JPS61247047A - 円板状部材の整列装置 - Google Patents
円板状部材の整列装置Info
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- JPS61247047A JPS61247047A JP8785285A JP8785285A JPS61247047A JP S61247047 A JPS61247047 A JP S61247047A JP 8785285 A JP8785285 A JP 8785285A JP 8785285 A JP8785285 A JP 8785285A JP S61247047 A JPS61247047 A JP S61247047A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば半導体シリコンウェハ、ガラスウェハ
等の円板状部材を整列治具上に整列きせる円板状部材の
整列装置に関する。
等の円板状部材を整列治具上に整列きせる円板状部材の
整列装置に関する。
例えば、ＩＣ，）ランジスタ、サイリスタ等の半導体装
置は、周知のように円形をなすウェハに対し拡散、写真
製版等の処理を繰り返し施すことによって形成される。
置は、周知のように円形をなすウェハに対し拡散、写真
製版等の処理を繰り返し施すことによって形成される。
そして、特に拡散処理については一般にバッチ処理され
ることが多く、このバッチ処理のためには、前記ウェハ
を各々に直立支持させるところの１組ずつの細溝を所定
ピッチ毎に多数形成した石英、ＳｉＣ，ポリシリコン等
からなる整列治具、いわゆる拡散ボートが使用される。
ることが多く、このバッチ処理のためには、前記ウェハ
を各々に直立支持させるところの１組ずつの細溝を所定
ピッチ毎に多数形成した石英、ＳｉＣ，ポリシリコン等
からなる整列治具、いわゆる拡散ボートが使用される。
従来、この拡散ボートへのウェハのローディングおよび
アンローディングは、第３図に示すようにして行われて
いた。すなわち、同図において、符号１で示すものは整
列治具としての拡散ボート、２ａおよび２ｂはこの拡散
ボート１に所定ピッチを隔てて形成された多数組の細溝
、３はウェハ４の工程間搬送に使用する整列治具として
のカセット、３ａおよび３ｂはこのカセット３に所定ピ
ッチを隔てて形成された多数組の細溝、５は先端に真空
吸着口をもつ真空ピンセットである。
アンローディングは、第３図に示すようにして行われて
いた。すなわち、同図において、符号１で示すものは整
列治具としての拡散ボート、２ａおよび２ｂはこの拡散
ボート１に所定ピッチを隔てて形成された多数組の細溝
、３はウェハ４の工程間搬送に使用する整列治具として
のカセット、３ａおよび３ｂはこのカセット３に所定ピ
ッチを隔てて形成された多数組の細溝、５は先端に真空
吸着口をもつ真空ピンセットである。
このように構成された円板状部材の整列装置においては
、拡散ボート１からカセット３への、またカセット３か
ら拡散ボート１へのウェハ４の移し替えが、すべて真空
ビンセット５による吸着。
、拡散ボート１からカセット３への、またカセット３か
ら拡散ボート１へのウェハ４の移し替えが、すべて真空
ビンセット５による吸着。
その他通常のピンセットによる挟持によってなされてい
る。
る。
ところで、従来の円板状部材の整列装置においては、カ
セット３から拡散ボート１へのウェハ４の移し替えに際
し、１回の処理ウェハ量を多くし、かつ均一な拡散を行
うために、第４図に示すように裏面相互を狭い間隙Ａま
で近付けた状態でウェハ４を整列させる場合がある。こ
のような場合、一般にカセット３内でのウェハ４がその
表裏を予め一定方向に揃えて収納されていると、１枚の
ウェハ４を移し替える度毎に表裏を交互に反転させなけ
ればならず、これに細心の注意を必要とし、１つの工程
毎にこれを繰り返すのは膨大な手間となり、きわめて煩
雑な作業となるばかりか、移し替えにはウェハ面を一々
吸着し、あるいは挟むために損傷も多く、かつ人手の介
入によりウェハ表面の汚染もあって製造歩留まりが低下
するという問題があった。
セット３から拡散ボート１へのウェハ４の移し替えに際
し、１回の処理ウェハ量を多くし、かつ均一な拡散を行
