JPS61246655A - デイスク欠陥検査装置 - Google Patents
デイスク欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPS61246655A JPS61246655A JP8945085A JP8945085A JPS61246655A JP S61246655 A JPS61246655 A JP S61246655A JP 8945085 A JP8945085 A JP 8945085A JP 8945085 A JP8945085 A JP 8945085A JP S61246655 A JPS61246655 A JP S61246655A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- defect
- track
- circuit
- optical head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は導けき、及び溝なしの光ディスクの欠陥検査装
置に関する。
置に関する。
本発明は、ディスク欠陥検査装置において、光学ヘッド
部を精密位置決め装置のキャリダグ上に摩り付け、スピ
ンドルモータで回転させることにより、レーザ光が同心
円状の走査をするため、ディスクの半径方向の位ｉｔ？
キャリヴジの送り回数の計数だけで判断でき、重比、フ
ォーカスサーボ回路でディスク表面上のビームスポット
ｆある大きさに自動的に設定させることにより、ディス
クの欠陥の検出において、＃記ビームスボ雫ト径穆・の
分解能を持つようにし念ものである。また、トラックサ
ーボ回路、トラックジャンプ回路で、常にビームスポッ
トをトラダグ上に位置決めすることにより１例えば溝付
＾の光ディスクのようＫ、記録部分であるトラダグ上の
欠陥を正確に検出することができるようｋしたものであ
る。更に、フォーカスサーボ回路、トラヴクサーポ回路
、トラックジャンプ回路の起動、停止、精密位置決め装
置の制御や、信号処理回路の欠陥信号による欠陥の有無
の判定、及びディスク上の欠陥位置の記録。
部を精密位置決め装置のキャリダグ上に摩り付け、スピ
ンドルモータで回転させることにより、レーザ光が同心
円状の走査をするため、ディスクの半径方向の位ｉｔ？
キャリヴジの送り回数の計数だけで判断でき、重比、フ
ォーカスサーボ回路でディスク表面上のビームスポット
ｆある大きさに自動的に設定させることにより、ディス
クの欠陥の検出において、＃記ビームスボ雫ト径穆・の
分解能を持つようにし念ものである。また、トラックサ
ーボ回路、トラックジャンプ回路で、常にビームスポッ
トをトラダグ上に位置決めすることにより１例えば溝付
＾の光ディスクのようＫ、記録部分であるトラダグ上の
欠陥を正確に検出することができるようｋしたものであ
る。更に、フォーカスサーボ回路、トラヴクサーポ回路
、トラックジャンプ回路の起動、停止、精密位置決め装
置の制御や、信号処理回路の欠陥信号による欠陥の有無
の判定、及びディスク上の欠陥位置の記録。
前記欠陥位置のディスプレイ上への表示を行うパーソナ
ルコンビエータにより、装置全体の構成、操作ｔｒ−簡
単になるようにし友ものである。
ルコンビエータにより、装置全体の構成、操作ｔｒ−簡
単になるようにし友ものである。
従来のディスク欠陥検査装置け、例えば脣開昭５７−１
６１６４０のように１図２に示す構成になっている。
６１６４０のように１図２に示す構成になっている。
光源１１（例えばＨｇ −Ｎｓ＋レーザ）より出射し九
レーザ光は光学ヘッド部１２ｆＪ遇し、ディスク１３に
入射し、その反射光を光学ヘッド部１２で光電変換し、
そのプリアンプ出力を信号処理部１４でデジタル信号に
変換し、前記信号に基いて欠陥の開始位置、及び大良さ
を記憶手段１５にストアする。なお、光学ヘッド部１２
−けレーザ光を自動的にディスク表面上に合焦させる手
段を有し。
レーザ光は光学ヘッド部１２ｆＪ遇し、ディスク１３に
入射し、その反射光を光学ヘッド部１２で光電変換し、
そのプリアンプ出力を信号処理部１４でデジタル信号に
変換し、前記信号に基いて欠陥の開始位置、及び大良さ
を記憶手段１５にストアする。なお、光学ヘッド部１２
−けレーザ光を自動的にディスク表面上に合焦させる手
段を有し。
ビームスポット径及び反射光量を一定に保持する。
また、前記欠陥開始位置及び大角さのデータは。
ディスク１３を取り付けたターンテーブル１６をスピン
