JPS61235091A - トリミング装置 - Google Patents
トリミング装置Info
- Publication number
- JPS61235091A JPS61235091A JP60076377A JP7637785A JPS61235091A JP S61235091 A JPS61235091 A JP S61235091A JP 60076377 A JP60076377 A JP 60076377A JP 7637785 A JP7637785 A JP 7637785A JP S61235091 A JPS61235091 A JP S61235091A
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- Japan
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- laser beam
- reference light
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- deflecting device
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザ光の偏向２位置決め制御疋係るレーザト
リミング装置に関するものである。
リミング装置に関するものである。
ガルバノミラ−形スキャナを組込んだ光偏向器の欠点は
温度依存特性が大きいことである。
温度依存特性が大きいことである。
七の原因はスキャナ構造上の理由によるものであり、稼
動時間の経過とともにスキャナ駆動電流の発熱作用でス
キャナ内部温度が上昇する。
動時間の経過とともにスキャナ駆動電流の発熱作用でス
キャナ内部温度が上昇する。
この結果、ミラーの振れ角が除々にドリフトし変化する
。
。
従来はこの温度依存特性を押える方法として、スキャナ
を前もって通常稼動時温度以上に恒温して使った。
を前もって通常稼動時温度以上に恒温して使った。
しかしこの方法は温度依存特性の悪影響を低減するもの
であり、補正をするものではなかった。
であり、補正をするものではなかった。
なお、従来例例えば特開昭５７−２０６００５号が知ら
れ【いる。
れ【いる。
本発明の目的は、上記従来技術に鑑みて、偏向器の温度
依存特性によって生じたレーザ光の絶対および相対位置
精度の狂いを自動的に検出して自動的に補正し、高精度
にレーザトリミングできるようにしたトリミング装置を
提供するにある。
依存特性によって生じたレーザ光の絶対および相対位置
精度の狂いを自動的に検出して自動的に補正し、高精度
にレーザトリミングできるようにしたトリミング装置を
提供するにある。
即ち本発明は、上記目的を達成するために。
レーザ光光路に参照光を挿入し、光軸を合わせてレーザ
光照射位置と参照光照射位置を一致させ、一方、偏向器
と同一ベースに固定したＴＶカメラで参照光照射位置を
検出し、検出した位置データとあらかじめプログラムさ
れてあ６位置データを比較し、一致しないときを検知し
。
光照射位置と参照光照射位置を一致させ、一方、偏向器
と同一ベースに固定したＴＶカメラで参照光照射位置を
検出し、検出した位置データとあらかじめプログラムさ
れてあ６位置データを比較し、一致しないときを検知し
。
更に位置データの誤差量を偏向器に負帰環して。
参照光照射位置をプログラムの位置まで移動し。
位置補正を行い偏向器の温度依存特性によって生じたレ
ーザ光の絶対および相対位置精度の狂いを自動的に補正
できるようにしたことを特徴とするものである。
ーザ光の絶対および相対位置精度の狂いを自動的に補正
できるようにしたことを特徴とするものである。
以下１本発明の一実施例を第１図〜第７図により説明す
る。レーザ発振器１からのレーザ光２と参照光光源３か
らの参照光４は光学系５ａでとも釦重ね。光軸な一致さ
せて光学系５ｂにより偏向器６に導く。偏向器６はレー
ザ光２と参照光４をともにガルバノミラ−形スキャナ（
以下スキャナと略す。）？ａと７ｂで二次元に走査゛制
御する。次にレーザ光２と参照光４はレンズ系８により
