JPS61241702A - マイクロレンズ及びその製造方法 - Google Patents
マイクロレンズ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPS61241702A JPS61241702A JP60083129A JP8312985A JPS61241702A JP S61241702 A JPS61241702 A JP S61241702A JP 60083129 A JP60083129 A JP 60083129A JP 8312985 A JP8312985 A JP 8312985A JP S61241702 A JPS61241702 A JP S61241702A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- plasma
- thermoplastic resin
- film
- polymn
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、プラズマ重合ポリマーを被覆したマイクロ
レンズ及びその製造方法に関するものである。
レンズ及びその製造方法に関するものである。
第２図は、従来の熱可塑性樹脂を使用したマイクロレン
ズの製造方法を示し、図において、１はガラス基板＋２
ａは熱可塑性樹脂、２ｂはパターンニングされた熱可塑
性樹脂、２Ｃは熱フローによりマイクロレンズ形状に形
成した熱可塑性樹脂のパターンである。
ズの製造方法を示し、図において、１はガラス基板＋２
ａは熱可塑性樹脂、２ｂはパターンニングされた熱可塑
性樹脂、２Ｃは熱フローによりマイクロレンズ形状に形
成した熱可塑性樹脂のパターンである。
この従来のマイクロレンズの製造方法について説明する
と、まず、第２図（ａ）に示すように、ガラス基板１上
に感光性の熱可塑性樹脂をスピンコード法等により一様
に塗布し、写真製版技術を用いて第２図伽）に示すよう
な所望のパターンを形成する６次いで、このパターンの
形成された基板を上記樹脂のガラス転移点以上の温度で
ベータし、このベータしたパターンを熱フローをさせ、
その際樹脂の表面張力を利用して第２図（Ｃ）に示すよ
うな集光作用の高いマイクロレンズを形成する。
と、まず、第２図（ａ）に示すように、ガラス基板１上
に感光性の熱可塑性樹脂をスピンコード法等により一様
に塗布し、写真製版技術を用いて第２図伽）に示すよう
な所望のパターンを形成する６次いで、このパターンの
形成された基板を上記樹脂のガラス転移点以上の温度で
ベータし、このベータしたパターンを熱フローをさせ、
その際樹脂の表面張力を利用して第２図（Ｃ）に示すよ
うな集光作用の高いマイクロレンズを形成する。
従来のマイクロレンズは、熱可塑性樹脂の熱可塑性を利
用して形成しているので、ガラス転移点以上の熱が加わ
った時点で、再び不安定な状態になり、この状態から力
学的に安定な形に移行することとなるため、マイクロレ
ンズに形状変化が起こるという問題点があった。
用して形成しているので、ガラス転移点以上の熱が加わ
った時点で、再び不安定な状態になり、この状態から力
学的に安定な形に移行することとなるため、マイクロレ
ンズに形状変化が起こるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、熱的に安定なマイクロレンズ及びその製造方
法を提供することを目的とする。
たもので、熱的に安定なマイクロレンズ及びその製造方
法を提供することを目的とする。
（３１１題点を解決するための手段〕
この発明に係るマイクロレンズ及びその製造方法は、熱
可塑性樹脂をガラス基板に被覆してマイクロレンズを形
成した後、該マイクロレンズにプラズマ重合法によりプ
ラズマ重合ポリマー膜を被覆したものである。
可塑性樹脂をガラス基板に被覆してマイクロレンズを形
成した後、該マイクロレンズにプラズマ重合法によりプ
ラズマ重合ポリマー膜を被覆したものである。
この発明においては、プラズマ重合ポリマー膜は高度に
架橋された構造をもち、熱的に非常に安定した特性を示
すので、パターン形成の際の高熱による熱可塑性樹脂の
形状変化を防止でき、熱的に安定な又集光能力の高いマ
イクロレンズを形成゛することができる。
架橋された構造をもち、熱的に非常に安定した特性を示
すので、パターン形成の際の高熱による熱可塑性樹脂の
形状変化を防止でき、熱的に安定な又集光能力の高いマ
イクロレンズを形成゛することができる。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第１図は、本発明の一実施例によるマイクロレンズを示
し、図中、第２図と同一符号は同一部分を示す。１はガ
ラス基板、２は熱可塑性樹脂によるマイクロレンズ、３
は、上記ガラス基板１．熱可塑性樹脂によるマイクロレ
ンズ２を被覆するプラズマ重合ポリマーである。
し、図中、第２図と同一符号は同一部分を示す。１はガ
ラス基板、２は熱可塑性樹脂によるマイクロレンズ、３
は、上記ガラス基板１．熱可塑性樹脂によるマイクロレ
ンズ２を被覆するプラズマ重合ポリマーである。
次に、マイクロレンズの製造方法について説明する。
上記従来の場合と同様に、熱可塑性樹脂を用いてマイク
ロレンズ本体第２図（Ｃ）を形成したのち、この表面全
体に、第１図に示すようにプラズマ重合によるプラズマ
重合ポリマーの′ｆＩＩ１１１３を形成する。このプラ
ズマ重合による薄膜形成において、重合装置としてはペ
ルジャー型装置を使用し、そのうちの外部電極型を用い
た場合、アルゴンなどの不活性ガスを強（励起し、その
放電ガス下流に七ツマ−（例えば、スチレン、メチルメ
タアクリレート等）を導入し励起させ、該七ツマ−をラ
ジカル化、イオン化へと重合反応を進めて、プラズマ重
合ポリマーの薄膜を形成する。 。
ロレンズ本体第２図（Ｃ）を形成したのち、この表面全
体に、第１図に示すようにプラズマ重合によるプラズマ
重合ポリマーの′ｆＩＩ１１１３を形成する。このプラ
ズマ重合による薄膜形成において、重合装置としてはペ
ルジャー型装置を使用し、そのうちの外部電極型を用い
た場合、アルゴンなどの不活性ガスを強（励起し、その
放電ガス下流に七ツマ−（例えば、スチレン、メチルメ
タアクリレート等）を導入し励起させ、該七ツマ−をラ
ジカル化、イオン化へと重合反応を進めて、プラズマ重
合ポリマーの薄膜を形成する。 。
このような本実施例のマイクロレンズ及びその製造方法
によれば、上記プラズマ重合ポリマー膜はきわめて高度
に架橋した網目構造を有し耐熱性に優れた膜であるため
、これによりマイクロレンズ本体の熱可塑性樹脂の熱的
変形を防ぐことができ、集光能力の高い高信頼性のマイ
クロレンズを得ることができる。
によれば、上記プラズマ重合ポリマー膜はきわめて高度
