JPS61229221A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS61229221A JPS61229221A JP7068885A JP7068885A JPS61229221A JP S61229221 A JPS61229221 A JP S61229221A JP 7068885 A JP7068885 A JP 7068885A JP 7068885 A JP7068885 A JP 7068885A JP S61229221 A JPS61229221 A JP S61229221A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- thin film
- magnetic head
- film magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
再生波形のネガティブエツジを防止した薄膜磁気ヘッド
の構造であって、少なくとも下部磁極層の、ギャップ層
と対向しない側に絶縁膜を介在させて磁性層を形成して
ネガティブエツジが発生しないよう・にしたもの。
の構造であって、少なくとも下部磁極層の、ギャップ層
と対向しない側に絶縁膜を介在させて磁性層を形成して
ネガティブエツジが発生しないよう・にしたもの。
本発明は薄膜磁気ヘッドに係り、特に再生波形にネガテ
ィブエツジを発生しないようにした薄膜磁気ヘッドの構
造に関する。
ィブエツジを発生しないようにした薄膜磁気ヘッドの構
造に関する。
磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドは、益々小型
で軽量であることが要求され、記録に寄与する磁極先端
部での磁気ヘッドの磁界分布が急峻で、高密度の記録が
でき、かつ一括して大量に形成される薄膜磁気ヘッドが
提案されている。
で軽量であることが要求され、記録に寄与する磁極先端
部での磁気ヘッドの磁界分布が急峻で、高密度の記録が
でき、かつ一括して大量に形成される薄膜磁気ヘッドが
提案されている。
このような薄膜磁気ヘッドを用いて記録した情報を再生
する場合、その再生波形にネガティブエツジと称するノ
イズ波形が発生しないような磁極構造の薄膜磁気ヘッド
が要望されている。
する場合、その再生波形にネガティブエツジと称するノ
イズ波形が発生しないような磁極構造の薄膜磁気ヘッド
が要望されている。
従来の′ｓＩ！ｌＩ！磁気へラドの要部断面構造を第３
図に示す。
図に示す。
図示するように薄膜磁気ヘッドは、基板１上に下部磁極
層２、ギャップ層３、第１の絶縁層４、薄膜コイル５、
第２の絶縁層６、上部磁極層７、保護層８が積石して形
成されている。
層２、ギャップ層３、第１の絶縁層４、薄膜コイル５、
第２の絶縁層６、上部磁極層７、保護層８が積石して形
成されている。
このような薄膜磁気ヘッドを用いて記録した情報を再生
する際、下部磁極層２および上部磁極層の磁気記録媒体
対向面で、第４図に示すように、その再生信号の孤立波
形には、その裾のＡ、Ｂの部分でネガティブエツジと称
して正規の信号波形より負側に落ち込んだノイズ波形が
発生する。
する際、下部磁極層２および上部磁極層の磁気記録媒体
対向面で、第４図に示すように、その再生信号の孤立波
形には、その裾のＡ、Ｂの部分でネガティブエツジと称
して正規の信号波形より負側に落ち込んだノイズ波形が
発生する。
これは、薄膜磁気ヘッドの上下両磁極層２．７の記録媒
体対向面の寸法ｌが３μｍと極めて狭い薄膜磁気ヘッド
の特有の現象である。
体対向面の寸法ｌが３μｍと極めて狭い薄膜磁気ヘッド
の特有の現象である。
そこで本発明者は以前に、このようなネガティブエツジ
が発生しないようにした薄膜磁気ヘッドを特願昭５９−
２２９９０１号に於いて提案した。
が発生しないようにした薄膜磁気ヘッドを特願昭５９−
２２９９０１号に於いて提案した。
この薄膜磁気ヘッドの構造は第５図に示すように下部磁
極層１１のギャップ層１２側と対向する側面に突起部分
Ｃを形成し、この突起によって下部磁極層１１の磁極先
端部りに於ける磁束の集中を、突起部分Ｃ側に移動分散
させ、第４図に示すネガティブエツジが発生している波
形の部分Ａ、Ｂの傾きをなだらかにして負側に落ちこま
ないようにし、良好な記録再生信号を得るようにしてい
る。
極層１１のギャップ層１２側と対向する側面に突起部分
Ｃを形成し、この突起によって下部磁極層１１の磁極先
端部りに於ける磁束の集中を、突起部分Ｃ側に移動分散
させ、第４図に示すネガティブエツジが発生している波
形の部分Ａ、Ｂの傾きをなだらかにして負側に落ちこま
ないようにし、良好な記録再生信号を得るようにしてい
る。
然し、このような薄膜磁気ヘッドの構造は、下部磁極層
１１に突起部分Ｃを有する複雑な構造を有しており、こ