モジュールＩ ’Ｃ９に形成されてある抵抗体１０を含
む平面内に焦点を結ぶ。１１は焦点を結んだレーザ光２
と参照光４の照射点を示す。
る。レーザ発振器１からのレーザ光２と参照光光源３か
らの参照光４は光学系５ａでとも釦重ね。光軸な一致さ
せて光学系５ｂにより偏向器６に導く。偏向器６はレー
ザ光２と参照光４をともにガルバノミラ−形スキャナ（
以下スキャナと略す。）？ａと７ｂで二次元に走査゛制
御する。次にレーザ光２と参照光４はレンズ系８により
モジュールＩ ’Ｃ９に形成されてある抵抗体１０を含
む平面内に焦点を結ぶ。１１は焦点を結んだレーザ光２
と参照光４の照射点を示す。
検査ボックス１２はケース１２ａの内部に検査回路基板
１３を有し５該基板１３Ｉ／ｃ設置されたソケット１４
はケース１２ａの開口（図示せず）を通して外部に露出
している。モジュールＩＣ９はリードビン９ａをソケッ
ト１４に差込み、該基板１３と電気的接続を作る。検査
ボックス１２は試験信号や制御信号をコネクタ１５とケ
ーブル１６を介してトリミング装置２０と交信する。Ｔ
Ｖカメラ（以下。
１３を有し５該基板１３Ｉ／ｃ設置されたソケット１４
はケース１２ａの開口（図示せず）を通して外部に露出
している。モジュールＩＣ９はリードビン９ａをソケッ
ト１４に差込み、該基板１３と電気的接続を作る。検査
ボックス１２は試験信号や制御信号をコネクタ１５とケ
ーブル１６を介してトリミング装置２０と交信する。Ｔ
Ｖカメラ（以下。
カメラと略す。）１７は偏向器６とモジュールＩＣ９と
共通のペース１８に固定し、モジュールＩＣ９を視野内
に納めることができる。
共通のペース１８に固定し、モジュールＩＣ９を視野内
に納めることができる。
トリミング装置２０は、第２図に示すように制御部２１
と駆動部２２と計測部２３から成る。制御部２１はプロ
グラムやデータを制御・処理するコンピュータ２４とそ
のパスライン２５に接続するインｐ ７ ニー 、（回
路２６ａ 、 ２６ｂ 、 ２６ｃ 、 ２６ｄとプロ
グラムを格納するＲ ０Ｍ２７ａ 、 ２７ｂから成る
。インタフェース回路２６ａにはロヶーシ叢ンデータ４
０、照射位置チェックスタート４１トチエツク０Ｋ４２
とチェックＮＧ４３が、また同回路２６ｂには照射位置
補正データ４４と補正スタート４５の各種信号線が接続
する。インタフェース回路２６ｃはスキャナ７ａと７ｂ
のミラー振り角を決める角度データ２８ａと２８ｂを出
力する。駆動部２２のＤ／Ａコンバータ２９ａと２９ｂ
はディジタル信号の該データ２８ａと２８ｂをアナログ
信号の角度データ３０ａと３０ｂ ｙｃ変信し、続いて
増幅器３１ａと３１ｂがこれら入力信号を増幅してスキ
ャナ駆動電流３２ａト３２ｂにする。同駆動電流３２ａ
はスキャナ７ａに。
と駆動部２２と計測部２３から成る。制御部２１はプロ
グラムやデータを制御・処理するコンピュータ２４とそ
のパスライン２５に接続するインｐ ７ ニー 、（回
路２６ａ 、 ２６ｂ 、 ２６ｃ 、 ２６ｄとプロ
グラムを格納するＲ ０Ｍ２７ａ 、 ２７ｂから成る
。インタフェース回路２６ａにはロヶーシ叢ンデータ４
０、照射位置チェックスタート４１トチエツク０Ｋ４２
とチェックＮＧ４３が、また同回路２６ｂには照射位置
補正データ４４と補正スタート４５の各種信号線が接続
する。インタフェース回路２６ｃはスキャナ７ａと７ｂ
のミラー振り角を決める角度データ２８ａと２８ｂを出
力する。駆動部２２のＤ／Ａコンバータ２９ａと２９ｂ
はディジタル信号の該データ２８ａと２８ｂをアナログ
信号の角度データ３０ａと３０ｂ ｙｃ変信し、続いて
増幅器３１ａと３１ｂがこれら入力信号を増幅してスキ
ャナ駆動電流３２ａト３２ｂにする。同駆動電流３２ａ
はスキャナ７ａに。
同様に電流３２ｂはスキャナ７ｂに供給される。インタ
フェース回路２６ｄはレーザ光をオンオフ制御する信号
３３を出力する。信号３３はレーザ発振器１に接続する
。また信号３４は測定部２３を制御する信号であり、測
定部２３と検査ボックスはケーブル１６で結ばれている
。
フェース回路２６ｄはレーザ光をオンオフ制御する信号
