JPS612342A - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置

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JPS612342A
JPS612342A JP59121758A JP12175884A JPS612342A JP S612342 A JPS612342 A JP S612342A JP 59121758 A JP59121758 A JP 59121758A JP 12175884 A JP12175884 A JP 12175884A JP S612342 A JPS612342 A JP S612342A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野] 本発明は、半導体集積回路装置に係り、特に。
1つ又は複数の半導体素子で形成される単位ブロックを
規則的に配置し、半導体素子間及び単位ブロック間に施
す配線パターンの変更によって種々の論理機能を抽出す
ることが可能な半導体集積回路装置に適用して有効な技
術に関するものである。
[背景技術] 半導体集積回路装置は、短時間内に少量多品種を設計す
る必要があるために、1つ又は複数の半導体素子で形成
される単位ブロックを規則的に複数配置し、配線パター
・ンの変更のみで種々の異なる論理機能を抽出すること
が可能ないわゆるマスタスライス方式を採用する傾向に
ある(例えば、日経マグロウヒル社発行「日経エレクト
ロニクス」1981年4月13日号、p 203〜P2
12参照)。
このマスタスライス方式を採用する半導体集積回路装置
では、効率よく論理回路を形成するために、単位ブロッ
クの自動的な配置とそれらを電気的に接続する配線を自
動的に施すこととができる自動配置配線システムを利用
している。
しかしながら、かかる技術における検討の結果、本発明
者は、自動配置配線システムを利用した場合に、大電流
を必要とするクロック発生回路とそれ以外のクロック系
回路とが1つの単位ブロック列に集中してしまうので、
その単位ブロック列のため10〜20[μmコ程度の配
線幅を有する基準電圧用配線にマイグレーションを生じ
、配線の断線。
寿命の低下等、半導体集積回路装置の電気的信頼を低下
するという問題点を見い出した。
[発明の目的コ 本発明の目的は、大電流を必要とするクロック発生回路
等による配線のマイグレーションの影響を低減し、半導
体集積回路装置の電気的信頼性を向上することが可能な
技術手段を提供することにある。
本発明の他の目的は、クロック発生回路等とそれに駆動
される回路との配線長を均−化及び短縮化し、半導体集
積回路装置の動作速度の高速化を図ることが可能な技術
手段を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。
[発明の概要コ 本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、単位ブロック列と略同一方向に延在する第1
の基準電圧用配線に比べて大きな配線幅を有する第2の
基準電圧用配線を、単位ブロック列と略直交する中央部
に設け、該第2の基準電圧用配線下部に単位ブロックを
複数設け、該m位ブロックで大電流を必要とするクロッ
ク発生回路等を構成し、第2の基準電圧用配線を使用す
ることにより、クロック発生回路等によるマイグレーシ
ョンの影響を低減することができるので、半導体集積回
路装置の電気的信頼性を向上することができる。
以下、本発明の構成について、本発明を、相補型の電界
効果トランジスタ(以下、CMISという)で3人力N
ANDゲート回路を構成し得ることが可能な単位ブロッ
クを有するマスタスライス方式を採用する半導体集積回
路装置に適用した実施例とともに説明する。
[実施例■コ 第1図は、本発明の実施例■を説明するためのマスクス
ライス方式を採用する半導体集積回路装置の概略平面図
、第2図は、第1図の概略的な要部拡大平面図である。
第1図及び第2図は、その図面を見易くするために、各
導電層間に設けられる素子分離用絶縁膜以外の絶縁膜は
図示しない。
なお、実施例の全図において、同一機能を有するものは
同一符号を付け、そのくり返しの説明は省略する。
第1図及び第2図において、1はマスタスライス方式を
採用する半導体集積回路装置である。
2は半導体集積回路装置1の最つども周辺部に複数配置
された外部入出力端子であり、内部集積回路と外部機器
との電気的な接続をするためのものである。
3は外部入出力端子2と内部集積回路との間部であって
半導体集積回路装置1の周辺部に規則的し;配置して設
けられた入出力回路であり、外部機器と内部集積回路と
の間に伝達される電気信号レベルの制御をするためのも
のである。
4は半導体集積回路装置lの中央部に規則的に複数配置
して設けられた単位ブロックであり、所定の論理回路を
形成するためのものである。
この単位ブロック4は、素子分離用絶縁膜5に規定され
、並列に接続された3つのPチャンネルMISFETQ
pと、並列に接続された3つのnチャンネルMISFE
TQnとのCMISによって構成されており、3人力N
ANDゲート回路を構成し得るようになっている。
6は列方向に単位ブロック4を規則的に複数配置して設
けられた単位ブロック列であり、論理回路を構成し易く
するためのものである。
この単位ブロック列6は、所定間隔で行方向に複数行配
