JPS61252058A - ワイヤソ−による切断方法 - Google Patents
ワイヤソ−による切断方法Info
- Publication number
- JPS61252058A JPS61252058A JP60092783A JP9278385A JPS61252058A JP S61252058 A JPS61252058 A JP S61252058A JP 60092783 A JP60092783 A JP 60092783A JP 9278385 A JP9278385 A JP 9278385A JP S61252058 A JPS61252058 A JP S61252058A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- metal strip
- wire
- cut
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Dicing (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、例えば磁気ヘッド、水晶振動子、半導体チッ
プを作製するために電子部品材料を微細小片に切断する
際広く用いられるワイヤソーによる切断方法に関する。
プを作製するために電子部品材料を微細小片に切断する
際広く用いられるワイヤソーによる切断方法に関する。
例えば半導体ウェハのような被加工物をワイヤソーを用
いて切断するには、第２図に示すように被加工物１をガ
ラスなどの台座２の上にワックスなどの接着剤を用いて
固定する。複数本のピアノ線３は、多溝滑車４の間に一
定の張力で張られており、滑車を交互方向に回転させる
ことにより、矢印５のように往復運動する。研摩粉を切
削用油に一定割合で混合した切削液６を供給管７からピ
アノ線３の上および被加工物ｌの上に滴下する。 この状態で、被加工物１をビアハ１に対して一定の加圧
力で押しつけると、研摩剤がピアノ線の往復連動と共に
被加工物表面上で移動し、徐々に研削していく、被加工
物ｌが完全に切断される時点は、ピアノ線３がウェハを
完全に通り過ぎて台座２を切り始めた時点である。 ところが、この切断完了時点を認識することは極めて困
難であった。その理由は、滑車４の間に張られているピ
アノ線３は被加工物１の押しっけにより切断中に第３図
に示すように上向きに凸形の弓なりになっていて、外部
から被加工物１の中心部でのピアノ線３と被加工物との
関係位置を認識することができない、しかもこの弓なり
の程度は、被加工物１の形状、ピアノ線３の張カ、切断
時間、滑車４の寸法精度、切削液６の状態等の種々の条
件に影響されてばらつきが存在する。このため従来は切
断完了の判断を、作業者の経験と勘にたよらざるを得な
い状況であった。しかしこの判断を誤ると、切断不足の
場合は第４図（ａｌ、（ｂｌに示すように未切断部１１
が残って未切断不良となり、切断過度の場合は無駄な切
断時間を消費することになるという問題があった。
いて切断するには、第２図に示すように被加工物１をガ
ラスなどの台座２の上にワックスなどの接着剤を用いて
固定する。複数本のピアノ線３は、多溝滑車４の間に一
定の張力で張られており、滑車を交互方向に回転させる
ことにより、矢印５のように往復運動する。研摩粉を切
削用油に一定割合で混合した切削液６を供給管７からピ
アノ線３の上および被加工物ｌの上に滴下する。 この状態で、被加工物１をビアハ１に対して一定の加圧
力で押しつけると、研摩剤がピアノ線の往復連動と共に
被加工物表面上で移動し、徐々に研削していく、被加工
物ｌが完全に切断される時点は、ピアノ線３がウェハを
完全に通り過ぎて台座２を切り始めた時点である。 ところが、この切断完了時点を認識することは極めて困
難であった。その理由は、滑車４の間に張られているピ
アノ線３は被加工物１の押しっけにより切断中に第３図
に示すように上向きに凸形の弓なりになっていて、外部
から被加工物１の中心部でのピアノ線３と被加工物との
関係位置を認識することができない、しかもこの弓なり
の程度は、被加工物１の形状、ピアノ線３の張カ、切断
時間、滑車４の寸法精度、切削液６の状態等の種々の条
件に影響されてばらつきが存在する。このため従来は切
断完了の判断を、作業者の経験と勘にたよらざるを得な
い状況であった。しかしこの判断を誤ると、切断不足の
場合は第４図（ａｌ、（ｂｌに示すように未切断部１１
が残って未切断不良となり、切断過度の場合は無駄な切
断時間を消費することになるという問題があった。
本発明によれば、被加工物のワイヤの移動方向に最も長
い部分の縁部間のほぼ中央の直下に、ワイヤの移動方向
に直角に延びる金属条を置き、この金属条の両端を電源
に接続して電流を流し、金属条の切断によって電流が遮
断されることにより切断完了を検知することによって上
記の目的が達成される。
い部分の縁部間のほぼ中央の直下に、ワイヤの移動方向
に直角に延びる金属条を置き、この金属条の両端を電源
に接続して電流を流し、金属条の切断によって電流が遮
断されることにより切断完了を検知することによって上
記の目的が達成される。
半導体ウェハのような円板を切断する場合の実施例を第
１図に示す、このような円板をワイヤソーで切断すると
き最も後から切断される部分、すなわち第１図＋Ｉｌｌ
、（ｂ）に示すように中央部の直下にワイヤの方向に直
角に金属条８を置き、この金属条を導線９により直流電
源に接続して微小電流を流しておく、金属条８としては
、例えば０．１〜０．２論の厚さの銅箔を用いる。この
被加工物をワイヤソーで切断し、第１図１ｃＩに示すよ
うに平行な切れ目１０が完全に生ずるとその直後に第１
図（ｄｌに示すようにワイヤ３が金属条８を切断し、電
流が遮断される。これにより切断が完了した事を誤りな
く検知する事が可能となる。 金属条８を配置するには、図示しないが台座２を二分割
してその間に置いたり、あるいは台座２に溝または穴を
加工してその中に金属条８を挿入する方法が有効である
