の中に流入させる気体導入
手段、例えば導入管やファンなど、（Ｃ）湿度センサよ
り得られる湿度情報に基づいて希釈気体の流量または減
圧気体の圧力を調節する湿度制御機構、例えば導入管に
接続され九流量調節弁や該弁と湿度センサを接続する制
御回路など。

本発明で用いる水蒸気選択、透過膜とは、膜の一方側と
他方側とにおいて水蒸気分圧差がるるとき、その差圧に
よって水蒸気が透過される膜でろって、水蒸気の透過性
が他のガス例えば空気のそれより大きいものをいう。こ
の透過膜としては、例えば厚さ方向に連通し友多数個の
細孔を有し、且つ細孔半径が窒素吸着法により求めて５
０Ａ以下である層７を有する親水性無機多孔質膜、を念
は少くとも一部に均質な層を有する親水性高分子膜等が
利用され得る。

親水性無機多孔質膜としては、熱処理により高温の酸溶
液に溶出する軟相と溶出しない硬相とに分相する組成の
ガラス膜を軟相の酸溶出により多孔質したガラスの多孔
質膜、例えばかかる組成の硼硅酸ナトリウムガラス、硼
硅酸カリウムガラス、ソーダガラス等の多孔質膜；およ
びその信義水性の無機多孔体から成る膜１例えばガラス
焼結体、アル２す焼結体、金属アルコキシド加水分解物
等の多孔質膜が使用できるが、好ましいのは上記硼硅酸
ナトリウムガラス多孔質膜でおる。

無機多孔質膜の細孔半径は、５０Ａ０以下、好ましくは
２０　Ａ’以下で、好ましくは２　Ａ’以上でるる。但
し、かかる細孔は必ずしも膜全体がそうである必要はな
く・、凝縮性ガスが膜の一方側から他方側へ通過する際
、該ガスの実質的に全部が孔径５０Ａ０以下・の細孔部
分を通過するよう罠、かかる細孔が分布していればよい
。例えばかかる細孔が層状に分布していてもよい。この
場合の該層厚は好ましくは２Ａ′３以上、特に５０八〇
以上である。ま九該層は平面状、曲面状のいずれでもよ
い０例えば一方の表面から（１１μｍまでは孔径２０Ａ
’以下の層を有し、他の部分は２０Ａ０以上の大きな孔
径の膜厚方向に連通ずる孔を有する、異方性多孔質膜を
用いることかで−きる、或いは細孔が膜厚方向のみ連通
し、各連通孔は互いに交差しない場合は、各連通孔が５
ＯＡ６以下の孔径部分含有すればよい。この場合、孔径
５０Ａ０以下の部分が２Ａ＠以上、特に５０Ａ０以上の
長さで存在するのが好ましい。

該層は通常１μｍ〜５ｍｍ、好ましくは５μｍ〜１■の
膜厚を有する。膜の形状は特に限定されるものではなく
、平膜状、パイプ状、中空糸状およびその他で６　Ｄ’
得るが、単位容積当りの膜面積が最も大きく且り膜厚を
薄くできる形状、例えば中空糸の形状が望ましい。

上記無機多孔質膜を熱処理によυ分相する組成の硼硅酸
ナトリウムガラス膜から製造する場合、通常８３（％６
０〜８０重量％、　Ｔ３ｓ０．１５〜５５重量％、およ
びＮａ、０１５〜１２重量％から成る組成のガラスを所
望の形状、例えば中空糸状に成形した後、その膜を通常
の熱処理温度および時間、例えば４８０〜６００℃にて
α２５〜３００時間加熱して分相し次後、高温（通常６
０〜１００℃）の酸溶液を用いて軟相を溶出することＫ
よシ多孔質化する。一般に熱処理温度が高いほど、およ
びその時間が長いほど、そして鳥０！およびＮａｎｏ　
の成分が多いほど孔径が大きくなることが知られている
。従って孔径が小さい膜を得るためには、熱処理温度を
低くしそしてその時間を短くすればよい。例えば５ｉｎ
３６５重量％、Ｂ＊Ｏ＊５Ｄ１１量チ、Ｎａ１０５重量
％のガラスを５００℃で分相処理する場合、細孔半径を
２０八〇以下に制御するには８時間以下の分相処理を行
えばよい。また、場合によりては分相処理後、軟相の酸
溶出処理前又は酸溶出処理後にフッ素含有化合物ガスを
含む雰囲気中にてグツズｉエツチング処理することによ
り、膜表面の分相しにくい層を除去し得る。ここでプラ
ズマエツチング処理とは高密度エネルギーの照射により
発生する原子状フッ素によりガラス表面を腐食除去する
ことを云う。