ドルモータ２０で一定回転させ、ｌ？ヤリヅジ１７によ
り光学ヘッド部１２′ｆディスクの半径方向に沿って連
続的に定速移動させることＫより、回転位置検出器１８
からの周方向位置信号と半径方向位置信号のパルスを記
憶手段１５内部のカウンタで計数することで与えられる
。欠陥の開始位置は使号処理部１４からの欠陥信号の変
化した時点で記憶手段１５に記録し、欠陥の大きさけ欠
陥の存在する期間中りＯ−Ｉクジエネレータ２１からの
パルスをカウンタで計数させておき記憶手段１５に記録
する。なお、前記周方向位置信号はスピンド°ルモータ
２０ｆ定速回転させる制御手段１９でも利用される。
ドルモータ２０で一定回転させ、ｌ？ヤリヅジ１７によ
り光学ヘッド部１２′ｆディスクの半径方向に沿って連
続的に定速移動させることＫより、回転位置検出器１８
からの周方向位置信号と半径方向位置信号のパルスを記
憶手段１５内部のカウンタで計数することで与えられる
。欠陥の開始位置は使号処理部１４からの欠陥信号の変
化した時点で記憶手段１５に記録し、欠陥の大きさけ欠
陥の存在する期間中りＯ−Ｉクジエネレータ２１からの
パルスをカウンタで計数させておき記憶手段１５に記録
する。なお、前記周方向位置信号はスピンド°ルモータ
２０ｆ定速回転させる制御手段１９でも利用される。
前記記憶手段１５に記録された欠陥位置データはりａツ
クジェネレータ２１から発生するクロック信号に同期し
て順次読人出される。読入出されたデータはディスプレ
イ２２に！！示する被検査ディスク領域の指定を行う指
定回路２３の指示に基づいて指定され几領域のデータで
あるか否かを判定回路２４で判定し、良と判定したデー
タを欠陥開始一致回路２５１Ｃ送る。欠陥開始一致回路
２５では、ディスプレイ２２の画素位＃を示すドレスが
、指定回路２３の指示に基づいて１表示する被検葺ディ
スク１３の領域の位置データＫｔ″換されており、判定
回路２４から送られて＃次欠陥信号に参照され、一致す
るとりフレ９シエメモリ２６に欠陥表示信号を送る。欠
陥信号は画素位置アドレス、及び欠陥長に基づいてり７
レツシーメそり２６の所定のアドレスｙ＊倉込まれ、引
き続きディスプレイ２２に表示される。
クジェネレータ２１から発生するクロック信号に同期し
て順次読人出される。読入出されたデータはディスプレ
イ２２に！！示する被検査ディスク領域の指定を行う指
定回路２３の指示に基づいて指定され几領域のデータで
あるか否かを判定回路２４で判定し、良と判定したデー
タを欠陥開始一致回路２５１Ｃ送る。欠陥開始一致回路
２５では、ディスプレイ２２の画素位＃を示すドレスが
、指定回路２３の指示に基づいて１表示する被検葺ディ
スク１３の領域の位置データＫｔ″換されており、判定
回路２４から送られて＃次欠陥信号に参照され、一致す
るとりフレ９シエメモリ２６に欠陥表示信号を送る。欠
陥信号は画素位置アドレス、及び欠陥長に基づいてり７
レツシーメそり２６の所定のアドレスｙ＊倉込まれ、引
き続きディスプレイ２２に表示される。
〔発明が解決しようとする問題点及び目的〕しかし、前
述の従来技術では、光学へヅド部を一定速度で送り続け
る九め、ディスク上をうず壱身状に走査するだけである
念め、例えば溝付きの光ディスクを検査する場合、トラ
ックの偏芯を考慮すればトラ９り上の欠陥の検出は正確
にできない。また、欠陥の検出からディスプレイへの表
示までリアルタイムな処理をしている究め、ハードウェ
アによる回路構成は複雑化する。更に、前述の従来技術
でけレーザ光の焦点を常に首検査ディスク表面上に合わ
せるだけのフォーカスサーボ機能しかない友め、スポッ
ト径は固定され１合焦点でのスポット径穆の小さな欠陥
の検出を必要としないディスクの欠陥検査の場合、検査
に時間がかかるし、仮に光学へ９ド部の送怜速度管早く
してもビームの照射されない部分ｂ％増えるという問題
点を有する。
述の従来技術では、光学へヅド部を一定速度で送り続け
る九め、ディスク上をうず壱身状に走査するだけである
念め、例えば溝付きの光ディスクを検査する場合、トラ
ックの偏芯を考慮すればトラ９り上の欠陥の検出は正確
にできない。また、欠陥の検出からディスプレイへの表
示までリアルタイムな処理をしている究め、ハードウェ
アによる回路構成は複雑化する。更に、前述の従来技術
でけレーザ光の焦点を常に首検査ディスク表面上に合わ
せるだけのフォーカスサーボ機能しかない友め、スポッ
ト径は固定され１合焦点でのスポット径穆の小さな欠陥
