JP2002514315A

JP2002514315A - Ｌｃｄパネル面レンズアレイ及び製法

Info

Publication number: JP2002514315A
Application number: JP53220798A
Authority: JP
Inventors: エフボレリ，ニコラス; ビームーア，チャド
Original assignee: Corning Inc
Current assignee: Corning Inc
Priority date: 1997-01-29
Filing date: 1998-01-21
Publication date: 2002-05-14
Also published as: EP1008012B1; WO1998033222A1; TW434931B; KR20000070570A; EP1008012A1; EP1008012A4; WO1998033091A1

Abstract

(57)【要約】パネル（１０）上のマイクロフレネルレンズアレイ（１２）を含み、マイクロフレネルレンズ（１２）は線型応答を有しフレネルレンズの構造パターンをもつフォトレジストからなる投映用ＬＣＤ、及びマイクロフレネルレンズアレイ（１２）を用いてＬＣＤ（１０）を透過する光量を増加させる方法。

Description

【発明の詳細な説明】ＬＣＤパネル面レンズアレイ及び製法発明の分野本発明は、ＬＣＤパネル面の回折型素子レンズアレイ及び製造方法に関する。発明の背景明るさはＬＣＤ装置の性能の重要な特性の１つである。ＬＣＤ投映素子を用いるＴＶ装置において明るさは特に重大な問題である。光は透過の全ての段階で失われる。前記段階には、偏光光源、カラーフィルタ及び電気回路によるＬＣＤパネル面の開口制限がある。利用できるアパーチャをさらに有効に利用するために光集束が望ましいことが認識されてきた。各レンズがＬＣＤの１画素に対応するマイクロレンズアレイの採用が提案されている。上記アレイを形成するための初期の方法には、複数のガラス棒の一端に球面をつくることがあった。次いで前記ガラス棒を束にして融合溶接することにより、一つにまとめた。この手法は技術的には有効ではあったが、明らかに面倒で時間のかかる手法であった。別の方法には、ガラス内に分布屈折率を発現させることがある。イオン交換法による分布屈折率発現の達成が提案されている。提案されているまた別の手法では、光分解性材料を多孔質のガラス体に浸み込ませ、次いで前記含浸ガラス体を光分解させ得る光で露光する。より融通性の高い手法が米国特許第４，５７２，６１１号（ベルマン（Ｂｅｌｌｍａｎ）等）に開示されている。この特許には、独立した球面マイクロレンズのアレイを含む光学素子が記述されている。各マイクロレンズは、ガラス基板、特に不透明化できる感光性ガラスに集積され、前記ガラス基板上に突起した球面になっている。前記光学素子の一方の面を平坦面とするため、前記マイクロレンズアレイは平坦面とする側から研磨される。前記分布屈折率法及び感光性ガラス法はいずれも特別なガラス組成及び特別な処理工程を必要とする。また前記レンズアレイガラスとＬＣＤパネルのガラスは一般に特性が異なり、特に熱膨張係数（ＣＴＥ）が異なる。このため、前記レンズと画素との間の位置合せをパネル全面にわたって保つことができなくなる。前記位置合せ問題は初期に発生し、また以降周囲温度が変化すれば必ず生じる。従って、任意の基板上に前記レンズアレイをつくることが極めて望ましい。これができれば、所要の熱的及び物理的特性をもつ基板から前記レンズを作成する必要がなくなる。これは、回折型マイクロレンズの作成により達成できる。理論的には、回折型レンズは従来の屈折型レンズと同一の波面を形成できる。所要の構造への近似は、バイナリーオプティックスとして知られる技法により達成できる。この場合、所要の表面形状を近似するために逐次法が用いられる。このことは、エヌ・エフ・ボレッリ（Ｎ．Ｆ．Ｂｏｒｒｅｌｌｉ）等の名義で１９９３年３月８日に出願され、本出願と同じ譲受人に譲渡された、米国同時係属出願第０８／０２７，４１２号に示されている。