JPS61225737A - イオン源電極 - Google Patents
イオン源電極Info
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- JPS61225737A JPS61225737A JP60063630A JP6363085A JPS61225737A JP S61225737 A JPS61225737 A JP S61225737A JP 60063630 A JP60063630 A JP 60063630A JP 6363085 A JP6363085 A JP 6363085A JP S61225737 A JPS61225737 A JP S61225737A
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- electrodes
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/08—Ion sources; Ion guns using arc discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、イオンビームを引出すイオン源に係わり、特
に、保守点検を必要とする半導体製造装置関連のイオン
源に好適なイオン減電極に関する。
に、保守点検を必要とする半導体製造装置関連のイオン
源に好適なイオン減電極に関する。
従来、イオン源に関しては、多種多様な構造が考案され
ているが、全てに共通な基本構成としては、レビューオ
ブサイエンティフィクインストラメンツボリューム５３
〜１２ページ１８６５〜６９ （１９８２） （Ｒｅ
ｖｉｅｗ ｏｆ ＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎａｔｒｕｍ
ｅｎｔｓ、 ｖｏ ｌ ５３−１２． ｐ １８６５−
６９、（１９８２））の図１プロトタイプイオン源構造
によく表わされているように、プラズマを生成するプラ
ズマ室（文献ではアークチェンバー）と、プラズマを生
成するための熱電子を放出するためのフィラメント電極
、およびプラズマよりイオンビームを引出すための各電
極と、これらを支持する絶縁部と、電流導入部などによ
り構成される。第４図、第５図に従来構造の一例を示す
。第４図では引出電極７〜９は、それぞれに支持フラン
ジ１０ないし１２に電極の周上数ケ所をネジ２２で締付
固定されている。電極間のギャップ間隙は、支持フラン
ジの構造により決定される微調整は電極締付程度により
行なわれている。又、電気的な接続は、電極をフランジ
に固定することにより兼用されている。
ているが、全てに共通な基本構成としては、レビューオ
ブサイエンティフィクインストラメンツボリューム５３
〜１２ページ１８６５〜６９ （１９８２） （Ｒｅ
ｖｉｅｗ ｏｆ ＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎａｔｒｕｍ
ｅｎｔｓ、 ｖｏ ｌ ５３−１２． ｐ １８６５−
６９、（１９８２））の図１プロトタイプイオン源構造
によく表わされているように、プラズマを生成するプラ
ズマ室（文献ではアークチェンバー）と、プラズマを生
成するための熱電子を放出するためのフィラメント電極
、およびプラズマよりイオンビームを引出すための各電
極と、これらを支持する絶縁部と、電流導入部などによ
り構成される。第４図、第５図に従来構造の一例を示す
。第４図では引出電極７〜９は、それぞれに支持フラン
ジ１０ないし１２に電極の周上数ケ所をネジ２２で締付
固定されている。電極間のギャップ間隙は、支持フラン
ジの構造により決定される微調整は電極締付程度により
行なわれている。又、電気的な接続は、電極をフランジ
に固定することにより兼用されている。
第５図の方法は、電極を一体ユニット化出来るようにし
てあり、電極取付金具２５により支持フランジ１０に取
付けられる。しかし、電極８，９の電気的接続は、専用
のリード線２０．２１で行なわざるを得す、且つ、本構
造のように、電極取付方向とは、逆の方向より、リード
ｆｉ２０．２１を配線するとなると、イオン源の電極の
両側を開口しなければならず、交換作業は繁雑となる。
てあり、電極取付金具２５により支持フランジ１０に取
付けられる。しかし、電極８，９の電気的接続は、専用
のリード線２０．２１で行なわざるを得す、且つ、本構
造のように、電極取付方向とは、逆の方向より、リード
ｆｉ２０．２１を配線するとなると、イオン源の電極の
両側を開口しなければならず、交換作業は繁雑となる。
最近の技術の進歩に伴い、イオン源の用途も広範囲とな
り、且つ、それらは、核融合用プラズマ実験装置などの
超大型実験装置や、イオンミリング等の半導体製造装置
などに幅広く使用されるようになってきている。使用す
る装置が大型化とか、生産ライン上の製造設備にイオン
源が用いられるようになると、フィラメント電極の消耗
、ビーム性能を左右する電極引出孔部のへたり、更には
、電極面やプラズマ室壁面のスパッタによる汚れ、使用
ガス分解生成物などによる汚れなどによるイオン源内部
のオーバーホールが不可避となり、その方法、作業性が
極めて重要な問題となってくる。
り、且つ、それらは、核融合用プラズマ実験装置などの
超大型実験装置や、イオンミリング等の半導体製造装置
などに幅広く使用されるようになってきている。使用す
る装置が大型化とか、生産ライン上の製造設備にイオン
源が用いられるようになると、フィラメント電極の消耗
、ビーム性能を左右する電極引出孔部のへたり、更には
、電極面やプラズマ室壁面のスパッタによる汚れ、使用
ガス分解生成物などによる汚れなどによるイオン源内部
のオーバーホールが不可避となり、その方法、作業性が
極めて重要な問題となってくる。
特に、電極を洗浄又は交換する必要が生じた場合、従来
