JPS61232426A - 光走査記録装置 - Google Patents
光走査記録装置Info
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- JPS61232426A JPS61232426A JP60074063A JP7406385A JPS61232426A JP S61232426 A JPS61232426 A JP S61232426A JP 60074063 A JP60074063 A JP 60074063A JP 7406385 A JP7406385 A JP 7406385A JP S61232426 A JPS61232426 A JP S61232426A
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- JP
- Japan
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- optical
- light
- optical waveguide
- energy
- waveguide layer
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の分野)
本発明は光走査記録装置、特に詳細には電気光学材料等
の外場印加あるいはエネルギー付加(以下これらをまと
めてエネルギー付加という)により光屈折率を変える材
料を用いて光走査を行なうようにした光走査記録装置に
関するものである。
の外場印加あるいはエネルギー付加(以下これらをまと
めてエネルギー付加という)により光屈折率を変える材
料を用いて光走査を行なうようにした光走査記録装置に
関するものである。
(従来の技術)
周知の通り従来より、感光体を光で走査して、該感光体
に連続調画像や白黒の2値画像を記録するようにした光
走査記録装置が種々提供されている。このような記録装
置において記録光を1次元的に走査する光走査装置とし
て従来より、■例えばガルバノメータミラーやポリゴン
ミラー(回転多面鏡)等の機械式光偏向器により光ビー
ムを偏向走査させるもの、 ■EOD (電気光学光偏向器)やAOD (音響光学
光偏向器)など固体光偏向素子を用いた光偏向器により
光ビームを偏向走査させ、るもの、■液晶素子アレイや
PLZTアレイ等のシャッタアレイと線光源とを組み合
わせ、シャッタアレイの各シャッタ素子に個別的に駆動
回路を接続し、画像信号に応じて、0N10FFを選択
して同時に開くことにより線順次走査をさせるもの、さ
らには ■LED等の発光素子を多数−列に並設し、各発光素子
に個別的に駆動回路を接続し、画像信号に応じて0N1
0FFf選択して同時に発光させることにより線順次走
査させるもの等が知られている。
に連続調画像や白黒の2値画像を記録するようにした光
走査記録装置が種々提供されている。このような記録装
置において記録光を1次元的に走査する光走査装置とし
て従来より、■例えばガルバノメータミラーやポリゴン
ミラー(回転多面鏡)等の機械式光偏向器により光ビー
ムを偏向走査させるもの、 ■EOD (電気光学光偏向器)やAOD (音響光学
光偏向器)など固体光偏向素子を用いた光偏向器により
光ビームを偏向走査させ、るもの、■液晶素子アレイや
PLZTアレイ等のシャッタアレイと線光源とを組み合
わせ、シャッタアレイの各シャッタ素子に個別的に駆動
回路を接続し、画像信号に応じて、0N10FFを選択
して同時に開くことにより線順次走査をさせるもの、さ
らには ■LED等の発光素子を多数−列に並設し、各発光素子
に個別的に駆動回路を接続し、画像信号に応じて0N1
0FFf選択して同時に発光させることにより線順次走
査させるもの等が知られている。
ところが上記■の機械式光偏向器は撮動に対して弱く、
また機械的耐久性も低く、その上調整が面倒であるとい
う欠点を有している。さらに光ビームを振って偏向させ
るために光学系が大きくなり、記録装置の大型化を招く
という問題もある。
また機械的耐久性も低く、その上調整が面倒であるとい
う欠点を有している。さらに光ビームを振って偏向させ
るために光学系が大きくなり、記録装置の大型化を招く
という問題もある。
また■のEODやAODを用いる光走査記録装置にあっ
ても、上記と同様に光ビームを振って偏向させるために
、装置が大型になりやすいという問題がある。特に上記
EODやAODは光偏向角が大きくとれないので、■の
機械式光偏向器を用いる場合よりもさらに光学系が大き
くなりがちである。
ても、上記と同様に光ビームを振って偏向させるために
、装置が大型になりやすいという問題がある。特に上記
EODやAODは光偏向角が大きくとれないので、■の
機械式光偏向器を用いる場合よりもさらに光学系が大き
くなりがちである。
一万〇のシャッタアレイを用いる光走査記録装置にあっ
ては、偏光板を2枚使用する必要があることから、光源
の光利用効率が非常に低いという問題がある。
ては、偏光板を2枚使用する必要があることから、光源
の光利用効率が非常に低いという問題がある。
また■の発光素子を多数並設して用いる光走査記録装置
にあっては、各発光素子の発光強度にバラツキが生じる
ため、精密走査には不向きであるという問題がある。
にあっては、各発光素子の発光強度にバラツキが生じる
ため、精密走査には不向きであるという問題がある。
(発明の目的)
本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、耐久性、耐振動性に優れ、調整が容易で、光利用効率
が高く、精密走査が可能で、しかも小型に形成されうる
光走査記録装置を提供することを目的とするものである
。
、耐久性、耐振動性に優れ、調整が容易で、光利用効率
が高く、精密走査が可能で、しかも小型に形成されうる
光走査記録装置を提供することを目的とするものである
。
(発明の構成)
本発明の光走査記録装置は、少なくとも一方がエネルギ
ー付加により光屈折率を変える材料からなり、互いに密
着された光導波層と通常は該光導波層よりも小さい光屈
