JPS61219814A - 自動較正機能付計測装置 - Google Patents
自動較正機能付計測装置Info
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- JPS61219814A JPS61219814A JP6085385A JP6085385A JPS61219814A JP S61219814 A JPS61219814 A JP S61219814A JP 6085385 A JP6085385 A JP 6085385A JP 6085385 A JP6085385 A JP 6085385A JP S61219814 A JPS61219814 A JP S61219814A
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- JP
- Japan
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- measurement
- probe
- correction coefficient
- gain
- calibration
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、アナログ式変位検出器を用いて被測定物の形
状等を計測する計測装置に係り、計測精度の向上に利用
できる。
状等を計測する計測装置に係り、計測精度の向上に利用
できる。
［背景技術とその問題点］
機械加工されたワークの形状、例えば軸や穴の真９円度
を計測するには、移動可能な計測主軸に、スタイラスの
変位量を例えば電気マイクロメータ等で検出するアナロ
グ式変位検出器を取付けた計測装置が用いられている。
を計測するには、移動可能な計測主軸に、スタイラスの
変位量を例えば電気マイクロメータ等で検出するアナロ
グ式変位検出器を取付けた計測装置が用いられている。
このものは、スタイラスの変位を電気信号に変換し、そ
の電気信号から変位量を求めるものであるが、スタイラ
スの機械的変位特性や電気回路上の特性によって、実際
に求められた計測値に誤差が含まれることが多い。
の電気信号から変位量を求めるものであるが、スタイラ
スの機械的変位特性や電気回路上の特性によって、実際
に求められた計測値に誤差が含まれることが多い。
そこで、従来では、較正器にアナログ式変位検出器のス
タイラスをセントし、較正器を一定量づつ変位させたと
きのアナログ式変位検出器の値を１１「１次読取りなが
ら較正を行なっていたが、このような較正では、時間や
労力がかかる上、ミスが生じやすい。
タイラスをセントし、較正器を一定量づつ変位させたと
きのアナログ式変位検出器の値を１１「１次読取りなが
ら較正を行なっていたが、このような較正では、時間や
労力がかかる上、ミスが生じやすい。
［発明の目的］
−９ここに、本発明の目的は、このような従来の欠点：
を解消すべくなされたもので、計測装置内に較正器を組
込み、アナログ式変位検出器の較正を自ユ的に行ない、
かつこの較正によって求められた補正係数を基に計測値
を補正するようにした自動較正機能付計測装置を提供す
ることにある。
を解消すべくなされたもので、計測装置内に較正器を組
込み、アナログ式変位検出器の較正を自ユ的に行ない、
かつこの較正によって求められた補正係数を基に計測値
を補正するようにした自動較正機能付計測装置を提供す
ることにある。
［問題点を解決するための手段および作用］そのため、
本発明では、予め設定された手順に従って多次元方向へ
自動的に移動される計測主軸に、スタイラスの変位量を
アナログ式変位検出器によって検知する計測プローブを
取付け、この計測プローブによって被測定物の形状等を
計測する計Ａｉｄ装置において、モータによって変位さ
れかつその変位計がモータの回転量に比例する較正器と
、この較正器に前記計測プローブのスタイラスが接した