構造では、アークチェンバーをはじめ、電極支持フラン
ジ、絶縁物ボルト、真空ミール材電流導入リード線など
を順次外していかねばならず。
構造では、アークチェンバーをはじめ、電極支持フラン
ジ、絶縁物ボルト、真空ミール材電流導入リード線など
を順次外していかねばならず。
取扱いには熟練を要し、且つ繁雑な保守作業による機器
の停止は、実験計画、あるいは、生産計画、更には品質
管理上に多大な影響を及ぼしている。
の停止は、実験計画、あるいは、生産計画、更には品質
管理上に多大な影響を及ぼしている。
本発明の目的は、イオン源の電極および絶縁物等を一体
化し、この電気的接続をスプリングを利用した圧接とす
ることにより、交換取外し等の保守作業を簡単容易に行
ない得るイオン源電極固定構造を提供することにある。
化し、この電気的接続をスプリングを利用した圧接とす
ることにより、交換取外し等の保守作業を簡単容易に行
ない得るイオン源電極固定構造を提供することにある。
本発明は、半導体製造装置等のイオン源では、大電流を
必要とせず、わづかな電接面でも十分なことより、引出
電極の一つのみを固定保持及び電気的接続することとし
、他の電極は、スプリングで電気的接続が出来れば、電
気的接続作業がなく１、なり、保守のための電極取外し
交換作業が簡単化ゞ出来ることを利用した。
必要とせず、わづかな電接面でも十分なことより、引出
電極の一つのみを固定保持及び電気的接続することとし
、他の電極は、スプリングで電気的接続が出来れば、電
気的接続作業がなく１、なり、保守のための電極取外し
交換作業が簡単化ゞ出来ることを利用した。
−１−〔発明の実施例〕
以下１本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。イオンビーム引出用の電極には７゜８．９があり、
このうち８と９は電極間スペーサ兼絶縁物１４．１５と
共に一番右側の引出電極にネジで取付けられている。従
って、７の電極を取付支持フランジ１０よりボルト２２
を外せば、電極７，８．９絶縁物１４．１５が一体ユニ
ット品として取外すことができる。
る。イオンビーム引出用の電極には７゜８．９があり、
このうち８と９は電極間スペーサ兼絶縁物１４．１５と
共に一番右側の引出電極にネジで取付けられている。従
って、７の電極を取付支持フランジ１０よりボルト２２
を外せば、電極７，８．９絶縁物１４．１５が一体ユニ
ット品として取外すことができる。
一方、取付ける際は、このユニット電極の７の部分をフ
ランジ１０にボルト固定するとき、電極８は、フランジ
１１に取付けられたバネ２３を強く押し付ける形となり
、１１と８の電気的接続が達成される。残りの電極９と
フランジ１２についても同様で、バネ２３を介して電気
的接続が得られる。
ランジ１０にボルト固定するとき、電極８は、フランジ
１１に取付けられたバネ２３を強く押し付ける形となり
、１１と８の電気的接続が達成される。残りの電極９と
フランジ１２についても同様で、バネ２３を介して電気
的接続が得られる。
即ち、第２図にあるように、各電極をそれぞれネジで取
付固定する必要もなく、第５図にあるように支持される
電極８，９のリード線を別に配線する必要もないわけで
、取外し交換が極めて簡単−と′なる。
付固定する必要もなく、第５図にあるように支持される
電極８，９のリード線を別に配線する必要もないわけで
、取外し交換が極めて簡単−と′なる。
バネの構造は、板バネ、コイルバネなと各種利用可能で
、本実施例では、導電材として銅、または、リン青銅な
どの金属を第２図の２３のように、円環状とし、且つ、
固定部２４と２４の間の部分をそり状の弾性構造として
いる。
、本実施例では、導電材として銅、または、リン青銅な
どの金属を第２図の２３のように、円環状とし、且つ、
固定部２４と２４の間の部分をそり状の弾性構造として
いる。
固定部２４はフランジ１１又は１２にネジ止め、もしく
は、スポット溶接などにより円周上の数ケ所で固定され
ている。
は、スポット溶接などにより円周上の数ケ所で固定され
ている。
本発明の実施例では、前述のように、導電材によるバネ
状の弾性構造としなくても、導電材の前面又は背後に弾
性材を叩付けた組１合せ構造とすることにより、電極８
，９とフランジ１１．１２の電気的接続を行なえる。
状の弾性構造としなくても、導電材の前面又は背後に弾
性材を叩付けた組１合せ構造とすることにより、電極８
，９とフランジ１１．１２の電気的接続を行なえる。
なお１図中１はアークチェンバー（プラズマ室容器）、
２は永久磁石、３はフィラメント、４は電流導入端子、
５はガス導入孔、６は、プラズマ室１．７は引出電極（
加速電極）、１’３．１６は絶縁物、１７はイオンビー
ム引出側容器、１８は電流導入端子、１９は絶縁物、３
０は流入ガス、３１は引出イオンビームである。
２は永久磁石、３はフィラメント、４は電流導入端子、
５はガス導入孔、６は、プラズマ室１．７は引出電極（
加速電極）、１’３．１６は絶縁物、１７はイオンビー
ム引出側容器、１８は電流導入端子、１９は絶縁物、３
０は流入ガス、３１は引出イオンビームである。
本発明によれば、イオン源の電極および絶縁物を一体化
した形で、且つ、電気配線の結線作業もなく交換取外し
等の保守作業を簡単容易に行ない得る。
した形で、且つ、電気配線の結線作業もなく交換取外し
等の保守作業を簡単容易に行ない得る。
第１図は、本発明の一実施例の断面図、第２図は、第１
図の■−■矢視図、第３図は電極固定部詳細図、第４図
、第５図は従来構造の断面図である。 ｌ・・・アークチェンバー（プラズマ室容器）２・・永
久磁石、３・・・フィラメント、４・・・電流導入端子
、５・・・ガス導入孔、６・・・プラズマ室、７・・・
引出電極（加速電極）、８・・・引出電極（減速電極）
、９・・・引出電極（接地電極）、１０・・・加速電極
支持フランジ、１１・・・減速電極支持フランジ、１２
