JPS6123891A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS6123891A JPS6123891A JP14236484A JP14236484A JPS6123891A JP S6123891 A JPS6123891 A JP S6123891A JP 14236484 A JP14236484 A JP 14236484A JP 14236484 A JP14236484 A JP 14236484A JP S6123891 A JPS6123891 A JP S6123891A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- blades
- casing
- molecular pump
- rotary body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/08—Sealings
- F04D29/083—Sealings especially adapted for elastic fluid pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/26—Rotors specially for elastic fluids
- F04D29/32—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps
- F04D29/321—Rotors specially for elastic fluids for axial flow pumps for axial flow compressors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、ターボ分子ポンプに係り、特に、ロータと動
翼を一段毎に一体に成形してなる回転体を備えた被真空
設備を真空に保持するのに好適なターボ分子ポンプに関
するものである。
翼を一段毎に一体に成形してなる回転体を備えた被真空
設備を真空に保持するのに好適なターボ分子ポンプに関
するものである。
ターボ分子ポンプのロータの回転数を大きくシ。
動翼外径を大きくすることは、性能向上のための要因で
あり、必然的に強度信頼性に優れ、かつバランスのとれ
たロータが要求される。
あり、必然的に強度信頼性に優れ、かつバランスのとれ
たロータが要求される。
これに対処するため、例えば特開昭５６−５９３号に示
されるように動翼を含めたロータ全体を１つの素材から
削り出す方法があるが、本方法の場合加工、特に翼の加
工に多大の手間がかかり、かつ大径のロータの場合には
、素材の不均一による強度信頼性の低下が大であるとい
う欠点がある。一方、前述の欠点を考慮して翼を一段毎
に加工し、ボルト結合にて算数段を接合した場合には、
低真空である回転胴内側から高真空である回転胴外側に
、回転胴接合面より気体がリークし、高真空が得られな
いという欠点があった。
されるように動翼を含めたロータ全体を１つの素材から
削り出す方法があるが、本方法の場合加工、特に翼の加
工に多大の手間がかかり、かつ大径のロータの場合には
、素材の不均一による強度信頼性の低下が大であるとい
う欠点がある。一方、前述の欠点を考慮して翼を一段毎
に加工し、ボルト結合にて算数段を接合した場合には、
低真空である回転胴内側から高真空である回転胴外側に
、回転胴接合面より気体がリークし、高真空が得られな
いという欠点があった。
本発明は上記に鑑みてなされたもので、その目的とする
ところは、ロータの強度信頼性が高く、かつ低真空側か
ら高真空側へのリークがないターボ分子ポンプを提供す
ることにある。
ところは、ロータの強度信頼性が高く、かつ低真空側か
ら高真空側へのリークがないターボ分子ポンプを提供す
ることにある。
本発明は、動翼付根部に遠心力により発生する応力を緩
和し、かつ、ロータ強度信頼性を向上するために、動翼
と回転胴を一段毎に一体に成形したロータを軸方向に多
数段ボルト結合にて接合する回転体構造において、ロー
タの上面或は下面に周状に突起を設けることにより、回
転胴内側から回転胴外側に気体がリークすることを防止
する構造としたことを特徴とするものである。
和し、かつ、ロータ強度信頼性を向上するために、動翼
と回転胴を一段毎に一体に成形したロータを軸方向に多
数段ボルト結合にて接合する回転体構造において、ロー
タの上面或は下面に周状に突起を設けることにより、回
転胴内側から回転胴外側に気体がリークすることを防止
する構造としたことを特徴とするものである。
以下、本発明を第１図、第２図により説明する。
第１図はターボ分子ポンプの断面図、第２図は、ロータ
の部分断面図である。第１図においては、上記吸気口１
、下部に排気口２を有する気密を保持する立形筒形のケ
ーシング３内に、下部に開放端４を有し、上部に円板状
の端板５を配した円筒状の胴６より構成された回転胴７
が配置してあり、回転胴７の外周には、放射状に複数の
羽根８を配してなる翼９が複数段取り付けてあってロー
タ１０を構成している。このロータ１０は、下端をケー
シング３の底面に固定してあり、上端部の端板５の下部
に固定したピボット軸１１を回転自在に保持する軸受１
２とピボット軸１１を回転駆動する回転駆動手段１３と
を有する支持体１４で支持しである。
の部分断面図である。第１図においては、上記吸気口１
、下部に排気口２を有する気密を保持する立形筒形のケ
ーシング３内に、下部に開放端４を有し、上部に円板状
の端板５を配した円筒状の胴６より構成された回転胴７
が配置してあり、回転胴７の外周には、放射状に複数の
羽根８を配してなる翼９が複数段取り付けてあってロー