の検出を必要としないディスクの欠陥検査の場合、検査
に時間がかかるし、仮に光学へ９ド部の送怜速度管早く
してもビームの照射されない部分ｂ％増えるという問題
点を有する。
そこで１本発明はこのような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、溝付きの光ディスクにおいて
、装置部分（トラック）ｋビームスポットを固定し、正
確な欠陥検出を可能にすること、まｔ溝なしのディスク
にお−て１合焦点でのスポット径程の小さな欠陥の検出
を必要としなＶ−場合には１合焦点をずらしディスク表
面上のスポット径を大きくして検査時間の短縮を図るこ
と。
その目的とするところは、溝付きの光ディスクにおいて
、装置部分（トラック）ｋビームスポットを固定し、正
確な欠陥検出を可能にすること、まｔ溝なしのディスク
にお−て１合焦点でのスポット径程の小さな欠陥の検出
を必要としなＶ−場合には１合焦点をずらしディスク表
面上のスポット径を大きくして検査時間の短縮を図るこ
と。
更に欠陥位置データの配銖からディスプレイへの表示ま
でをパーソナルコンビエータのソフトウェア上での処ｅ
ｉｃｔき換え、ｌ！置全全体構成、操作を簡単化するこ
とを提供するものである。
でをパーソナルコンビエータのソフトウェア上での処ｅ
ｉｃｔき換え、ｌ！置全全体構成、操作を簡単化するこ
とを提供するものである。
本発明のディスク欠陥検査装置は、半導体レーザと前記
半導体レーザより出射され友レーザ光を被憤査ディスク
に集光しディスクからの反射光を検出する手段を有する
光学ヘッド部、前記検出手段より発生するアナログ信４
ｉＩをデジタル的な欠陥信号に変換する信号処理回路、
前記光学ヘッド部を被検査ディスク上のレーザ光のビー
ムスボ噌ト径程のステップ幅で平行移動させることが可
能な牛ヤリプジと前記被検査ディスクを回転させるスピ
ンドルモータ及び口伝方向の位置検出手段を有する精密
位置決め装置、前記光学ヘッド部から出射されｔレーザ
光の合焦点をディスク表面に自動的に設定させるための
手段と合焦点でのスポット径より大きなスポット径をデ
ィスク着面上に設定させるための手段を有するフォーカ
スサーボ回路、前記光学ヘッド部から出射されたレーザ
光を例えば光ディスクのように溝は負のディスクＩｃシ
いてトラックに自動的に位置決めさせるためのトラック
サーボ回路、前記トラックサーボ回路が機能して−ると
き前記光学ヘッド部から出射され几レーザ光を隣接する
トラックへ一時忙移動させるためのトラックジャンプ回
路、前記フォーカスサーボ回路と前記トラ９クサーボ回
路と前記トラックジャンプ回路の起動停止及び前記精密
位置決め装置ノキャリッジの移動制御とスピンドルモー
タの回転制御まｔ信号処理回路の欠陥信号による欠陥の
有無の判定及び精密位置決め装置の位置検出手段からく
る欠陥の位置データの装置と前記位置データのディスプ
レイ上への表示を行うパーソナルコンビエータより構成
されることｆ＠徴とする。
半導体レーザより出射され友レーザ光を被憤査ディスク
に集光しディスクからの反射光を検出する手段を有する
光学ヘッド部、前記検出手段より発生するアナログ信４
ｉＩをデジタル的な欠陥信号に変換する信号処理回路、
前記光学ヘッド部を被検査ディスク上のレーザ光のビー
ムスボ噌ト径程のステップ幅で平行移動させることが可
能な牛ヤリプジと前記被検査ディスクを回転させるスピ
ンドルモータ及び口伝方向の位置検出手段を有する精密
位置決め装置、前記光学ヘッド部から出射されｔレーザ
光の合焦点をディスク表面に自動的に設定させるための
手段と合焦点でのスポット径より大きなスポット径をデ
ィスク着面上に設定させるための手段を有するフォーカ
スサーボ回路、前記光学ヘッド部から出射されたレーザ
光を例えば光ディスクのように溝は負のディスクＩｃシ
いてトラックに自動的に位置決めさせるためのトラック
サーボ回路、前記トラックサーボ回路が機能して−ると
き前記光学ヘッド部から出射され几レーザ光を隣接する
トラックへ一時忙移動させるためのトラックジャンプ回
路、前記フォーカスサーボ回路と前記トラ９クサーボ回
路と前記トラックジャンプ回路の起動停止及び前記精密
位置決め装置ノキャリッジの移動制御とスピンドルモー
タの回転制御まｔ信号処理回路の欠陥信号による欠陥の
有無の判定及び精密位置決め装置の位置検出手段からく
る欠陥の位置データの装置と前記位置データのディスプ
レイ上への表示を行うパーソナルコンビエータより構成
されることｆ＠徴とする。