置して設けられており1本実施例では。
2行で構成されている。
7は行方向に配置された単位ブロック列6間部の半導体
集積回路装置lの中央部に設けられた配線領域であり、
単位ブロック4間を電気的に接続する配線を施すための
領域である。
8A、、8B、9Aは半導体集積回路装置1の周辺部に
設けられた配線である。配線8Aは、基準電圧Vss 
(例えば、0[■]又は−2,5〜−3,5[V] )
が接続されるもので、入出力回路3に使用するものであ
る。配線8Bは、基準電圧Vssが接続されるもので、
単位ブロック4で形成される内部集積回路で使用される
ものである。配線9Aは、基準電圧Voo(例えば、5
[V])が接続されるもので、入出力回路3と内部集積
回路とで使用されるものである。
8G、9Bは半導体集積回路装置1の中央部に、単位ブ
ロック列6上部にその方向と略同一の列方向に延在して
設けられる基準電圧V。。用の配線9Gと基準電圧Vs
s用の配線8Dとに比べて大きな配線幅を有し、かつ、
単位ブロック列6と略直交するように延在して設けられ
た配線であり、基準電圧V s s 、基準電圧VOO
が接続されるようになっている。
この配線8C,9Bは、半導体集積回路装置1の中央部
における電位変動をできる限り低減するためのものであ
る。
そして、配線8G、9Bは、前記配線8A、8B、9A
と略同様に、例えば、50−100 [fi m ]程
度の配線幅で形成されている。
10は配線8C,9B下部に複数配置して設けられた単
位ブロックであり、例えば、大電流を必要とするクロッ
ク発生回路等を形成するためのものである。この単位ブ
ロック10は、半導体集積回路装置lの製造工程の複雑
化を防止し、種々の論理回路を形成し易すいように、単
位ブロック4と同様に、3つのPチャンネルM I S
 FETQPと、3つのnチャンネルMI 5FETQ
NとによるCMISによって構成されており、3人力N
ANDゲート回路を構成し得るようになっている。
11は単位ブロック10が行方向に複数配置して設けら
れた単位ブロック行であり、論理回路を構成し易すくす
るためのものである。
なお、本実施例では、単位ブロック行11を一行設けた
例について説明しであるが、配線8C。
9Bは、配線8D、9Cに比べて2.5〜10倍程度大
きな配線幅を有しており、M I 5FETQP。
QNをMISFETQp、Qn程度のサイズにし、複数
行の単位ブロック列11を設けてもよい。
次に、前記単位ブロック10及び単位ブロック行11を
用いて、大電流を必要とするクロック発生回路を構成し
た場合について説明する。
第3図は、本発明の実施例Iを説明するためのクロック
発生回路を示す回路図、第4図は、第3図のクロック発
生回路を構成した場合の半導体集積回路装置の概略的な
要部拡大平面図である。なお、第4図は、配線を簡略し
て実線で示し、配線との接続部を・点で示す。
第3図及び第4図において、12はクロック発生回路で
あり、一つで複数のクロックトライバ回路を駆動させる
もので、このために、大電流を必要とする。
12AはNANDゲート回路、12B乃至12Eはイン
バータ回路であり、クロック発生回路12を構成するた
めのものである。11は入出力回路(入出力バッファ回
路)3から出力されるクロック発生回路12の入力信号
、12はクロック発生回路12の入力信号端子、01,
02+03+04はクロックトライバ回路に接続される
クロック発生回路12の出力信号端子である。
以上説明したように、本実施例Iによれば5単位ブロッ
ク列と略同一方向に延在する第1の基準電圧用配線に比
べて大きな配線幅を有する第2の基準電圧用配線を、単
位ブロック列と略直交する中央部に設け、該第2の基準
電圧用配線下部に単位ブロックを複数設け、該単位ブロ
ックで大電流を必要とするクロック発生回路等を構成し
、第2の基準電圧用配線を使用することにより、充分な
配線幅を有するので、クロック発生回路等によるマイグ
レーションの影響を低減することができる。
従って、配線の断線の防止、寿命の低下の防止等をする
ことができるので、半導体集積回路装置の電気的信頼性
を向上することができる。
また、自動配置配線システムの使用、不使用にかかわら
ず、クロック発、生回路等を半導体集積回路装置の中央
部に配置することにより、その角部に集中してクロック
発生回路を形成した場合に比べ、クロック発生回路等と
それに駆動される回路とを接続する配線長を均一化しか
つ短縮することができるので、信号の伝達時間の差を小
さくし、配線容量等を低減することができる。
従って、信号の伝達速度を速くすることができるので、
半導体集積回路装置の動作速度の、高速化を図ることが
できる。
[実施例■コ 本実施例は、大電流を必要とする例えばクロック発生回
路等を構成することが可能な単位ブロックを、前記実施
例Iと異なる配置で構成した例を示すものである。
第5図は、本発明の実施例■を説明するための半導体集
積回路装置の概略的な要部拡大平面図である。
第5図において、IOAは前記実施例Iと同様に配線8
C,9B下部に複数設けられた単位ブロックであり、例
えば、大電流を必要とするクロック発生回路等を形成す
るためのものである。
この単位ブロックIOAは、CMISのウェル領域を構
成し易すいように、MISFETQp。
QnとMISFETQP、QNとの形成される方向を略
同一方向にし、行方向に複数配置して設けである。
以上説明したように、本実施例によれば、前記実施例I
と略同様の効果を得ることができる。
