JPS61228000A - SiCウイスカ−の製造装置 - Google Patents

SiCウイスカ−の製造装置

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JPS61228000A
JPS61228000A JP60066234A JP6623485A JPS61228000A JP S61228000 A JPS61228000 A JP S61228000A JP 60066234 A JP60066234 A JP 60066234A JP 6623485 A JP6623485 A JP 6623485A JP S61228000 A JPS61228000 A JP S61228000A
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sic
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whiskers
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JP60066234A
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Hajime Saito
肇 斎藤
Masataka Suzuki
正隆 鈴木
Tetsuro Urakawa
浦川 哲朗
Masaaki Mori
正章 森
Hideo Nagashima
長島 秀夫
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Coorstek KK
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Toshiba Ceramics Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B25/00Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
    • C30B25/005Growth of whiskers or needles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/36Carbides

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は炭化ケイ素(S i C)ウィスカーの製造装
置に係り、より詳細にはSiCウィスカー強化複合材の
繊維骨格として用いられるSiCウイスカーの製造装置
に係る。
[従来の技術] ケイ素源及び炭素源を含む混合原料を非酸化性雰囲気下
で加熱してSiCウィスカーを製造することは知られて
いる(特公昭58−51911号公報、特開昭59−3
1837@公報、及び特開昭59−23831号公報参
照)。
そして、特公昭58−51911号公報及び特開昭59
−31837号公報等には、生成されたSiCウィスカ
ーを一旦水中等で分散させてから複合材に使用する技術
が開示されている。
しかし乍ら、特開昭58−51911号公報および特開
昭59−31837号公報に開示の如<SiCウィスカ
ーを一旦水中等で分散させてマトリックス物質と混合成
形するようにした場合、手間がかかるのみならず、Si
Cウィスカーの分散が不十分となり、マトリックス物質
中への均質な混入分散を行ない難い。
前記した問題点を回避すべくSiCウィスカーが比較的
均一な空隙組織をもつ集合体の形で得られることに着目
して、混合原料を閉じた容器中に入れて該容器内にSi
Cウィスカーを生成させるに際して、該容器内の形状を
複合材と同様な形状にしておき、複合材と同様な形状の
SiCウィスカーの集合体を生成させ、この集合体(l
維骨格)にマトリックス物質を導入し、介在させるよう
にすることが、特開昭59−23831号公報に開示さ
れている。
[発明が解決しようとする問題点] しかし乍ら、特開昭59−23831号公報に開示のも
のでは、SiCウィスカーが混合原料充填領域を含む領
域に生成される故、繊維長の長い(数層程度)ウィスカ
ーが得られず、また繊維骨格をなすべきSiCウィスカ
ー集合体中に多量の原料残漬等が混在する虞れがあるの
みならず、集合体の場所によってウィスカーの生成密度