本発明の上記の構成によれば、レーザ光の合焦点をディ
スク表面に設定する他ｋ、合焦点をディスク表面上から
すらし次位置で固定することにより、ディスク表面のビ
ームスポクト径をある容度自由に設定できる。また、ト
ラックサーボ回路やトラックジャンプ回路により、トラ
ックに沿ってビームスポットＡＳ追従していく。更に、
パーソナルコンピュータにより、スピンドルモータの回
転制御、キャリッジの移動制御、またフォーカスサーボ
回路、トラックサーボ回路、トラックジャンプ回路の各
起動、停止、及び欠陥信号の処理、欠陥位置データの記
録、ディスプレイ上への表示が前記コンビエータのソフ
トウェア上で処理される。
スク表面に設定する他ｋ、合焦点をディスク表面上から
すらし次位置で固定することにより、ディスク表面のビ
ームスポクト径をある容度自由に設定できる。また、ト
ラックサーボ回路やトラックジャンプ回路により、トラ
ックに沿ってビームスポットＡＳ追従していく。更に、
パーソナルコンピュータにより、スピンドルモータの回
転制御、キャリッジの移動制御、またフォーカスサーボ
回路、トラックサーボ回路、トラックジャンプ回路の各
起動、停止、及び欠陥信号の処理、欠陥位置データの記
録、ディスプレイ上への表示が前記コンビエータのソフ
トウェア上で処理される。
以下１本発明のディスク欠陥検査装置について一実施例
に基いて詳細に説明する。
に基いて詳細に説明する。
ｌＥＩ図は本発明のディスク欠陥検査装置の構成を示す
プロプク図である。１け光学ヘッド部、２は被検査ディ
スク、 ３Ｆｉ精密位看決め装置であり。
プロプク図である。１け光学ヘッド部、２は被検査ディ
スク、 ３Ｆｉ精密位看決め装置であり。
スピンドルモータ３８．光学ヘッド部のキャリッジ５ｂ
、及びパーソナルコンビ、−４からの制御信号に基づに
スピンドルモータの回転とキャリッジのステップ送りを
制御し、また口伝位置検出回路の出力をパーソナルコン
ビエータへ送る制御部５ｃ、更にターンテーブル５ｄよ
り構成されている。杓Ｌ４け欠陥信号を発生させる信号
処理回路、５けフォーカスサーボ回路、６けトラックサ
ーボ引Ｌ７はトラックジャンプ回路であり、８はパーソ
ナルコンビ為−夕である。
、及びパーソナルコンビ、−４からの制御信号に基づに
スピンドルモータの回転とキャリッジのステップ送りを
制御し、また口伝位置検出回路の出力をパーソナルコン
ビエータへ送る制御部５ｃ、更にターンテーブル５ｄよ
り構成されている。杓Ｌ４け欠陥信号を発生させる信号
処理回路、５けフォーカスサーボ回路、６けトラックサ
ーボ引Ｌ７はトラックジャンプ回路であり、８はパーソ
ナルコンビ為−夕である。
１ｐｆ３図は本発明のディスク欠陥検査装置におけるパ
ーソナルコンビエータの制御フローチャートを示し友も
のである。
ーソナルコンビエータの制御フローチャートを示し友も
のである。
以後、９１図に示す装置の機能について、第３図に示す
７０−チャー）Ｋ基づき説明する。
７０−チャー）Ｋ基づき説明する。
最初、被検査ディスク２ｆターンテーブル３ｄＫ固定し
九後、光学ヘッド部１を検査開始地点まで移動させる。
九後、光学ヘッド部１を検査開始地点まで移動させる。
そこで、回転数や送りステップ幅やトラックサーボの有
無といった被検査ディスク２に合う検査仕様を設定する
。そして、スピンドルモータを回転させ、レーザを発振
させ、フォーカスサーボをかけ、更に、溝ｆ＝ｔＪ−の
ディスクの場合はトラックサーボをかけ、システム全体
が検査開始可能となった後、検査開始となる。
無といった被検査ディスク２に合う検査仕様を設定する
。そして、スピンドルモータを回転させ、レーザを発振
させ、フォーカスサーボをかけ、更に、溝ｆ＝ｔＪ−の
ディスクの場合はトラックサーボをかけ、システム全体
が検査開始可能となった後、検査開始となる。
欠陥位置データのとり込みは、ディスクが１回転する間
Ｖｃ１パルス発生するインデクス償礪のノくルスｂｔ検
知され几ことｆ１１認した後、之だちに検査を開始し、
次のインデ嗜りス信号のノ（ルスが検知されるまで行う
。その際、欠陥信号の変化６’−検知されると、コンビ
轟−夕８の内部記憶手段（ＲＡＭ）に欠陥の位置データ
が記録される。
Ｖｃ１パルス発生するインデクス償礪のノくルスｂｔ検
知され几ことｆ１１認した後、之だちに検査を開始し、
次のインデ嗜りス信号のノ（ルスが検知されるまで行う
。その際、欠陥信号の変化６’−検知されると、コンビ
轟−夕８の内部記憶手段（ＲＡＭ）に欠陥の位置データ