前記出願はＬＣＤパネル用集積カバーガラスを開示し、特許請求している。前記カバーガラスは、バイナリーオプティックス手法により作成され、ガラス前面の外側に集積されたマイクロレンズアレイを有している。前記マイクロレンズアレイは、フォトリソグラフィーとガラスエッチングの組合せを含む処理工程によりガラス表面につくられた回折格子アレイである。バイナリーオプティックス法により作成された回折型マイクロレンズは、基板に依存しないという上記の基準を満足する。しかし、９０％をこえる回折効率が得られるような十分な段階的近似レベルを達成するには、多数回にわたる別々の露光工程及びガラスエッチング工程が必要である。すなわち理論効率約９５％を得るには、何回ものフォトマスク露光工程を必要とする、８水準の回折格子をつくる必要がある。より簡単な手順の提供が望しいことは明らかである。またバイナリーオプティックスにより作成される回折型マイクロレンズの性能を改善する、真のフレネルパターンを有するレンズアレイを採用することも望ましい。バイナリーオプティックス手法によるマイクロレンズアレイの設計及び作成方法にはさらに重大な欠陥がある。バイナリーオプティックス手法ではレンズに利用できるスペースを完全に利用することができない、すなわち、高実装密度として知られるものが得られない。このことは、後により詳しく説明する。従って、理論効率が１００％になり得るような高実装密度をレンズアレイがもつことのできる設計及び作成方法を有するマイクロレンズアレイを提供することが望ましい。各レンズが共通の焦点距離を保ちながらそれぞれ異なる色を与えるように設計される、トライアッド形レンズ構成も望ましい。この構成により色収差を補正できる。最後に、ＬＣＤパネルガラスと同じ特性を有する材料、望ましくはパネルガラス自体に前記レンズアレイを作成することが望ましい。また、熱誘起機械歪が全く生じないように実質的に室温で製造プロセスを進めることが望ましい。このような歪があると、最終的にＬＣＤパネルとの位置ずれが生じる。本発明の基本的目的は、ＬＣＤパネル面上に、またはパネル面にあるマイクロレンズアレイを提供することである。さらなる目的は、上述の要請にかなう方法で製造できるマイクロレンズアレイを提供することである。また別の目的は、レンズ機能をもたらす回折格子構造を利用するマイクロレンズアレイを提供することである。さらに別の目的は、回折効率の高いマイクロレンズアレイの独特な製造方法を提供することである。特定の目的は、独特のマイクロフレネルレンズアレイ及び製造方法を提供することである。発明の要約本発明の物品は、ガラスパネル及び透明なマイクロフレネルレンズアレイを含み、前記マイクロフレネルレンズは前記ガラスパネル内またはガラスパネル上にあって、フレネルレンズの構造パターンを有する、投映用ＬＣＤである。本発明の方法の態様は、前面ガラスパネルを有するＬＣＤを透過する光量を増加させる方法であって、前記方法は各レンズが線型応答を有するポジ型フォトレジストからなりフレネルレンズの構造パターンを有するマイクロフレネルレンズアレイを前記パネルの前面に結合して作成することを含む。従来技術重要と考えられる文献は別途記述する。図面の簡単な説明図１は、代表的なフレネルレンズパターンの略図である。図２は、ＬＣＤにおける光集束のためのマイクロフレネルレンズアレイをもつ光学システムを示す略図である。図３は、ＬＣＤにおける光集束のためのマイクロフレネルレンズアレイをもつ別の光学システムの略図である。図４は、本発明の実施に用いたフォトマスクを示す光学顕微鏡写真である。図５は、原子間力顕微鏡の測定記録を示す表面トレースである。図６は、光学顕微鏡によって撮影された、本発明に従うマイクロフレネルレンズアレイを示す写真である。発明の簡単な説明本発明は、投射型ＬＣＤＴＶの光透過率を向上させる効率的な方法の追求から生まれた。本発明は、ＬＣＤ画素の透明領域を通して光を集束するために、光学システムに高実装密度マイクロフレネルレンズアレイを組込む。前記レンズアレイは、ＬＣＤパネルガラスの外面すなわち前面で作用する関係にあるかあるいは前記面内に形成された、個別素子と見なすことができる。前記パネルガラスの厚さは前記レンズの焦点距離に対応する。