JPS62233494A - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、超高真空を必要とする機器に用いられるタ
ーボ分子ポンプに関する。

〔従来の技術〕

第２図は従来のターボ分子ポンプを示す断面図である。

図において、１はケーシングで、内部に多段の固定翼２
をスペーサ３により固定しており、吸気口１ａがあけら
れている。４は多段の、回転翼５が設けられ、固定翼２
と交互に組合わされた翼車、６はケーシング１に取付け
られた下ケーシング、７はこの下ケーシング内に組込ま
れた電動機で、例えば高周波電動機からなり、固定子８
と回転軸１０に固着された回転子９とから構成されてい
る。この回転軸１０は上方に翼車４をナツト１１又はボ
ルト（図示していない）により締付は固定しており、軸
受１２，１３により支持されている。１４は軸受　１３
　　を支持する軸受支えで、端カバー１５により下ケー
シング６に固定されている。１６は回転軸１０にはめら
れた間隔環で、翼車４の軸方向の間隔を維持するととも
に、軸受支え１４の環状突部１４ａとラビリンス効果を
もつようにしている。１７は排気口、１８は下ケーシン
グ６に取付けられ、′電動機７０日出線と外部の給電線
とを接続する給電コネフタである。

上記従来のターボ分子ポンプの動作は、次のようになる
。上記ケーシング１の吸気口１ａと接続されるチャンバ
（図示は略す）と、ケーシング１゜下ケーシング６、さ
らに、あら引き目１０−タリボンス（図示は略す）とつ
ながる排気口１７で真空系を形成する。

まず−２真空系全体をあら引き用ポンプで、低真空雰囲
気に維持する。次に電動機７を始動しｙＡ翼車を回転す
ると、回転翼５と固定Ｒ２との相互作用により、チャン
バ内及びターボ分子ポンプ内の気体分子を排気口１７か
ら連続排気し、双方内に超高′ｉｃ空雰空気囲気現する
ようにしている０ 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記のような従来のターボ分子ポンプでは、電動機７内
は軸受支え１３のラビリンス部より排気口１７と涌じて
いるので、あら引き用ポンプで真空引きしだ際はその雰
囲気になる。この真空になるためには、軸受１１　、１
２の潤滑油は真空中で蒸発しにくい種類のものが必要と
なる。さらに、給電コネクタ１８．下ケーシング６、電
動機７の構成部品などの材質は、真空中において発生ガ
スの少ない特殊な材料を選定しなければならず、高価に
なっていた。また、あら引き時、又はターボ城速時など
一定の圧力範囲において、吸気口側と電動機７内部との
圧力差により、吸気側への油気の逆拡散を生じるなどの
問題点があった。

この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、′ｖＬ動機部側の部品の材質は一般の材料で
よく、安価になり、また、あら引き時又はターボ分子ポ
ンプ減速時などの一定圧力範囲においても、潤滑油の吸
気側への逆拡散を防止し、ターボ分子ポンプ内の油汚染
を防ぎ、真空系として清浄な真空が維持されるターボ分
子ポンプを得ることを目的としている。

〔問題点を解決するだめの手段〕

この発明にかかるターボ分子ポンプは、翼車と電動機部
との間に通気をしゃ断するシール装置を装着したもので
ある。

〔作用〕

この発明においては、シール装置の介在により、１１！
動機部側の大気圧とケーシング内の真空との差圧が１侍
され、ケーシング内が超真空にされ、電動機部が大気圧
に保たれ吸気側への油の逆拡散がなくされ、電動機部の
材質も一般の材料が使用される。

〔実施例〕

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの一実施例の
断面図であり、１〜５．７〜１３　、　ｌａは上記従来
例と同一のものである。２０はケーシング１に敗けけら
れた下カバー、２１は軸受支え２２を介し下カバー２０
に取付けられた固定子フレームで、固定子８を保持して
おり、引出穴２１ａから口出線２３が出されている。回
転軸１ｏは軸受１２及び１３を介し固定子フレーム２１
及び軸受支え２２　に支持されている。２４け回転軸ｌ
Ｏにはめられ、翼車４と１１１ｈ受１３　　との間隔を
維持する間隔１１．２５は軸受支え２３内に装着され、
１ＩＡＩ＋受１３側を気密に封止するシール装置で、例
えば（占１生流体シールからなる。２６け排気口である
。

上記一実施例の分子ポンプの動作は、次のようになろう 上記従来の分子ポンプと同様に構成された真空系と、固
定子フレーム２１内の電動機７部の大気雰囲気側とを、
シール装置２５で分離封止しており、電動機７側から空
気や油気が真空系に漏れることのないようにしている。

このように、電＃ｔｈ機７部が大気中であるので、部品
材料Ｖｉ真空中での発生ガスの少ない特殊材料を選定す
る要はなく、真空雰囲気中にある部品が従来より少なく
でき、発生ガスも低減され、より高真空が得られる。

まず、真空系全体をあら引き用ポンプ（図示は略す）で
低真空雰囲気に維持し、次に電動機７を始動し翼車４を
回転する。これによりチャンバ（図示は略す）内及びタ
ーボ分子ポンプ内の気体分子を排気口２６から連続排気
し、双方内に超高真空雰囲気を実現する。その過程で、
シール装置２５により軸受１２　、１３の潤滑油の油分
を封鎖し隔離しているので、油の逆拡散による真空雰囲
気の汚染などがなく、清浄な真空が得られる。

なお、上記天施例では電動機７部側を軸封するシール装
置として磁性流体シールを用いたが、接触、非接触を問
わず、ｉ！動機部の大気圧側とケーシング１内の真空側
との圧力差を維持できれば、他の種のシール装置を用い
ることができる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、大気圧の電動機側を
ケーシングに対しシール装置で軸封し封鎖したので、電
動機部側の部品材料が特別のものを要せず安価になり、
また、吸気側への油の逆拡散が防止され清浄な真空が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるターボ分子ポンプの一天／Ａ例
を示す断面図、第２図は従来のターボ分子ポンプを示す
断面図である。 ｌ・・・ケーシング、２・・・固定翼、４・・・翼車、
５・・・回転翼、７・・・電ｒＪｄＪ機、１０・・・回
転軸、２５・・・シール装置 なお、図中同一符号は同−又は和尚部分を示す。 第１図 ／ｊ ／Ｚ　／θ ５回私冥

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ケーシング内に軸方向に多段に設けられた固定翼
   と、上記ケーシング内の軸心線上に位置しケーシング外
   の電動機により回転される翼車と、この翼車に設けられ
   た多段の回転翼とを備えた分子ポンプにおいて、上記電
   動機内の大気圧側と上記ケーシング内の真空側とを、電
   動機回転軸の軸端部において気密に封止するシール装置
   を備えたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
2. （２）シール装置は磁性流体シールからなる特許請求の
   範囲第１項記載のターボ分子ポンプ。