JPS62282195A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 〔産業上の利用分野〕 この箔切は、超高真空を必要とする機器に用いられるタ
ーボ分子ポンプに関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来のターボ分子ポンプを示す断面図である。

図において、１はケーシングで、内部に多段の固定翼２
をスペーサ３により固定しており、吸気口１ａがあけら
れている。４は多段の回転翼５が設けられ、固定翼２と
交互に組合わされた翼車、６ｉｄケーシング１に取付け
られた下ケーシング、７はこの下ケーシング内に組込ま
れた電動機で、例えば高周波電動機からなり、固定子８
と回転軸１０に固着された回転子９とから構成きれてい
る。

この回転軸１０は上刃に翼車４をナラ）　１１又はボル
ト（図示していない）により締付は固定しており、軸受
１２，１３により支持されている。１４は軸受１３を支
持する軸受支えで、端カバー１５により下ケーシング６
に固定されている。１６は回転軸１゜にはめられた間隔
環で、翼車４の軸力向の間隔を維持するとともに、＠受
支え１４の環状突部１４ａとラビリンス効果をもつよう
にしている。１７は排気口、１８は下ケーシング６に取
付けられ、電動機ツの口出線と外部の給電線とを接続す
る給電；ネクタである。

上記従来のターボ分子ポンプの動作は、次のようになる
。上記ケーシング１の吸気口１ａと接続されるチャンバ
（図示は略す）と、ケーシング１゜下ケーシング６、さ
らに、あら引き用ロータリポンプ（図示は略す）とつな
がる排気口１７で真空系を形成する。

まず、真空系全体をあら引き用ポンプで、低真空雰囲気
に維持する。次に電動機７を始動し翼車４を回転すると
、回転翼５と固定翼２との相互作用により、チャンバ内
及びターボ分子ポンプ内の気体分子を排気口１７から連
続排気し、双方内に超高真空雰囲気を実現するようにし
ている。

〔角切が解決しようとする問題点〕

上記のような従来のターボ分子ポンプでは、電動機７内
は軸受支え１３のラビリンス部より排気口１７と通じて
いるので、あら引き用ポンプで真空引きした際はその雰
囲気になる。この真空になるためには、軸受１１，１２
の潤滑油は真空中で蒸発しにくい種類のものが必要とな
る。また、あら引き時、又はターボ減速時など一定の圧
力範囲において、吸気口側と電動機７内部との圧力差に
より、吸気側への油気の逆拡散音生じるなどの問題点が
あった０ この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、あら引き時又はターボ分子ポンプ減速時など
の一定圧力範囲においても、潤滑油の吸気側への逆拡散
を防止し、ターボ分子ポンプ内の油汚染を防き゛、真空
系として清浄な真空が維持されるターボ分子ポンプを得
ることを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明にかかるターボ分子ポンプは、翼車と電動機部
との間に通気をしゃ断する磁気流体シールを軸受と一体
にし装着したものである。

〔作用〕

この発明においては、軸受と一体になった磁性流体シー
ルの介在により、電動機部側と大気圧とケーシング内と
の分離封止が軸方向寸法を増すことなく行え、ケーシン
グ内が超真空にされ、吸気側への油の逆拡散がなくされ
る。

〔実施例〕

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの一実施例の
断面図であり、１〜１２．１’７．１Ｂ、　ｌａは上記
従来例と同一のものである。２０は軸受で、磁性流体シ
ール２１が一体に装着されている。２５は軸受２０ｔ−
支持する軸受支えで、端カバー２６により下ケーシング
６に固定されている。２７は回転軸１０にはめられて軸
受２０に当てられ、翼１ｓ４の間隔を保つ間隔環である
。

軸受２０に一体に装着された磁性流体シール２１部を第
２図に示す。磁性流体シール２１は、軸受外輪２Ｏａ内
に固着された永久磁石２２と１対の円板状磁極鉄心２３
、及びこの磁極鉄心の極面部と間隔環２７とにまたがり
吸着され、気密に封止する磁性流体２４とからなる。

上記一実施例の分子ポンプの動作は、次のようになる。

上記従来の分子ボンダと同様に構成された真空系と、下
ケーシング６内の電動機γ側とを、磁性流体シール２１
で分離封止しており、電動機７１ＪＪｊｌから油気など
が真空系に漏れることのないようにしている。

まず、真空系全体をあら引き用ポンプ（図示は略す）で
低真空雰囲気に維持し、次に電動機７を始動し翼車４を
回転する。これによｐチャンバ（図示は略す）内及びタ
ーボ分子ポンプ内の気体分子全排気口１７から連続排気
し、双方内に超高真空雰囲気を実現する。その過程で、
磁性流体シール２１により軸受１２．２０の潤滑油の油
分を封鎖し隔離しているので、油の逆拡散による真空雰
囲気の汚染などがなく、清浄な真空が得られる。

〔発明の効果〕

以上のように、この角切によれば、大気圧の電動機側合
ケーシングに対し軸受に一体に装着した磁性流体シール
で軸封し封鎖したので、軸方向長さを増すことなく、磁
性流体シールが設けられる。

また、電動機部側の部品材料が特別のものを要せず安価
になり、さらに、吸気側への油の逆拡散が防止され清浄
な真空が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの一実施例を
示す断面図、第２図は第１図の磁性流体シール部の拡大
断面図、第３図は従来のターボ分子ポンプを示す断面図
である。 １・・・ケーシング、２・・・固定翼、４・・・翼車、
５・・・回転翼、７・・・電動機、１０・・・回転軸、
２０・・・軸受、２０ａ・・・外輪、２１・・・磁性流
体シール、２２・・・永久磁石、２３・・・円板状磁極
、２４・・・磁性流体なお、図中同一符号は同−又は相
当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケーシング内に軸方向に多段に設けられた固定翼
   と、上記ケーシング内の軸心線上に位置しケーシング外
   の電動機により回転される翼車と、この翼車に設けられ
   た多段の回転翼とを備えた分子ポンプにおいて、上記電
   動機の負荷側軸受の外輪内に一体に装着され、回転部と
   の間に磁性流体を介在させ、電動機回転軸の軸端部にお
   いて気密に封止する磁性流体シールを備えたことを特徴
   とするターボ分子ポンプ。
2. （２）磁性流体シールは、軸受外輪内に固定された、永
   久磁石及びこの永久磁石の両側に当てられた１対の円板
   状磁極と、これらの磁極内円周とこれに対応する回転軸
   側との間に介在する磁性流体とからなる特許請求の範囲
   第１項記載のターボ分子ポンプ。