に架橋した網目構造を有し耐熱性に優れた膜であるため
、これによりマイクロレンズ本体の熱可塑性樹脂の熱的
変形を防ぐことができ、集光能力の高い高信頼性のマイ
クロレンズを得ることができる。
なお、上記実施例では、ガラス基板１上にマイクロレン
ズを形成した場合について説明したが、固体撮像素子の
フォトダイオードアレイ上や他の基板・上にマイクロレ
ンズを形成する場合にも本発明の製造方法が通用でき、
上記と同様の効果を奏する。
ズを形成した場合について説明したが、固体撮像素子の
フォトダイオードアレイ上や他の基板・上にマイクロレ
ンズを形成する場合にも本発明の製造方法が通用でき、
上記と同様の効果を奏する。
また、上記実施例では、マイクロレンズをプラズマ重合
膜で被覆した場合を示したが、本発明はマイクロレンズ
の代りに熱可塑性樹脂を用いた微小パターンにも通用で
き、上記実施例と同様な効果が得られる。
膜で被覆した場合を示したが、本発明はマイクロレンズ
の代りに熱可塑性樹脂を用いた微小パターンにも通用で
き、上記実施例と同様な効果が得られる。
（発明の効果〕
以上のように、この発明に係るマイクロレンズ及びその
製造方法によｉば、熱可塑性樹脂からなるマイクロレン
ズにプラズマ重合ポリマー膜で被覆形成するようにした
ので、熱的に安定なマイクロレンズが形成でき、単純な
プロセスで集光能力の高い高信頼性のマイクロレンズが
得られる効果がある。
製造方法によｉば、熱可塑性樹脂からなるマイクロレン
ズにプラズマ重合ポリマー膜で被覆形成するようにした
ので、熱的に安定なマイクロレンズが形成でき、単純な
プロセスで集光能力の高い高信頼性のマイクロレンズが
得られる効果がある。
第１図は、この発明の一実施例によるマイクロレンズの
断面図、第２図は、従来のマイクロレンズの製造工程を
示す断面図である。 図において、１・・・ガラス基板ｔ２ａ・・・熱可塑性
樹脂、２ｂ・・・熱可塑性樹脂のパターン、２・・・マ
イクロレンズ本体、３・・・プラズマ重合ポリマー膜。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
断面図、第２図は、従来のマイクロレンズの製造工程を
示す断面図である。 図において、１・・・ガラス基板ｔ２ａ・・・熱可塑性
樹脂、２ｂ・・・熱可塑性樹脂のパターン、２・・・マ
イクロレンズ本体、３・・・プラズマ重合ポリマー膜。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- （１）熱可塑性樹脂を用いて形成したマイクロレンズ本
体と、該マイクロレンズ本体にプラズマ重合法により被
覆形成されたプラズマ重合ポリマー膜とを備えたことを
特徴とするマイクロレンズ。 - （２）熱可塑性樹脂を用いてマイクロレンズ本体を形成
し、このマイクロレンズ本体にプラズマ重合法によりプ
ラズマ重合ポリマー膜を被覆形成することを特徴とする
マイクロレンズの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60083129A JPS61241702A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | マイクロレンズ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60083129A JPS61241702A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | マイクロレンズ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61241702A true JPS61241702A (ja) | 1986-10-28 |
Family
ID=13793586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60083129A Pending JPS61241702A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | マイクロレンズ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61241702A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480901A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Brother Ind Ltd | Microlens and its production |
| US4948214A (en) * | 1989-07-10 | 1990-08-14 | Eastman Kodak Company | Step-index light guide and gradient index microlens device for LED imaging |
| CN105242333A (zh) * | 2015-07-21 | 2016-01-13 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 紫外光固化树脂除气制程与装置 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP60083129A patent/JPS61241702A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480901A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Brother Ind Ltd | Microlens and its production |
| US4948214A (en) * | 1989-07-10 | 1990-08-14 | Eastman Kodak Company | Step-index light guide and gradient index microlens device for LED imaging |
| CN105242333A (zh) * | 2015-07-21 | 2016-01-13 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 紫外光固化树脂除气制程与装置 |
| CN105242333B (zh) * | 2015-07-21 | 2017-06-30 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 紫外光固化树脂除气制程与装置 |
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