折率を示す隣接層との積層体と、 前記光導波層および/または隣接層に、前記光導波層内
を進む導波光の光路に沿って設けられた複数のエネルギ
ー付加手段と、 前記隣接層の上部の、少なくとも前記エネルギー付加手
段によるエネルギー付加箇所に対応する部分にそれぞれ
設けられた回折格子と、前記光導波層内に、上記配列さ
れたエネルギー付加箇所に沿って進むように光を入射さ
せる光源と、 前記複数のエネルギー付加手段を順次択一的に所定のエ
ネルギー付加状態に設定し、そのエネルギー付加箇所に
おいて前記導波光が前記回折格子との相互作用により前
記積層体の外に出射するように前記光導波層および/ま
たは隣接層の光屈折率を変化させる駆動回路と、 前記積層体から出射した光が照射される位置に配された
感光体と前記積層体とを、前記エネルギー付加箇所の配
列方向と略直角な方向に相対移動させる副走査手段と、 上記積層体から出射する光を画像信号に応じて変調する
変調手段とからなるものである。
ー付加により光屈折率を変える材料からなり、互いに密
着された光導波層と通常は該光導波層よりも小さい光屈
折率を示す隣接層との積層体と、 前記光導波層および/または隣接層に、前記光導波層内
を進む導波光の光路に沿って設けられた複数のエネルギ
ー付加手段と、 前記隣接層の上部の、少なくとも前記エネルギー付加手
段によるエネルギー付加箇所に対応する部分にそれぞれ
設けられた回折格子と、前記光導波層内に、上記配列さ
れたエネルギー付加箇所に沿って進むように光を入射さ
せる光源と、 前記複数のエネルギー付加手段を順次択一的に所定のエ
ネルギー付加状態に設定し、そのエネルギー付加箇所に
おいて前記導波光が前記回折格子との相互作用により前
記積層体の外に出射するように前記光導波層および/ま
たは隣接層の光屈折率を変化させる駆動回路と、 前記積層体から出射した光が照射される位置に配された
感光体と前記積層体とを、前記エネルギー付加箇所の配
列方向と略直角な方向に相対移動させる副走査手段と、 上記積層体から出射する光を画像信号に応じて変調する
変調手段とからなるものである。
上記においてエネルギー付加により光屈折率を変える材
料としては、前記電気光学材料の他、熱により光屈折率
を変える熱光学材料、超音波により光屈折率を変える音
響光学材料、磁界により光屈折率を変える磁気光学材料
等を用いることができる。
料としては、前記電気光学材料の他、熱により光屈折率
を変える熱光学材料、超音波により光屈折率を変える音
響光学材料、磁界により光屈折率を変える磁気光学材料
等を用いることができる。
(作 用)
本発明の光走査記録装置は、光導波層の光屈折率(nz
)および/または隣接層の光屈折率(nl、通常状態す
なわちエネルギーが付加されていない状態ではnz >
nlの関係を持つ)を、その差(nz −nl )が小
さくなるように、あるいはn2≦n1どなるように変化
させて、光導波層中に閉じ込められた導波光の光のモー
ドの界分布を変化させ、回折格子との相互作用によって
導波光を光導波層と隣接層との積層体から外部へ取り出
し、これを記録走査光として利用するようにしたもので
ある。
)および/または隣接層の光屈折率(nl、通常状態す
なわちエネルギーが付加されていない状態ではnz >
nlの関係を持つ)を、その差(nz −nl )が小
さくなるように、あるいはn2≦n1どなるように変化
させて、光導波層中に閉じ込められた導波光の光のモー
ドの界分布を変化させ、回折格子との相互作用によって
導波光を光導波層と隣接層との積層体から外部へ取り出
し、これを記録走査光として利用するようにしたもので
ある。
より詳細に説明するならば、例えば第1図に示すように
、本発明で用いる光走査装置が、基板10上に光導波層
11、回折格子Gをもつ隣接層12(−例として電気光
学材料から形成されているものとする)を有し、基板1
0の光屈折率n3、光導波層の光屈折率n2、電界を印
加していないときの隣接層の光屈折率n1の間にnz
>nl >n3の関係が成り立っているものとする。
、本発明で用いる光走査装置が、基板10上に光導波層
11、回折格子Gをもつ隣接層12(−例として電気光
学材料から形成されているものとする)を有し、基板1
0の光屈折率n3、光導波層の光屈折率n2、電界を印
加していないときの隣接層の光屈折率n1の間にnz
>nl >n3の関係が成り立っているものとする。
第1図で示した構成の場合、その電界非印加時の分散曲
線は第2(a)図のように表わされる。
線は第2(a)図のように表わされる。
第2(a)図において縦軸は光の実効屈折率を、また横
軸は光導波層11の厚みを表わし、光導波層11の厚み
を王とすると、光導波層の実効屈折率はn eHである
。この時導波光の界分布(電界分布)は、例えばTEo
モードを仮定すると、第3(a)図のように表わされる
。第3(a)図は導波光が隣接層12や基板10にわず
かに浸み出しているものの、回折格子Gと相互作用をす
るにはいたらず、導波光がほとんど外部へ漏れずに光導
波層11中を進行している状態を示している。
軸は光導波層11の厚みを表わし、光導波層11の厚み
を王とすると、光導波層の実効屈折率はn eHである
。この時導波光の界分布(電界分布)は、例えばTEo
モードを仮定すると、第3(a)図のように表わされる
。第3(a)図は導波光が隣接層12や基板10にわず
かに浸み出しているものの、回折格子Gと相互作用をす
るにはいたらず、導波光がほとんど外部へ漏れずに光導
波層11中を進行している状態を示している。
次に、隣接層12に直接あるいは中間層を介して設けた
電極対(この第1図においては図示せず)の電極間に電
界を印加して、電極間間隙Pの部分における隣接層12
の光屈折率をnlからn1+△nへ増加させる。この時
、分散曲線は第2(b)図の1点鎖線で表せられ、光導
波層11の実効屈折率n errはn’effに減少す
る。この時の導波光の電界分布は第3(b)図のように
変化し、隣接層12への導波光の浸み出し光が、回折格
子Gと十分相互作用するように増加する。その結果、図
の斜線部の浸み出し光が図の上方(回折格子Gの種類に
よっては下方又は上下双方)へ放射されながら進行し、
