JPS61223588A - 円筒物体の表面検査方法及び装置 - Google Patents

円筒物体の表面検査方法及び装置

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JPS61223588A
JPS61223588A JP60063596A JP6359685A JPS61223588A JP S61223588 A JPS61223588 A JP S61223588A JP 60063596 A JP60063596 A JP 60063596A JP 6359685 A JP6359685 A JP 6359685A JP S61223588 A JPS61223588 A JP S61223588A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、核燃料用のペレットの表面を検査するための
方法及び装置に関するものである。
〔発明の背景〕
核燃料用ペレットは粉末を焼結した円筒状のセラミック
スであり、その円筒周面は研摩されるが円筒端面は研摩
されずプレス成形されたままの状態となっている。
この核燃料ペレットには特開昭56−160645号に
記載されているように周面および端面に亀裂(これをク
ラックという)や欠損(これをチップという)、また金
属が混入したり(これをメタルインクルージ冒ンという
)、気泡が混入したり(これをピットという)すること
に対し判定基準を設け、基準以上のそれらの欠陥があれ
ば不良品として排除する必要がある。そこでこのような
核燃料ペレットの製造過程の最終段階において全ての核
燃料ペレットの表面全体(局面及び端面)を厳密に検査
する必要がある。
更に%核燃料用ペレットは円筒形状を有し1周面及び端
面を検査しなければならなかった。
しかし特開昭55−125057号に示す装置では全体
として処理速度が低いものであった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされ
たもので、多数の核燃料ペレットの局面及び端面を高処
理速度で検査することのできる核燃料ペレット表面検査
方法及び装置を提供しようとするものである。
〔発明の概要〕
高処理速度で検査するには、核燃料ペレットをなるべく
集団の形kまとめ、一括検査を次々に行ってゆくのが効
率的である。この点、円筒状ペレットはその形状の点か
ら見て、複数のペレットを配列kまとめ、回転させなが
ら検査を行えば高速検査が可能である。しかし、そのよ
うな回転検査は図面の検査には適しているが端面の検査
には不適である。この点に鑑みて、本発明では、核燃料
ペレットの検査を2つのステップに分けて行い、第1の
検査ステップでは複数のペレットを一列に並べて移送し
、その移送路で核燃料ペレット列の側面に相当する各核
燃料ペレットの面(局面又は端面の一方)を非接触的に
(−例として光学的に)検査し、第2の検査ステップで
は第1の検査ステップでは検査しなかった方の面を検査
するようKしている。
第1の検査ステップから第2の検査ステップに迅速に移
行させて高処理速度の検査を実現する目的で、行変換ス
テップが設けられる。この行変換ステップでは、第1の
検査ステップで検査済みの核燃料ペレット列を複数並列
に整列させ、そこから1行分の核燃料ペレットを順次送
り出す(すなわち各列から1個づつの核燃料ペレットを
一括して分離する)。これKより、1行分の核燃料ペレ
ットの配列において、その測置は第1の検査ステップで
は検査しなかった方の面を見せている。こうして・第1
の検査ステップから第2の検査ステップに迅速に移行す
ることができる。
この発明の別の観点によれば、上述の本発明方法を実施
するために用いられる核燃料ペレット表面検査装置が提
案される。この核燃料ペレット表面検査装置は、W!数
の核燃料ペレットを複数列状に配列したトレイから1列
の核燃料ペレットを準次送り出すためのp−ダ一部と、
送り出された核燃料ペレット列を直線状に移送し、その
移送路で該核燃料ペレット列における各核燃料ペレット
の円筒面を非接触的に検査する円周面検査部と、前記円
筒面検査部で検査済みの核燃料ペレット列を並列的に複
数列に整列させる精度トレイ部と、前記精度トレイ部に
よって並列化された各核燃料ペレット列から夫々1個の
核燃料ペレットを分離することにより1行分の核燃料ペ
レットの配列を送り出す個別分離部と、前記個別分離部
によりて送り出された1行分の核燃料ペレットの配列を
直線状に移送し・その移送路で該核燃料ペレット行配列
における各核燃料ペレットの端面な非接触的に検査する
端面検査部と、前記端面検査部で検査済みの核燃料ペレ
ットを回収するためのアン四−ダ一部とを具えている。
この核燃料ペレット表面検査装置において、円筒面検査
部と端面検査部における移送路の配置が、精度トレイ部
と**分離部の部分を接続点として略り字形を成すよう
にするのが、構造上及び作業能率上鏝も都合がよい。
〔発明の実施例〕
以下添付図面を参照してこの発明の一実施例を詳細に説
明する。
第1図はこの発明に係る核燃料ペレット表面検査方法の
一実施例を示す図で、処理手順に従って核燃料ペレット
の流れが大まかに示されている。1は、複数の被検査核
燃料ペレット2を複数列状に配列したトレイであり、−
例として22列分の波形配列溝を有し、そのうち両側の
各1列を除いた20列に複数の核燃料ペレット2が配列
されている。各列における核燃料ペレット2は互いの端
面な接し合い、その円筒局面な該核燃料ペレット列の側
面に見せて、全体として細長の円筒状に配列されている
第1の検査ステップT8では、トレイ1から1列の核燃
料ペレットを順次送り出して移送し。
その移送路で該核燃料ペレット列2人の側面に相当する
各核燃料ペレットの面(つまりこの場合は円筒M)を非
接触的に検査する。−例として、この検査T1は所定の
光学的検査装置(図示せず)を用いて、核燃料ペレット
列2人が移送されてゆく過程で実行され、検査結果は図
示しないコンビーータ等によって管理される。
現在検査中の核燃料ペレット列2人をトレイ1の何列目
から取り出したか、及び現在検査中の核燃料ペレットが
この核燃料ペレツ) 列2 Aの中の何番目(何行目の
)のペレットか、Kよって個々の核燃料ペレットを区別