が記録される。
上記のようにトラック１周分の欠陥検査が行われると、
峙記位置データをコンピュータ８に直結したディスプレ
イ上に夛示オる。
峙記位置データをコンピュータ８に直結したディスプレ
イ上に夛示オる。
前記表示後、光学ヘッド部１ｆ１トラック分移動させる
。この移動は溝なしのディスクの場合、キャリッジ３ｂ
をステップ状に移動させるだけでよいが、溝付きのディ
スクの場合はトラ−１千ングサーポ回路６が機能し比状
態なので事情が異なる。
。この移動は溝なしのディスクの場合、キャリッジ３ｂ
をステップ状に移動させるだけでよいが、溝付きのディ
スクの場合はトラ−１千ングサーポ回路６が機能し比状
態なので事情が異なる。
すなわち、同心円状の溝けきのディスクの場合、光学へ
雫ド部１が１トラダク分、見かけ上移動してもビームス
ポ雫トの方はトラックサーボの歯角でトラック上に固定
されたまま隣のトラ、りに実質上移動で負ていないとＶ
ｌうことが起こる。そこで、実質的な移動は、ビームス
ポット径管のトラゲクに移動させる友めのトラックジャ
ンプ機能を利用することで実現させる。一方、うずまき
状の溝を有するディスクでは、あるト→リク上にビーム
スポダトが固定されるという状態は１例えばインデクス
信号のパルスＫＰ１期し几タイミングでトー１Ｐ９クジ
ャンプさせ、１つ前のインチ９クス信号のパルス位置ま
で戻るということで実現されているので１次のトラック
位置への移動はトラックジャンプ機能を一時停止させれ
ばよく、後に光学ヘダド部１Ｙｒ見かけ上１ステップ送
りすればよい。
雫ド部１が１トラダク分、見かけ上移動してもビームス
ポ雫トの方はトラックサーボの歯角でトラック上に固定
されたまま隣のトラ、りに実質上移動で負ていないとＶ
ｌうことが起こる。そこで、実質的な移動は、ビームス
ポット径管のトラゲクに移動させる友めのトラックジャ
ンプ機能を利用することで実現させる。一方、うずまき
状の溝を有するディスクでは、あるト→リク上にビーム
スポダトが固定されるという状態は１例えばインデクス
信号のパルスＫＰ１期し几タイミングでトー１Ｐ９クジ
ャンプさせ、１つ前のインチ９クス信号のパルス位置ま
で戻るということで実現されているので１次のトラック
位置への移動はトラックジャンプ機能を一時停止させれ
ばよく、後に光学ヘダド部１Ｙｒ見かけ上１ステップ送
りすればよい。
以上のようなステタブ送りが終了し几ら、同様のことを
全トラダク忙ついて行い、検査が終了したと同時に、Ｒ
ＡＭに記録されているデータをコンビエータ８と直結し
た外部記憶手段９に転送し保存する。保存データは検査
終了稜、別のデータ処理用プログラムで、例えば欠陥の
大きさ別の集計を行うことなどに利用される。
全トラダク忙ついて行い、検査が終了したと同時に、Ｒ
ＡＭに記録されているデータをコンビエータ８と直結し
た外部記憶手段９に転送し保存する。保存データは検査
終了稜、別のデータ処理用プログラムで、例えば欠陥の
大きさ別の集計を行うことなどに利用される。
本発明によれば、ディスク上のビームスポット径管ある
容度可変にできることにより、ディスクの欠陥検査にお
いて、それほど小さな欠陥を必要としない検査も能率よ
く行える。また、トーＦ９々サーボ回路やトラ噌りジャ
ンプ回路を付加し几ことＫより、１１Ｉ寸きのディスク
の欠陥検査も正確に行えるようｋなっ比。更に、キャリ
ッジの送り操作やスピンドルモー々の回転制御、欠陥信
号のモニタ、欠陥位置データのＲＡＭへの記録、ディス
プレイへの表示といった一連の機能をパーソナルコンビ
為−夕８のソフトウェア上で処理可能となり、装置全体
及び操作ｈｔ簡単となっ几。中九、ノアトウエア上の処
３１はハードウェアの構成を主体とする装置に比べ、保
守、変更が容易であり、コンビエータに接続する周辺装
置にデータ処理結果を出力できるし、場合忙よっては、
より高速のコンビエータに接続し、データを転送し、前
記高速コンピユー４にデータ処１ｆｌｆ委せることも可
能である。
容度可変にできることにより、ディスクの欠陥検査にお
いて、それほど小さな欠陥を必要としない検査も能率よ
く行える。また、トーＦ９々サーボ回路やトラ噌りジャ
ンプ回路を付加し几ことＫより、１１Ｉ寸きのディスク
の欠陥検査も正確に行えるようｋなっ比。更に、キャリ
ッジの送り操作やスピンドルモー々の回転制御、欠陥信
号のモニタ、欠陥位置データのＲＡＭへの記録、ディス
プレイへの表示といった一連の機能をパーソナルコンビ