。もちろん、台座２にはガラスなどの絶縁物を用いる。 【発明の効果］ 本発明では、ワイヤソーによる被加工物の最も切断が遅
くなる部分、すなわちワイヤの移動方向に最も長い広が
りをもつ部分のほぼ中央の直下に電流を流す金属条を置
き、被加工物の切断直後にワイヤによって金属条が切断
されて電流が流れなくなったことにより電気的に簡単に
かつ正確に切断を検知することができる。この検知は客
観的で作業経験の有無に関係がない、この結果未切断不
良が生じなくなり、また台座を余分に切断することがな
いため、被加工物１個当たりの切断時間の低減につなが
り、作業効率が向上する。
１図に示す、このような円板をワイヤソーで切断すると
き最も後から切断される部分、すなわち第１図＋Ｉｌｌ
、（ｂ）に示すように中央部の直下にワイヤの方向に直
角に金属条８を置き、この金属条を導線９により直流電
源に接続して微小電流を流しておく、金属条８としては
、例えば０．１〜０．２論の厚さの銅箔を用いる。この
被加工物をワイヤソーで切断し、第１図１ｃＩに示すよ
うに平行な切れ目１０が完全に生ずるとその直後に第１
図（ｄｌに示すようにワイヤ３が金属条８を切断し、電
流が遮断される。これにより切断が完了した事を誤りな
く検知する事が可能となる。 金属条８を配置するには、図示しないが台座２を二分割
してその間に置いたり、あるいは台座２に溝または穴を
加工してその中に金属条８を挿入する方法が有効である
。もちろん、台座２にはガラスなどの絶縁物を用いる。 【発明の効果］ 本発明では、ワイヤソーによる被加工物の最も切断が遅
くなる部分、すなわちワイヤの移動方向に最も長い広が
りをもつ部分のほぼ中央の直下に電流を流す金属条を置
き、被加工物の切断直後にワイヤによって金属条が切断
されて電流が流れなくなったことにより電気的に簡単に
かつ正確に切断を検知することができる。この検知は客
観的で作業経験の有無に関係がない、この結果未切断不
良が生じなくなり、また台座を余分に切断することがな
いため、被加工物１個当たりの切断時間の低減につなが
り、作業効率が向上する。
第１図は本発明の一実施例を示し、ｆａｔは切断前の平
面図、 （ｂｌは同じく側断面図、（Ｃ）は切断後の平
面図、（ｄ）は同じく側断面図、第２図はワイヤソーに
よる切断を示す斜視図、第３図はワイヤソーによる切断
状態を示す断面図、第４図はワイヤソーによる切断不良
を示し、（ａｌは下面図、偽）は側断面図である。 ｌ：被加工物、３：ワイヤ、８；金属条、１０＋切れ目
。
面図、 （ｂｌは同じく側断面図、（Ｃ）は切断後の平
面図、（ｄ）は同じく側断面図、第２図はワイヤソーに
よる切断を示す斜視図、第３図はワイヤソーによる切断
状態を示す断面図、第４図はワイヤソーによる切断不良
を示し、（ａｌは下面図、偽）は側断面図である。 ｌ：被加工物、３：ワイヤ、８；金属条、１０＋切れ目
。
Claims (1)
- １）被加工物のワイヤの移動方向に最も長い部分の縁部
間のほぼ中央の直下に、ワイヤの移動方向に直角に延び
る金属条を置き、該金属条の両端を電源に接続して電流
を流し、金属条の切断によって電流が遮断されることに
よって切断完了を検知するワイヤソーによる切断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60092783A JPS61252058A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ワイヤソ−による切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60092783A JPS61252058A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ワイヤソ−による切断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61252058A true JPS61252058A (ja) | 1986-11-10 |
Family
ID=14064015
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60092783A Pending JPS61252058A (ja) | 1985-04-30 | 1985-04-30 | ワイヤソ−による切断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61252058A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104175407A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-12-03 | 山东大学 | 用于线锯切割加工的进给量可调节的工件进给方法及装置 |
| JP2015185830A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | 株式会社巴川製紙所 | ワイヤーソーダイシング法用の仮固定用接着部材、およびワイヤーソーダイシング法 |
-
1985
- 1985-04-30 JP JP60092783A patent/JPS61252058A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015185830A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | 株式会社巴川製紙所 | ワイヤーソーダイシング法用の仮固定用接着部材、およびワイヤーソーダイシング法 |
| CN104175407A (zh) * | 2014-08-04 | 2014-12-03 | 山东大学 | 用于线锯切割加工的进给量可调节的工件进给方法及装置 |
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