することができ。
これkより個別の核燃料ペレットの検査結果を管理する
ことができる。
次の行変換ステップでは、まず、第1の検査ステップで
検査済みの核燃料ペレット列をトレイ3上に複数列並列
に順次整列させる。これは1列の核燃料ペレットをトレ
イ3上の1列に収納する毎に該トレイ5を矢印入方向に
1列分だけ動かすことkより行われる。こうしてトレイ
3上に1トレイ分の核燃料ペレットを全部整列させたら
、そこから1行分の核燃料ペレツ)2Bを順次取り出し
てC行変換して)第2の検査ステップT、へ向けて送り
出す。
第2の検査ステップT、では、行変換された核燃料ペレ
ットの配列2Bを移送し、その移送路で該核燃料ペレッ
ト行の配列2Bの側面に相当する各核燃料ペレットの面
(つまりこの場合は円筒の両端面)を非接触的に検査す
る。−例としてこめ検査も所定の光学的検査装置を用い
て実吊れ、検査結果はコンビ島−夕等によって管理され
る。核燃料ペレット行配列2Bにおける各核燃料ペレッ
トの順序は列番号に対応しており、個々の核燃料ペレッ
トを区別することができる。
第1の検査結果と第2の検査結果との総合により個々の
核燃料ペレツトの最終的検査結果が判明する。この最終
的な判断はコンビ為−夕等により自動的に下すことがで
きる。
最終的な検査結果に応じて良、不良の核燃料ペレットを
振分ければよい。この場合の一方法として、最終的検査
結果に応じて第2の検査ステップで検査済みの各核燃料
ペレットを等部分けし、トレイ上にwI数列状に配列し
直すようkするとよい。
第2図は、上述の本発明方法を実施するために用いられ
る本発明に係る核燃料ペレット表面検査装置の一実施例
を略示する平面図である。
10はローダ一部であり、前述のよう)[20列の被検
査核燃料ペレットを配列したトレイ1が始端10a)(
置かれるとこれを図示しないコンベアによって矢印B方
向に移送し、所定のP位置で図示しないプッシャー機構
によりトレイ1上の1列の核燃料ペレットを円筒面検査
部11の方に順次送り出す。ローダ一部10に:おける
矢印B方向へのトレイ1の移送は、P位置で1列の核燃
料ペレットが送り出される毎に1列分だけ動かすように
行われる。空になったトレイ11は終端のラック部10
bに収納される。
円筒面検査部11は、P位置でp−ダ一部10から送り
出された核燃料ペレット列2人を直線的に移送する移送
手段8と、その移送路で該核燃料ペレット列2AKおけ
る各核燃料ペレットの円筒局面を非接触的に検査する円
筒面検査光学系6a、6a/とを含んでいる。
第3図は、円筒面検査部11の一実施例の要部を拡大し
て示す斜視図である。移送手段8における移送路は近接
して並置された2本の回転四−212,15kよって構
成される。この回転p−ラ12.13はモータ4によっ
て同一方向に常に回転される。ローダ一部10から送り
出された1列の核燃料ペレット列2人はV溝シー−)1
4を通って回転ローラ12,15間に導かれ、後述する
プッシャー機構(回転ロー212,13の沿って設けら
れたし=ルに摺って移動する。)によって矢印C方向に
押されて精度トレイ部15の方に移送される。この霧中
、第4図に示すように、回転p−ラ12,15の同方向
回転によりその上に置かれた核燃料ペレット列2人は常
に反対方向に従動回転する。移送路の途中の所定位置に
固定された特開昭56−160645号の第4図に示す
光学系611.6a’は、回転p−ラ上の核燃料ベレッ
ト列2人に焦点を合わせた細長い焦点の光を投射する投
光系6aと、この投射光の核燃料ペレット表面からの反
射光を集光し受光する受光系61とを含んでいる。核燃
料ペレット列2人が移動し、かつ回転するので、固定さ
れた光学系6m、6a’によって個々の核燃料ペレット
の円筒局面全体を列内の全核燃料ペレツトに関して検査
することができる。更に特rjM356−160645
号ノ第5図に示す光学系6b、 6klが上記光学系6
m、 6a’ K並設されている。
更に核燃料ペレットの円筒周囲を検査する装置について
説明する。すなわち、第3図に示すように2互に近接し
て搬送方向に平行に延びた2本の回転四−ラ12,15
が設けられており、該四−212,13間の上部KI[
数の核燃料ペレット2がほぼ同軸状に一列に配列され、
図示しないブツシャによって核燃料ペレット列の背後よ
り押圧力を与えてローラ12,15間に載置された核燃
料ペレット列2人を矢印入方向に搬送する。
回転ローラ12.13はモータ4及び伝達ギア装置5を
介して同一方向に回転駆動され1両9−ラ12.13V
c!!する核燃料ペレット2はそれとは逆方向に従動回
転する。第4図は第3図のI−1線矢視断藺図であり、
ローラ12.13の回転とそれkJIする核燃料ペレッ
ト2の従動回転の状態を示している。搬送路の途中の所
定箇所に表面検査用の光学系が設けられている。この光
学系は投光、1%61と受光;A6bとを含んでおり、
投光IAdmは、セーラ12,15上の核燃料ペレット
2の表面に相当する位置に焦点を合わせた細長い焦点の
光を投射する。核燃料ペレット20表面で反射した光は
受光系6bで受光される。核燃料ペレット2の配列が矢
印入方向に直線移動し、かつ前述の如く従動回転するの
で、固定された光学系によって個々の核燃料ペレット2
0円筒局面全体を検査することができる。
以上のような構成の核燃料ペレット表面検査装置によれ
ば、複数の核燃料ペレットを一列にまとめて搬送しなが
らその円筒局面の検査を行うので高スループツトの検査
が期待できる。しかし、核燃料ペレット列を無限長の長
さで休みなく送り続けることは事実上不可能であるので
、その代わりに、限られた長さのウランペレット列を断
続的に回転ローラ12,1!i上に送り込み、これをロ
ーラ12,1!上で淀みなく搬送できるようKした。
この構成を第5図に示す実施例に基いて説明する。
1は、複数の被検査核燃料ペレットを複数列状に配列し
たローダトレイであり、−例として22列分の波形の溝
を有し、両側の各−何分の溝を除<20列分の各溝に夫
々−列につき約40個程度の核燃料ペレットが配列され
るが、・図では数は簡略化して描いである。この四−ダ
トレイ1は図示しないローグ一部のコンベア装置上に載
置され、矢印B方向に自動送りされる。このトレイ1の
送り動作は、導入用ブツシャ8によって一何分の核燃料