の構造の下部磁極層を形成する工程は非常に煩雑となる
欠点がある。
１１に突起部分Ｃを有する複雑な構造を有しており、こ
の構造の下部磁極層を形成する工程は非常に煩雑となる
欠点がある。
本発明は、簡単な構造で製造が容易な薄膜磁気ヘッドの
提供を目的とするものである。
提供を目的とするものである。
本発明の薄膜磁気ヘッドの構造は、下部磁極層２１、或
いは上部磁極層３２のギャップ層２２と対向する面と反
対側の面に絶縁層２３を隔てそ磁性体層２４を設けた点
にある。
いは上部磁極層３２のギャップ層２２と対向する面と反
対側の面に絶縁層２３を隔てそ磁性体層２４を設けた点
にある。
即ち、本発明の薄膜磁気ヘッドは、下部磁極層２１、或
いは上部磁極層３２のギャップ層２２と対向する面と反
対側の面に絶縁層２３を隔てて磁性体層２４を形成する
ことで、下部磁極層２１、或いは上部磁極層３２の磁気
記録媒体２５と対向する面の角部に磁束が集中するのを
緩和させ、この磁束集中によって発生するネガティブエ
ツジが生じないようにしたものである。
いは上部磁極層３２のギャップ層２２と対向する面と反
対側の面に絶縁層２３を隔てて磁性体層２４を形成する
ことで、下部磁極層２１、或いは上部磁極層３２の磁気
記録媒体２５と対向する面の角部に磁束が集中するのを
緩和させ、この磁束集中によって発生するネガティブエ
ツジが生じないようにしたものである。
以下、図面を用いて本発明の一実施例につき詳細に説明
する。
する。
前記した第１図に示すように下部磁極層２１のギャップ
層２２と対向する面と反対側に絶縁層２３を隔てて磁性
体層２４を形成する。このようにすると、記録媒体２５
に対向する下部磁極層２１の角部に、記録媒体２５から
の磁束が集中するために、発生していた第４図のネガテ
ィブエツジは緩和される。
層２２と対向する面と反対側に絶縁層２３を隔てて磁性
体層２４を形成する。このようにすると、記録媒体２５
に対向する下部磁極層２１の角部に、記録媒体２５から
の磁束が集中するために、発生していた第４図のネガテ
ィブエツジは緩和される。
この理由は磁性体層２４の存在により、下部磁極層２１
の角部での磁束集中が緩和されることにある。
の角部での磁束集中が緩和されることにある。
そのため、第２図の曲線４１のＥ部に示すように再生信
号の孤立波形が第４図に示すように負側に落ち込まなく
、このネガティブエツジによるノイズ信号のレベルが低
下する。
号の孤立波形が第４図に示すように負側に落ち込まなく
、このネガティブエツジによるノイズ信号のレベルが低
下する。
本実施例では、磁性体層２４を下部磁極層２１のギャッ
プ層２２の対向側に形成したが、上部磁極層２６のギャ
ップ層に対する側に対して反対側に形成しても良い。
プ層２２の対向側に形成したが、上部磁極層２６のギャ
ップ層に対する側に対して反対側に形成しても良い。
また両方の磁極層２１．２６のギャップ層に対する反対
側の両方に磁性体層２４を設けても良い。
側の両方に磁性体層２４を設けても良い。
このような本実施例の薄膜磁気ヘッドを形成するには、
基板２７上に磁性体層２４をメッキ法、或いはスパッタ
法で形成した後、スパッタ法、あるいは蒸着法を用いて
二酸化珪素（ＳｉＯ２） Ｉ！ｌ！２３を形成する。そ
の後、Ｎｉ−Ｆｅ １ｉＩよりなる下部磁極層２１をメ
ッキ法、またはスパッタ法で形成後、５ｉ０２膜よりな
るギャップ層２２をスパック法で形成し、更に第１の絶
縁層２８を熱硬化せるホトレジスト膜で形成し、メッキ
法にて薄膜コイル２９を形成後、第２の絶縁層３１を熱
硬化せるホトレジスト膜で形成し、その上に上部磁極層
３２、及び５ｉ０２膜よりなる保護層３３を形成して薄
膜磁気ヘッドとする。
基板２７上に磁性体層２４をメッキ法、或いはスパッタ
法で形成した後、スパッタ法、あるいは蒸着法を用いて
二酸化珪素（ＳｉＯ２） Ｉ！ｌ！２３を形成する。そ
の後、Ｎｉ−Ｆｅ １ｉＩよりなる下部磁極層２１をメ
ッキ法、またはスパッタ法で形成後、５ｉ０２膜よりな
るギャップ層２２をスパック法で形成し、更に第１の絶
縁層２８を熱硬化せるホトレジスト膜で形成し、メッキ
法にて薄膜コイル２９を形成後、第２の絶縁層３１を熱
硬化せるホトレジスト膜で形成し、その上に上部磁極層
３２、及び５ｉ０２膜よりなる保護層３３を形成して薄
膜磁気ヘッドとする。
以上述べたように本発明の薄膜磁気ヘッドの構造によれ
ば、磁極層と別個に設けた磁性体層によって磁極層の記
録媒体からの磁束の集中が緩和され、薄膜磁気ヘッド特
有の再生出力信号波形に於けるネガティブエツジを減少
させることができ、ノイズ信号の発生が少ない高品質な
薄膜磁気ヘッドが形成される。
ば、磁極層と別個に設けた磁性体層によって磁極層の記
録媒体からの磁束の集中が緩和され、薄膜磁気ヘッド特
有の再生出力信号波形に於けるネガティブエツジを減少
