JPS61223792A - アクテイブマトリツクス基板 - Google Patents

アクテイブマトリツクス基板

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JPS61223792A
JPS61223792A JP60063402A JP6340285A JPS61223792A JP S61223792 A JPS61223792 A JP S61223792A JP 60063402 A JP60063402 A JP 60063402A JP 6340285 A JP6340285 A JP 6340285A JP S61223792 A JPS61223792 A JP S61223792A
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JP
Japan
Prior art keywords
thin film
film transistor
source
active matrix
wiring
Prior art date
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Pending
Application number
JP60063402A
Other languages
English (en)
Inventor
豊 宮田
隆夫 近村
清一 永田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP60063402A priority Critical patent/JPS61223792A/ja
Publication of JPS61223792A publication Critical patent/JPS61223792A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、透光性基板上に薄膜トランジスタをマトリッ
クス状に形成したアクティブマトリックス基板に関する
ものであり、液晶を用いた表示装置等に用いられるもの
である。
(従来の技術) 近年、透光性基板に薄膜トランジスタを用いたアクティ
ブマトリックス基板の開発が活発である。
言うまでもなく、これ等のアクティブマトリックス基板
は液晶等を用いた表示装置を目的としたものであるが、
将来的には、大型の一次元或いは二次元イメージセンサ
等の可能性もあり、広い応用が考えられる。
第3図は、薄膜トランジスタを用いた従来のアクティブ
マトリックス基板の回路構成を示すもので、1は多結晶
シリコン或いは非晶質シリコンをその一構成要素とする
透光性基板(図示しない)上に形成した薄膜トランジス
タ、2は薄膜トランジスタ1のドレインに電気的に接続
した透明電極と、カラーフィルタを形成する透光性基板
上の透明な対向電極との間に液晶を注入した液晶表示体
で。
この液晶表示体2は映像表示領域3の各画素と対応する
位置に配設されており、液晶による容量以外に、補助容
量としてアクティブマトリックス基板に形成される容量
が付加されることもある。4は薄膜トランジスタlのゲ
ートに接続したゲート配線、5は簿膜トランジスタ1の
ソースに接続したソース配線である。
このように構成された従来例では、ゲート配線4から1
つのゲートラインを選択すると、ソース配線5を通して
薄膜トランジスタ1のドレインと電気的に接続される透
明電極に所定の電位が与えられる。このとき、透明電極
と対向電極との間に注入されている液晶の光読光性が変
化して、2枚の偏光板により光透過率が変化するもので
、以下。
同様に、ゲート配線4から1つのゲートラインを順次選
択していくことにより、1フイールドの画面が形成され
る。
(発明が解決しようとする問題点) ところで、アクティブマトリックス基板と外部駆動回路
との接続は、フレキシブルプリント基板によって各ゲー
ト配線4及びソース配線5と直接接続する(例えば、特
開昭52−116195号参照)か、或いは、映像表示
領域外にシフトレジスタを設けて、このシフトレジスタ
でゲート配線4若しくはソース配線5を選択して、外部
回路との接続本数を少なくする方法がとられる(例えば
、特開昭58−219595号参照)。
しかしながら、前者のフレキシブルプリント基板による
ゲート配[4及びソース配線5との直接接続は、液晶表
示装置の解像度を向上させるために画素数を増加させた
場合には、配線間のピッチが小さくなるので、実装が非
常に困難となる問題があった。又、後者のシフトレジス
タを用いる場合には、映像表示領域3の外周部にシフト
レジスタを設けなければならないので、歩留りが低下す
ると共に、特に、水平操作のためには、高い移動度を有
する半導体材料を用いる必要があるので、薄膜トランジ
スタを形成する材料が限定されるという問題があった。
本発明は、前述のような問題に鑑みてなされたもので、
歩留りが大幅に向上し、且つ、製造原価が安くなるアク
ティブマトリックス基板を提供することを目的とするも
のである。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、ソース配線群の各線を区分してなる各小群の