３３を出力する。信号３３はレーザ発振器１に接続する
。また信号３４は測定部２３を制御する信号であり、測
定部２３と検査ボックスはケーブル１６で結ばれている
。
モニタ装置５０は第３図に示すように、制御部５１と比
較器５２と基準電圧Ｖｓを作る電圧発生器５３とカウン
タ５４とパルス発振器５５とカウンタ５６から成る。カ
メうＩ７で捕らえた映像信号５７はモニタＴＶ５８に写
し出される。制御部５１は制御部２１ト同様にコンピュ
ータ５９とそのパスライン６ｏトインタフエース回路６
１ａ 、 ６１ｂ 、 ６１ｃ 、 ６１ｄ 。
較器５２と基準電圧Ｖｓを作る電圧発生器５３とカウン
タ５４とパルス発振器５５とカウンタ５６から成る。カ
メうＩ７で捕らえた映像信号５７はモニタＴＶ５８に写
し出される。制御部５１は制御部２１ト同様にコンピュ
ータ５９とそのパスライン６ｏトインタフエース回路６
１ａ 、 ６１ｂ 、 ６１ｃ 、 ６１ｄ 。
６１ｅとＲＯＭ６２から成る。カメラ１７からの映像信
号６３は比較器５２０入力人に加えられ、入力Ｂ）基準
電圧Ｖｓにより２値化したディジタル画像信号６４とな
って出力し、インタフェース回路６１ａに入る。また垂
直同期パルス６５はカウンタ５４のクリア人力Ｃに入り
、水平同期パルス６６はカウンタ５４の入力Ａとカウン
タ５６のクリア人力Ｃならびにインタフェース回路６１
ｂ Ｋ 人６゜パルス発振器５５のクロックパルス６７
はカウンタ５６の入力Ａに加わる。従ってカウンタ５４
は垂直同期パルス−周期分の水平同期パルスを計数して
出力する。出力６８をＨｌｋＬ″と称す、同様にカウン
タ５６は水平同期パルス−周期分のバルユ６７を計ｅし
て出力する。出力６９をＬＮｈ、”と称す。” ＨＮｎ
” 、！インタフェース回路６１ｂ Ｋ入り、”ＬＩ
Ｖｈ”は同回路６１ｃに入る。
号６３は比較器５２０入力人に加えられ、入力Ｂ）基準
電圧Ｖｓにより２値化したディジタル画像信号６４とな
って出力し、インタフェース回路６１ａに入る。また垂
直同期パルス６５はカウンタ５４のクリア人力Ｃに入り
、水平同期パルス６６はカウンタ５４の入力Ａとカウン
タ５６のクリア人力Ｃならびにインタフェース回路６１
ｂ Ｋ 人６゜パルス発振器５５のクロックパルス６７
はカウンタ５６の入力Ａに加わる。従ってカウンタ５４
は垂直同期パルス−周期分の水平同期パルスを計数して
出力する。出力６８をＨｌｋＬ″と称す、同様にカウン
タ５６は水平同期パルス−周期分のバルユ６７を計ｅし
て出力する。出力６９をＬＮｈ、”と称す。” ＨＮｎ
” 、！インタフェース回路６１ｂ Ｋ入り、”ＬＩ
Ｖｈ”は同回路６１ｃに入る。
次に照射点１１の位置誤差チェック法について説明する
。
。
はじめにモニタＴＶ５８のモニタ画面５８ａ ト。
”Ｈ１１＆１”６８．’ＬＦｋＬ”６９．データＴｉ
、ロヶーシ四ンデータ４０．照射点１１の関係について
整理する。まず画面５８ａのラスクスキャンはノンイン
タレースで左上隅から始まって右下隅で終わるものとす
る。”Ｈ１ｍ″６８は垂直同期パルス６５０次に来る水
平同期パルス６６を数えた値であるから１画面５８の上
から下に向って数えた走査線の数に等しい。’ＬＮｎ”
６９は水平同期パルス６６０次に来るクロックパルス６
７を数えた値であるから５一本の走査線上における左端
からの距離に等しい。データＴｉは”ＨＮｌ”６８と”
ＬＦｋＬ”６９０組合せに対応づけたものである。従っ
てその数値を大中小の３レベルに分割した場合は画面５
８ａはＴ１〜Ｔ９に分割テキる。一方、ロケーシ冒ンデ
ータ４０は４ピツト（２°〜２゛）の数値データである
から、仮ＶＣ’ｒｔ＝ｌ・Ｔ２：２・・・・と対応づけ
れば、データＴｉとロケーシ遭ンデータ４ｏは一対一に
対応スる◎今、抵抗体１０をトリミングするときを想定
するトリミング装置２（１：おいて、制御部２１は偏向
器６を制御して照射点１１を抵抗体１ｏの側方のスター
ト点へ移動させる。レーザ光２は停止状態釦あり。参照
光４が出力されている。画面５８ａには抵抗体ｌＯと照
射点１１が写し出される５次に制御部２１はあらかじめ
プログラムしである正しいロケーシＢンデータ４０を出