前述したように、レンズアレイを与える既知の手段では特別なガラスを用いることが必要であった。これらの特別なガラスは前記パネルガラスとは物理特性、特に熱膨張係数が異なり、よって最終的にパネルガラスとの位置合わせを保つ上で問題が生じる。本発明は前記パネルガラス上に、あるいは直接接触させて、回折型素子レンズアレイを形成することにより上記問題を取り除く。個々の回折型レンズ素子の物理的構造を設計するには、理論上２種類の手法が利用できる。１つはマイクロフレネルレンズアレイであり、もう１つは、米国同時係属出願第０８／０２７，４１２号に記述されるようなバイナリー近似である。バイナリー光学的手法は込み入ったものではないが、前述したように、理論回折効率が構造水準に依存する。図１は微小寸法で作成したマイクロフレネルレンズアレイの代表的なフレネルレンズパターンを示す。前記マイクロフレネルレンズ構造は１００％の理論回折効率を与え、これは極めて望ましい。マイクロフレネルレンズ手法にともなう難点は、必要不可欠な表面曲率パターンを作成する手段が必要となることである。本発明は透明なフォトレジストでマイクロフレネルレンズを作成することにより、前記問題を解決する。前記フォトレジストの特徴は、浅い線型応答曲線である。この特徴を利用するために、前記フォトレジストを分布透過率マスクを通して露光する。このマスクは透過率分布関数、Ｔ(ｒ)を有する。前記マスクは、露光量の変化により、前記レジストにＴ(ｘ)に比例する露光パターンを形成する。マスクは電子ビームを用いたハーフトーン法により作成される。浅い線型応答曲線を有するフォトレジストと分布透過率マスクを通した露光との組合せにより、前記フォトレジストにマイクロフレネルレンズの所望の表面曲率を生成することができる。屈折型レンズに対する所要の位相関数式は、半径方向の距離の関数としてのレンズ厚ｈにより、楕円形式：で与えられる。ここでｒ₀はレンズの半径、Ｒ_cは曲率半径である。対応する回折素子の透過率関数は同じ位相関数を有する。ｚ方向に進む平面波に対しては、前記透過率関数は次の形式： (2) Ｔ(ｘ)＝ｅｘｐ{−２πｉφ(ｘ)} を有する。回折素子に対して、位相関数φ_d(ｒ)は前記屈折素子と同じ形式から導かれ： (3) φ_d(ｒ)＝２πｒ²／２λＲ_c の形式で表わされる。ここでＲ_cは焦点距離である。あるいは積分波、φ／２π で表わせば： (4) φ(ｒ)＝−ｒ²／２λＲ_c が得られる。ここで位相は、ｒ＝０にある、レンズの中心から測られる。前記マイクロフレネルレンズ手法は、方程式（３）を用いて、回折格子配置半径、ｒ₃を前記レンズ半径ｒ₀の外側に向かって、φ(ｒ)＝１,２,…,ｎとおくことにより決定する。呼称曲率半径は、前記カバーガラス厚をガラスの屈折率で割った値に等しい焦点距離に一致することが望ましい。１．１ｍｍ厚のガラスに対しては、前記焦点距離は大気中で０．７２である。総体的な色消し性能を与えるために、ＲＧＢレンズが反復するトライアッドを構成し、トライアッドの各レンズは３色の焦点距離が同じになるように波長に従って配置される。例えば、４６０ｎｍ，５４０ｎｍ及び６２０ｎｍの３つの波長に対しては、同じ次数の、第１リングの配置半径は０．５７ｍｍ，０．６３ｍｍ及び０．６７ｍｍである。各区間、ｒ_jからｒ。_j+1の間の所要の曲面形状は方程式（１）によって与えられる。添付図面の図２は、全体として１０で指定される光学系の略図である。光学系１０は、投映用ＬＣＤを透過する光量の増強における本マイクロフレネルレンズの作用を示している。系１０はトライアッド形のマイクロフレネルレンズ１２及び内面１６を有する前面パネルガラス１４を含む。赤色、緑色及び青色光を与えるカラーフィルタ１８が面１６に貼付けられている。レンズ１２により集束された光はフィルター１８を通過し、後面パネル２２のアパーチャ２０に焦点を結ぶ。パネル１４及び２２は封止２４により接合されて、ＬＣＤ液用の密閉容器２６を形成する。図３は、Ｒ，Ｇ及びＢで指定される赤色、緑色及び青色光のビームに分けられた光がマイクロフレネルレンズ３２を通して導かれ、パネル３４を通してパネル３８の別々のアパーチャ３６に焦点を結ぶ、別の光学系３０の略図である。