ペレットが搬送路に押し出される毎に該トレイ1を一何
分だけ矢印B方向に横送りし、別の核燃料ペレット列が
ブツシャ8によって押圧される位置に(るようにタクト
制貰される。
導入用ブツシャ8は、ローダトレイ1から順次−列のウ
ランペレット列2人を押し出して搬送路に導入するため
のものである。搬送路の導入部分はV溝シ&−ト14(
これは第3図にも示されている)となっており、ウラン
ペレット列2人はブツシャ8によって押されてこのV溝
シ為−ト14を通り、回転ローラ12,15上に導入さ
れる。このV溝シュート14はウランペレット列2人の
各ペレットをほぼ同軸に整列させる機能を果す。
第6図は導入用ブツシャ8の概略構造を示すものである
。タイミングベルト8a、タイミングギヤ8b、ベルト
駆動用モータ8cから成るドライブ装置が所定のプクシ
ャ移動範NfC沿って設けられており、このブツシャ移
動箱MIIC沿ってガイド8Cが設けられ、このガイド
8eVc沿うてスライドし得るブツシャアーム8dの一
端がブツシャヘッド8fとなっており、他端がベル)8
aVc固定されている。ドライブ装置、ガイF8e、ア
ーム8dを収納したケーシング8gがエアシリンダ8h
の伸縮に応じて傾動されるようになっている。図に示す
ような第1の位置ではブツシャヘッド8fが搬送路上の
ウランペレット列2人の軸線にほぼ一致し、このウラン
ペレット列2人を背後から押圧することができる。エア
シリンダ8hが伸びると、軸8iを中心にしてシリンダ
8hが上方に回動すると共に軸8jを中心にしてケーシ
ング8gが回動し、  ゛アーム8dが上方に回動し、
ブツシャヘッド8fが第2の位置に位置する。このl/
c2の位置でハヘッド8fが搬送路上のウランペレット
列2人の軸線から上方にずれている。
゛導入用ブツシャ8によってトレイ1から一列のウラン
ペレット列3人を押し出すときはヘッド8fが上述の第
1の位置に位置する。■溝シーート14を通過して回転
ローラ12,15上の所定の位置(第7図のPl)まで
ペレット列2人を移送したときブツシャ8のヘッド8f
が上述の第2の位置に逃がされ、その状態でブツシャ8
0アーム8dが逆送りされて最初の位置(第7図のPo
)まで戻る。この逆送りの間にローダトレイ1が一何分
だけ横送りされ、次のウランペレット列2人を搬送路に
合致させる。そして、位置POic戻ったブツシャ8の
ヘッド8fが上述の第1の位置まで下降し、次のウラン
ペレット列2人の押し出しを開始する。こうして、ウラ
ンペレット列2人が搬送路に次々に送り出される。
第5図に戻り、回転胃−ラ12,15の両側には2つの
搬送用ブツシャ18.19が夫々設けられている。−各
搬送用ブツシャ18.19は、回転p−ラ12.13に
平行に延びた搬送ドライブ装置183〜18c 、  
19a 〜19cと、アーム部18d、19dとを含ん
でいる。ドライブ装置は、前述の導入用ブツシャ8と同
様に1回転ローラ12,15のほぼ全長にわたって設け
られたタイミングベル) 18a。
19aと、タイミングギヤ18b、 19b sタイミ
ングベルトを駆動するためのモータ18C,19Cを含
んでいる。アーム部18d、19dの一端にはプクシャ
p−ラ18f、19fが軸受けされており、他端は図示
しないボールスプライン機構19gを介してタイミング
ベルト18a、 19a Vc夫々結合されている。
ブツシャルーラ18f、19fに同軸に接触ヘッド18
C* 19eが結合されており、このヘッド18e、1
9eが核燃料ペレット列2人の背後に当接し、タイミン
グベルト18a、 19mの動きがボールスプライン機
構19g1アーム部18d、19dを介してブツシャa
−ラ18f、 19f及び接触ヘッド186,196に
伝達され、ウランペット列2人を背後から押送する。
図示しないボールスプライン機構19gは、タイミング
ベルト18a、19aの移動に伴ってアーム部18d、
19dが移動することを可能とすると共に1移動方向に
直角な面でアーム部18d、19dを回動させることを
可能とするものである。アーム部18d、19dはボー
ルスプライン機構19gを介した回動によって第1の位
置及び第2の位置の一方に選択的に切換えられるようk
なっており、第1の位置では回転ローラ12,15上の
ペレ・ット列2人の軸線上にブツシャローラ18f、1
9f及び接触ヘッド18e、15)eを位置させて該ペ
レット列2人の押送を可能にし、第2の位置では該プツ
シ+a−ラ18f、19f及びヘッド18e、19eが
胃−ラ12,13上のペレット列2人の軸線から所定角
だけ上方に逃れるようになっている。ペレット列2人を
押送するときは第1の位置に位置し、タイミングベルト
18a、19aを逆送りして接触ヘッド18e、19e
を回転ローラ12,15の始端に戻すときは第2の位置
に位置する。
次K・拝送装置を構成するアーム部18d、19dプク
シaru−ラ18f、 19f 、接触ヘッド18e、
19eの一実施例を第8因、第9図を参照して説明する
。尚、第8図、第9図はアーム部19dが前述の第1の
位置に位置している状態を示している。
ブツシャローラ19fは核燃料ペレット2とほぼ同径で
あり、回転p−ラ12,13に接したとき核燃料ペレッ
ト2と同じ条件で従動回転する。このブツシャローラ1
9fの長さは%数個分(−例として4個)のウランペレ
ットの長さに相当する十分な長さを持ち、回転ローラ1
2,15の表面の凹凸に大きく左右されることなく、水
平を保つ(p−ラ19fの軸線を搬送方向に一致させる
]ことができるようになっている。接触ヘッド19eは
ブツシャローラ19fと同軸であり、該算−ラ19fと
同様に回転する。ブツシャローラ19fの両端は軸受2
0,21を介してアーム部19dの2本のフレーム部材
19d、 、 19d、に夫々回転可能に支持されてい
る。各フレーム部材19dl、19d、の他端は軸部材
19d3に微少回転可能に連結されており、軸部材19
d、は接続部材11d4を介してボールスプライン機構
を内蔵したカプリング装置22に連結され、カプリング
装置22はタイミングベル)19aに結合している。軸
部材19d、に押えばね部材230基部25mがねじ止
めされており、ウィング状に延びた押えばね部材23の
作動片23b、 25cは両フレーム部材19d、 、