力する（時刻ＴＩ ）。
、ロヶーシ四ンデータ４０．照射点１１の関係について
整理する。まず画面５８ａのラスクスキャンはノンイン
タレースで左上隅から始まって右下隅で終わるものとす
る。”Ｈ１ｍ″６８は垂直同期パルス６５０次に来る水
平同期パルス６６を数えた値であるから１画面５８の上
から下に向って数えた走査線の数に等しい。’ＬＮｎ”
６９は水平同期パルス６６０次に来るクロックパルス６
７を数えた値であるから５一本の走査線上における左端
からの距離に等しい。データＴｉは”ＨＮｌ”６８と”
ＬＦｋＬ”６９０組合せに対応づけたものである。従っ
てその数値を大中小の３レベルに分割した場合は画面５
８ａはＴ１〜Ｔ９に分割テキる。一方、ロケーシ冒ンデ
ータ４０は４ピツト（２°〜２゛）の数値データである
から、仮ＶＣ’ｒｔ＝ｌ・Ｔ２：２・・・・と対応づけ
れば、データＴｉとロケーシ遭ンデータ４ｏは一対一に
対応スる◎今、抵抗体１０をトリミングするときを想定
するトリミング装置２（１：おいて、制御部２１は偏向
器６を制御して照射点１１を抵抗体１ｏの側方のスター
ト点へ移動させる。レーザ光２は停止状態釦あり。参照
光４が出力されている。画面５８ａには抵抗体ｌＯと照
射点１１が写し出される５次に制御部２１はあらかじめ
プログラムしである正しいロケーシＢンデータ４０を出
力する（時刻ＴＩ ）。
引続き照射位置チェックスタート４１（パルス信号）を
出力する（時刻Ｔ２）。
出力する（時刻Ｔ２）。
一方、モニタ装置５０において、制御部５１は常に該チ
ェックスター）４１を待っている。該チェックスタート
４１を検知したらループカウンタとスタックカラ／りを
クリアして、ロケーシ麿ンデータ４０を読込む。ループ
カウンタは水平同期パルス６６を数えるプログラムカウ
ンタである。以下。
ェックスター）４１を待っている。該チェックスタート
４１を検知したらループカウンタとスタックカラ／りを
クリアして、ロケーシ麿ンデータ４０を読込む。ループ
カウンタは水平同期パルス６６を数えるプログラムカウ
ンタである。以下。
プ。グ、４．よ一画面分について画像信号６４の有無ヲ
調べる。画面５８ａから明らかであるように。
調べる。画面５８ａから明らかであるように。
抵抗体１０は暗く照射点１１は明るいため、照射点１１
な走査したときに画像信号６４が出力する５画像信号６
４を検出した場合は１Ｎ”６８と’ＬＮｎ”６９を読込
み、これらの組合せからデータＴｉを決定してスタック
する。一画面を走査してループカウンタがオーバ７０−
したら、スタックしたデータＴｉの個数を調べ、設定値
（例：３）を越えたらエラー表示してプログラムを終了
する。さらにデータＴｉＯ値が一致しない場合もエラー
表示してプログラムを終了する。最後にロケ−シランデ
ータ４０と比較し、一致したときはチェック０Ｋ４２を
出し、一致しないときはチェックＮＧ４３を出力する（
時刻Ｔ４）５ トリミング装置２０にもどり１６．７ｍＳ （一画面の
走査に要する時間）待ってチェック０Ｋ４２を調べ、有
りのときは照射点１１が正しい位置にあることが確認さ
れす＝場合であるからレーザ光２を出力し抵抗体１０を
トリミングする。またチェック０Ｋ４２が無しのときは
１次のステップでチェックＮＧ４３を調べ、有りのとき
は照°射点１１が正しい位置にないことが確認された場
合であるから抵抗体１０のトリミングを中止する。万一
、チェックＮ Ｇ４３も無しのときは故障であるからエ
ラー表示をしてプログラムを停止する。
な走査したときに画像信号６４が出力する５画像信号６
４を検出した場合は１Ｎ”６８と’ＬＮｎ”６９を読込
み、これらの組合せからデータＴｉを決定してスタック
する。一画面を走査してループカウンタがオーバ７０−
したら、スタックしたデータＴｉの個数を調べ、設定値
（例：３）を越えたらエラー表示してプログラムを終了
する。さらにデータＴｉＯ値が一致しない場合もエラー
表示してプログラムを終了する。最後にロケ−シランデ
ータ４０と比較し、一致したときはチェック０Ｋ４２を
出し、一致しないときはチェックＮＧ４３を出力する（
時刻Ｔ４）５ トリミング装置２０にもどり１６．７ｍＳ （一画面の