させることができ、ノイズ信号の発生が少ない高品質な
薄膜磁気ヘッドが形成される。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例の構造を示
す断面図、 第２図は本発明の薄膜磁気ヘッドの再生信号の孤立波形
図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの断面図、第４図は従来
の薄膜磁気ヘッドに於ける再生信号の孤立波形図、 第５図は改良型の従来の薄膜磁気ヘッドの断面図である
。 図に於いて、 ２１は下部磁極層、２２はギャップ層、２３は絶縁層、
２４は磁性体層、２５は磁気記録媒体、２６は上部磁極
層、２７は基板、２８は第１の絶縁層、２９は薄膜コイ
ル、３１は第２の絶縁層、３２は保護層、４１は再生曲
第１図 ４溌９乃。へｙｌ’Ａ再を信号−〇友乃困第２図 ｔｈ鱗１慎４蓄汽へ、ド°め軸回 １１３ 図 ８的Ｖ）−＾Ａ四号刷１均図 第 ４ 図
す断面図、 第２図は本発明の薄膜磁気ヘッドの再生信号の孤立波形
図、 第３図は従来の薄膜磁気ヘッドの断面図、第４図は従来
の薄膜磁気ヘッドに於ける再生信号の孤立波形図、 第５図は改良型の従来の薄膜磁気ヘッドの断面図である
。 図に於いて、 ２１は下部磁極層、２２はギャップ層、２３は絶縁層、
２４は磁性体層、２５は磁気記録媒体、２６は上部磁極
層、２７は基板、２８は第１の絶縁層、２９は薄膜コイ
ル、３１は第２の絶縁層、３２は保護層、４１は再生曲
第１図 ４溌９乃。へｙｌ’Ａ再を信号−〇友乃困第２図 ｔｈ鱗１慎４蓄汽へ、ド°め軸回 １１３ 図 ８的Ｖ）−＾Ａ四号刷１均図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板（２７）上に形成した上下の磁極層（２１、２６）
間にそれぞれ絶縁層（２８、３１）を介在させて、ギャ
ップ層（２２）、薄膜コイル層（２９）とを積層した薄
膜磁気ヘッドに於いて、 少なくとも１つの磁極層（２１）の、ギャップ層（２２
）と対向しない側の磁極面の近傍に、該磁極層（２１）
と絶縁した別個の磁性体層（２４）を設けたことを特徴
とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7068885A JPS61229221A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7068885A JPS61229221A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61229221A true JPS61229221A (ja) | 1986-10-13 |
Family
ID=13438829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7068885A Pending JPS61229221A (ja) | 1985-04-02 | 1985-04-02 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61229221A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0360978A2 (en) * | 1988-09-27 | 1990-04-04 | Fujitsu Limited | A thin film magnetic head for perpendicular recording and reproducing |
| US6646828B1 (en) * | 1999-09-17 | 2003-11-11 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and method of manufacture the same |
-
1985
- 1985-04-02 JP JP7068885A patent/JPS61229221A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0360978A2 (en) * | 1988-09-27 | 1990-04-04 | Fujitsu Limited | A thin film magnetic head for perpendicular recording and reproducing |
| US6646828B1 (en) * | 1999-09-17 | 2003-11-11 | Tdk Corporation | Thin film magnetic head and method of manufacture the same |
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