うために、第４図に示すように裏面相互を狭い間隙Ａま
で近付けた状態でウェハ４を整列させる場合がある。こ
のような場合、一般にカセット３内でのウェハ４がその
表裏を予め一定方向に揃えて収納されていると、１枚の
ウェハ４を移し替える度毎に表裏を交互に反転させなけ
ればならず、これに細心の注意を必要とし、１つの工程
毎にこれを繰り返すのは膨大な手間となり、きわめて煩
雑な作業となるばかりか、移し替えにはウェハ面を一々
吸着し、あるいは挟むために損傷も多く、かつ人手の介
入によりウェハ表面の汚染もあって製造歩留まりが低下
するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、円板状
部材の移し替え時にウェハの汚染ならびに損傷を防止で
き、その作業を円滑かつ迅速に行うことができる円板状
部材の整列装置を提供するものである。
部材の移し替え時にウェハの汚染ならびに損傷を防止で
き、その作業を円滑かつ迅速に行うことができる円板状
部材の整列装置を提供するものである。
本発明に係る円板状部材の整列装置においては、円板状
部材を支承する多数の細溝を有し移動装置によって所定
のストローク内で移動する整列治具と、前記円板状部材
を挿脱自在に支承する多数の細溝をその内部に形成した
カセットを把持する保持装置と、この保持装置と前記整
列治具との間に配設され前記両側の細溝間で前記円板状
部材を案内する案内部材と、前記保持装置側に配設され
カセットを反転させる反転装置とを備えたものである。
部材を支承する多数の細溝を有し移動装置によって所定
のストローク内で移動する整列治具と、前記円板状部材
を挿脱自在に支承する多数の細溝をその内部に形成した
カセットを把持する保持装置と、この保持装置と前記整
列治具との間に配設され前記両側の細溝間で前記円板状
部材を案内する案内部材と、前記保持装置側に配設され
カセットを反転させる反転装置とを備えたものである。
本発明においては、円板状部材を支承する多数の細溝を
有し移動装置によって所定のストローク内で移動する整
列治具と、多数の細溝を形成したカセ７）を把持する保
持装置と、両側の細溝間で円板状部材を案内する案内部
材と、カセットを反転させる反転装置とを備えたから、
カセットから拡散ボートに円板状部材を移し替えるに際
し、円板状部材を案内部材内で転動させることができ、
しかも円板状部材の表裏反転を自動的に行うことができ
る。
有し移動装置によって所定のストローク内で移動する整
列治具と、多数の細溝を形成したカセ７）を把持する保
持装置と、両側の細溝間で円板状部材を案内する案内部
材と、カセットを反転させる反転装置とを備えたから、
カセットから拡散ボートに円板状部材を移し替えるに際
し、円板状部材を案内部材内で転動させることができ、
しかも円板状部材の表裏反転を自動的に行うことができ
る。
第１図は本発明に係る円板状部材の整列装置を示す斜視
図である。同図において、符号１１で示すものは整列治
具としての拡散ボートで、ボート受け１２上の所定位置
に保持されており、円形をなす半導体シリコンウェハ１
３を支承する多数組の細溝１１ａ、ｌｌｂが所定のピッ
チを隔てて形成されている。１４は前記半導体シリコン
ウェハ１３の工程間搬送に用いるカセットで、両側に開
口し保持装置１５に回動自在に保持されており、内部に
は半導体シリコンウェハ１３を挿脱自在に支承する多数
の細溝１４ａ、１４ｂが形成されている。そして、前記
保持装置１５および前記拡散ボート１１は各々移動装置
１６．１７によって所定のストローク内で移動可能に構
成されている。
図である。同図において、符号１１で示すものは整列治
具としての拡散ボートで、ボート受け１２上の所定位置
に保持されており、円形をなす半導体シリコンウェハ１
３を支承する多数組の細溝１１ａ、ｌｌｂが所定のピッ
チを隔てて形成されている。１４は前記半導体シリコン
ウェハ１３の工程間搬送に用いるカセットで、両側に開
口し保持装置１５に回動自在に保持されており、内部に
は半導体シリコンウェハ１３を挿脱自在に支承する多数
の細溝１４ａ、１４ｂが形成されている。そして、前記
保持装置１５および前記拡散ボート１１は各々移動装置
１６．１７によって所定のストローク内で移動可能に構
成されている。
１８は前記両側の細溝１４ａ、１４ｂとｌｌａあるいは