 19d!の上辺に圧接し、該フレーム部材19d、 
、 19d、を下方k(回転ローラ12,15の方向に
)付勢する。従って、フレーム部材19d、 、 19
d、と共にブツシャローラ19fと接触ヘクト19eが
下方k(回転−−ラ12゜13の方向k)付勢され、ブ
ツシャローラ19fが2本の回転ローラ12,13)C
圧接され、該ローラ12、’I5の回転に伴、て確実に
従動回転する。
ブツシャ18,19の一方が搬送路の始端付近の所定位
置で待機しているとき・それに対応するアーム部18d
、19dは上記第2の位置に位置しており、導入用ブツ
シャ8によって搬送路に導入されるペレット列2人のた
めに道を空けている。
第7図のPIK示す所定の位置まで導入用ブツシャ8が
ペレット列2人を導入し、該ブツシャ8のヘッド8fが
前述の通り第2の位装置まで上がって初期位置POへの
逆戻りを開始すると、待機していた搬送用ブツシャ18
又は19(第7図では19)のアーム部18d、19d
が上記第1の位置に回動し、同時にタイミ°ングベルト
1am、 19akよる移送が開始する。こうして、導
入用ブツシャ8によって搬送路の入口まで導入されたウ
ランペレット列2人は、上記第1の位置にアーム部j8
d、19dが設定された一方の搬送用ブツシャ18,1
9のヘッド1ae、 191! Icよってその背後か
ら押圧され、ローラ12,15に沿って矢印C方向に終
mまで押送される。
この拝送は2つの搬送用ブツシャ18.19によって交
代で行われる。例えば、成るペレット列2人を一方のブ
ツシャ18)Cよって押送した場合、その次に導入され
たペレット列2人は他方のブツシャ19/よっそ押送す
る。搬送路の終端までペレット列2人を押送したブツシ
ャf8.19は、押送が終了するとアーム部18d、 
19dを前記第2の位置に切換え、その状態で搬送路の
始端まで逆送りされる。その後、新たなペレット列2人
の押送を開始する。こうして2つの搬送用ブツシャ18
.19によって交互に繰返しペレット列2人が押送され
、多数のペレット列2人を沖みなくほぼ連続に近い形で
搬送することができる。
第3図を参照して説明したように1回転a −ラ12,
11C沿って搬送される過程で核燃料ペレット列2人の
各核燃料ペレクト周面が光学的に検査される。従うて、
搬送用ブツシャ18.19によるペレット列2人の搬送
速度は検査用光学系の応答速度(受光素子と増幅器の周
波数応答)k適合し得る範囲でできるだけ速くするのが
作1業効率上好ましい。一方、導入用ブツシャ8の移動
速度や搬送用ブツシャ18.19の戻り速度はそのよう
な応答速度制限を受けないので、高速化して搬送作業全
体の円滑化を計るのが好ましい。
搬送路の終端に接して設けられた精度トレイ15は、搬
送されてきたペレット列を淀みなく受入れると共に次の
作業の円滑化を計るために1円筒局面検査済みの核燃料
ペレット列2人を並列 的 1= 廟富 凌W さ せ
 2− ナー kへ I) 東 n−7’sc  フ;
    軸 I  (嘗−イ15は四−ダートレイ1と
同様K11l1列の溝を具えており、搬送路の終端から
一何分のペレット列2人が一何分の溝に送り込まれる毎
に矢印り方向に一何分だけ横送りされ、次の検査済みペ
レット列2人を収納するための空の溝を搬送路に合致さ
せる。
勿論、導入用ブツシャ8.搬送用ブツシャ18゜19、
p〜ダートレイ1、及び精度トレイ15の各種動作タイ
ミングは、上述した動作に矛盾の生じないよう相互に調
和して制御される。そのような制御の細部は公知のシー
ケンス制御あるいはタクト制御技術を用いて容易に実現
できる設計的事項であるため、ここでは特にその詳細は
説明しない。また、各ブツシャ8,18.19の速度配
分は、多数の核燃料ペレット列2人が搬送路を淀みなく
流れるようKI11aK選ぶことができる。
なお、搬送用ブツシャ18,19の数は必らずしも2個
)Clliらず、それ以上設けることも可能であムA市
?−場存鯰^増1えM易^正^11階らず、その他の構
造とすることができる。また表面検査装置も光学系に限
らず、その他の非接触式検査装置であってもよい。
このように導入用ブツシャ8と、交互に核燃料ペレット
列を押送する少(とも2つの搬送用ブツシャ18.19
との協働により、限られた数の核燃料ペレットから成る
多数の核燃料ペレットから成る多数の核燃料ペレット列
をほぼ連続に近い形で搬送することができ、高スループ
ツトの円筒面の検査を実現することができる。更に核燃
料ペレット列2人を背後から押送する接触ヘッド18e
、19eは核燃料ペレット2と同じ条件で回転して拝送
力を核燃料ペレツ)2Aの軸心に一致させることができ
るため、搬送途中で核燃料ペレット2が浮き上がる現象
を抑止することができ、常に円筒面表面を合焦点状態に
維持させることができる。
更にこの円筒面検査部11において、搬送途中での核燃
料ペレットの浮き上がりを防止して精度の良い核燃料ペ
レットの円筒面検査ができるよ5に第10図に示す負圧
吸引手段が設けられて    ゛いる。即ち回転賞−ラ
12,15間の隙間に沿って所定範囲で負圧@”51装
置24が設けられる。この負圧吸引装置24は該ローラ
12,15間の隙間に沿って所定範囲で設けられた吸引
ノズル24aと、このノズル24a )C連結した排気
ダク) 24b 、該ダク) 24bの途中に設けられ
た負圧調整パルプ24C1真空ポンプ24dを含んでい
る。
前述の通り、搬送路の途中の所定箇所でローラ12,1
3の上方に表面検査用の光学系6m、 4a:6b。
6b’が設けられており、負圧g&引装置24は少なく
ともの光学系6a、 ba’、 6b、 6b’の配置
に対応する範囲で設けられる。これは、少なくとも表面
検査時においてペレットの浮き上りが生じないようにす
ればよいからである。しかし、これに限らず、搬送路全
長にわたって負圧吸引装置24を設けてもよい。
負圧g&引装置24)(よる負圧吸引によって核燃料ペ
レット2が吸引され、ローラ12,15に密着されると
共K、ペレット20周囲に付着していた研磨による粉末
も@引され除去される。従って、核燃料ペレット2の浮
き上がりが防止され、ペレット表面が光学系68.6&
’6b、 6b’の照明光の焦点から外れることのない
ようになる。
負圧吸引力はペレット2の浮き上がりを防止し得る程度