[効果] 以上説明したように1本願において開示された新規な技
術手段によれば、以下に述べるような効果を得ることが
できる。
(1)単位ブロック列と略同一方向に延在する第1の基
準電圧用配線に比べて大きな配線幅を有する第2の基準
電圧用配線を、単位ブロック列と略直交する中央部に設
け、該第2の基準電圧用配線下部に単位ブロックを複数
設け、該単位ブロックで大電流を必要とするクロック発
生回路等を構成し、第2の基準電圧用配線を使用するこ
とにより、充分な配線幅を有するので、マイグレーショ
ンの影響を低減することができる。
(2)前記(1)により、配線の断線の防止、寿命の低
下の防止等をすることができるので、半導体集積回路装
置の電気的信頼性を向上することができる。
(3)自動配置配線システムの使用、不使用にかかわら
ず、クロック発生回路等を半導体集積回路装置の中央部
に配置することにより、その角部に集中してクロック発
生回路等を形成した場合に比べ、クロック発生回路等と
それに駆動される回路をと接続する配線長を均一化しか
つ短縮することができるので、信号の伝達時間の差を小
さくし、配線容量等をを低減することができる。
(4)前記(3)により、信号の伝達速度を速くするこ
とができるので、半導体集積回路装置の動作速度の高速
化を図ることができる。
(5)前記(2)及び(1)により、半導体集積回路装
置の電気的信頼性を向上し、がっ、その動作速度の高速
化を図ることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、実施例にもと
すき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て、種々変更し得ることは勿論である。
例えば、前記実施例は、3人力NANDゲート回路を構
成し得ることが可能な単位ブロックを有する半導体集積
回路装置を用いたが、2人力NANDゲート回路を構成
し得ることが可能な単位ブロックを有する半導体集積回
路装置を用いてもよい。
また、前記実施例は、単位ブロック列が2行で、それら
と直交し中央部を延在する基準電圧用配線を1組(基準
電圧Vss、Voo)設けたが、単位ブロックを3行設
け、それらと直交しそれぞれの中央部を延在する基準電
圧用配線を2組設けてもよい。
また、前記実施例は、単位ブロックをCMISで構成し
たが、Pチャンネル又はnチャンネルMISFETで単
位ブロックを構成してもよい。
さらに、前記実施例は、単位ブロックを複数の半導体素
子で形成したが、単位ブロックを1つの半導体素子で形
成してもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例■を説明するためのマスクス
ライス方式を採用する半導体集積回路装置の概略平面図
、 第2図は、第1図の概略的な要部拡大平面図、第3図は
、本発明の実施例Iを説明するためのタロツク発生回路
を示す回路図、 第4図は、第3図のクロック発生回路を構成した場合の
半導体集積回路装置の概略的な要部拡大平面図、 第5図は、本発明の実施例■を説明するための半導体集
積回路装置の概略的な要部拡大平面図である。 図中、1・・・半導体集積回路装置、2・・・外部入出
力端子、3・・・入出力回路、4,10.IOA・・・
単位ブロック、5・・・素子分離用絶縁膜、6・・・単
位ブロック列、7・・・配線領域、8A、8B、8G、
8D、9A、9B、9G・・・配線、11・・・単位ブ
ロック行、12・・・クロック発生回路、12A・・・
NANDゲート回路、12B乃至12E・・インバータ
回路、Qp、Qn、QN、QP−MI 5FETである

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、1つ又は複数の半導体素子で形成される単位ブロッ
    クを列方向に複数配置してなる単位ブロック列を設け、
    該単位ブロック列を行方向に所定の間隔で複数配置して
    設け、前記半導体素子間及び単位ブロック間に施す配線
    パターンの変更によって種々の論理機能を抽出すること
    が可能な半導体集積回路装置であって、前記単位ブロッ
    ク列と略直交する行方向の中央部分に、前記単位ブロッ
    ク列と略同一の列方向に延在して設けられる基準電圧用
    の第1の配線に比べて大きな配線幅で延在する1つ又は
    複数本の第2の配線を設け、該第2の配線の下部に半導
    体素子により形成される単位ブロックを複数設けてなる
    ことを特徴とする半導体集積回路装置。 2、前記第2の配線は、基準電圧が接続されるものであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体
    集積回路装置。 3、前記第2の配線の下部に設けられる単位ブロックは
    、クロック発生回路等を形成することができるものであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記
    載の半導体集積回路装置。 4、前記第2の配線の下部に設けられる単位ブロックは
    、相補型の絶縁ゲート型電界効果トランジスタであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至第3項のいず
    れかに記載の半導体集積回路装置。
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