１４ａ、１４ｂとｌｌｂとの間で前記半導体シリコンウ
ェハ１３０周縁部を案内する案内部材で、各々の開口部
が互いに対向する案内溝１９ａ、２０ａを有する２つの
上下レール１９．２０からなり、前記拡散ボー）１１と
前記保持装置１５との間に配設されている。この案内部
材１８の案内溝１９ａ、２０ａは前記カセット１４およ
び前記拡散ボート１１側からその立ち上がり部１９ｂ、
２０ｂに向かって傾斜している。２１は支持溝２１ａを
有する補助案内部材で、前記両レール１９．２０のうち
上側のレール１９に設けた往復装置２２によって進退す
るアーム２３に設けられており、前記案内部材１８の終
端側から前記拡散ボート１１の所定位置に半導体シリコ
ンウェハ１３を案内するように構成されている。２４は
Ｌ字状の突き上げ棒で、前記保持装置１５の近傍に配設
されており、駆動装置（図示せず）によって前記カセッ
ト１４内の半導体シリコンウェハ１３を前記立ち上がり
部１．９ｂ、２０ｂまで突き上げるように構成されてい
る。２５は前記カセット１４を反転させる反転装置で、
円形状の支持台２５ａを有し前記保持装置１５の近傍に
配設されている。
１４ａ、１４ｂとｌｌｂとの間で前記半導体シリコンウ
ェハ１３０周縁部を案内する案内部材で、各々の開口部
が互いに対向する案内溝１９ａ、２０ａを有する２つの
上下レール１９．２０からなり、前記拡散ボー）１１と
前記保持装置１５との間に配設されている。この案内部
材１８の案内溝１９ａ、２０ａは前記カセット１４およ
び前記拡散ボート１１側からその立ち上がり部１９ｂ、
２０ｂに向かって傾斜している。２１は支持溝２１ａを
有する補助案内部材で、前記両レール１９．２０のうち
上側のレール１９に設けた往復装置２２によって進退す
るアーム２３に設けられており、前記案内部材１８の終
端側から前記拡散ボート１１の所定位置に半導体シリコ
ンウェハ１３を案内するように構成されている。２４は
Ｌ字状の突き上げ棒で、前記保持装置１５の近傍に配設
されており、駆動装置（図示せず）によって前記カセッ
ト１４内の半導体シリコンウェハ１３を前記立ち上がり
部１．９ｂ、２０ｂまで突き上げるように構成されてい
る。２５は前記カセット１４を反転させる反転装置で、
円形状の支持台２５ａを有し前記保持装置１５の近傍に
配設されている。
このように構成された円板状部材の整列装置においては
、半導体シリコンウェハ１３を支承する細溝１１ａ、ｌ
ｌｂを有し移動装置１７によって所定のストローク内で
移動する拡散ボート１１と、その内部に細溝１４ａ、１
４ｂを形成したカセット１４を把持する保持装置１５と
、細溝１４ａ。
、半導体シリコンウェハ１３を支承する細溝１１ａ、ｌ
ｌｂを有し移動装置１７によって所定のストローク内で
移動する拡散ボート１１と、その内部に細溝１４ａ、１
４ｂを形成したカセット１４を把持する保持装置１５と
、細溝１４ａ。
１４ｂとｌｌａあるいは１４ａ、１４ｂとｌｌｂとの間
で半導体シリコンウェハ１３を案内する案内部材１８と
、カセット１４を反転させる反転装置２５とを備えたか
ら、カセット１４から拡散ボート１１に半導体シリコン
ウェハ１３を移し替えるに際し、案内部材１８内で半導
体シリコンウェハ１３を転動させることができ、また半
導体シリコンウェハ１３の表裏反転を自動的に行うこと
ができる。
で半導体シリコンウェハ１３を案内する案内部材１８と
、カセット１４を反転させる反転装置２５とを備えたか
ら、カセット１４から拡散ボート１１に半導体シリコン
ウェハ１３を移し替えるに際し、案内部材１８内で半導
体シリコンウェハ１３を転動させることができ、また半
導体シリコンウェハ１３の表裏反転を自動的に行うこと
ができる。
したがって、移動装置１６．１７が駆動すると、保持装
置１５および拡散ボート１１が所定ピッチ動作してカセ
ット１４の細溝１４ａの開口端が上側レール１９の案内
溝１９８の開口端付近に位置付けられると共に、カセッ
ト１４の細溝１４ｂおよび拡散ボート１１の細溝１１ａ
の開口端が下側レール２０の案内溝２０ａの各開口端付
近に位置付けられる。次いで、駆動装置（図示せず）が
動作すると、突き上げ棒２４が半導体シリコンウェハ１
３を立ち上がり部１９ｂ、２０ｂまで押し出すため、半
導体シリコンウェハ１３が立ち上がり部１９ｂ、２０ｂ