為−夕８のソフトウェア上で処理可能となり、装置全体
及び操作ｈｔ簡単となっ几。中九、ノアトウエア上の処
３１はハードウェアの構成を主体とする装置に比べ、保
守、変更が容易であり、コンビエータに接続する周辺装
置にデータ処理結果を出力できるし、場合忙よっては、
より高速のコンビエータに接続し、データを転送し、前
記高速コンピユー４にデータ処１ｆｌｆ委せることも可
能である。
第１図は本発明のディスク欠陥検査装置の一実施例の構
成を示すブロック図。 第２図は従来のディスク欠陥検査装置の構成？示すブロ
ック図。 第３図は填１図のパーソナルコンビ為−夕の。 ディスク欠陥検査装置制御用プクグラムのフローチャー
トを示す。 以 上
成を示すブロック図。 第２図は従来のディスク欠陥検査装置の構成？示すブロ
ック図。 第３図は填１図のパーソナルコンビ為−夕の。 ディスク欠陥検査装置制御用プクグラムのフローチャー
トを示す。 以 上
Claims (1)
- （１）光学的にディスクの欠陥を検出するディスク欠陥
検査装置において、以下の構成を有することを特徴とす
るディスク欠陥検査装置。 （ａ）半導体レーザと、前記半導体レーザより出射され
たレーザ光を被検査ディスクに集光し、ディスクからの
反射光を検出する手段を有する光学ヘッド部。 （ｂ）前記検出手段より発生するアナログ信号をデジタ
ル的な欠陥信号に変換する信号処理回路。 （ｃ）前記光学ヘッド部を、被検査ディスク上のレーザ
光のビームスポット径程のステップ幅で平行移動させる
ことが可能なキャリッジと、前記被検査ディスクを回転
させるスピンドルモータ及び回転方向の位置検出手段を
有する精密位置決め装置。 （ｄ）前記光学ヘッド部から出射されたレーザ光の合焦
点をディスク表面に自動的に設定させるための手段と、
前記合焦点をディスク表面からずらした位置に設定し、
合焦点でのスポット径より大きなスポット径をディスク
表面上に設定させるための手段を有するフォーカスサー
ボ回路。 （ｅ）前記光学ヘッド部から出射されたレーザ光を、溝
付きのディスクにおいて、溝上あるいは溝間（以後、ト
ラックと呼ぶ）に自動的に位置決めさせるためのトラッ
クサーボ回路。 （ｆ）前記トラックサーボ回路が機能しているとき、前
記光学ヘッド部から出射されたレーザ光を、隣接するト
ラックへ瞬時に移動させるためのトラックジャンプ回路
。 （ｇ）前記フォーカスサーボ回路、前記トラックサーボ
回路、前記トラックジャンプ回路の起動、停止、及び前
記精密位置決め装置のキャリッジのステップ移動制御、
スピンドルモータの回転制御、また信号処理回路の欠陥
信号による欠陥の有無の判定、及び精密位置決め装置の
位置検出手段からくる欠陥の位置データの記録、前記位
置データのディスプレイ上への表示を行うパーソナルコ
ンピュータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8945085A JPS61246655A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | デイスク欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8945085A JPS61246655A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | デイスク欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61246655A true JPS61246655A (ja) | 1986-11-01 |
Family
ID=13971020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8945085A Pending JPS61246655A (ja) | 1985-04-25 | 1985-04-25 | デイスク欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61246655A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01182710A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体層の厚さ測定装置 |