乃至空隙分布がかなり異なる虞れがある。
本発明は前記した点に鑑みなされたものであり、その目
的とするところは、空隙分布の一様なSiCウィスカー
の集合体を所望の形状で形成し得るSiCウィスカーの
製造装置を提供することにある。
[問題点を解決するための手段] 本発明によれば、前記した目的は、ケイ素源及び炭素源
を含むSiCウィスカー生成用の混合原料が充填される
領域とは別のところに位置しており、前記混合原料から
SiCウィスカーが生成される領域が、該領域に生成さ
れるべぎSiCウィスカーの集合体が骨格として用いら
れる物品の形状と実質的に同じ形状であるSiCウィス
カーの製造装置によって達成される。
この明細書において実質的に同じ形状とは、合同のみな
らず、相似な形状も含み、場合によっては一方向、二方
向、又は三方向に異なる割合で集合体を圧縮させた際、
合同又は相似な形状になるものも含む。
[作用及び効果] 本発明の装置では、SiCウィスカーが集合体の形で生
成されるべき領域が、混合原料の充填されるべき領域と
は別のところに位置する故、繊維長が長く(数層程度)
原料残渣等の不純物が混在する割合が低い集合体を製造
し得るのみならず、空隙分布が原料等によって規制され
る虞れがない故、一様な空隙分布の集合体を製造し得る
尚、ウィスカー生成空間の位置が原料充填領域とは別個
に形成されている場合、充填領域から完全に離れたとこ
ろに生成空間があってもよい。
また本発明の装置では、SiCウィスカーの生成領域が
混合原料の充填領域とは異なる所に位置する故、該生成
領域に生成されるSiCウィスカーは充填領域に生成さ
れるSiCウィスカーよりも比較的長くなり、三次元的
にからみあった構造となるので、マトリックスの補強効
果の点で短かいウィスカーよりも好ましい。
本発明による好ましい一興体例のSiCウィスカーの製
造装置では、SiCウィスカー生成領域が混合原料充填
領域の直上に形成されている。
本発明の好ましい一興体例のSiCウィスカーの@造装
置では、SiCウィスカーの生成領域がグラファイト製
の壁部によって規定されている。
本発明によれば、ウィスカー生成空間の体積は混合物(
原料)の体積の5倍以上であることが好ましい。
ここで、混合原料の体積とは、混合原料の充填時におけ
る当初の体積を指し、ウィスカー生成空間の体積とは、
充填原料の真上にウィスカーを生成させようと意図して
設けた少なくとも1,200℃以上の温度を有する空間
の体積である。
本発明装置で用いられる混合原料は好ましくは、SiO
2、Cに加えてNaFを含む。
混合原料中に加えられているNaFは、非酸化性雰囲気
下で加熱された際、ケイ素源としてのSiO等とケイ酸
塩融体を形成し、S i O2とCとの反応を促進し、
その結果混合材料からのSiOやCOガスの発生を促進
し、SiCの合成反応を促進する。
NaFの割合は長繊維SiCウィスカーの収率(Siの
量に関して:以下間)に敏感に影響を与え、NaFがS
iO2に対してモル比で1/24未満の場合、及び1/
2よりも多い場合、長繊維8iCウイスカーの収率が5
%以下になる(尚この明細書においてSiCウィスカー
について「長繊維」とは長さが500Im以上のウィス
カーを指す)。
混合原料中に含まれるNaFの割合が多過ぎる場合、混
合原料を非酸化性雰囲気下で加熱した際に形成されるケ
イ酸塩融体の量が多くなり過ぎ、SiOやCOが急激に
発生し、系外すなわちウィスカー生成領域の外に未反応
のままま排出される3i成分が多くなると考えられる。
また、フッ化物の分圧が高くなり過ぎ、SiCウィスカ
ーの生成が妨げられると考えられる。
一方、NaFの割合が少な過ぎる場合には、十分な量の
ケイ酸塩融体が形成されず、5in2とCとの反応に長
い時間が必要となり、実際上SiCウィスカーの収率が
低下すると考えられる。
また、混合原料中に粉体状のSiCが合成され易くなる
尚、NaFは、Na3AlF6又はAflF3等の他の
フッ化物と比較して蒸気圧が高く生成物中への混入が少
なくてすむ点で好ましいが、場合によってはNaARF
6等他のフッ等信を用いてもよい。
S i O2源としては、反応性の高いこと及び純度の
高いこと等の観点よりして例えば沈降性無水ケイ酸が好
ましいが、沈降性無水ケイ酸のかわりに工業的に生産さ
れているアエロジル等信のSiO2源を用いてもよく、