状態において、前記モータを所定量づつ回転させ、この
ときのアナログ式変位検出器の値を順次取込んだ後、こ
れらの値から補正係数を求ある制御装置と、この制御装
置によって求められた補正係数を記憶する記憶手段と、
をそれぞれ設け、被１１１１定物の計測時、前記アナロ
グ式変位検出器で得られた計測値を前記記憶手段の補正
係数で補正して変位量を求める、ことを特徴としてい［
実施例］ 第１図は本発明の計測装置の一実施例を示してい柩、同
図において、ベッド１の上面後部には。
本発明では、予め設定された手順に従って多次元方向へ
自動的に移動される計測主軸に、スタイラスの変位量を
アナログ式変位検出器によって検知する計測プローブを
取付け、この計測プローブによって被測定物の形状等を
計測する計Ａｉｄ装置において、モータによって変位さ
れかつその変位計がモータの回転量に比例する較正器と
、この較正器に前記計測プローブのスタイラスが接した
状態において、前記モータを所定量づつ回転させ、この
ときのアナログ式変位検出器の値を順次取込んだ後、こ
れらの値から補正係数を求ある制御装置と、この制御装
置によって求められた補正係数を記憶する記憶手段と、
をそれぞれ設け、被１１１１定物の計測時、前記アナロ
グ式変位検出器で得られた計測値を前記記憶手段の補正
係数で補正して変位量を求める、ことを特徴としてい［
実施例］ 第１図は本発明の計測装置の一実施例を示してい柩、同
図において、ベッド１の上面後部には。
案内溝２に沿ってサドル３が駆動装置４の駆動によりベ
ッドｌの左右方向（Ｘ軸方向）へ移動自在に設けられて
いる。前記駆動装置４は、前記ベッドｌの上面にＸ軸方
向に沿って回転可能に支持されかつ前記サドル３と螺合
する送りねじ軸５と、この送りねじ軸５を回転させるモ
ータ６とから構成されている。
ッドｌの左右方向（Ｘ軸方向）へ移動自在に設けられて
いる。前記駆動装置４は、前記ベッドｌの上面にＸ軸方
向に沿って回転可能に支持されかつ前記サドル３と螺合
する送りねじ軸５と、この送りねじ軸５を回転させるモ
ータ６とから構成されている。
また、前記サドル３の上面には、案内溝１２に沿ってコ
ラム１３が駆動装置１４の駆動によりベッド１の前後方
向（Ｚ軸方向）へ移動自在に設けられている。前記駆動
装置１４は、前記サドル３のＬ面にＺ軸方向に沿って回
転可能に支持されかつ前記コラム１３と螺合する送りね
じ軸１５と、この送りねじ軸１５を回転させるモータ１
６とから構成されている。
ラム１３が駆動装置１４の駆動によりベッド１の前後方
向（Ｚ軸方向）へ移動自在に設けられている。前記駆動
装置１４は、前記サドル３のＬ面にＺ軸方向に沿って回
転可能に支持されかつ前記コラム１３と螺合する送りね
じ軸１５と、この送りねじ軸１５を回転させるモータ１
６とから構成されている。
また、前記コラム１３には、図示しない案内を介して主
軸頭２１が駆動装置２４の駆動により前記へラドｌの上
下方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられている。前記
駆動装置２４は、前記コラ先端に複数種の計測プローブ
２２＋〜２２４・、２２ｎを選択的に装着する計Δ１１
主軸２３が回転可能に支持されている。
軸頭２１が駆動装置２４の駆動により前記へラドｌの上
下方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に設けられている。前記
駆動装置２４は、前記コラ先端に複数種の計測プローブ
２２＋〜２２４・、２２ｎを選択的に装着する計Δ１１
主軸２３が回転可能に支持されている。
一方、前記ベッドｌの上面前部には、予め複数種の計測
プローブ２２＋〜２２４，２２ｎをストックしそれを選
択的に前記計測主軸２３へ取付ける計測プローブ自動交
換装置３１と、較正スタンド３２とがそれぞれ設けられ
ている。計測プローブ自動交換装置３１は、複数種の計
測プローブ２２１〜２２＋、２２ｎを予め保持する複数