から案内溝１９ａ、２０ａの終端まで転勤降下し、半導
体シリコンウェハ１３の一部が支持溝２１ａ内に支持さ
れる。そして、往復装置２２が動作すると補助案内部材
２１が前進し、半導体シリコンウェハ１３が拡散ボート
１１側に案内されて細溝１１ａ内に支承される。
置１５および拡散ボート１１が所定ピッチ動作してカセ
ット１４の細溝１４ａの開口端が上側レール１９の案内
溝１９８の開口端付近に位置付けられると共に、カセッ
ト１４の細溝１４ｂおよび拡散ボート１１の細溝１１ａ
の開口端が下側レール２０の案内溝２０ａの各開口端付
近に位置付けられる。次いで、駆動装置（図示せず）が
動作すると、突き上げ棒２４が半導体シリコンウェハ１
３を立ち上がり部１９ｂ、２０ｂまで押し出すため、半
導体シリコンウェハ１３が立ち上がり部１９ｂ、２０ｂ
から案内溝１９ａ、２０ａの終端まで転勤降下し、半導
体シリコンウェハ１３の一部が支持溝２１ａ内に支持さ
れる。そして、往復装置２２が動作すると補助案内部材
２１が前進し、半導体シリコンウェハ１３が拡散ボート
１１側に案内されて細溝１１ａ内に支承される。
一方、拡散ボート１１の細溝１１ｂ内に半導体シリコン
ウェハ１３を反転させて支承するには、カセット１４を
支持台２５ａ上に載置して反転装置２５を駆動し、次い
で保持装置１５によってカセット１４を所定位置で把持
して前述と同様に各装置を動作させればよい。
ウェハ１３を反転させて支承するには、カセット１４を
支持台２５ａ上に載置して反転装置２５を駆動し、次い
で保持装置１５によってカセット１４を所定位置で把持
して前述と同様に各装置を動作させればよい。
このようにして、拡散ボート１１上に半導体シリコンウ
ェハ１３をその表裏を交互にして順次整列させることが
できる。
ェハ１３をその表裏を交互にして順次整列させることが
できる。
なお、本実施例においては、反転装置２５を保持装置１
５と別個に配設する例を示したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、第２図に示すように移動装置２６
によって移動する反転装置２７にカセット２８を把持す
る保持装置２９を一体に設ける構造としてもよい。この
場合、保持装置２９によってカセット２８を図中矢印Ｐ
で示す回動範囲内で回動させることができる。
５と別個に配設する例を示したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、第２図に示すように移動装置２６
によって移動する反転装置２７にカセット２８を把持す
る保持装置２９を一体に設ける構造としてもよい。この
場合、保持装置２９によってカセット２８を図中矢印Ｐ
で示す回動範囲内で回動させることができる。
また、実施例においては、円板状部材として半導体シリ
コンウェハ１３を使用する例を示したが、本発明は他に
円形をなす例えばガラスウェハ等の円板状部材でも同様
に使用できることは勿論である。
コンウェハ１３を使用する例を示したが、本発明は他に
円形をなす例えばガラスウェハ等の円板状部材でも同様
に使用できることは勿論である。
以上説明したように本発明によれば、円板状部材を支承
する多数の細溝を有し移動装置によって所定のストロー
ク内で移動する整列治具と、その内部に多数の細溝を形
成したカセットを把持する保持装置と、両側の細溝間で
円板状部材を案内する案内部材と、カセットを反転させ
る反転装置とを備えたから、カセットから拡散ボートに
円板状部材を移し替えるに際し、円板状部材を案内部材
内で転勤させることができ、しかも円板状部材の表裏反
転を自動的に行うことができる。したがって、円板状部
材の移し替え時に円板状部材の汚染ならびに損傷を防止
できると共に、その移し替え作業を円滑かつ迅速に行う
ことができる。
する多数の細溝を有し移動装置によって所定のストロー
ク内で移動する整列治具と、その内部に多数の細溝を形
成したカセットを把持する保持装置と、両側の細溝間で
円板状部材を案内する案内部材と、カセットを反転させ
る反転装置とを備えたから、カセットから拡散ボートに
円板状部材を移し替えるに際し、円板状部材を案内部材
内で転勤させることができ、しかも円板状部材の表裏反
転を自動的に行うことができる。したがって、円板状部