更に、場合によっては、キラ(粘土質鉱物のN製過程で
生ずる微粉の廃棄物のことで、主として石英、長石、カ
オリナイト及び雲母からなり、通常SiO2を約701
1i%、AII  Oを約20重量%、K2Oを5重量
%程度含む)、もみ殻等を用いてもよい。
C源としては、活性炭等の反応性の高いものでも、カー
ボンブラック等のグラファイト性のものでもよい。
混合物中の炭素Cの割合は、SiO□とほぼ過不足なく
反応する程度になるように定められ、Cが8102に対
してモル比で1.5未満の場合には炭素分が不足して未
反応のSiO□が多量に残る虞れがあり、一方Cが8 
+ 02に対してモル比で5よりも多い場合には未反応
の炭素分が多量に残る虞れがある。従って、原料の利用
効率の観点からは、混合原料において炭素源のCが二酸
化ケイ素源のS i O2に対してモル比で1.5〜5
であることが好ましい。
尚加熱前において、SiO2、C及びNaFは均一に混
合されることが好ましく、場合によっては造粒してもよ
い。
混合原料の加熱の際、ルツボ内のガス雰囲気が当初非酸
化性であるように、ルツボ及び排気管内の空気は、加熱
前にAr等の不活性気体で置換される。この不活性気体
としては、ArのかわりにHe1N2等でもよい。
非酸化性雰囲気下における前記混合物の加熱は、好まし
くは1 、400〜1 、700℃の範囲の温度で行な
われる。
加熱温度が1 、400℃未満である場合、反応速度が
低下してSICウィスカーの収率が低下する虞れがあり
、加熱温度が1,700℃よりも高い場合、反応速度が
高くなり過ぎて、SiCのウィスカーよりもSiCの粉
体が生成される虞れがある。
本発明によれば、好ましくは、SiO2を1モル部、C
を1.5〜5モル部、NaFを1/24〜1/2モル部
含む混合原料を、非酸化性雰囲気下で1 、400〜1
 、700℃に加熱してSiCウィスカーを@造する。
この場合、本発明によれば、混合原料の表面に位置して
おり、複合材物品と実質的に同じ形状のウィスカー生成
空間に長さ数層程度の長繊維SICウィスカー゛を高収
率で生成し得、且つ混合原料内部に長さが100−前後
のSiCウィスカーを生成し得る。
次に本発明方法を実施するための好ましい一例の装置を
図面に基づいて説明する。
図において、1はグラファイト製のルツボであり、例え
ば内径150履のルツボ1の下部には、高さA(例えば
約30履)まで、SiO2源としての例えば沈降性無水
ケイ酸、C源としての活性炭及びNaFの所定割合の混
合粉2が収容される。このとぎ、ルツボ1の上部には、
高さB(好ましくはB≧5八であり、例えば約150厘
)の範囲まで円柱状物品の形状と同一の円柱状の長繊維
ウィスカー生成用の空間3が形成されてりAる。ルツボ
1はグラファイト製のかわりに、化学的安定性の高いS
iC等で形成されていてもよい。ルツボ1は上部4で縮
径されており、排気管として働くグラファイトチューブ
5 (例えば内径65m、長さ1.300m)の下端5
aに接続されている。
6はルツボ1をほぼ囲繞するように配置されたカーボン
製のヒータであり、ルツボ1及びヒータ6は更に、断熱
材ブロックからなる内側W部7によって囲繞されている
。ルツボ1内の混合原料2を1 、400〜1 、70
0m程度に長時間加熱し続は得る限り、ヒータ6の形、
位置、発熱方式は他の形態でもよい。
8は断熱材ブロック製の外側壁部であり、ウィスカー生
成装置9の外枠を構成している外側壁部8は、壁部7及
びチューブ5を囲繞している。
尚、グラファイトチューブ5の先端には別のチューブ1
0が接続されており、チューブ5と協働して排気管を構
成しているチューブ10の上端10aは外壁部8を貫通
して突出している。尚、ルツボ1の上端4、チューブ5
.10の接続部は通常完全にはシールされていないが、
所望ならば完全にシールしてもよい。
11はAr等の不活性気体の導入管であり、ウィスカー
製造の際、管11から所定の8it量C(例えば200
〜1.Goo d1分:この明細書において、気体の流
速(流1)に圓して87分中のdは常温、常圧下での量
を示す)で導入されたArガスは、内側壁部1と外側壁
部8との間の筒状の空ll112を通った後、外側壁部
8とチューブ5との藺の筒状の空間13を通って流れ、
流出口14から流出する。尚、流入口11から流入し流
出口14から流出する非酸化性気体は、ヒータ6によっ