遂には、はとんどの導波光が外部へ取り出される。
電極対(この第1図においては図示せず)の電極間に電
界を印加して、電極間間隙Pの部分における隣接層12
の光屈折率をnlからn1+△nへ増加させる。この時
、分散曲線は第2(b)図の1点鎖線で表せられ、光導
波層11の実効屈折率n errはn’effに減少す
る。この時の導波光の電界分布は第3(b)図のように
変化し、隣接層12への導波光の浸み出し光が、回折格
子Gと十分相互作用するように増加する。その結果、図
の斜線部の浸み出し光が図の上方(回折格子Gの種類に
よっては下方又は上下双方)へ放射されながら進行し、
遂には、はとんどの導波光が外部へ取り出される。
また、第1図で示した構成において、隣接層12の光屈
折率をnlからn1+△n11に変化させたとき、この
n1+Δn Itの値が、隣接層12の光屈折率の変化
に伴って変化する光導波層11の実効屈折率n”eHと
等しくなるほどに太き(なると、その分散曲線は第2(
C)図に1点鎖線のようになり、導波光は導波モードか
ら放射モードへ変換し、光は隣接層12へ移行する。こ
のときの導波光の電界分布は第3(C)図のように変化
し、導波光は隣接層12へ多量に漏れ出し、回折格子G
と相互作用して図の上方(および/または下方)へ放射
されながら進行し、速やかに外部に取り出される。なお
光導波層11の厚みが十分に厚い場合(例えば100μ
m以上)には、隣接層12の光屈折率n、を光導波層1
1の光屈折率n2と略等しいか又はn2よりも大きくな
るように変化させることによって、光導波層11内の導
波光の全反射条件を変化させて導波光を隣接層中に移動
させ、更に回折格子Gとの相互作用により、外部へ取り
出すことができる。このようにして、電界を印加した場
所で導波光を外部に取り出すことができるから、上述の
電極対を複数、上記間隙Pが隣接f112に沿って1列
に延びるように設けておき、各電極対に順次択一的に電
界を印加すれば、隣接層12からは出射位置を変えなが
ら光が出射するようになり、光走査がなされる。
折率をnlからn1+△n11に変化させたとき、この
n1+Δn Itの値が、隣接層12の光屈折率の変化
に伴って変化する光導波層11の実効屈折率n”eHと
等しくなるほどに太き(なると、その分散曲線は第2(
C)図に1点鎖線のようになり、導波光は導波モードか
ら放射モードへ変換し、光は隣接層12へ移行する。こ
のときの導波光の電界分布は第3(C)図のように変化
し、導波光は隣接層12へ多量に漏れ出し、回折格子G
と相互作用して図の上方(および/または下方)へ放射
されながら進行し、速やかに外部に取り出される。なお
光導波層11の厚みが十分に厚い場合(例えば100μ
m以上)には、隣接層12の光屈折率n、を光導波層1
1の光屈折率n2と略等しいか又はn2よりも大きくな
るように変化させることによって、光導波層11内の導
波光の全反射条件を変化させて導波光を隣接層中に移動
させ、更に回折格子Gとの相互作用により、外部へ取り
出すことができる。このようにして、電界を印加した場
所で導波光を外部に取り出すことができるから、上述の
電極対を複数、上記間隙Pが隣接f112に沿って1列
に延びるように設けておき、各電極対に順次択一的に電
界を印加すれば、隣接層12からは出射位置を変えなが
ら光が出射するようになり、光走査がなされる。
なお前述のように隣接層12を電気光学材料から形成し
てその光屈折率を変化させる他、反対に光導波層11を
電気光学材料から形成してそこに電極対を設け、該先導
波@11の光屈折率を変化させる(低下させる)ように
してもよいし、さらには光導波層11と隣接層12の双
方を電気光学材料から形成して双方に電極対を設け、双
方の光屈折率を変化させるように゛してもよい。
てその光屈折率を変化させる他、反対に光導波層11を
電気光学材料から形成してそこに電極対を設け、該先導
波@11の光屈折率を変化させる(低下させる)ように
してもよいし、さらには光導波層11と隣接層12の双
方を電気光学材料から形成して双方に電極対を設け、双
方の光屈折率を変化させるように゛してもよい。
また、この時、回折格子Gの構造を集光性回折格子にし
ておくと取り出された光は一点へ集光し、散逸を防ぐこ
とができる。
ておくと取り出された光は一点へ集光し、散逸を防ぐこ
とができる。
(実施態様)
以下、図面に示す実施態様に基づいて本発明の詳細な説
明する。
明する。
第4図は本発明の一実施態様による光走査記録装置20
を示すものである。基板10の上には、光導波1li1
1と該光導波[11に密着した隣接層12とからなる積
層体13が設けられている。なお隣接層12は一例とし
て、前述した電気光学材料から形成されている。そして
前述のように光導波層11内を光が進行しうるように光
導波層11、隣接層12、基板10はそれぞれ、前記関
係 nz >nl >nl を満たす材料から形成されている。なお前述の通り、n
2、nlはそれぞれ光導波層11、基板10の光屈折率
、nlは隣接層12の電界非印加時の光屈折率である。
を示すものである。基板10の上には、光導波1li1
1と該光導波[11に密着した隣接層12とからなる積
層体13が設けられている。なお隣接層12は一例とし
て、前述した電気光学材料から形成されている。そして
前述のように光導波層11内を光が進行しうるように光
導波層11、隣接層12、基板10はそれぞれ、前記関
係 nz >nl >nl を満たす材料から形成されている。なお前述の通り、n
2、nlはそれぞれ光導波層11、基板10の光屈折率
、nlは隣接層12の電界非印加時の光屈折率である。
このような光導波層11、隣接Jiiり12、基板10
の材料の組合せとしては例えば、[Nb2O5:に3
L 12Nbs Osgニガラス]、[Nb206
:LiN1bO3ニガラス1等が挙げられる。
の材料の組合せとしては例えば、[Nb2O5:に3
L 12Nbs Osgニガラス]、[Nb206
:LiN1bO3ニガラス1等が挙げられる。
尚、先導波路については、例えばT、Tamlr編[1
ntegrated QpticsJ(TOpiC5
in Applied Physics第7巻)S