タ１０を構成している。このロータ１０は、下端をケー
シング３の底面に固定してあり、上端部の端板５の下部
に固定したピボット軸１１を回転自在に保持する軸受１
２とピボット軸１１を回転駆動する回転駆動手段１３と
を有する支持体１４で支持しである。
ロータ１０の胴６には、先端が鋭角になっている突起２
１および突起２２が胴６の上面の外周側及び内周側にそ
れぞれ設けである。この胴６を締付ボルト２３にて複数
段接合した場合に、前記突起２１及び突起２２は、胴６
の対向面に強く押しつけられ、胴６の対向面に突起２１
及び突起２２かくい込む構造となっている。
１および突起２２が胴６の上面の外周側及び内周側にそ
れぞれ設けである。この胴６を締付ボルト２３にて複数
段接合した場合に、前記突起２１及び突起２２は、胴６
の対向面に強く押しつけられ、胴６の対向面に突起２１
及び突起２２かくい込む構造となっている。
上記構造によれば、前述したように、突起２１及び突起
２２がＪＩ１６の対向面にくい込むため、気
体のシールが可能となり、胴６をボルト結合にて複数
段接合した場合においても回転胴７め内側から外側への
気体のり−りは防止され、高真空を得るのに良好なター
ボ分子ポンプを得ることができる。
２２がＪＩ１６の対向面にくい込むため、気
体のシールが可能となり、胴６をボルト結合にて複数
段接合した場合においても回転胴７め内側から外側への
気体のり−りは防止され、高真空を得るのに良好なター
ボ分子ポンプを得ることができる。
第３図は、本発明の他の実施例を示したものであり、突
起２１を周状数ケ所切断し、突起２１と突起２２の間に
気体をためない構造としたものである。この場合におい
ても突起２２により十分なシールが可能である。
起２１を周状数ケ所切断し、突起２１と突起２２の間に
気体をためない構造としたものである。この場合におい
ても突起２２により十分なシールが可能である。
以上説明したように、本発明によれば、強度信頼性が高
くかつ製作性も容易で性能良好なターボ分子ポンプが得
られるという効果がある。
くかつ製作性も容易で性能良好なターボ分子ポンプが得
られるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例のターボ分子ポンプの断面図
、第２図は第１図のターボ分子ポンプのターボの部分断
面図、第３図は本発明の他の実施例を示す第２図に相当
する部分の平面図である。 ３・・・ケーシング、５・・・端板、６・・・胴、７・
・・回転胴。 ８・・・羽根、９・・・翼、１０・・・ロータ、１１・
・・ピボット軸、１２・・・軸受、１３・・・回転駆動
手段、１４・・・躬１図 第２０
、第２図は第１図のターボ分子ポンプのターボの部分断
面図、第３図は本発明の他の実施例を示す第２図に相当
する部分の平面図である。 ３・・・ケーシング、５・・・端板、６・・・胴、７・
・・回転胴。 ８・・・羽根、９・・・翼、１０・・・ロータ、１１・
・・ピボット軸、１２・・・軸受、１３・・・回転駆動
手段、１４・・・躬１図 第２０
Claims (1)
- １、気密を保持する円筒形のケーシングと、前記ケーシ
ング内にその軸方向に沿つて多段に設けられた静翼と、
前記静翼間に位置し、かつケーシングの中心に位置する
回転胴外周に放射状に複数の羽根を配してなる翼を軸方
向に多段取付けた動翼と前記回転胴からなる回転体を駆
動する駆動機構と、前記ケーシングを結合し、かつ前記
回転体および駆動機構を支持する支持部材と、前記ケー
シングの上端に吸込口をかつ下端に吐出口を備えたター
ボ分子ポンプにおいて、前記回転胴と動翼を一段毎に一
体で形成し、かつ、回転胴の上面、或いは下面に周状に
突起を設け、ボルト結合にて軸方向に多段に接合してな
ることを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14236484A JPS6123891A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14236484A JPS6123891A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123891A true JPS6123891A (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=15313663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14236484A Pending JPS6123891A (ja) | 1984-07-11 | 1984-07-11 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123891A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424200A (en) * | 1987-07-04 | 1989-01-26 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Pump |
-
1984
- 1984-07-11 JP JP14236484A patent/JPS6123891A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424200A (en) * | 1987-07-04 | 1989-01-26 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Pump |
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