上記フッ素含有化合物ガスとしてＦｉｃＦ４ガス単独又
は（ＣＦ４＋Ｏ１）混合ガスが好ましい。

上記硼硅酸す）　ＩＪウムガラス膜が中空糸状の形体に
６る場合には、その紡糸過程にて分相温度領域に短時間
（通常１秒以下）さらされるので、分相のための熱処理
を省略できる。更に、多孔質化後、ガラス膜を約５００
〜８００℃の温度に約１０分間〜数十時間加熱して孔を
収縮させることもできる。

以下に、本発明で使用するのに好ましい中空糸状多孔質
ガラスの一般的製法を記載する。

中空糸状多孔質ガラス作製方法 ８　ｉ　０ｓ　、　Ｂ＊　Ｏｓ　＊　ｋよびＮａ１Ｏの
原料を均一になるように溶融し、その後粉砕して得た原
料ガラス（組成５ｉ０１６５重量％、Ｂ、０．３００重
量％Ｎａ、０５重量％）を白金ルツボに入れ、約１、１
００℃に加熱し、溶融状態のままノズルに大気圧よりわ
ずかに高い圧力の空気を送り込んで紡糸速度２０〜７５
ｍ／分にて中空糸状に紡糸し、直径３０信のドラムに巻
き取る。このようにして紡糸し九中空糸状ガラスは直径
２５０μｍで肉厚１５μｍのものである。必要に応じて
これを約２０儒の長さに切断し、約１．　ＯＯ０本を外
径２０簡、内径１８■、長さ３０−のパイレックス製ガ
ラス管内に入れて、このガラス管を次に５００℃に保た
れた電気炉内に入れて所定時間保持するという方法で分
相処理を行う。この中空糸状ガラスを室温まで冷却後、
９８℃に加熱した１規定塩酸水溶液中に入れて２時間そ
の温度に保持し、軟相を酸抽出する。この中空糸状ガラ
スを蒸留水で洗浄した後、９８℃に加熱した蒸留水中で
、蒸留水の交換を数回行いながらその温度に６時間保持
し、未溶出成分を除去する。この中空糸を蒸留水より取
り出し、風乾して中空糸状多孔質ガラスを得る。また必
要に応じ分相処理後ま九は風乾後にプラズマエツチング
処理する場合もめる。

ま九、親水性高分子膜はその材質が限定されるものでは
なく、該高分子膜としては、ナフィオン膜等に代表され
るイオン交換膜、ポリビニルアルコール膜および酢酸セ
ルロース膜等が使用され得る。また、この高分子膜は、
膜全体が均質である必要Ｆｉないが、少なくとも一部に
均質な層を有することを要する。均質層のめる膜として
は、例えばロブ膜として知られる異方性膜や、プラズマ
重合膜を多孔質膜上に形成し九複合膜なども使用するこ
とができる。高分子膜は通常１μｍないし５戦好ましく
は５μｍないし１ｆｆ１１の膜厚を有するとよい。また
、高分子膜の形状は特に限定されず、平膜状、パイプ状
、中空糸状等であってもよい。巣位面積当りの膜面積が
最も大きく且つ膜厚を薄くすることが可能な形状である
ことから、例えば中空糸形状の膜が好ましい。

また、本発明で用いる給気手段は、水蒸気含有気体を水
蒸気選択透過膜まで給送する機能を有する送風器等であ
ればよく、その方式や形式については特に限定されない
。該手段としては、例えば、送風ファンや送風ポンプ等
が使用され得る。水蒸気含有気体と接触する面は、水蒸
気選択透過膜のどちらか一方側の表面でめればよく、例
えば中空糸状やパイプ状の該透過膜の場合には膜の外周
面または内周面のどちらかでよい。

ま九、本発明で用いる減圧機構は、水蒸気選択透過膜の
他方側気体を減圧する機能を有し、好ましくは減圧によ
って水分の濃縮された他方側気体を減圧段階又はその後
の段階において加湿対象の空間に供給する機能を併せて
有する、例えば真空ポンプよシなる装置であればよい。

真空ポンプとしては、例えば、ダイアラ２ム臘ポンプや
ベーン塁ポンプ等が好ましい。なぜなら、真空オイル使
用の真空ポンプでめると、該オイルのミストが減圧気体
ひいては加湿気体中に混入する虞れがあるためでるる。