| CN105606028A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-05-25 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 吸盘跳动检测装置及检测方法 |
| CN105698683A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-06-22 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 皮带轮跳动检测装置及检测方法 |
-
1985
- 1985-04-25 JP JP8945085A patent/JPS61246655A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01182710A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体層の厚さ測定装置 |
| CN105606028A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-05-25 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 吸盘跳动检测装置及检测方法 |
| CN105698683A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-06-22 | 嘉兴市兴嘉汽车零部件制造有限公司 | 皮带轮跳动检测装置及检测方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2004005848A (ja) | 光ディスクへの画像形成装置および画像形成方法 | |
| JP2004005847A (ja) | 光ディスク記録装置および画像形成方法 | |
| JP3858772B2 (ja) | 光ディスク記録装置 | |
| JPS6367549A (ja) | 光ディスク用レジスト原盤の欠陥検査及び膜厚測定装置 | |
| US7324417B2 (en) | Optical disc recording apparatus | |
| US4577300A (en) | Disc players for reproducing an information signal from a rotating disc | |
| JPS61246655A (ja) | デイスク欠陥検査装置 | |
| KR920002943B1 (ko) | 표면결함검사장치 | |
| JP3988859B2 (ja) | 光ディスク検査装置 | |
| US6809331B2 (en) | X-ray image reader | |
| JPS6367550A (ja) | 情報記録原盤の欠陥検査装置 | |
| JPS62162903A (ja) | 棒状切削工具の外径測定方法とその装置 | |
| TW491996B (en) | Device for reading and/or writing information from/onto an optical information carrier | |
| JPH01269036A (ja) | 光ディスクの記録膜評価装置の光学系 | |
| JPH01209344A (ja) | 光ディスク及び光ディスク基板の欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| JPS634428A (ja) | 光カ−ド記録・再生装置 | |
| US20020159346A1 (en) | Optical disc device and method for controlling track hold thereof | |
| JPH07140083A (ja) | 異物検出光学系のフォーカス制御方法 | |
| JP2576422B2 (ja) | 光ディスク情報再生装置 | |
| JPH04238120A (ja) | 焦点位置制御装置 | |
| JPH0517482B2 (ja) | ||
| JPH0575263B2 (ja) | ||
| JPS61208627A (ja) | 情報記録用デイスクの検査装置 | |
| JPS62109246A (ja) | 情報記録用デイスクの検査装置 | |
| JPS61158034A (ja) | 光学的情報記録再生方法 |