のプローブストッカ３３＋〜３３５を有し、これらが選
択的に上下方向へ昇降できるようになっている。プロー
ブ交換に当って、計測プローブ２２１〜２２４．２２ｎ
のうち５例えば計測プローブ２２Ｉが次の計測工程で指
定されると、その計測プローブ２２１のプローブストッ
カ３３１と空のプローブストッカ３３５とが上昇される
。この状態において、計測主軸２３に装着されている計
測プローブ２２ｎが空のプローブストッカ３３５にス輿
ゴアされた後、計測主軸２３の三次元方向への移動によ
りプローブストッカ３３１の計測プローブ２２１が計測
主軸２３へ装着される。この後、上昇したプローブスト
ッカ３３＋ 、３３ｓが元の位置まで下降され、一連
のプローブ交換が終了する。
プローブ２２＋〜２２４，２２ｎをストックしそれを選
択的に前記計測主軸２３へ取付ける計測プローブ自動交
換装置３１と、較正スタンド３２とがそれぞれ設けられ
ている。計測プローブ自動交換装置３１は、複数種の計
測プローブ２２１〜２２＋、２２ｎを予め保持する複数
のプローブストッカ３３＋〜３３５を有し、これらが選
択的に上下方向へ昇降できるようになっている。プロー
ブ交換に当って、計測プローブ２２１〜２２４．２２ｎ
のうち５例えば計測プローブ２２Ｉが次の計測工程で指
定されると、その計測プローブ２２１のプローブストッ
カ３３１と空のプローブストッカ３３５とが上昇される
。この状態において、計測主軸２３に装着されている計
測プローブ２２ｎが空のプローブストッカ３３５にス輿
ゴアされた後、計測主軸２３の三次元方向への移動によ
りプローブストッカ３３１の計測プローブ２２１が計測
主軸２３へ装着される。この後、上昇したプローブスト
ッカ３３＋ 、３３ｓが元の位置まで下降され、一連
のプローブ交換が終了する。
前記複数の計測プローブ２２２〜２２４，２２１のうち
、真円度等を計測する計測プローブ２２４は、第２図に
示す如く、前記計測主軸２３に装着されるプローブ本体
３４と、このプローブ本体３４に取付けられた電気マイ
クロメータ等のアナログ式変位検出器３５とを含む。ア
ナログ式変位検出器３５は、変位可能なスタイラス３６
の変位量を電気信号として検出でき、かつ外部からのゲ
イン切換信号によりゲイン切換が行なえるようになって
いる。また、前記プローブ本体３４には、その外周面に
前記計測主軸２３側に設けられた回転トランスの一次側
との叫で信号の授受を行う回転トランスの二次側３７が
設けられているとともに、内部に前記回転トランスを通
じて与えられるゲイン切換指令に基づき前記アナログ式
変位検出器３５のゲインを切換え、かつアナログ式変位
検ケッ）４１を介して較正器４２が取付けられている。
、真円度等を計測する計測プローブ２２４は、第２図に
示す如く、前記計測主軸２３に装着されるプローブ本体
３４と、このプローブ本体３４に取付けられた電気マイ
クロメータ等のアナログ式変位検出器３５とを含む。ア
ナログ式変位検出器３５は、変位可能なスタイラス３６
の変位量を電気信号として検出でき、かつ外部からのゲ
イン切換信号によりゲイン切換が行なえるようになって
いる。また、前記プローブ本体３４には、その外周面に
前記計測主軸２３側に設けられた回転トランスの一次側
との叫で信号の授受を行う回転トランスの二次側３７が
設けられているとともに、内部に前記回転トランスを通
じて与えられるゲイン切換指令に基づき前記アナログ式
変位検出器３５のゲインを切換え、かつアナログ式変位
検ケッ）４１を介して較正器４２が取付けられている。
較正器４２は、上面が僅か傾斜した較正台４３と、この
較正台４３の上面に移動自在に載置された可動ブロック
４４とから構成されている。可動ブロック４４には、前
記較正台４３の一部に螺合された送りねじ軸４５が回動
自在に連結されている。これにより、送りねじ軸４５が
回動すると、その送りねじ軸４５の進退により可動ブロ
ック４４が較正台４３上に沿って移動し、可動ブロック