て約1,400〜1 、700℃に加熱されるグラファ
イト製ルツボ1の外側とカーボンヒータ6との間の空間
15及びカーボンヒータ6のまわりの空0116を非酸
化性に保ち、またその一部(約50m/分程度)は、ル
ツボ1の上部4とチューブ5との接続部からチューブ5
内に入り、チューブ5を通って流出する。
17は、ルツボ1内のウィスカー生成中1W13にAr
ガスを導入可能なように外部からウィスカー生成空間ま
で貫通しているガス導入管である。ウィスカー生成のた
めの原料混合粉2をルツボ1内に入れた後、ルツボ1を
加熱する前に、流入018からArガスを導入し、ルツ
ボ1内及びチューブ5内を完全にArガスで満たす。
この流入口18及び管17は、混合原料2を加熱してい
る期間のうちの少なくとも一部の期間にArガス、Co
ガス又はHFガス等を流すためにも用いられ得る。
尚、9aはm濡用熱電対、9bはヒータ6の通電端子、
9Cは固定具である。
ウィスカーを生成させる際には、ヒータ6に通電してヒ
ータ6によってルツボ1を介して混合粉2を1,400
〜1 、700℃の範囲内の所定温度T1に加熱すると
共に、ウィスカーが生成されるべき空間3の温度T2及
び温度勾配6丁2/Δ2(上方程低温)を25度710
0m以上の所定値に保つ。尚ΔT2/Δ2は場所によっ
て異なってもよく、例えば、下方程Δ′「2/Δ2が大
きくても、逆に上方程ΔT2/ΔZが大きくてもよい。
ΔT2/Δ2が200度/100履以下程度の範囲内で
は、ΔT2/Δ2が大ぎい程!I!!18 i Cウィ
スカーの収率が高くなる。
尚、ウィスカー生成空間3の温度は、好ましくは少なく
とも120G’C以上である。尚、混合粉2の温度及び
ウィスカー生成空間3の所望部位の温度は、熱電対(図
示せず)等の温度検出手段で検出し、この検出手段で検
出した温度に基づいて、ヒータ6に流す電流を調整し、
加熱を調整する。
尚、図ではヒータ6は一つであるが、所望ならば、ルツ
ボ1の各部位の温度を調整し得るように複数の独立に加
熱制御可能なヒータを用いてもよい。
温度勾配ΔT2/Δ2のallは、例えシ断熱材ブロッ
ク7の位置、厚さ、長さ等を変えることによっても行な
われ得るが、所望ならばルツボ1の外表面等を強制冷却
することによってi*mするようにしてもよい。
ヒータ6によって混合粉2をm度′「1に加熱して所定
時間(例えば混合粉2の有効量のほとんどがSiCウィ
スカーの合成に使用されるに必要な時間)の経過の後、
流入口18から管17を介して原料充填域2aの上方の
ウィスカー生成中f!13に、例えばHFガスとArガ
スとの混合気体(例えばHF/Ar −0,05〜1 
(モル比))を20〜100d/分程度で流す。尚、加
熱期間中、流入018を閉じて、流入018からガスを
流さないようにしてもよい。
装w19では、混合原料2の充填領域2aの直上に位置
する円柱状のウィスカー生成空間3に該空閤3の形と同
一形状のSiCウィスカー集合体が一様な空隙分布で得
られる。
この装置9では、ヒータ6によってルツボ1内の混合原
料2を加熱した際、ルツボ1内に生ずるフッ化物は、チ
ューブ5.10を通って外部に排出され得る故、断熱材
壁7,8等がフッ化物によって腐食乃至劣化せしめられ
る虞れが少ない。
尚、この装置9では、混合[112の加熱を開始した後
所定時間の経過後、HFガスを含むガスが1i17から
ウィスカー生成空ti13に導入され得る故、SiCウ
ィスカー生成空間3に空間3と同一の円柱状に生成され
たSiCウィスカー集合体中に混在する5102mを低
減させ得る。
次に第1WJの装!を用いてSICウィスカーの合成を
行なった例について説明する。
創111        。
SiO2(沈降性無水ケイ酸)が1モル部、C(活性炭
)が3モル部、NaFが173モル部からなる講合粉を
ボールミルで混合して得た混合粉2の138gを、第2
図に示すような断面形状のグラファイトルツボ1Cの下
部の原料充填領域2aに高さAまで充填した。このとき
、ルツボ1cの上部には混合原料2の充填容積の約5倍
の容積のウィスカー生成空間3が形成されていた− グラファイトルツボ1のかわりにルツボ1cを配置した
[19において、ルツボ1c内及びルツボ1cの上端1
dL’=接続されたチューブ5.10内をArガスで置
換した後、ルツボ1Cのまわり等ルツボ1Cの外側に管