pr i naer−Ver l aQ刊(1975)
:6原、春名、栖原共著「光集積回路」オーム社刊(1
985)等の成著に詳細な記述があり、本発明では光導
波層、隣接層、基板の組合せとしてこれら公知の光導波
路のいずれをも使用できる。また、−例として光導波層
11は厚さ0.5〜10μm、隣接層12はそれぞれ厚
さ1〜50μm1基板10は1μm以上に形成されるが
、これに限るものではない。
ntegrated QpticsJ(TOpiC5
in Applied Physics第7巻)S
pr i naer−Ver l aQ刊(1975)
:6原、春名、栖原共著「光集積回路」オーム社刊(1
985)等の成著に詳細な記述があり、本発明では光導
波層、隣接層、基板の組合せとしてこれら公知の光導波
路のいずれをも使用できる。また、−例として光導波層
11は厚さ0.5〜10μm、隣接層12はそれぞれ厚
さ1〜50μm1基板10は1μm以上に形成されるが
、これに限るものではない。
隣接層12内ニハ電極対A1、A2、A3〜Anが多数
対並設されている。上記電極対A1、A2、A3〜An
は、それぞれ共通電極C1、C2、C3〜Cnと個別電
極D1、C2、D3〜Dnとからなり、各電極間の間隙
P1、P2、P3〜pnが隣接層12に沿って1列に延
びるように並べられている。なお共通電極C1〜Cnと
個別電極D1〜Qnはそれぞれ、例えば幅100〜20
0μm1電極間間隔が100〜200μ「n程度、換言
すれば上記間隙P1〜pnのサイズが各々100X 1
00μm〜200X200μm程度となるように形成さ
れてJ5す、各電極対A1〜Anは互いの間隔を100
〜200μm程度に設定して配列されている。これらの
共通電極C1〜Qnと個別電極D1〜[)nは、基板1
0上に形成されたドライバ15に接続されている。(な
おドライバ15は基板10とは独立して設けられてもよ
い)また隣接層12の表面には、上記電極間の間隙P1
、P2、P3〜Pnにそれぞれ対向する位置において回
折格子G1、G2、G3〜Gnが形成されている。
対並設されている。上記電極対A1、A2、A3〜An
は、それぞれ共通電極C1、C2、C3〜Cnと個別電
極D1、C2、D3〜Dnとからなり、各電極間の間隙
P1、P2、P3〜pnが隣接層12に沿って1列に延
びるように並べられている。なお共通電極C1〜Cnと
個別電極D1〜Qnはそれぞれ、例えば幅100〜20
0μm1電極間間隔が100〜200μ「n程度、換言
すれば上記間隙P1〜pnのサイズが各々100X 1
00μm〜200X200μm程度となるように形成さ
れてJ5す、各電極対A1〜Anは互いの間隔を100
〜200μm程度に設定して配列されている。これらの
共通電極C1〜Qnと個別電極D1〜[)nは、基板1
0上に形成されたドライバ15に接続されている。(な
おドライバ15は基板10とは独立して設けられてもよ
い)また隣接層12の表面には、上記電極間の間隙P1
、P2、P3〜Pnにそれぞれ対向する位置において回
折格子G1、G2、G3〜Gnが形成されている。
−力光導波層11には、電極間間隙P1〜Pnの並び方
向の延長上において、導波路レンズ16が形成されてお
り、また基板10には光導波層11内の上記導波路レン
ズ16に向けてレーザビーム14°を射出する半導体レ
ーザ11が取り伺けられている。そして隣接層12から
図中上方に離れた位置には、副走査手段としてのエンド
レスベルト装置19が配設され、該エンドレスベルト装
置19により感光体18が、矢印Y方向(間隙P1〜p
nの並び方向と直角な方向)に移送されるようになって
いる。
向の延長上において、導波路レンズ16が形成されてお
り、また基板10には光導波層11内の上記導波路レン
ズ16に向けてレーザビーム14°を射出する半導体レ
ーザ11が取り伺けられている。そして隣接層12から
図中上方に離れた位置には、副走査手段としてのエンド
レスベルト装置19が配設され、該エンドレスベルト装
置19により感光体18が、矢印Y方向(間隙P1〜p
nの並び方向と直角な方向)に移送されるようになって
いる。
第5図は上記光走査部20の駆動回路21を含む記録装
置の制御回路を示すものである。以下この第5図を参照
して、光走査部20の作動について説明する。まず前述
の半導体レーザ11が駆動され、レーザビーム14′が
光導波1111内に射出される。このレーザビーム14
′は導波路レンズ16によって平行光14とされ、この
光14は光導波層11内の電極間開l1lIP1〜Pn
の並び方向に進行する(第4図参照)。そして共通電極
C1〜Cnと個別電極D1〜Qnとの間には、電圧発生
回路22から発生された電圧■が、前記ドライバ15を
介して印加される。
置の制御回路を示すものである。以下この第5図を参照
して、光走査部20の作動について説明する。まず前述
の半導体レーザ11が駆動され、レーザビーム14′が
光導波1111内に射出される。このレーザビーム14
′は導波路レンズ16によって平行光14とされ、この
光14は光導波層11内の電極間開l1lIP1〜Pn
の並び方向に進行する(第4図参照)。そして共通電極
C1〜Cnと個別電極D1〜Qnとの間には、電圧発生
回路22から発生された電圧■が、前記ドライバ15を
介して印加される。
ここで上記ドライバ15は、クロック信号CLKに同期
して作動するシフトレジスタ23の出力を受けて作動し
、共通電極01〜Cnとの間に電圧を印加する個別電極
を1つづつ順次選択して、上記電圧印加を行なう。つま
り最初はn個の個別電極D1〜Dnのうち1番目の個別
電極D1と共通電極C1との間のみに、次は2番目の個
別電極D2と共通電極C2との間のみに、・・・・・・
と電圧Vが印加される。こうして電極対A1〜Anの各
電極間に順次電圧が印加され、電極間間隙P1〜Pnに
順次電界が加えられると、その電界が加えられた部分の
隣接層12の光屈折率が高くなる。すると前述したよう
に前記光14はその間隙P1〜Pnに対向する部分にお
いて光導波層11から隣接層12側に出射し、回折格子
01〜Gnの回折作用により隣接層12外に出射する。