光学系３０は、それぞれの色に対してフィルタ及びレンズが必要となることを回避している。光は（広がりをもつ）ビームとして透過するが、混乱を避けるために光線として示してある。本発明のマイクロフレネルレンズアレイはいずれの光学系に対しても容易に適用することができる。本発明は、フレネルレンズの表面構造を有するレンズ素子を最終的に作成するために、ただ１枚の５倍マスクを通した露光を用いることに基礎をおいている。前記５倍マスクは、１／５縮小露光になるので望ましい。発明者等は、浅い線型応答を示すポジ型フォトレジストを、分布濃度透過率マスクを通して露光することにより、所望の構造を有するレンズが得られることを見いだした。上記のようなレジストは、シプレイ（Ｓｈｉｐｌｅｙ）１４００−２３という名称で入手が可能であり、このレジストはヒドロキシ基及びジアゾナフトキノン（ＤＮＱ）をもつノボラックを実質的に含む。前記レジストは、分布露光量マスクを通して露光したときに、露光深さ方向に通常の激しくて急な変化ではなく緩やかでリニアな変化を受ける、浅い線型応答を有する。発明者等は、前記分布透過率マスクを通してポジ型フォトレジスト層を露光することにより所望のレンズ構造を得た。前記露光により、図１に示した所望のフレネルレンズパターンに一致する、露光されていないレジストとの表面境界を有する露光されたレジストのパターンが生成される。発明者等は、前記レジストに正確な分布露光量パターンを与える分布透過率関数をもつ露光マスクを利用する。前記露光されたレジストが現像され除去されたときに基板上に残る現像されないレジストに、所望の表面形状が得られる。本レジストレンズは深紫外線（ＵＶ）または熱ベーキングのような適当な後処理により硬化される。レンズは、所要の分布露光量を与えるように電子ビーム描画によりフォトマスクを作成することにより、１回の露光プロセスを介してつくられる。所望の焦点距離は方程式（３）で与えられるリングの間隔により定められる。表面プロファイルは分布透過率マスク及び制御された一様ＵＶ露光を用いることによりつくられる。前記マスクの透過率関数は標準の電子ビームプロセスにより一連の小さなクロムドットを形成するためのハーフトーンパターン発生器を利用して作成される。前記ドットの大きさは、１６水準ある露光量により制御される。前記レンズの半径の関数としての前記ドットの面積密度は、前記光学透過率関数が方程式（１）の区分化された形状と同形であるように計算される。前記レンズが最も厚くなるはずのところで強度が最も小さくなければならないポジ型レジストを用いた。例えば、発明者等は方程式（４）から得られた半径に基づいて、前記半径区間をｒ₀＜ｒ＜ｒ₁，ｒ₁＜ｒ＜ｒ₂，…，ｒ_n＜０とした。さらに発明者等は前記マスクの透過率を０から１６回のインクリメントで１まで増加させ、１回毎の増分を発明者等はΔＴと呼んだ。ｋ番目の区間全体の分散透過率は：で定義される。前記区間領域はさらにＮ個の異なる部分区間に分割される。前記Ｎ個の部分区間のそれぞれにおける方程式（５）による透過率は、中間調印刷技法と同様に、電子ビームで生成したドットの面積密度を制御することにより近似される。図４は説明したばかりの方法で作成した５倍マスクの、５００倍で撮影した、光学顕微鏡写真である。ドット密度は所望の透過率に対応している。光学濃度の差は、５画素×５画素の１エレメントの露光量を１６エレメントにわたって制御することによってつくられた。前記エレメントの大きさは露光量の関数である。ウェハ面上には１／５縮小露光されるので、分解能は露光が行われるときの前記レジスト上の照射パターンが実質的に連続となる程度である。次いで現像時に浅い線型応答曲線を示す特殊なレジストを、前記ガラス基板にほぼ１．６ミクロンの厚さで塗布した。このリニアな挙動は、前記レジストに連続な表面形状をつくることを可能にする極めて重要な特性である。最適露光量は実験により決定した。図５は、図４に示したマスクを用いて作成したマイクロフレネルレンズの形状の表面トレースを示す原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）測定に基づいている。