ま九、本発明の加湿装置は、後述の記載よりわかるよう
に、湿度センサ、希釈用気体の導入手段および流量調節
弁等よりなる制御系の機能を調整することにより、使用
条件例えば外気（水蒸気含有気体）の湿気等が変化して
も、最適の運転状態、即ちるる使用条件において最大の
加湿効率が得られる状態が常に保たれるように制御する
ことが可能である。湿度センサとしては１、その型式が
限定されるものではないが、例えば電気抵抗を検知しそ
の値の信号を出力する抵抗変化型センサ、電気容量を検
知し信号を出力する容量変化型上ンサ、および伸縮率の
変化を測定する伸縮型センサ等が使用され得る。

また、流量調節弁としては、手動による制御の場合にも
自動制御の場合にもその型式が限定されるものではない
が、例えばモータ等によって流量を自動的に変化せしめ
る型式の弁が好ましい。さらに、この場合の湿度制御に
おける減圧気体の圧力調節方法としては例えば真空ポン
プの排気能力を変化させる方法が挙げられる・また、本
発明の加湿装置において水蒸気（水）の膜透過量は、次
式（１）のように表わされる。

ここにおいて、 Ｘ：水の透過量、 Ｃ：水蒸気選択透過膜の水蒸気透過速度、Ｓ：水蒸気選
択透過膜の表面の面積、 Ｐｓａｔ：飽和水蒸気圧ＣｔｓＨｆ＞、ＲＨ！：水蒸気
含有気体の相対湿度（チ）、ＲＨｔ　：希釈用気体の相
対湿度Ｃ％）、Ｆ：希釈用気体の流量（大気圧換算）、
ｐ：減圧気体の圧力（−ｆ）。

但し、減圧気体の水蒸気分圧は、最終的に透過する水の
量の１７２量が透過した時点での水蒸気圧とした。

上記の式（１）より、一定量の膜面積当りの水蒸気透過
量ｘｌｄ、水蒸気含有気体の相対湿度Ｒ，Ｈ１が高い程
、また希釈用気体の相対湿度几ルが低い程増大すること
がわかる。ま次、透過量Ｘは、希釈用気体の流量Ｆが大
きい程、また減圧気体の圧力ｐが低い程増大することが
わかる。しかし、真空ポンプによる減圧では、一般に気
体の圧力が真空に近づく程排気量が減少する。よって、
水蒸気透過量ｘＶｉ、希釈用気体の流量変化または減圧
気体の圧力変化に対して極大となる値を有し、そして水
蒸気含有気体の各湿度につきその極大値を夫々有するこ
とがわかる。従って、上記の制御系は、水蒸気透過量が
使用する水蒸気含有気体の湿度に応じて最大となるよう
に加湿装置の運転条件を設定するものであるとより好ま
しい。

また、得られる加湿気体の相対湿度は、次式（２）　Ｋ
従って算出することができる。

ここにおいて、 ＲＨ：加湿気体の相対湿度（チ）、 Ｘ：水蒸気透過量、 Ｐｓａｔ、：飽和水蒸気圧（ｍＨｆ）、ＲＨ，：希釈用
気体の相対湿度（％）、Ｆ：希釈用気体の流量。

この式（２）より、加湿気体の相対湿１ｉＲＨＦｉ、希
釈用気体の流量Ｆが小さい程増大することがわかる。ま
た式（２）より、希釈用気体の流量等を調節することに
よ抄、所望湿度の加湿気体が得られることがわかる。例
えば、ＲＨが１００チ以上となる条件で加湿装置を運転
すれば、水蒸気の凝縮が生じて水滴を含む状態の加湿気
体が得られることになる。

〈実施例〉 次に、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図および８２図に示すように、実施例の加湿装置１
は、多数の中空糸状の水蒸気選択透過膜１０−ｆ箱温ハ
クジング１１の中に水平にかつ互いに適当な間隔を設け
て配置、収容してなる。、水蒸気選択透過膜１０は、厚
さ方向に即ち中空糸の半径方向に連通した多数個の細孔
を有する無機多孔質膜（例えば多孔質化し几硼硅酸ナト
リウムガラス膜）を使用してなる。中空糸状透過膜１０
の両肩部とハウジング１１の内壁との間は板状のシール
材１２Ａ、１２Ｂ　によって閉塞されており、ハウジン
グ内部の中央空間１３と左右両側空間１４Ａ、１４Ｂ　
　とが隔てられていると共に、その左側空間１４Ａと右
側空間１４Ｂが透過膜１０の内部を介して互いに連通し
てなる。左側空間１４Ａｉｊ気体導入手段としてのニー
ドルバルブ１５を介して希釈用気体の供給源（図示せず
）を接続されており、一方布側空間１４Ｂは減圧機構の
ダイアプラム型真空ボンフ１６を介して加湿対象の部屋
（図示せず）と連通している。従って、真空ポ１ンプ１
６の作動によって透過膜１０・・・の内部および左右両
側空間１４Ａ。