線の間に薄膜トランジスタのソース及びドレインをそれ
ぞれ接続すると共に、薄膜トランジスタのゲートを複数
のゲート配線に区分して並列接続するものである。
(作用) 映像表示領域に配設した薄膜トランジスタのゲート配線
に印加する信号と、ソース配線群の各線を区分してなる
各小群の線の間にソース及びドレインをそれぞれ接続し
た複数の薄膜トランジスタの信号切換用ゲート配線に印
加する信号とを制御することにより、映像表示領域に配
設したどの薄膜トランジスタに映像信号を印加するかを
選択できる。
(実施例) 以下図面により、本発明の実施例を詳細に説明する。
第1図は、本発明の一実施例におけるアクティブマトリ
ックス基板の回路図であり、6は、コーニング社# 7
059、石英等の透光性基板(図示しない)上に形成し
た半導体薄膜(図示しない)、ゲート絶縁膜(図示しな
い)、ゲート配線7及びソース配!8からなる薄膜トラ
ンジスタ、9は薄膜トランジスタ6のドレインに接続し
た液晶表示体で。
薄膜トランジスタ6と液晶表示体9とは、それぞれ、映
像表示領域10の各画素と対応する位置にマトリックス
状に配設されており、而も、マトリックス状に配設され
た各薄膜トランジスタ6のゲートはゲート配線7によっ
て行毎に並列接続され、ソースはソース配線8によって
列毎に並列接続されている。尚、半導体薄膜には、プラ
ズマCVD法によって形成した水素化非晶質Si、若し
くは、減圧CVD法或いは電子ビーム蒸着法によって形
成した多結晶Siを用い、又、ゲート絶縁膜には。
プラズマCVD法によって形成したSiNx。
SiOx、CVD法によって形成したSin、、若しく
は、半導体層の熱酸化膜を用い、更に、ゲート配線7及
びソース配線8には、DCスパッタリング法によって形
成したMo、W、Cr或いはA1等の金属材料或いはM
 o S xz等の金属硅化物、減圧CVD法によって
形成した多結晶Si、若しくは、DCスパッタリング法
或いはRFスパッタリング法によって形成したSnO,
、Ink、或いはIn、03(S n Ox )等の透
明電極材料を用いればよく、ゲート配線7及びソース配
線8の配線用材料は多層で用いてもよい、11は、映像
表示領域10の外側において、ソース及びドレインを、
ソース配線8を区分してなる各小群の3本の線の間にそ
れぞれ接続した薄膜トランジスタ、12は薄膜トランジ
スタ11のゲートを交互に並列に接続した2本の信号切
換用ゲート配線で、薄膜トランジスタ11及び信号切換
用ゲート配線12は、隣接する3本のソース配線10が
互いに接続されている、映像表示領域lOの外側の上部
と下部とに分割して配設されている。
このように構成された本実施例の動作を、各配線に印加
する駆動パルス及び信号電圧を示した第2図を参照しな
がら説明する。
先ず1時間t□では、パルス信号φ。1がゲート配線7
の7□を介して各薄膜トランジスタ6のゲートに印加さ
れると同時に、パルス信号φ、が信号切換用ゲート配線
12の12aを介して薄膜トランジスタllaのゲート
に印加されるので、ソース配線8を介して各薄膜トラン
ジスタ11のソースに印加されているパルス信号Vsが
、薄膜トランジスタlla及びソース配線8aを介して
薄膜トランジスタ6a1のソースに印加されると共に、
ソース配線8bを介して薄膜トランジスタ6b1のソー
スに印加されて、薄膜トランジスタ6a1及び6b、の
ドレイン電圧は所定の設定電圧となる。
又1時間t2では、パルス信号φ。1がゲート配線7の
71を介して各薄膜トランジスタ6のゲートに印加され
ている状態で、パルス信号φ8が信号切換用ゲート配線
12の12bを介して薄膜トランジスタllbのゲート
に印加されるので、ソース配線8を介して各薄膜トラン
ジスタ11のソースに印加されているパルス信号Vsが
、薄膜トランジスタllb及びソース配線8cを介して
薄膜トランジスタ6c、のソースに印加されると共に、
ソース配線8bを介して薄膜トランジスタ6b□のソー
スに印加されて、薄膜トランジスタ6b、及び6c、の
ドレイン電圧が所定の設定電圧となる。
更に、時間t、では、パルス信号φ。1がゲート配線7
の71を介して各薄膜トランジスタ6のゲートに印加さ
れている状態で、パルス信号φえ及びφヨが信号切換用
ゲート配線12の12a及び12bに印加されないので
、ソース配線8に印加されているパルス信号Vsが、ソ
ース配線8bを介して薄膜トランジスタ6b工のソース
のみ印加されて、薄膜トランジスタ6b1のドレイン電
圧が所定の設定電圧となり、第1の水平操作ラインの表
示が終了する。
次に、時間t、では、パルス信号φ。2が、ゲート配線
7の7.を介して、各薄膜トランジスタ6のゲートに印
加されるが、パルス信号φ、及びφ。
が、前述の如く、信号切換用ゲート配線12の12a及
び12bを介して各薄膜トランジスタlla及びllb
のゲートに順次印加されるので、ソース配線8を介して
各薄膜トランジスタ11のソース及びソース配線8bに
印加されているパルス信号Vsが、時間tit ts及
びt6において1時間tit t、及び1aと同様に、
薄膜トランジスタ6 a、 、 6 b、及び6c。
のソースに順次印加されて、薄膜トランジスタ6a2.