して作動するシフトレジスタ23の出力を受けて作動し
、共通電極01〜Cnとの間に電圧を印加する個別電極
を1つづつ順次選択して、上記電圧印加を行なう。つま
り最初はn個の個別電極D1〜Dnのうち1番目の個別
電極D1と共通電極C1との間のみに、次は2番目の個
別電極D2と共通電極C2との間のみに、・・・・・・
と電圧Vが印加される。こうして電極対A1〜Anの各
電極間に順次電圧が印加され、電極間間隙P1〜Pnに
順次電界が加えられると、その電界が加えられた部分の
隣接層12の光屈折率が高くなる。すると前述したよう
に前記光14はその間隙P1〜Pnに対向する部分にお
いて光導波層11から隣接層12側に出射し、回折格子
01〜Gnの回折作用により隣接層12外に出射する。
つまり最初は回折格子G1から、次は回折格子G2から
、回折格子Gnの次は元に戻って回折格子G1から、と
光14の出射位置が順次変化するので、感光体18はこ
の出射した光14により、第4図の矢印X方向に走査さ
れるようになる(なお光出射位置が、回折格子G1→G
2−+・−−−−−Gn−+G (n−1> −+G
(n−2) −・・・−ト変化するように、電極対A1
〜Anへの電圧印加を制御してもよい)。そして第5図
に示すように、半導体レー)f17のドライバ24を変
調回路25によって制御して、レーザビーム14′を画
像信号Sに基づいて変調すれば、感光体18にはこの画
像信号Sが担持する画像が1主走査ライン記録される。
、回折格子Gnの次は元に戻って回折格子G1から、と
光14の出射位置が順次変化するので、感光体18はこ
の出射した光14により、第4図の矢印X方向に走査さ
れるようになる(なお光出射位置が、回折格子G1→G
2−+・−−−−−Gn−+G (n−1> −+G
(n−2) −・・・−ト変化するように、電極対A1
〜Anへの電圧印加を制御してもよい)。そして第5図
に示すように、半導体レー)f17のドライバ24を変
調回路25によって制御して、レーザビーム14′を画
像信号Sに基づいて変調すれば、感光体18にはこの画
像信号Sが担持する画像が1主走査ライン記録される。
なおこのとぎ、上記変調のタイミングを前記クロック信
号CLKによって制御して、光走査のタイミングと同期
させる。そして上記のようにして主走査を行なうととも
に、クロック信号CLKによって該主走査と同期をとっ
てエンドレスベルト装置19を駆動し、感光体18を第
4図の矢印Y方向に移動させて副走査を行なえば、この
感光体18には上記画像信号Sが担持する2次元像が記
録されるようになる。
号CLKによって制御して、光走査のタイミングと同期
させる。そして上記のようにして主走査を行なうととも
に、クロック信号CLKによって該主走査と同期をとっ
てエンドレスベルト装置19を駆動し、感光体18を第
4図の矢印Y方向に移動させて副走査を行なえば、この
感光体18には上記画像信号Sが担持する2次元像が記
録されるようになる。
なお本実施態様において隣接Wi12の表面に設けられ
る回折格子01〜Qnは、集光回折格子として形成され
ており、該回折格子01〜Gnから出射した光14は、
感光体18上の一点に集束されるようになっている。こ
の集光回折格子は、光導波層11内の光14の進行方向
に同心円状の格子パターン(グリッドパターン)を並設
し、そして各パターンの曲率とパターン間ピッチを変化
させてなるものであり、それにより上述のような集束作
用を有するものとなっている。なおこのような集光回折
格子については、例えば電子通信学会技術研究報告0Q
C83−84の47〜54ページ等に詳しく記載されて
いる。
る回折格子01〜Qnは、集光回折格子として形成され
ており、該回折格子01〜Gnから出射した光14は、
感光体18上の一点に集束されるようになっている。こ
の集光回折格子は、光導波層11内の光14の進行方向
に同心円状の格子パターン(グリッドパターン)を並設
し、そして各パターンの曲率とパターン間ピッチを変化
させてなるものであり、それにより上述のような集束作
用を有するものとなっている。なおこのような集光回折
格子については、例えば電子通信学会技術研究報告0Q
C83−84の47〜54ページ等に詳しく記載されて
いる。
また、半導体レーザ17を光導波層11に直接結合せず
に、レンズやカプラープリズム、グレーティングカブラ
等を介して光導波層11に光を入射させるようにしても
よい。また半導体レーザ11は光導波層11の形成時に
これと一体に形成されてもよい。
に、レンズやカプラープリズム、グレーティングカブラ
等を介して光導波層11に光を入射させるようにしても
よい。また半導体レーザ11は光導波層11の形成時に
これと一体に形成されてもよい。
そして走査光を発生する光源も上述の半導体装置ザ17
に限らず、その他例えばガスレーザや固体レーザ等が用
いられてもよい。
に限らず、その他例えばガスレーザや固体レーザ等が用
いられてもよい。
また、連続調画像を記録する場合、上記レーザビーム1
4′の変調は、従来から公知の光強度変調により行なっ
てもよいし、あるいは該レーザビーム14′をパルス状
に出射させ、パルス数変調、またはパルス幅変調を行な
うようにしてもよい。なお感光体18を走査する光14
を画像信号に応じて変調するには、上記のように半導体
レーザ17を直接変調する他、この半導体レーザ17と
光導波層11との間に例えばEOM(電気光学光変調器
)、AOM(音響光学光変調器)等の光変調器を設けて
、この光変調器によりレーザご一ム14゛を変調するよ
うにしてもよい。
4′の変調は、従来から公知の光強度変調により行なっ
てもよいし、あるいは該レーザビーム14′をパルス状
に出射させ、パルス数変調、またはパルス幅変調を行な
うようにしてもよい。なお感光体18を走査する光14
を画像信号に応じて変調するには、上記のように半導体
レーザ17を直接変調する他、この半導体レーザ17と
光導波層11との間に例えばEOM(電気光学光変調器
)、AOM(音響光学光変調器)等の光変調器を設けて
、この光変調器によりレーザご一ム14゛を変調するよ
うにしてもよい。
ざらに本発明の光走査記録装置においては、光導波I!