走査に要する時間）待ってチェック０Ｋ４２を調べ、有
りのときは照射点１１が正しい位置にあることが確認さ
れす＝場合であるからレーザ光２を出力し抵抗体１０を
トリミングする。またチェック０Ｋ４２が無しのときは
１次のステップでチェックＮＧ４３を調べ、有りのとき
は照°射点１１が正しい位置にないことが確認された場
合であるから抵抗体１０のトリミングを中止する。万一
、チェックＮ Ｇ４３も無しのときは故障であるからエ
ラー表示をしてプログラムを停止する。
本実施例は対象を厚膜抵抗トリミングに限ったため、比
較的ラフな位置検出精度で十分であった。以上の理由に
より参照光光源は極く一般的な白熱灯を使用し１位置検
出回路ならびにプログラムも簡単化でき、安価な装置に
仕上げることができた。
較的ラフな位置検出精度で十分であった。以上の理由に
より参照光光源は極く一般的な白熱灯を使用し１位置検
出回路ならびにプログラムも簡単化でき、安価な装置に
仕上げることができた。
以上説明したように本発明によれば、偏向器によるレー
ザ光の照射位置の狂いを検出し、かつ自動的に照射位置
を補正するので特に位置再現性に劣り、温度ドリフトの
大きなガルバノミラ−形偏向器の位置決め精度を向上で
き、その結果１位置ずれによるトリミング不良を低減で
き、従来１人手で１時毎に行った位置ずれ補正作業を解
消することができる効果を奏する。
ザ光の照射位置の狂いを検出し、かつ自動的に照射位置
を補正するので特に位置再現性に劣り、温度ドリフトの
大きなガルバノミラ−形偏向器の位置決め精度を向上で
き、その結果１位置ずれによるトリミング不良を低減で
き、従来１人手で１時毎に行った位置ずれ補正作業を解
消することができる効果を奏する。
第１図は偏向器とその周辺部品の位置関係を示す鳥観図
、第２図はトリミング装置の機能ブロック図、第３図は
モニタ装置の機能ブロック図、第４図はモニタ画面と各
種データの関連説明図、第５図はデータ交換時のタイム
チャートを示す図、第６図はトリミング装置の７０−チ
ャートを示す図、第７図はモニタ装置の７０−チャート
を示す図である。 ｌ・・・レーザ発振器、 ２・・・レーザ光。 ３・・・参照光光源、 ４・・・参照光。 ６・・・偏向器、７ａ 、 ７ｂ・・・スキャナ。 １０・・・抵抗体、１１・・・照射点。 ！７・・・ＴＶカメラ、 １８・・・共通ベース
。 ２０・・・トリミング装置、２１・・・制御部。 ４０・・・ロケーションデータ。 ４１・・・照射位置チェックスタート。 ４２・・・チェツ１０Ｋ、 ４３・・・チェックＮ
Ｇ。 ４４・・・照射位置補正データ。 ４５・・・補正スタート、５０・・モニタ装置。 ５１・・・制御部。 ５２・・・比較器。 ５３・・・電圧発生器、５４・・・カウンタ。 ５５・・・パルス発振器、 ５６・・・カウンタ、６
３・・・映倫信号。 ６４・・・ディジタル画像信号。 ６５・・・垂直同期パルス、６６・・・水平同期パルス
。 ６７・・・クロックパルス、６８・・・″ＨＮｈ”７６
９・・・”Ｌ隘”。 第 １ 膿 第 ２０ 佑 ３０ 躬４０ 第５国 も ｂ口 ＦＯへ 躬ワ凹
、第２図はトリミング装置の機能ブロック図、第３図は
モニタ装置の機能ブロック図、第４図はモニタ画面と各
種データの関連説明図、第５図はデータ交換時のタイム
チャートを示す図、第６図はトリミング装置の７０−チ
ャートを示す図、第７図はモニタ装置の７０−チャート
を示す図である。 ｌ・・・レーザ発振器、 ２・・・レーザ光。 ３・・・参照光光源、 ４・・・参照光。 ６・・・偏向器、７ａ 、 ７ｂ・・・スキャナ。 １０・・・抵抗体、１１・・・照射点。 ！７・・・ＴＶカメラ、 １８・・・共通ベース
。 ２０・・・トリミング装置、２１・・・制御部。 ４０・・・ロケーションデータ。 ４１・・・照射位置チェックスタート。 ４２・・・チェツ１０Ｋ、 ４３・・・チェックＮ
Ｇ。 ４４・・・照射位置補正データ。 ４５・・・補正スタート、５０・・モニタ装置。 ５１・・・制御部。 ５２・・・比較器。 ５３・・・電圧発生器、５４・・・カウンタ。 ５５・・・パルス発振器、 ５６・・・カウンタ、６