6b、及び6c、のドレイン電圧が順次所定の設定電圧
になり、第2の水平操作ラインの表示が終了する。
以下、前述の如き動作が順次繰り返して行なわれて、第
nの水平操作ラインの薄膜トランジスタ6aas 6b
@及び6cllのドレイン電圧が順次所定の設定電圧に
なれば、1画面分の走査が完了し、信号表示のため各画
素が選択されて、画像表示が可能となる。
尚、実施例において1表示手段に液晶を用いた例で説明
したが、本発明における表示手段は何も液晶に限定され
るものではなく、ELを用いた表示手段にも使用でき、
又、PLZTを用いた光シャッタに・も使用することが
できる。更に、液晶の代わりに設けた光導電膜のソース
配線に印加する電圧を一定として、ソース配線を流れる
電流の変化を検出するようにすれば、撮像素子にも応用
することができる。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば、アクティブマト
リックス基板を用いた液晶表示装置或いは他の材料を用
いた表示装置において、解像度を向上させるために画素
数が増加しても、複雑なシフトレジスタを形成する必要
がなくなるので、フレキシブルプリント基板による実装
が容易できるようになると共に、外部回路との接続本数
が1/3以下になって、配線ピッチが従来の6倍以上に
なるので、大幅な歩留りの向上と、製造原価の低減を図
ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例におけるアクティブマトリッ
クス基板の回路図、第2図は本発明の一実施例における
アクティブマトリックス基板の駆動方法を説明するため
のタイミングチャート、第3図は従来のアクティブマト
リックス基板の回路図である。 6.11・・・薄膜トランジスタ、 7・・・ゲート配
線、 8 ・・・ソース配線、 9 ・・・映像表示手
段(液晶表示体)、lO・・・映像表示領域、  12
・・・信号切換用ゲート配線。 特許出願人  松下電器産業株式会社 第1図 第2ffl

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)映像表示領域に配設された透明電極からなる複数
    の映像表示手段と、前記映像表示手段をドレインに接続
    させて、透光性基板上に形成した複数の第1の薄膜トラ
    ンジスタと、前記第1の薄膜トランジスタを駆動するた
    めの信号が入力するソース配線群及びゲート配線群と、
    前記ソース配線群の各線を区分してなる各小群の線の間
    にソース及びドレインをそれぞれ接続した複数の第2の
    薄膜トランジスタと、前記複数の第2の薄膜トランジス
    タのゲートに接続した複数の信号切換用ゲート配線とが
    具備されていることを特徴とするアクティブマトリック
    ス基板。
  2. (2)前記第2の薄膜トランジスタは、そのソース及び
    ドレインが、前記映像表示領域のいずれか二辺で、前記
    ソース配線群の各小群の各線の間にそれぞれ接続される
    ことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のアク
    ティブマトリックス基板。
  3. (3)前記第1及び第2の薄膜トランジスタは、多結晶
    シリコン或いは水素化非晶質シリコンを一構成要素とし
    て含むことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載
    のアクティブマトリックス基板。
JP60063402A 1985-03-29 1985-03-29 アクテイブマトリツクス基板 Pending JPS61223792A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005156574A (ja) * 2003-09-10 2005-06-16 Hitachi Displays Ltd 表示装置

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