の比較的弱い力でよいため、負圧調整バルブ2ac l
tcよつてこれを調整する。バルブ24cの調整は手動
でよいが、ペレット2の?Ftt上がりを検知して自動
調整するようKしてもよい。このようにペレットが搬送
路すなわちEl −ラに密着し、浮き上がりを防止する
ことができ、ペレットの表面位置が常に合焦点状態とな
り、検査精度を高めることができる。
また前記回転ローラ12,1!iの表面は、ハードクロ
ームメッキ等を施して、耐摩耗性を有し、しかも滑りや
すくすることが好ましい。
以上の如く、円筒面検査済みの核燃料ペレット列2Aは
精度トレイ部15に送られる。精度トレイ部15は、矢
印り、D方向に往復動可能な精度トレイ15aを含んで
おり、精度トレイ15aにおける1列分の溝に1列分の
核燃料ペレットを収納する毎に該精度トレイ15aを1
列分だけ矢印り方向に移動させる。こうして、複数の核
燃料ベレット列2人が精度トレイ15a上で複数列並列
に整列させられ、1トレイ分の核燃料ペレット列(例え
ば20列)が全て精度トレイ15a上に整列されると該
精度トレイ15J1上の核燃料ペレット列が全て個別分
離部16に移される。空になった精度トレイ15aは矢
印り方向に戻り、再び別の核燃料ペレット列を整列させ
る。
個別分離部16は、精度トレイ15aから1トレイ分の
核燃料ペレット列が一括して移される分離トレイ16a
と行分離機構とを含んでおり、分離トレイ16a上に並
列的に整列された各核燃料ペレット列から夫々1個の核
燃料ペレットを分離することにより1行分の核燃料ペレ
ットの配列なバレン) 17 k向けて送り出すもので
ある。
第11図は個別分離部16の一実施例を一部省略して(
及び核燃料ペレットの配列を省略して)示す拡大斜視図
である。1トレイ分の全核燃料ペレット列を整列させた
精度トレイ15mが一点鎖線15g’で示すように分離
トレイ16JIの位置に合致したとき、図示しない一括
プクシャによって精度トレイ15a上の核燃料ペレット
列が最終部から矢印E方向に押されて全列同時に分離ト
レイISa上に移される。分離トレイ16Jl上で行列
状に配列された核燃料ペレットのうち1行分の核燃料ペ
レットが個別分離部160行分離機構によって順次取り
出され、行配列移送用パレット17上に載せられる。7
7111図ではパレット17は他の部分よりも拡大して
示しである。
分離トレイ16mの各列毎に列に沿って細長い開口があ
けてあり、この開口内を各列毎に設けられたブツシャ2
5が移動し得るよう罠なっている。個々の核燃料ペレッ
トの長さが68乃至1t8U程度の範囲でばらつきがあ
るため、ブツシャ25の移動は全列共通ではなく、ブー
Q −27g、27bkよって各列独立に駆動されるよ
うになっている。ばね26はブツシャ25の核燃料ペレ
ット2への緩衝を行なわせるために設けられている。
行分離機構は、各列毎に設けられ、かつプーリー27a
、 27b間にワイヤー28をけんかしたブツシャ18
(なお、ブツシャ25は核燃料ペレット列が移されると
き逃げるようになっている。)並びにブツシャ25をワ
イヤー28を介して駆動するために駆動軸とクラッチ等
の手段で正逆回転駆動されるプーリー27bからなるブ
ツシャ機構と、駆動軸に設けられた七パレータ駆動用カ
ム29、該セパレータ駆動用カム29からの駆動力を伝
えるし7(+ 5Q、 リンク31及ヒレパー52. 
該レバー32 k 押”i:れてビニオン付きセパレー
タを前進させるためのロッド33.及びビニオン34.
該ビニオン34と噛み合うラック35.並びに軸端にビ
ニオン34を取付けたセパレータの行方向回転軸36と
、全列1行分の分離孔57aを並列穿設しであるセパレ
ータ37かうなるセパレータ機構、駆動軸に設けられた
分離ブツシャ駆動用カム40、該分離ブツシャ駆動用カ
ム40から駆動力を伝え、かつスプリング42が懸架さ
れたレバー41、並びに該レバー41 K連結されて水
平方向に摺動自在に支持され、かつ先端がセパレータ3
7の孔57bk挿入できるように各列毎に対応させて形
成された分離ブツシャ43からなる分離ブツシャ機構と
、セパレータ分離孔内ICM燃料ペレットが進入したか
否かを検出するための発光素子39及び受光素子38か
らなるセンサとを具備している。
第12因は行分離機構を行方向から眺めた要部拡大図で
あり、セパレータ37の分離孔に押し込まれた核燃料ペ
レット2がセパレータ31ご8180度ラック35及び
ビニオン34の機構により矢印Gで示すように反転され
る状況が示されている。
この時、七パレータ37の分離孔57a FIc連通穿
設した分離ブツシャ43の通る孔57bの直径は、分離
孔S7aの直径(ペレット2の直径)より小さくしであ
るから、分離孔57a内の核燃料ペレットが分離孔57
aから外部下方に落下することはない。尚、分離孔37
aの断面は菱形であり、中に挿入されたペレット2との
間にクリアランスが生じるようにして、その損傷を防い
でいる。
また、分離孔37aの上辺長は、ペレット2の最大長よ
り幾分長く、下辺長はペレット2の最小長よりも幾分短
くなっており、必らず1列につき1個だけのペレットを
ピックアップスルようになっている。セパレータ37の
分離孔57aの上下に1分離孔内の核燃料ペレットの有
無を検出するための受光素子382発光素子39からな
るセンサが設けであるが、全分離孔57a内kr核燃料
ヘレット有り」と検出されるとブツシャ25スナわちプ
ーリー27a、ま妃は27bへの動力を切り、(駆動軸
にシリンダーの出力軸に設けられたローラな係合させて
プーリー273.または27bへの動力を伝達する。)
七パレータ駆動用カム29に従動スるレバー30.リン
ク31.及びレバー32により七パレータ37を前進さ
せる。セパレータ577/Cはビニオン34がついてお
り、ガイド部に設けたラック35を噛み合っているので
前進と同時に回転し、セパレータ37が矢印Gに示すよ
うに180度回板回転ところで、分離ブツシャ用駆動カ
ム40I/c従動するレバー41によって動く分離ブツ
シャ43によりセパレータ分離孔57a内部の核燃料ペ
レット2を押し出し、分離ステージ冒ン516に停止位
置決めされたパレット17上に送り出す。
かかるペレット2の行別分離作業を行列の行数だけ繰り
返し、分離トレイ16a上の最終行まで行うと、1トレ