11に入射させる光は一定強度に保ったまま、走査光を
変調することも可能である。第6図はそのように形成さ
れた本発明の別の実M態様装置の1flt11回路を示
すものである。なおこの第6図において、前記第5図中
の要素と同等の要素には同番号を付し、それらについて
の説明は省略する(以下、同様)。この第6図の装置に
おいては、電圧発生回路22はパルス状の電圧Vを発生
し、選択された個別電極D1〜は[)nと共通電極C1
〜Onとの間には、このパルス状の電圧Vが印加される
ようになっている。したがって隣接層12の各回折格子
01〜Gnからはパルス状に光14が出射し、このパル
ス状の光14によって感光体18の各走査点が走査され
る。そして上記電圧発生回路22は変調回路25により
、各電極対A1〜Anにおいて、画像信号Sに応じて電
圧のパルス数またはパルス幅を変えるように制御される
。したがって感光体18を走査する光14のパルス数ま
たはパルス幅が、各走査点毎に(画素毎に)画像信号S
に応じて変えられ、感光体18には連続調画像が記録さ
れるようになる。このような変調方式は、連続調画像記
録の場合のみならず、白黒の2値画像を記録する場合に
も適用されうる。すなわち、電圧発生回路22からドラ
イバ15に与えられる駆動電圧を画像信号Sに応じて0
N−OFFすれば、シフトレジスタ23からの信号によ
り電圧印加する個別電極D1〜Onを順次選択しても、
所定の電極対A1〜Anにおいては電圧印加がなされな
いことになり、光導波層11から隣接層12への光出射
が制御されて感光体18に2値画像が記録される。
11に入射させる光は一定強度に保ったまま、走査光を
変調することも可能である。第6図はそのように形成さ
れた本発明の別の実M態様装置の1flt11回路を示
すものである。なおこの第6図において、前記第5図中
の要素と同等の要素には同番号を付し、それらについて
の説明は省略する(以下、同様)。この第6図の装置に
おいては、電圧発生回路22はパルス状の電圧Vを発生
し、選択された個別電極D1〜は[)nと共通電極C1
〜Onとの間には、このパルス状の電圧Vが印加される
ようになっている。したがって隣接層12の各回折格子
01〜Gnからはパルス状に光14が出射し、このパル
ス状の光14によって感光体18の各走査点が走査され
る。そして上記電圧発生回路22は変調回路25により
、各電極対A1〜Anにおいて、画像信号Sに応じて電
圧のパルス数またはパルス幅を変えるように制御される
。したがって感光体18を走査する光14のパルス数ま
たはパルス幅が、各走査点毎に(画素毎に)画像信号S
に応じて変えられ、感光体18には連続調画像が記録さ
れるようになる。このような変調方式は、連続調画像記
録の場合のみならず、白黒の2値画像を記録する場合に
も適用されうる。すなわち、電圧発生回路22からドラ
イバ15に与えられる駆動電圧を画像信号Sに応じて0
N−OFFすれば、シフトレジスタ23からの信号によ
り電圧印加する個別電極D1〜Onを順次選択しても、
所定の電極対A1〜Anにおいては電圧印加がなされな
いことになり、光導波層11から隣接層12への光出射
が制御されて感光体18に2値画像が記録される。
また隣接層12から出射した光14を1点に集束させる
には、前記のように回折格子01〜Qnを集光回折格子
とする他、第7図に示すように、光走査装置20と感光
体18との間に例えばセルフォックレンズアレイ等から
なるレンズアレイ30を設けるようにしてもよい。また
第8図に示すように隣接層12の上に、各電極間間隙P
1、P2、P3〜Pnに対向する位置にレンズL1、L
2、L3〜Lnが設けられたレンズアレイ層31を設け
るようにしてもよい。この場合上記レンズし1〜l−n
は、第8図に示されるように通常の凸レンズ状としても
よいし、またアレイ層材料の屈折率に分布を与えてなる
屈折率分布型レンズとしてもよい。さらには上記のよう
なレンズアレイ30やレンズアレイ層31と、前記集光
回折格子の双方によって光14を集束させるようにして
もよい。しかし上記集光回折格子のみを用いれば、レン
ズアレイ30やレンズアレイ1IJ31が不要となり、
光走査部の構造が簡単になって好ましい。また隣接層1
2から出射する光14を以上説明のようにして集束させ
ることは必ずしも必要ではなく、場合によっては平行光
、あるいは拡散光によって感光体18を走査するように
しても構わない。
には、前記のように回折格子01〜Qnを集光回折格子
とする他、第7図に示すように、光走査装置20と感光
体18との間に例えばセルフォックレンズアレイ等から
なるレンズアレイ30を設けるようにしてもよい。また
第8図に示すように隣接層12の上に、各電極間間隙P
1、P2、P3〜Pnに対向する位置にレンズL1、L
2、L3〜Lnが設けられたレンズアレイ層31を設け
るようにしてもよい。この場合上記レンズし1〜l−n
は、第8図に示されるように通常の凸レンズ状としても
よいし、またアレイ層材料の屈折率に分布を与えてなる
屈折率分布型レンズとしてもよい。さらには上記のよう
なレンズアレイ30やレンズアレイ層31と、前記集光
回折格子の双方によって光14を集束させるようにして
もよい。しかし上記集光回折格子のみを用いれば、レン
ズアレイ30やレンズアレイ1IJ31が不要となり、
光走査部の構造が簡単になって好ましい。また隣接層1
2から出射する光14を以上説明のようにして集束させ
ることは必ずしも必要ではなく、場合によっては平行光
、あるいは拡散光によって感光体18を走査するように
しても構わない。
以上説明した実mra様においては、光導波層11と隣
接層12との積層体13は基板10上に設けられている
が、特にこのような基板10を用いず、光導波層11が
直接空気に接するようにしても構わないし、さらには光
導波層11の両表面に隣接層12を積層して、光導波層
11の上下両側に走査光を出射させ、2つの感光体を同
時に走査することも可能である。
接層12との積層体13は基板10上に設けられている
が、特にこのような基板10を用いず、光導波層11が
直接空気に接するようにしても構わないし、さらには光
導波層11の両表面に隣接層12を積層して、光導波層
11の上下両側に走査光を出射させ、2つの感光体を同
時に走査することも可能である。
また副走査手段としては前記エンドレスベルト装置19
に限らず、例えば回転ドラム等、その他の公知のものが
用いられてもよい。勿論、この副走査手段は感光体を移
動させるものの他、静置された原稿の表面に沿って光走
査部を移動させるものであってもよい。特に本発明装置
は、機械的作動部分を持たない簡単な積層体13によっ
て光走査部が構成されているので、容易に光走査部を移
動させることができる。
に限らず、例えば回転ドラム等、その他の公知のものが
用いられてもよい。勿論、この副走査手段は感光体を移
動させるものの他、静置された原稿の表面に沿って光走
査部を移動させるものであってもよい。特に本発明装置
は、機械的作動部分を持たない簡単な積層体13によっ
て光走査部が構成されているので、容易に光走査部を移
動させることができる。
さらに本発明の光走査記録装置は、前記電極間間隙P1
〜Pn等のエネルギー付加箇所が複数列並ぶように形成
することもできる。そのようにすれば、例えばエネルギ
ー付加箇所の各列に対してそれぞれRlG、B等の色フ
ィルタや、発光色が相異なる光源を組み合わせるなどし
て、カラー画像記録のために用いることも可能になる。
〜Pn等のエネルギー付加箇所が複数列並ぶように形成
することもできる。そのようにすれば、例えばエネルギ
ー付加箇所の各列に対してそれぞれRlG、B等の色フ
ィルタや、発光色が相異なる光源を組み合わせるなどし
て、カラー画像記録のために用いることも可能になる。