４４の上面位置が上下方向へ変位されるようになってい
る。
較正台４３の上面に移動自在に載置された可動ブロック
４４とから構成されている。可動ブロック４４には、前
記較正台４３の一部に螺合された送りねじ軸４５が回動
自在に連結されている。これにより、送りねじ軸４５が
回動すると、その送りねじ軸４５の進退により可動ブロ
ック４４が較正台４３上に沿って移動し、可動ブロック
４４の上面位置が上下方向へ変位されるようになってい
る。
また、較正スタンド３２の裏面側には、ブラケット４６
を介してパルスモータ４７が前記送りねじ軸４５と同軸
上に固定されている。パルスモータ４７の出力軸４８に
は円板４９が固定され、この円板４９の偏心位置に回転
伝達棒５０が突設されている０回転伝達棒５０には、前
記送りねじ軸４５に固定された円板５１の偏心穴５２が
その軸方向へ変位可能に係合されている。また、く、パ
ルスモータ駆動回路６３を介してコントローラ６２が接
続されている。コントローラ６２は、制御装置６１から
の駆動指令に従ってパルスモータ駆動回路６３を介して
前記パルスモータ４７を駆動させ、かつパルスモータ４
７が所定量回動されて停止したときその完了信号を前記
制御装置６１へ送る。
を介してパルスモータ４７が前記送りねじ軸４５と同軸
上に固定されている。パルスモータ４７の出力軸４８に
は円板４９が固定され、この円板４９の偏心位置に回転
伝達棒５０が突設されている０回転伝達棒５０には、前
記送りねじ軸４５に固定された円板５１の偏心穴５２が
その軸方向へ変位可能に係合されている。また、く、パ
ルスモータ駆動回路６３を介してコントローラ６２が接
続されている。コントローラ６２は、制御装置６１から
の駆動指令に従ってパルスモータ駆動回路６３を介して
前記パルスモータ４７を駆動させ、かつパルスモータ４
７が所定量回動されて停止したときその完了信号を前記
制御装置６１へ送る。
制御装置６１は、前記回路３８内のゲイン切換信号回路
６４を介して計測プローブ２２４内のアナログ式変位検
出器３５のゲインを切換え、かつアナログ式変位検出器
３５からの出力信号を信号処理回路６６およびゲート回
路６７を介して取込み、記憶装置６８内へ記憶させる。
６４を介して計測プローブ２２４内のアナログ式変位検
出器３５のゲインを切換え、かつアナログ式変位検出器
３５からの出力信号を信号処理回路６６およびゲート回
路６７を介して取込み、記憶装置６８内へ記憶させる。
前記ゲスト回路６７は、前記コントローラ６２からの完
了信号によってオープンされるようになっている。また
、記憶装置６８には、制御装置ｉ６１内へ取込まれたア
ナログ式変位検出器３５からの出力信号をその検出器３
５の各ゲインＧ ＋ ” Ｇ ｎ毎に順次ストアする計
測値記憶エリア６９＋〜６９ｎと、こ次に、本実施例の
作用を第５図を参照して説明する。ここでは、計測開始
前、或いは定期的に較正を行なう。
了信号によってオープンされるようになっている。また
、記憶装置６８には、制御装置ｉ６１内へ取込まれたア
ナログ式変位検出器３５からの出力信号をその検出器３
５の各ゲインＧ ＋ ” Ｇ ｎ毎に順次ストアする計
測値記憶エリア６９＋〜６９ｎと、こ次に、本実施例の
作用を第５図を参照して説明する。ここでは、計測開始
前、或いは定期的に較正を行なう。
較正に当っては、第５図に示す如く、まず、較正器４２
のイニシャライズが行なわれた後、制御装２１６１から
の指令により計測主軸２３に取付けられた計測プローブ
２２４が較正位置、つまり可動ブロック４４上へ移動さ
れる。
のイニシャライズが行なわれた後、制御装２１６１から
の指令により計測主軸２３に取付けられた計測プローブ
２２４が較正位置、つまり可動ブロック４４上へ移動さ
れる。
続いて、制御装置６１からのゲイン切換指令に基づきゲ
イン切換信号回路６４からゲイン切換信号が計測プロー
ブ２２４へ出力され、その計測プローブ２２４内のアナ
ログ式変位検出器３５のゲインが指定されたゲイン、例