１４］３を減圧することができると共に、除去された減
圧気体の圧力が常圧に戻されそしてその気体が加湿対象
の部屋に供給されるようになりている。その上、必要に
よりバルプ１５を開けて希釈用気体を透過膜１０−・・
の内部に導入することもできる。また、前記ハウジング
１１Ｆｉ、上下に開口部１７．１７を有し、その中央空
間１３が外部と連通してなる。さらに、給気手段の送供
給することができるよう罠なっている。

而して、ファン１Ｂを作動させて水蒸気含有の外気を中
空糸状透過膜１０・・・に供給しその外面に接触せしめ
、一方真空ポンプ１６を作動させ左右両側空間１４Ａ、
１４Ｂを減圧して前記外気より低圧の減圧気体を透過膜
１０・・・の内面に接触せしめる。すると、膜１０−の
内外両面において水蒸気分圧差が形成されるため、外気
中の水蒸気が膜１０−・の外面より内面へ透過し、減圧
気体の水分が濃縮される。その後、水分の濃縮された減
圧気体は真空ポンプ１６を通じて排出され、常圧の加湿
気体が生成される。この場合、パルプ１５の開度を調節
して、適当量の希釈用気体を減圧気体の中に導入するこ
とができ、所望の湿度を有する加湿気体が得られる。

上記の基本構成を有する以下の各実施例の加湿装置を製
作しその加湿性能を調べた。

実施例１ この加湿装置１Ｆｉ、水蒸気選択透過膜１０・−として
、外径２５０μへ内径２２０μｍの中空糸の形状をなし
、その外表面から約ＩＱＯＱＡ’ｔでの表層部では半径
的６１０の細孔を有しそれよりも深い深奥部では半径１
２Ａ０の細孔を有する異方性多孔質ガラスＳＳＯ本を備
えてなる。即ち、有効面積は１８０−でめる。そして、
水蒸気含有気体および希釈用気体として共に２５℃で相
対湿度３０％の空気を使用し、希釈用気体の流量を変化
させながら得られる加湿気体の相対湿度を測定して、こ
れら両者の関係を求めた。その結果を第３図に示す。な
お、使用した真空ポンプ１６の排気量と到達圧力との関
係を第４図に併せて示す。

実施例２ この加湿装置１は、実施例１と同様の中空糸状多孔質ガ
ンスフ００本を備えてなる。即ち、有効面積は３６０ｃ
ｒＡである。そして、実施例１と同様の条件および方法
により希釈用気体の流量と加湿気体の相対湿度との関係
を求めた。その結果を第５図に示す。

第３図より、実施例１および２の加湿装置を使用すると
、相対湿度３０％の空気を相対湿度１００％にまで加湿
することができることがわかる。また、希釈用気体の流
量を変化させることにより、加湿気体の相対湿度を約６
０％から１００チまでの範囲において任意に調節するこ
とができることがわかる。従って、実施例１および２の
加湿装置は、湿度に関する適当な制御系を備えれば、調
湿器として十分に応用することができると考えられる。

実施例３ この加湿装置１は、水蒸気選択透過膜１０として、半径
４４八〇の細孔を多数有する外径２５０μｍ、内径ｚａ
ａｐｍｔｙ’＞中空糸状多孔質ガラス５０本を備えてな
る。即ち、有効面積は５０−でおる。

そして、水蒸気含有気体として２５℃で相対湿度３３チ
の空気を使用し、かつ希釈用気体を全く導入しないとい
う条件で本装置を運転さ、せ九ところ、相対湿度４５チ
の加湿空気が１０ｔ／分の流量で得られた。即ち、相対
湿度３３チの空気を相対湿度４５％Ｋまで加湿すること
ができ念。

本実施例の加湿装置１は、加湿能力がやや劣るが、透過
膜１０の空気透過性が高く加湿気体の生成流量が多いこ
と、および細孔の径が相対的に大きくとも無菌の加湿気
体が確実に得られ無菌フィルターとしても十分に機能す
ることなどの特徴を有する。従って、この装置は、クリ
ーンペンチや医療用酸素吸入器等への応用が可能でおろ
う。

実施例４ この加湿装置１は、透過膜１０として、半径６３八〇の
細孔を有することを除いて実施例３のと同様なガラス５
０本を備えてなる。そして、実施例３と同様の条件およ
び方法で加湿運転を行なったところ、相対湿度３８チの
加湿空気が１０Ｌ／分の流量で得られた。