３・・・映倫信号。 ６４・・・ディジタル画像信号。 ６５・・・垂直同期パルス、６６・・・水平同期パルス
。 ６７・・・クロックパルス、６８・・・″ＨＮｈ”７６
９・・・”Ｌ隘”。 第 １ 膿 第 ２０ 佑 ３０ 躬４０ 第５国 も ｂ口 ＦＯへ 躬ワ凹
Claims (1)
- 参照光用光源と、該参照光用光源から発する参照光をレ
ーザ光光路に挿入して光路を一致させる光学系と、上記
参照光の照射位置を映像信号として検知する撮像系と、
あらかじめプログラムされてあるレーザ光照射点の位置
データと映像信号を処理して得た実際の参照光照射点の
位置データを比較し、誤差分を偏向器に負帰環して該参
照光照射位置を自動的に補正し、同時に誤差検出信号を
出力する手段とを備えたことを特徴とするトリミング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076377A JPS61235091A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | トリミング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076377A JPS61235091A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | トリミング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61235091A true JPS61235091A (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=13603644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60076377A Pending JPS61235091A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | トリミング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61235091A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988001396A1 (en) * | 1986-08-18 | 1988-02-25 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser scanner |
| DE3940694A1 (de) * | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Hitachi Ltd | Strahlengang-einstellvorrichtung |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP60076377A patent/JPS61235091A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988001396A1 (en) * | 1986-08-18 | 1988-02-25 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Laser scanner |
| US5005929A (en) * | 1986-08-18 | 1991-04-09 | Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho | Apparatus including a laser scanner |
| DE3940694A1 (de) * | 1988-12-09 | 1990-06-13 | Hitachi Ltd | Strahlengang-einstellvorrichtung |
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