(発明の効果)
以上詳細に説明した通り本発明の光走査記録装置は、単
一の光源を使用して光走査を行なうものであるから、前
記LEDアレイ等にみられる光源の発光強度バラツキの
問題が無く、精密走査が可能となり、光源の光利用効率
も高められる。また本発明の光走査記録装置は、機械的
作動部分を備えない簡単な光走査部によって光走査を行
なうものであるから耐久性、耐振動性に優れて調整も容
易であり、さらに光ビームを大きく振らずに走査可能で
あるから、光走査系の大型化を回避し、小型に形成する
ことができる。
一の光源を使用して光走査を行なうものであるから、前
記LEDアレイ等にみられる光源の発光強度バラツキの
問題が無く、精密走査が可能となり、光源の光利用効率
も高められる。また本発明の光走査記録装置は、機械的
作動部分を備えない簡単な光走査部によって光走査を行
なうものであるから耐久性、耐振動性に優れて調整も容
易であり、さらに光ビームを大きく振らずに走査可能で
あるから、光走査系の大型化を回避し、小型に形成する
ことができる。
第1図は本発明装置の光走査の仕組みを説明する説明図
、 第2(a)〜(C)図は第1図の装置の分散曲線を示す
グラフ、 第3(a)〜(C)図は第1図の装置における導波光の
電界分布を表わす概念図、 第4図は本発明の第1実施態様によ光走査記録装置を示
す斜視図、 第5図は上記光走査記録装置の電気回路を示すブロック
図、 第6図は本発明の第2実施態様による光走査記録装置の
電気回路を示すブロック図、 第7図、第8図はそれぞれ、本発明の第3実施態様、第
4実施態様による光走査記録装置の一部を示す側断面図
である。 10・・・基板 11・・・光導波層12・
・・隣接層 13・・・積層体14・・・光
15・・・ドライバ16・・・導波路レン
ズ 17・・・半導体レーザ18・・・感光体
19・・・エンドレスベルト1a20・・・光走査
部 21・・・駆動回路22・・・電圧発生回路
23・・・シフトレジスタ25・・・変調回路
A1〜An・・・電極対G1〜Gn・・・回折格
子 P1〜pn・・・電極間間隙第6図 (自発)手続?市正書 特許庁長官 殿 昭和60年7
月5日1、事件の表示
匹′は1特願昭60−74063号 26発明の名称 光走査記録装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所゛ 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社4、代理人 東京都港区六本木5丁目2番1号 はうらいやビル 7階 (7318)弁理士 柳 1)征 史 (ほか1名)5
、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補
正の対象 明細層の「発明の詳細な説明」の欄8、
補正の内容 1)明細書第8頁第17行 「光のモードの」を削除する・ 2)同第9頁第8行 rNz >Ns >N3 JをrNz >N1.N3
Jと訂正する。 3)同第11頁第8〜9行 「なお・・・・・・には、」を1また、」と訂正する。 4)同第13頁第4行 rNz >N1>N3 JをrNz >Nt 、N3
Jと訂正する。 5)同頁第12〜15行 FT、 Tam i r−Ve r I aqJ ’i
rティー9ミー)Lt(T、Tam1 r)編「イン
チグレイテッド オブティクス(Integrated
Qptics)J (トビツクスイン アプライ
ド フィジックス(TOρics 1nApplie
d Physics)第7巻)スブリンガ−7エアラ
ーグ(Spr i nqer−Ver l aq)Jと
訂正する。 6)同第14頁第11行 rloo 〜200u、mJを「10μm〜200μm
」と訂正する。 7)同頁第12行 「100〜200μm」を110μm〜5mmJと訂正
する。 8)同頁第13〜14行 「100×100μm〜200×200μm」を[10
×10μm−0,2X5mmJと訂正t ル。 (自発)手続?PrJ正書 特許庁長官 殿 昭和61年2
月6日金 1、事件の表示 特願昭60−74063号 2、発明の名称 光走査記録装置 3、訂正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社4、代理人 東京都港区六本木5丁目2番1号 はうらいやビル 7階 <7318)弁理士 柳 1)征 史 (ほか1名)5
、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明Jの欄、図面
(1) 明細書第9頁第6行および第14行「光導波層
」の次に1111を加入する。 (2) 同頁第8行 「接層」の次に1−12」を加入する。 (3) 同頁第15行 「導波光」の次に114」を加入する。 (4) 同第10頁第8行 1−減少」をl−増大」と訂正する。 (5) 同第11頁第1行 「図に」を[図のコと訂正する。 (6) 同第15頁最終行 1−11内のコを「11内を」と訂正する。 (7) 同第18頁第7行 1−同心円」を「2次曲線コと訂正する。 (8) 昭和60年7月5日付手続補正書の補正の内容
の2)および4)項の補正事項全文を、以下の通り訂正
する。 l 1−n2 > nl > n34をrnz >n、
、n3」と訂正する。」(9) 第2図を添付のものと
差し代える。 第2V (C)
、 第2(a)〜(C)図は第1図の装置の分散曲線を示す
グラフ、 第3(a)〜(C)図は第1図の装置における導波光の
電界分布を表わす概念図、 第4図は本発明の第1実施態様によ光走査記録装置を示
す斜視図、 第5図は上記光走査記録装置の電気回路を示すブロック
図、 第6図は本発明の第2実施態様による光走査記録装置の
電気回路を示すブロック図、 第7図、第8図はそれぞれ、本発明の第3実施態様、第
4実施態様による光走査記録装置の一部を示す側断面図
である。 10・・・基板 11・・・光導波層12・
・・隣接層 13・・・積層体14・・・光
15・・・ドライバ16・・・導波路レン
ズ 17・・・半導体レーザ18・・・感光体
19・・・エンドレスベルト1a20・・・光走査
部 21・・・駆動回路22・・・電圧発生回路
23・・・シフトレジスタ25・・・変調回路
A1〜An・・・電極対G1〜Gn・・・回折格
子 P1〜pn・・・電極間間隙第6図 (自発)手続?市正書 特許庁長官 殿 昭和60年7
月5日1、事件の表示
匹′は1特願昭60−74063号 26発明の名称 光走査記録装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所゛ 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社4、代理人 東京都港区六本木5丁目2番1号 はうらいやビル 7階 (7318)弁理士 柳 1)征 史 (ほか1名)5
、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補
正の対象 明細層の「発明の詳細な説明」の欄8、
補正の内容 1)明細書第8頁第17行 「光のモードの」を削除する・ 2)同第9頁第8行 rNz >Ns >N3 JをrNz >N1.N3
Jと訂正する。 3)同第11頁第8〜9行 「なお・・・・・・には、」を1また、」と訂正する。 4)同第13頁第4行 rNz >N1>N3 JをrNz >Nt 、N3
Jと訂正する。 5)同頁第12〜15行 FT、 Tam i r−Ve r I aqJ ’i
rティー9ミー)Lt(T、Tam1 r)編「イン
チグレイテッド オブティクス(Integrated
Qptics)J (トビツクスイン アプライ
ド フィジックス(TOρics 1nApplie