図６は光学顕微鏡により２５０倍で撮影した写真である。この写真は本発明に従ってつくられたマイクロフレネルレンズアレイを示している。この写真は、本発明の非常に重要な態様である、９０％をこえる高実装密度により達成される高い総合効率を説明している。構成要素のレンズ素子が４隅に向かって続いていることがわかるであろう。このことが、利用できるスペースを完全に利用することを可能とし、“高実装密度”という言葉で描かれる本発明のレンズアレイ特有の特徴である。前記レンズアレイの総合回折効率は、ＬＣＤパネルを通過する光量の増加を測定することにより、すなわち実際に装置に組込んで、決定した。レンズアレイは図２に示されるＬＣＤパネルに位置合せして載せた。前記パネルは、単体での開口率が４０％の完全に組み立てられた３色ドットパネルである。前記レンズアレイをもたないパネルの約１００画素を含む領域を透過する光量を、ニコン社のオプチホト（Ｏｐｔｉｐｈｏｔ）（商標）顕微鏡に光度計を取り付けて測定した。この光度計は前記ＲＧＢレンズを包含する波長範囲に感度を有している。次いで前記レンズアレイを、アレイのレンズ面を前記アパーチャを有するカバーガラスの外向に向けて、位置を合わせて固定した。レンズアレイを正しい位置において前記光度計による光学測定を繰り返した。レンズアレイ付での測定値をその前の測定によるレンズアレイ無しでの測定値で割った比が前記開口比の増大量を与える。レジストレンズアレイは前記ＬＣＤを透過する光量を８０％増加させた。上述のようにしてフォトレジストから形成されたマイクロフレネルレンズアレイはどうしても軟質である。くずれたり流れたりはしないが、軟質なレジストは取扱い時あるいは使用中に損傷を受けやすい。従って、フォトレジストを硬化し強化してより耐久性を高めるための手段を提供することが熱心に考えられている。同時に前記レンズ構造は実質的に元のままでいなければならない。上記所望の目的を達成するための様々な手段が案出されている。１つの方法は、表面に塗布する前にレジストに無機物のコロイド性粒子を加えることを含んでいる。レジストに混入する材料の量は、薄いレジスト層を塗布できる範囲である。上記技法の変形には、前記添加物としてコロイド性シリカの使用がある。前記コロイド性シリカ混合レジストの薄い層を塗布し、上述した方法でマイクロフレネルレンズ構造を現像する。次いで前記レンズパターンを大気中で加熱してレジストを除去し、よってコロイド性シリカからなるレンズ構造を残す。このコロイド性シリカレンズ構造は熱的に凝結させることができ、例えばＣＶＤにより施される無機物被覆でさらに強固にすることができる。深紫外線硬化及び／または熱ベーキングを含む別の手段もある。前記深紫外線硬化は、初めレジスト表面に重合層をつくり、この重合層は硬化が続けばレジスト内部に伸び広がる。前記重合層は、特に引き続いてベーキングされる場合に、レジストを保護する。前記レジスト表面はまた、熱オーブン内でのあるいはホットプレート上での処理によっても硬化される。熱ベーキングにより、ノボラックのヒドロキシ基が多官能基価ＤＮＱと架橋して、熱的安定性を高める。いずれかの処理だけでもある種の目的のためには十分な機械的強度が得られる。しかし発明者等は前記２種類の処理を複合する方がよいと考える。深紫外線硬化は、用いるレジストに応じて１５分までの時間の、２００〜３２０ｎｍの波長範囲の紫外光による照射を用いることが望ましい。露光時間が長すぎるとしわができる傾向をもつレジストもある。最適強ベーキング条件は、選ばれるレジスト毎に決定されなければならない。ガラス基板上の前記シプレイ１４００−２３レジストでは、発明者等は１５０〜２５０度の温度で３０分のベーキングで十分であることを見いだした。発明者等はまた、前記レジストレンズアレイ上に、例えば８０ｎｍ厚の、ＳｉＯ₂層を被着した。このＳｉＯ₂層被着により表面は強化されたが、光学性能への悪影響は全くなかった。ある種の目的には、フォトレジストのレンズパターンを用いることができない。むしろ、全てをガラスで組み立てることが必要である。