11からC−500m/分でArガスを流しながら、カ
ーボンヒータ6での加熱によってルツボ1C中の下部の
混合原料の温度°「1を12時ill 1,500℃に
保った(ΔT2/Δ22100度/110Ga+)度量
110Ga+ボ1Cの上部のウィスカー生成空113に
は、太さが゛、0.1〜1.0−で長さが数−の長繊維
SiCウィスカーが、第3図に示す如く生成空間3の形
と同形状の集合体2011p形で得られた。
このSiQウィスカー集合体20は、亭密度カホぼ0−
01〜0.02910i、気孔率が9.8゜、5〜99
.0%の極めて均一な空隙分布の組織構造を有していた
一方、原料2の残渣2bを取り出して空、気中的700
″c’t;’の加熱処理によって、参反応のCを除去(
Ill炭)し、た後の残留混合原料の大部分は、径が0
.1〜1.〇−1長さ100戸前後のS、i9ウィスカ
ーであっ、た。
尚、ウィスカー生成空!!13の形状は最終物品又はそ
の部品となる複、合材の形状と、実質的に同一になるよ
うに任意に形成され!る。
生成されたSiCウィスカー集合体、20はそのままの
組織状態で複合材の繊維骨格として使用され得るが、こ
の集合体20を均等に1圧、縮して密度を上昇させるこ
とにより複合材、のvr  <ram体積率)値を所望
の範囲で制御し得る。
尚、3.+ c、ウィスカー集合体20をラバープレス
で均等に圧縮した場合、1.5g/dの密度まで上昇さ
せ得た。
【図面の簡単な説明】
第1図は本、発明、による好ましい一7具体例のSiC
ウィスカー製造装置の断面説明図、第2図は第1図の装
置のルツボの変形例の断面説明図、第3図は第2図のル
ツボで製造されたSiCウィスカー集合体の説明図であ
る。 1.1C・・姦・・・ルツボ、2・・・・・・混合物、
−3・・・・・・ウィスカー生成空間、6・・・・・・
ピー。夕、20・・・・・・ライス卆−集合体。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ケイ素源及び炭素源を含むSiCウィスカー生成
    用の混合原料が充填される領域とは別のところに位置し
    ており、前記混合原料からSiCウィスカーが生成され
    る領域が、該領域に生成されるべきSiCウィスカーの
    集合体が骨格として用いられる物品の形状と実質的に同
    じ形状であるSiCウィスカーの製造装置。
  2. (2)SiCウィスカー生成領域が混合原料充填領域の
    直上に形成されている特許請求の範囲第1項に記載の装
    置。
  3. (3)SiCウィスカー生成領域の体積が混合原料充填
    領域の5倍以上である特許請求の範囲第1項又は第2項
    に記載の装置。
  4. (4)前記原料充填領域は、SiO_2を1モル部、C
    を1.5〜5モル部、NaFを1/24〜1/2モル部
    含む混合原料が充填されるように構成されている特許請
    求の範囲第1項乃至第3項のいずれかに記載の装置。
  5. (5)非酸化性雰囲気下において、前記混合原料の温度
    を1,400℃〜1,700℃の範囲内の温度に加熱す
    る加熱手段を有する特許請求の範囲第1項乃至第4項の
    いずれかに記載の装置。
  6. (6)SiCウィスカーの生成領域がグラファイト製の
    壁部によって規定されている特許請求の範囲第1項乃至
    第5項のいずれかに記載の装置。
JP60066234A 1985-03-29 1985-03-29 SiCウイスカ−の製造装置 Pending JPS61228000A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5055276A (en) * 1989-11-15 1991-10-08 Huckins Harold A Ceramic whisker growing system

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5055276A (en) * 1989-11-15 1991-10-08 Huckins Harold A Ceramic whisker growing system

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