d Physics)第7巻)スブリンガ−7エアラ
ーグ(Spr i nqer−Ver l aq)Jと
訂正する。 6)同第14頁第11行 rloo 〜200u、mJを「10μm〜200μm
」と訂正する。 7)同頁第12行 「100〜200μm」を110μm〜5mmJと訂正
する。 8)同頁第13〜14行 「100×100μm〜200×200μm」を[10
×10μm−0,2X5mmJと訂正t ル。 (自発)手続?PrJ正書 特許庁長官 殿 昭和61年2
月6日金 1、事件の表示 特願昭60−74063号 2、発明の名称 光走査記録装置 3、訂正をする者 事件との関係 特許出願人 柱 所 神奈川県南足柄市中沼210番地名 称
富士写真フィルム株式会社4、代理人 東京都港区六本木5丁目2番1号 はうらいやビル 7階 <7318)弁理士 柳 1)征 史 (ほか1名)5
、補正命令の日付 な し 6、補正により増加する発明の数 な し7、補
正の対象 明細書の「発明の詳細な説明Jの欄、図面
(1) 明細書第9頁第6行および第14行「光導波層
」の次に1111を加入する。 (2) 同頁第8行 「接層」の次に1−12」を加入する。 (3) 同頁第15行 「導波光」の次に114」を加入する。 (4) 同第10頁第8行 1−減少」をl−増大」と訂正する。 (5) 同第11頁第1行 「図に」を[図のコと訂正する。 (6) 同第15頁最終行 1−11内のコを「11内を」と訂正する。 (7) 同第18頁第7行 1−同心円」を「2次曲線コと訂正する。 (8) 昭和60年7月5日付手続補正書の補正の内容
の2)および4)項の補正事項全文を、以下の通り訂正
する。 l 1−n2 > nl > n34をrnz >n、
、n3」と訂正する。」(9) 第2図を添付のものと
差し代える。 第2V (C)
Claims (6)
- (1)少なくとも一方がエネルギー付加により光屈折率
を変える材料からなり、互いに密着された光導波層と通
常は該光導波層よりも小さい光屈折率を示す隣接層との
積層体と、 前記光導波層および/または隣接層に、前記光導波層内
を進む導波光の光路に沿つて設けられた複数のエネルギ
ー付加手段と、 前記隣接層の上部の、少なくとも前記エネルギー付加手
段によるエネルギー付加箇所に対応する部分にそれぞれ
設けられた回折格子と、 前記光導波層内に、前記配列されたエネルギー付加箇所
に沿つて進むように光を入射させる光源と、 前記複数のエネルギー付加手段を順次択一的に所定のエ
ネルギー付加状態に設定し、そのエネルギー付加箇所に
おいて前記導波光が前記回折格子との相互作用により前
記積層体の外に出射するように前記光導波層および/ま
たは隣接層の光屈折率を変化させる駆動回路と、 前記積層体から出射した前記光が照射される位置に配さ
れた感光体と前記積層体とを、前記エネルギー付加箇所
の配列方向と略直角な方向に相対移動させる副走査手段
と、 前記積層体から出射する光を画像信号に応じて変調する
変調手段とからなる光走査記録装置。 - (2)前記材料が電界印加により光屈折率を変える電気
光学材料であり、前記エネルギー付加手段が電極対であ
り、前記エネルギー付加箇所がこの電極対の電極間間隙
であり、前記駆動回路が前記電極対の電極間に電界を印
加するように形成されていることを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載の光走査記録装置。 - (3)前記変調手段が、前記光源から前記光導波層内に
入射される光を変調する光変調器であることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項または第2項記載の光走査記録
装置。 - (4)前記変調手段が、前記電界をパルス状に印加し、
そして各電極対においてそれぞれ画像信号に応じて前記
パルスの幅または数を変化させる変調回路であることを
特徴とする特許請求の範囲第2項記載の光走査記録装置
。 - (5)前記回折格子が、前記光導波層から前記隣接層内
に入射した光を、集束するように出射させる集光回折格
子であることを特徴とする特許請求の範囲第1項から第
4項いずれか1項記載の光走査記録装置。 - (6)前記積層体の外側に、前記積層体から出射した光
を集束させる集束光学系が設けられていることを特徴と
する特許請求の範囲第1項から第5項いずれか1項記載
の光走査記録装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60074063A JPS61232426A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 光走査記録装置 |
EP86104707A EP0198380B1 (en) | 1985-04-08 | 1986-04-07 | Light beam scanning apparatus and read-out or recording apparatus using the same |
DE8686104707T DE3686079T2 (de) | 1985-04-08 | 1986-04-07 | Ablese- oder aufzeichnungsgeraet unter verwendung einer lichtstrahlabtastvorrichtung. |
US06/849,450 US4758062A (en) | 1985-04-08 | 1986-04-08 | Light beam scanning apparatus, and read-out apparatus and recording apparatus using same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60074063A JPS61232426A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 光走査記録装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61232426A true JPS61232426A (ja) | 1986-10-16 |
Family
ID=13536360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60074063A Pending JPS61232426A (ja) | 1985-04-08 | 1985-04-08 | 光走査記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61232426A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63194234A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-11 | Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk | 半導体光偏向装置 |
-
1985
- 1985-04-08 JP JP60074063A patent/JPS61232426A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63194234A (ja) * | 1987-02-09 | 1988-08-11 | Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk | 半導体光偏向装置 |
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