発明者等は、前記レジストパターンの付いたガラス基板をレジストが完全に除去されるまで一様にエッチングすることにより、フォトレジストパターンをパネルに転写できることを見いだした。前記一様エッチングの間に、パターンがガラス面に転写される。ガラス面へのパターン転写によりレジスト固有の吸収がなくなり、よって最終光出力の増加量が約９０％になる。多成分ガラスは一様にエッチングされない傾向がある。この傾向は、レジスト塗布及び前記レジストからのマイクロレンズアレイの現像の前に、前記ガラス面にシリカを被着することにより避けることができる。前記手法により、一様にエッチングされる傾向を有する前記シリカ層に、マイクロフレネルレンズアレイをエッチングできる。

Claims

【特許請求の範囲】１．ガラスパネル及び透明マイクロフレネルレンズアレイを含み、前記マイクロフレネルレンズアレイが前記ガラスパネル内にまたはガラスパネル上にあり、フレネルレンズの構造パターンを有することを特徴とする投映用ＬＣＤ。２．前記マイクロフレネルレンズが前記ガラスパネル面上にあり、分布濃度マスクを通して露光されたときに浅い線型曲線応答を有するポジ型フォトレジストからなることを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。３．前記フォトレジストマイクロフレネルレンズアレイが硬化されていることを特徴とする請求の範囲第２項記載の投映用ＬＣＤ。４．前記マイクロフレネルレンズアレイが前記ガラスパネル面上にあり、凝結した透明コロイド性無機酸化物からなることを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。５．前記マイクロフレネルレンズアレイが前記ガラスパネル内にあり、前記パネルガラスからなることを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。６．前記アレイの各マイクロフレネルレンズが前記ＬＣＤの画素と位置合せされ約９０％より大きい実装密度を有することを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。７．前記マイクロフレネルレンズの焦点距離が前記ガラスパネルの厚さに等しいことを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。８．前記マイクロフレネルレンズがトライアッド形に配置され、色収差を補正するために色波長に対応するようにして前記ＬＣＤ画素に関して方向が合わされていることを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。９．シリカ層が前記ガラスパネルに被覆され、前記マイクロフレネルレンズが前記シリカ層内にあることを特徴とする請求の範囲第１項記載の投映用ＬＣＤ。 10．ガラスＬＣＤパネルであって、フレネルレンズの構造パターンを有する透明マイクロフレネルレンズアレイが前記パネル面上にまたはパネル面内にあることを特徴とするガラスＬＣＤパネル。 11．前記アレイが前記パネル面上にあり、分布濃度マスクを通して露光されたときに浅い線型曲線応答を有するポジ型フォトレジストからなることを特徴とする請求の範囲第１０項記載のガラスＬＣＤパネル。 12．前記フォトレジストマイクロフレネルレンズアレイが硬化されていることを特徴とする請求の範囲第１１項記載のガラスＬＣＤパネル。 13．前記マイクロフレネルレンズアレイが前記パネル面上にあり、透明な無機酸化物からなることを特徴とする請求の範囲第１０項記載のガラスＬＣＤパネル。 14．前記酸化物がシリカであることを特徴とする請求の範囲第１３項記載のガラスＬＣＤパネル。 15．前記マイクロフレネルレンズアレイが前記パネル内にあり、前記パネルガラスからなることを特徴とする請求の範囲第１０項記載のガラスＬＣＤパネル。 16．前面ガラスパネルを有するＬＣＤを透過する光量を増加させる方法で、前記パネルの前面上にフレネルレンズの構造パターンをもつポジ型フォトレジストからなるマイクロフレネルレンズアレイを作成する工程を含むことを特徴とする方法。 17．