イ分の行分離作業が終了する。
その間、1行分のペレット2が送り出される毎にタクト
運動によってパレット17が矢印F方向に移送され、空
のパレット17が分離ブツシャ43に対応する位置に来
る。また、1トレイ分の行分離作業が行われている間に
、精度トレイ15a上に別の1トレイ分の新たな核燃料
ペレット2が行列状に整列させられる。
以上のようkして、1行毎の核燃料ペレット2が夫々そ
の端面な側方に見せて第13図に示すように1パレツト
17上に配列される。
第2因に示す如く、端面検査部51は、1行分の核燃料
ペレットの配列2Bをのせたパレット17を矢印Pで示
すよう<1m的に移送する移送手段55と、その移送路
の途中でパレット17の核燃料ペレット配列2Bの側面
、つまり各核燃料ペレットの端面な第14図に示す如く
光学的に検査する右端面検査ステージ嘗ン31a、左端
面検査ステージ冒ン31bとを含んでいる。各端面検査
ステージ冒ン51a、51bの手前には面合せステージ
冒ン31f、31gが設定されており、パレット17上
の各ペレットの検査すべき一端面の位置を合わせる処理
を行う。パレット17は各端面検査ステージ嘗ン31a
j1bに対応する位置で一旦停止1位置決めされ、各ス
テージ箇ン51a、31bの検査用光学1A54が矢印
Hに示す如(一定速度で移動してパレット17上の各核
燃料ペレットの端面を順次検査する。この検査結果はコ
ンビエータ等によって管理される。そして検査した光学
    −系54は元の位置に矢印HK示す如(復帰さ
れる。
上記各ステージ璽ン51a、 51b K設けられた検
査用光学系54は特開昭56−1.50645号の第4
図に示されているように第14図に示す如く光源45%
光源45からの光を集め、はぼ平行光に変換するコリメ
ータレンズ46、コリメータレンズ46からの光をスリ
ット光に変換するスリット47、このスリット光を反射
する之う−48.49、反射されたスリット光を集光し
て核燃料ペレット2の端面に照射するためのシリンドリ
カルレンズ50、核燃料ペレット2の端面からの反射光
を集光して結像させるための結像レンズ511.結像さ
れた光像を映像信号に変換するためのCOD等の自己走
査型固体撮像素子52、及び上記光学系を取付けた移動
テーブル53から構成される。
この他特開昭56−160645号の第5図に示す光学
系も上記移動テーブル53上に並設されている。
上記搬送手段55は、第16図、第18図及び第19図
に示すようにパレット17の巾寸法でもって摺動できる
ように形成された溝58と、パレット17を案内するよ
うに形成され、弾性変形しうるように構成されたゴムル
ーラ67と、パレット17を案内支持する回転自在に支
持された四−ラ59と、パレット170下端に形成され
た2つの溝(入口は面取りされている。)6001つま
たは2つに噛合うように爪61を固着したパー62と、
該パー62を矢印Iに示す如く1ステージ璽ンの長さ直
線往復運動させると共に爪61をパレット17の溝゛6
0から解除させて次のパレット17の溝60と噛合せる
ために矢印Jに示す如く回転運動させる手段(図示せず
)とから構成されている。更にパー62の往復運動及び
回転運動によって1ステージ璽ンの間隔で順次送られる
パレット17は、各ステージ嘗ンの位置で停止し、上記
パー62と同期して矢印KW示すように回転駆動される
レバー63に従ってスプリング64の圧力によって矢印
りに示す如く直線移動する位置決めビン65が位置決め
用の穴66に嵌合すると共に対向面に押付けられて位置
決めされる。
一方パレット17は具体的には第16図・第17図に示
すように構成されている。即ちパレット部70には一例
として20個のV字溝71を並列に設けられており、こ
のパレット部70が基部72の上辺にねじ74°によっ
て固定されている。押え機構75は基部72及びパレッ
ト部70に対して相対的に上下動可能に取付けられた2
本のスライド部材76と、パレット[70の上方に位置
し、両スライド部材76上端間に固定された押え部材7
7とを、含んでいる。押え部材77にはパレット部70
の各7字溝71 Vc対応して押えビン78が摺動自在
に設けられている。押えビン7Bは核燃料ベレット2に
当接していない状態では、圧縮スプリング79によって
下方にバイアスされ、ストッパ用のフランジ80と押え
部材77の上辺との係合により止められている。押えビ
ン7Bの頭部がV字溝71上の核燃料ペレツ)2に当接
した状態では、圧縮スプリング79が圧縮され、上方に
移動する。自重により押え部材77が降下してV字溝7
1上の核燃料ペレット2を押える際、上記圧縮スプリン
グ790作用により、核燃料ペレット2に対する上方か
ら押圧が緩衝され、各押えビン78が各核燃料ペレット
2を支障なく押え付けることが可能となる。
第16図、及び第17図では、説明の便宜上、パレット
部70の一部のV字溝71にしか核燃料ペレット2が載
置されていないが、実際にはより多くの7字溝もしくは
全部のV字溝711Ic核燃料ペレット2が載置される
このパレット17は前述のように移送手段55、即ちパ
ー62のステージ嘗ン間陳分の直線往復運動と回転運動
との併用によって矢印F方向に移送される。分離ステー
ジ冒ン31eまで移送されたとき、第18図、及び第1
9図に示すのと同様に基部72の位置決め穴66に位置
決め用ビン65が挿入されてその位置で仮固定され、ス
ライド部材76が第19図に示す如く他の部材62.6
5と同期して矢印Mで示す如く回転駆動されるレバー8
1に係合することkよって所定量上昇されて押え部材7
7が第16図に示すように一点鎖線で示す位置まで上昇
する。その状態で多数の核燃料ペレット2が並列的に各
V字溝71上に搭載され、その後レバー81が回転復帰
して押え部材77が自重等により元の位置まで下降して
各押えビン78の頭部が各V字溝71上の核燃料ペレツ
)2)C当接し、該核燃料ペレット2を固定する。次に
面合せステージW ン51f、 51g においては、
第19図1fc示す如く、矢印へ方向に微動でき、且つ
基準面82を有するステージ83が設けられ、このステ
ージ83はスプリング84が装置されたビン85によっ
て左方向に圧力が付与されて常に回転するカム86FI
C係合し、位置付けされるようになっている。一方各核