次に、上記の如き中空糸状多孔質ガラスの透過膜１０の
水蒸気透過試験を行なった。この試験は、細孔半径が異
なる各種の中空糸状多孔質ガラスを使用し、相対湿度６
１％、温度２５℃の空気を各中空糸状ガラスの外面に吹
き付けると共に、該中空糸状ガラスの内部を減圧し、こ
のガラスを透過した水蒸気を五酸化リンによって捕促し
、そのリン化合物の重量変化よシ透過水蒸気量を測定し
て水蒸気透過速度を決定し、一方減圧用の真空ポンプか
ら排出される空気の量よシ空気透過速度を求めるという
方法により行なった。なお、透過水蒸気の流量が少ない
ときには置換用気体を中空糸状ガラスの内部に流すとい
う手段を取った。これらの結果を下記の第１表に示す。

第１表 中空糸状多孔質ガラス製の水蒸気選択透過膜の気体透過
特性 ａ）窒素吸着法よシ求めた値 ｂ）中空糸状多孔質ポリプロピレン（対照透過膜） Ｃ）気体状態での換算値 第１表より、細孔半径が５ＯＡ’を越えると・分離率が
極めて小さくなシ水蒸気選択透過膜としての実用性に劣
るようになることがわかる。

従りて、上記の多孔質ガラス製透過膜は、細孔半径が５
　ＯＡ”以下でるることが好ましい。ま光、同表よシ、
細孔半径が小さい種水蒸気の選択分離！性が向上すると
いう傾向がみられるが、細孔半径の最も小さい透過膜が
全てにおいて有利でろるわけではなく、細孔半径が５０
〜２０Ａ０と相対的に大きり透過膜であっても、使用目
的や使用条件によっては、例えば空気の浄化など空気透
過量の多いことが求められる場合にあっては有利になる
。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明の無給水製加湿装置は、水
蒸気をその選択透過膜に膜内側の分圧差によっ工透過さ
せて水分を濃縮する加湿装置でろシ、水即ち、液体状態
のル０の補給を全く行なうことなく加湿運転を連続的に
遂行することができ、しかも微生物の繁殖等の不具合が
生じず、さらに装置の構造が簡単で小製化可能でめり、
耐久性の面においても良好でるる。その上、適当な湿度
制御系を備えることにより、任意湿度の加湿気体が得ら
れる。従って、本発明の加湿装置は、家庭用、乗り物の
室内用、各種実験用および医療用等の幅広い用途に適用
できるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の加湿装置を示す断面図、 ＃［２図は第１図のＩ−■線における端開口、第３図は
実施例１および２の加湿装置の加湿性能を示す図、 第４図は第１図の装置に使用した真空ポンプの排気量と
到達圧力の関係を示す図である。 図中、 １・−加湿装置 １０・・・水蒸気選択透過膜 １５・・・ニードルパルプ（気体導入手段）１６・・・
真空ポンプ（減圧排気機構）１８・−送風ファン（給気
手段） 特許出願人　　株式会社　豊田中央研究所代理人　弁理
士　　　萼　　　優美ほか１多才３図 ４綻刈気体のメＦ、量α／合） く へ０

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）水蒸気選択透過膜と、水蒸気含有気体を該透過膜
   の一方側に供給する給気手段と、前記透過膜の他方側気
   体を減圧する減圧機構を備えてなり、前記透過膜の他方
   側に水分の濃縮された加湿気体が得られるようにしたこ
   とを特徴とする無給水型加湿装置。
2. （２）水蒸気含有気体および／または加湿気体の相対湿
   度を測定する湿度センサと、希釈用気体を減圧気体の中
   に流入させる気体導入手段と、前記センサより得られる
   湿度情報に基づいて前記希釈用気体の流量または減圧気
   体の圧力を調節する湿度制御機構を備えてなることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の加湿装置。
3. （３）水蒸気選択透過膜が、厚さ方向に連通した多数個
   の細孔を有し、且つ細孔半径が窒素吸着法により求めて
   ５０Å以下である層を有する親水性無機多孔質膜である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
   載の加湿装置。
4. （４）水蒸気選択透過膜が少くとも一部に均質な層を有
   する親水性高分子膜でるることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項または第２項記載の加湿装置。
5. （５）無機多孔質膜が、熱処理により高温の酸溶液に溶
   出する軟相と溶出しない硬相とに分相する組成のガラス
   膜を軟相の酸溶出により多孔質化した多孔質ガラス膜で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３
   項のうちいずれか一項記載の加湿装置。
6. （６）水蒸気選択透過膜が中空糸状の形体にあることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第５項のうちい
   ずれか一項記載の加湿装置。