前記ＬＣＤパネルの前面全休にポジ型フォトレジスト層を塗布する工程、及び分布透過率マスクを通して前記レジストを露光して前記フォトレジスト層にフレネルレンズの構造パターンを有する露光部分を形成する工程によりマイクロフレネルレンズアレイを作成する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１６項記載の方法。 18．前記フォトレジストの前記露光部分を現像し除去して、前記ＬＣＤパネル上のマイクロフレネルレンズ構造を残す工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１７項記載の方法。 19．前記分布透過率マスクを電子ビーム描画により作成して、フレネルレンズの曲率に対応する分布透過率関数を前記マスクに付与する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１７項記載の方法。 20．標準の電子ビームプロセスにより一連の小さいクロムドットを形成するハーフトーンパターン発生器により前記透過率関数を生成する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１９項記載の方法。 21．前記クロムドットの面積密度を前記レンズ半径の関数として変化させる工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２０項記載の方法。 22．“ｈ”を前記レンズの厚さ、“ｒ₀”を前記レンズの半径、Ｒ_cを曲率半径として、方程式の区分化された形状に従って前記クロムドットの大きさを変化させる工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２１項記載の方法。 23．前記マイクロフレネルレンズを硬化する工程をさらに含むことを特徴とする請求の範囲第１８項記載の方法。 24．前記マイクロフレネルレンズに深紫外線硬化を受けさせることにより前記マイクロフレネルレンズを硬化する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２３項記載の方法。 25．前記マイクロフレネルレンズに熱処理を施す工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２３項記載の方法。 26．耐久性を向上させるために前記マイクロフレネルレンズ全体に薄い無機物膜を被覆する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２３項記載の方法。 27．前記フォトレジストを前記ＬＣＤパネル面に塗布する前に、前記フォトレジストを無機物の透明粒子と混合する工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１６項記載の方法。 28．前記粒子がコロイド性シリカであることを特徴とする請求の範囲第２７項記載の方法。 29．前記フォトレジストを除去して無機物マイクロフレネルレンズを残す工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２７項記載の方法。 30．前記粒子を熱処理により凝結させる工程を含むことを特徴とする請求の範囲第２９項記載の方法。 31．前記粒子内に及び前記粒子上に無機酸化物を被着する工程をさらに含むことを特徴とする請求の範囲第２９項記載の方法。 32．前記フォトレジスト及びパネルをエッチングして前記フォトレジストパターンを前記ガラス面に転写する工程をさらに組み合せることを特徴とする請求の範囲第１７項記載の方法。 33．前記フォトレジスト層の塗布及び現像の前に前記ガラスパネル上を透明無機酸化物層で被覆し、次いで前記フォトレジストパターンを前記無機酸化物層にエッチングする工程を含むことを特徴とする請求の範囲第１８項記載の方法。 34．前記マイクロフレネルレンズをトライアッド形に作成する工程を含み、前記トライアッドのそれぞれのレンズ素子が色収差を補正するために赤色、緑色及び青色の原色の波長に対応して形作られることを特徴とする請求の範囲第１６項記載の方法。