材の移し替え時に円板状部材の汚染ならびに損傷を防止
できると共に、その移し替え作業を円滑かつ迅速に行う
ことができる。
第１図は本発明に係る円板状部材の整列装置を示す斜視
図、第２図は他の実施例における反転装置を示す斜視図
、第３図および第４図は従来の円板状部材の移し替え作
業を説明するための斜視図と正面図である。 １ｉ−−・−拡散ボート、ｌｌａ、１ｌｂ−・・・細溝
、１３・・・・半導体シリコンウェハ、１４・・・・カ
セット、１４ａ、１４ｂ・・・・細溝、１５・・・・保
持装置、１６．１７・・・・移動装置、１８・・・・案
内部材、２５・・・・反転装置。 代 理 人 大 岩 増 雄第１図 １３：Ｉｆ４４シソコンクシ＼ １４ニア７ｆｉ−斗 １４Ｇ、１４ｂ：ｐ溝 １５ コイ１トナケ腋１１５ ２５；久林疵予 第２図 第３図 第４図
図、第２図は他の実施例における反転装置を示す斜視図
、第３図および第４図は従来の円板状部材の移し替え作
業を説明するための斜視図と正面図である。 １ｉ−−・−拡散ボート、ｌｌａ、１ｌｂ−・・・細溝
、１３・・・・半導体シリコンウェハ、１４・・・・カ
セット、１４ａ、１４ｂ・・・・細溝、１５・・・・保
持装置、１６．１７・・・・移動装置、１８・・・・案
内部材、２５・・・・反転装置。 代 理 人 大 岩 増 雄第１図 １３：Ｉｆ４４シソコンクシ＼ １４ニア７ｆｉ−斗 １４Ｇ、１４ｂ：ｐ溝 １５ コイ１トナケ腋１１５ ２５；久林疵予 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 円板状部材を支承する多数の細溝を有し移動装置によっ
て所定のストローク内で移動する整列治具と、前記円板
状部材を挿脱自在に支承する多数の細溝をその内部に形
成したカセットを把持する保持装置と、この保持装置と
前記整列治具との間に配設され前記両側の細溝間で前記
円板状部材を案内する案内部材と、前記保持装置側に配
設されカセットを反転させる反転装置とを備えたことを
特徴とする円板状部材の整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8785285A JPS61247047A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | 円板状部材の整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8785285A JPS61247047A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | 円板状部材の整列装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61247047A true JPS61247047A (ja) | 1986-11-04 |
Family
ID=13926415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8785285A Pending JPS61247047A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | 円板状部材の整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61247047A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182846A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板の移替え装置 |
-
1985
- 1985-04-24 JP JP8785285A patent/JPS61247047A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182846A (ja) * | 1982-04-21 | 1983-10-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板の移替え装置 |
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