燃料ペレツ)2に対応して設けられた押圧ビン87をス
プリング88を介装した形で摺動自在に支持し、且つ矢
印P方向に移動できるように構成されたステージ89が
設けられ、このステージ89は回転するレバー90の揺
動端に設けられたり一う91&C噛合せられている。従
って上記の如く核燃料ベレット2が固定されたパレット
17が面合せ移送手段55でステージロン31f、31
gに移送され、位置決めビン6が挿入されて位置決めさ
れる。その後レバー810反時計方向の回転によって押
え部材77が上昇して核燃料ベレット2の固定を解除し
、カム860回転に伴ってステージ85が右方向に前進
し、基準面82が位置付けされると共にレバー90が反
時計方向に回転されてステージ89が左方向に前進し、
各押圧ビン87が各核燃料ベレット2を押して各核燃料
ペレット2の左端面が基準面82に押付けられる。その
    ゛後しバー81が時計方向に回転することによ
って押え部材77が自重等によって降下し、押えビン7
8によって各核燃料ペレット2がV字溝71上に固定さ
れ、その後ステージ83及び89が後退して核燃料ペレ
ット20面合せが完了する。
面合せが完了した核燃料ペレット2はパレット17によ
って端面検査ステージlン31a、31bに  。
移送されて停止し第18図に示す状態となる。その後端
面検査用の光学系(検出系も含む)が移送テーブル53
によって一定速度で走査し、端面検査が行なわれる。な
お、パレット17の左右の位置決めを正確に行うために
パレット基準面92が設けられている。またパレット1
7が移送される際、パレットの側面が磨耗しないような
超鋼合金95が埋設されている。
端面検査部31で検査済みの核燃料ペレットはアンロー
ダ部33において最終的に回収される。
この実施例ではアンローダ部33の前段に排出部32が
設けられている。排出部32では、コンビ島−夕等によ
り管理された各核燃料ペレツトを等部分けする。−例と
してA級、B級、0級の5ランクに分け、初めはA級ス
テージ冒ン32Aで人級にランク付けされた核燃料ペレ
ットをパレット17のV字溝71上から押え部材77を
上昇させて潤沢的に動作するブツシャ機構94 Kよっ
て選択的に排出し、次KB級ステージ冒ン32BでB級
にランク付けされた核燃料ペレットをパレット17のV
字溝71上から上記と同様にブツシャ機構91Cよって
選択的に排出し、最後VcC級ステージ璽ン52CでC
l1kVCランク付けされた不合格の核燃料ペレットを
パレット17のV字溝71上から排出する。空になつた
パレット17は、パレット下降機構51Cで下降され、
下層の回送移送手段95(駆動源96によって移動させ
るチェーン97上に設けられたビン98でパレット17
をはさむようkした形でガイド案内99上を移送する構
成)kよってパレット上昇機構51dに至り、そこで上
昇させて再び個別分離部L61’C向5゜アンローダ部
33のラック部55aから回収用トレイ34が送り出さ
れ、まずA級ステージ璽ン32Aで振分けられたA級合
格品の核燃料ペレットが該トレイ54上に整列させられ
る。次VcB級ステージ冒ン52Bで振分けられたB級
合格品の核燃料ペレットが該トレイ34上の所定の2列
に整列させられる。合格品を配列したトレイ34は矢印
G方向に送られ、トレイ34と共に人手等によって搬出
・回収される。一方C級ステージ嘗ン32で振分けられ
た不合格品はホッパーに収納され、再生利用される。1
つの回収用トレイ34にのせられるのは最初の同じトレ
イ1にのせられていた1トレイ分の核燃料ペレット群で
ある。
前述の通り・1トレイは22列であり、最初のトレイ1
1/cは20列分だけに核燃料ペレットが配列されてお
り、2列分の空きスペースがある。従って最後のトレイ
34において、2列分のB級合格品を収納する所定の2
列分スペースを必らず確保することができる。
以上述べたような第2rI!Jの核燃料ペレツト表面検
査装置におけるシーケンシャルな、各装置の動作は図示
しない制御装置及び機器によって全自動で実行される。
そのためシーナンス制御装置及び細部機構の詳細は上述
の説明と公知技術を用いて容易に実現できるので、本明
細書では特にその詳細は説明しない。
なお、上記実施例では最初に円筒局面の検査を行い、そ
の後端面の検査を行っているが、これを逆にすることも
不可能ではない。しかし、トレイ1における核燃料ペレ
ットの配列を考えると、実施例通りの順序の方が比較的
容易に実施することができる。また、検査手段は光学系
に限らず、その他の非接触的手段(超音波、X線等)を
用いてもよい。
第2図では、円筒面検査部11と端面検査部31の各移
送路が直角を成し、L字形状となっているが、これに限
らない。例えば精度トレイ部15で全列整列済みのトレ
イ15aを90度ターンさせれば、全体として一直線状
にすることができる。
しかし、ローダ部10におけるトレイ1の搬入作業、及
びアンローダ部33におけるトレイ34の搬8作業は人
手によって行われるため、図示のようにL字形状配置と
すれば、ローダ部10とアンローダ部33とが近接し、
両[10,31間の空トレイの搬送作業が楽になると共
に1両部10,31における作業を単−人で行うことが
できるようkなり、省力化が達成できる。
〔発明の効果〕
以上説明したようk、本発明によれば、複数の核燃料ペ
レットを一列に並べて順次送り出し、この核燃料ペレッ
ト列の円筒周面を検査し、その後各核燃料ペレット列を
並列的に整列させて1行毎に送り出し、この核燃料ペレ
ット行の端面な検査するようkしたので、複数の核燃料
ペレットの円筒局面と端面の両方を淀みなく効率的に検
査することができ、高処理速度の検査を精度よく行うこ
とができる効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明に係る核燃料ペレット表面検査方法の
一実施例を処理手順に従った核燃料ペレツトの大まかな
流れKよって示す図−第2図はこの発明に係る核燃料ベ
レット表面検査装置の一実施例を示す平面概略図、第3
図は第2fIi!Jkおける円筒面検査部の一実施例を
示す要部拡大斜視図、第4図は第3図のIF−IIF線
矢視断面図、第5図は第3図に示す円筒面検査部の一実
施例を示す平面図、第6図は第5v!Jに示すp−ダト