・・・接地電極支持フランジ、１３，１４．１５・・・
絶縁物、２２・・・電極固定ボルト（ネジ）、２３・・
・弾性体。
図の■−■矢視図、第３図は電極固定部詳細図、第４図
、第５図は従来構造の断面図である。 ｌ・・・アークチェンバー（プラズマ室容器）２・・永
久磁石、３・・・フィラメント、４・・・電流導入端子
、５・・・ガス導入孔、６・・・プラズマ室、７・・・
引出電極（加速電極）、８・・・引出電極（減速電極）
、９・・・引出電極（接地電極）、１０・・・加速電極
支持フランジ、１１・・・減速電極支持フランジ、１２
・・・接地電極支持フランジ、１３，１４．１５・・・
絶縁物、２２・・・電極固定ボルト（ネジ）、２３・・
・弾性体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、イオンビームが引出されるプラズマをアークガス放
電で生成するプラズマ室と、前記プラズマ室を構成し、
且つ、取外し又は開閉可能なプラズマ室カバーと、前記
プラズマ室より前記イオンビームを前記室外へ引出す複
数の引出電極と、前記各引出電極を絶縁支持する絶縁物
とを備えたイオン源に於いて、 前記複数の引出し電極及び前記引出電極間隔を保持する
絶縁スペーサを一つの電極にて保持し、且つこの電極に
保持される側の電極と電極的に接続される支持体との間
に導電材による弾性構造体を設けたことを特徴とするイ
オン源電極。 ２、特許請求の範囲第１項に於いて、保持される側の前
記電極と前記支持体との間に、導電材と弾性材とを設け
たことを特徴とするイオン源電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063630A JPS61225737A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | イオン源電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60063630A JPS61225737A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | イオン源電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61225737A true JPS61225737A (ja) | 1986-10-07 |
Family
ID=13234855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60063630A Pending JPS61225737A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | イオン源電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61225737A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63190299A (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ装置 |
| JPS63211543A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
| WO2016110505A3 (de) * | 2015-01-09 | 2016-09-15 | Meyer Burger (Germany) Ag | Vorrichtung zur extraktion von elektrischen ladungsträgern aus einem ladungsträgererzeugungsraum sowie ein verfahren zum betreiben einer solchen vorrichtung |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP60063630A patent/JPS61225737A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63190299A (ja) * | 1987-01-31 | 1988-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ装置 |
| JPS63211543A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-09-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
| WO2016110505A3 (de) * | 2015-01-09 | 2016-09-15 | Meyer Burger (Germany) Ag | Vorrichtung zur extraktion von elektrischen ladungsträgern aus einem ladungsträgererzeugungsraum sowie ein verfahren zum betreiben einer solchen vorrichtung |
| CN107112177A (zh) * | 2015-01-09 | 2017-08-29 | 迈尔博尔格(德国)股份公司 | 用于从载流子生成空间提取载流子的设备以及用于运行这种设备的方法 |
| CN107112177B (zh) * | 2015-01-09 | 2019-03-12 | 迈尔博尔格(德国)股份公司 | 用于从载流子生成空间提取载流子的设备以及用于运行这种设备的方法 |
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