レイから核燃料ペレットを送り出す導入用プクシャの概
略構造を示す斜視図、第7図は第5図に示す導入用ブツ
シャと搬送用ブツシャとの関係を示す図、第8図は搬送
用ブツシャを示した平面図、第9図は第8図の側面図、
第10図は円筒面検査部の核燃料ペレットを回転させる
ローラ部を示す斜視図、第11■は第2図における個別
分離部の一実施例を示す要部拡大斜視図、第12図は第
11因の個別分離部を行方向からみた要部拡大側断面図
、第15fyJはパレット上に配列された1行分の核燃
料ペレットの一部を示す拡大斜視図、第14図は端間検
査用の光学系の一実施例を示した斜視図、第15図は端
面検査部用パレットの核燃料ペレット固定状態を示した
図、第16図は端面検査部用パレット等を示す正面図、
第17図は第16因の平面図、第18図は端面検査部の
端面検査ステージ冒ンを示す断面図・第19図は端面検
査部の面合せステージ箇ンを示す断面図である。 1、5.54・・・トレイ、  2・・・核燃料ペレッ
ト、2人・・・核燃料ペレット列、 2B・・・1行分の核燃料ペレットの配列、10・・・
ローダ部、   11・・・円筒面検査部、11a、H
b・・・円筒面検査光学系、12.1!S・・・回転p
−ラ、15・・・精度トレ伺L15a・・・精度トレイ
、16・・・個別分離部、16a・・・分1ll)レイ
、17・・・パレット、18.28・・リプラシャ、2
6…七パレータ、31・・・端面検査部、 31a、31b・・・左、右の端面検査ステージ91ン
、52・・・排出部、    33・・・アンローダ部
、−55・・・移送手段。 第 2膿 躬6区 第g口 6♀ 躬/2 i 第13ffi 第14 TL i ノ、5[!11

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数の核燃料ペレットを複数列状に配列したトレイ
    から1列の核燃料ペレットを順次送り出して移送し、そ
    の移送路で該核燃料ペレット列の側面に相当する各核燃
    料ペレットの面を非接触的に検査する第1の検査ステッ
    プと、 該第1の検査ステップで検査済みの核燃料 ペレット列を複数並列に整列させ、そこから1行分の核
    燃料ペレットを順次送り出す行変換ステップと、 該行変換ステップで送り出された核燃料ペ レット行の配列を移送し、その移送路で該核燃料ペレッ
    ト行の配列の側面に相当する各核燃料ペレットの面を非
    接触的に検査する第2の検査ステップと、 を具えることを特徴とする核燃料ペレット表面検査方法
    。 2、前記第1の検査ステップにおいて、各核燃料ペレッ
    トはその円筒周面が前記核燃料ペレット列の側面に相当
    するように配列されており、該ペレットを回転させなが
    らその円筒周面を光学的に検査するようになっており、 前記第2の検査ステップにおいて、各核燃 料ペレットの円筒端面が前記核燃料ペレット行の配列の
    側面に相当し、この端面が光学的に検査されるものであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の核燃料
    ペレット表面検査方法。 3、複数の核燃料ペレットを複数列状に配列したトレイ
    から1列の核燃料ペレットを順次送り出して移送し、そ
    の移送路で該核燃料ペレット列の側面に相当する各核燃
    料ペレットの面を非接触的に検査する第1の検査ステッ
    プと、 該第1の検査ステップで検査済みの核燃料 ペレット列を複数並列に整列させ、そこから1行分の核
    燃料ペレットを順次送り出す行変換ステップと、 該行変換ステップで送り出された核燃料ペ レット行の配列を移送し、その移送路で該核燃料ペレッ
    ト行の配列の側面に相当する各核燃料ペレットの面を非
    接触的に検査する第2の検査ステップと、 該第2の検査ステップで検査済みの各核燃 料ペレットを前記第1及び第2の検査ステップでの検査
    結果に応じて等級分けし、トレイ上に複数列状に配列し
    直すステップと、 を具えることを特徴とする核燃料ペレットの表面検査方
    法。 4、複数の核燃料ペレットを複数列状に配列したトレイ
    から1列の核燃料ペレットを順次送り出すためのローダ
    ー部と、 送り出された核燃料ペレット列を直線状に 移送し、その移送路で該核燃料ペレット列における各核
    燃料ペレットの円筒周面を非接触的に検査する円筒面検
    査部と、 該円筒面検査部で検査済みの核燃料ペレット列を並列的
    に複数列に整列させる精度トレイ部と、 該精度トレイ部によって並列化された各核 燃料ペレット列から夫々1個の核燃料ペレットを分離す
    ることにより1行分の核燃料ペレットの配列を送り出す
    個別分離部と、 該個別分離部によって送り出された1行分 の核燃料ペレットの配列を直線状に移送し、その移送路
    で該核燃料ペレット行配列における各核燃料ペレットの
    端面を非接触的に検査する端面検査部と、 該端面検査部で検査済みの核燃料ペレット を回収するためのアンローダー部と、 を具えたことを特徴とする核燃料ペレット表面検査装置
    。 5、前記円筒面検査部と前記端面検査部における移送路
    の配置が、前記精度トレイ部と前記個別分離部の部分を
    接続点として略L字形を成していることを特徴とする特
    許請求の範囲第4項記載の核燃料ペレット表面検査装置
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63131099A (ja) * 1986-11-19 1988-06-03 日本ニユクリア・フユエル株式会社 円柱物体の表面検査装置
EP0690455A1 (en) * 1994-06-28 1996-01-03 Mitsubishi Nuclear Fuel Co. Cylindrical body inspection apparatus
JP2012185118A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Ntn Corp 検査装置および検査方法

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