えばゲインＧＩに設定される。
イン切換信号回路６４からゲイン切換信号が計測プロー
ブ２２４へ出力され、その計測プローブ２２４内のアナ
ログ式変位検出器３５のゲインが指定されたゲイン、例
えばゲインＧＩに設定される。
この後、制御装置６１からの駆動指令がコントローラ６
２へ出力される。すると、コントローラ６２は、パルス
モータ駆動回路６３を介してパルスモータ４７を一定量
回転させる。パルスモータ４７が回転すると、出力軸４
８９円板４９１回転上昇または下降し、パルスモータ４
７が停止されると、コントローラ６２から完了信号が出
される。すると、ゲート回路６７がオープンされるので
、計測プローブ２２４内のアナログ式変位検出器３５の
出力信号（Ｘ、）が信号処理回路６６およびゲート回路
６７を通じて制御装置６１へ取込まれた後、記憶装置６
８の計測値記憶エリア６９１の第１番目の番地ヘスドア
される。
２へ出力される。すると、コントローラ６２は、パルス
モータ駆動回路６３を介してパルスモータ４７を一定量
回転させる。パルスモータ４７が回転すると、出力軸４
８９円板４９１回転上昇または下降し、パルスモータ４
７が停止されると、コントローラ６２から完了信号が出
される。すると、ゲート回路６７がオープンされるので
、計測プローブ２２４内のアナログ式変位検出器３５の
出力信号（Ｘ、）が信号処理回路６６およびゲート回路
６７を通じて制御装置６１へ取込まれた後、記憶装置６
８の計測値記憶エリア６９１の第１番目の番地ヘスドア
される。
このようにして、パルスモータ４７を一定量ずつ回転さ
せ、そのときのアナログ式変位検出器３５からの出力信
号を順次取込んでいくと、計測値記憶エリア６９１には
計測値Ｘ ＋ ” Ｘ ｎが順次記憶される。ここで、
アナログ式変位検出器３５のゲインＧ＋について、所定
数の計測値が取込まれ−ると、これらの計測値の回帰直
線の傾きからゲインＧ１の補正係数に＋が求められた後
、記憶装置６８の補正係数記憶エリア７０１へ記憶され
る。
せ、そのときのアナログ式変位検出器３５からの出力信
号を順次取込んでいくと、計測値記憶エリア６９１には
計測値Ｘ ＋ ” Ｘ ｎが順次記憶される。ここで、
アナログ式変位検出器３５のゲインＧ＋について、所定
数の計測値が取込まれ−ると、これらの計測値の回帰直
線の傾きからゲインＧ１の補正係数に＋が求められた後
、記憶装置６８の補正係数記憶エリア７０１へ記憶され
る。
続いて、ゲイン切換信号回路６４を介してアする。
このようにして、較正を行った後、計測プローブ２２４
を用いて被測定物の計測を行う、計測時、計測プローブ
２２４を用いて得られた計ｉｔ−値をΔＸ′とすると、
記憶装置６８内の補正係数記憶エリア７０１〜７０ｎの
中から対応するゲインの補正係数、例えば補正係数に−
が選択され、この補正係数に＋によって計測値ΔＸ′が
補正される。つまり、補正後の計測値ΔＸは、 ΔＸ＝ΔＸ ’ Ｘ Ｋ ＋ で求められる。
を用いて被測定物の計測を行う、計測時、計測プローブ
２２４を用いて得られた計ｉｔ−値をΔＸ′とすると、
記憶装置６８内の補正係数記憶エリア７０１〜７０ｎの
中から対応するゲインの補正係数、例えば補正係数に−
が選択され、この補正係数に＋によって計測値ΔＸ′が
補正される。つまり、補正後の計測値ΔＸは、 ΔＸ＝ΔＸ ’ Ｘ Ｋ ＋ で求められる。
従って、本実施例によれば、計測装置内に較正器４２を
組込み、この較正器４２の可動ブロック４４上に計測プ
ローブ２２４のスタイラス３６が接した状態において、
可動ブロック４４を一定量づつ変位させ、このときのア
ナログ式変位検出器３５の計測値を順次取込んだ後、こ
れらの計測値から補正係数を求め、この補正係数により
計測時に得られた計測値を補正するようにしたので、ア
３５の各ゲイン毎に求めるようにしたので、ゲインが切
換っても計測値の信頼性が損なわれることがない。
組込み、この較正器４２の可動ブロック４４上に計測プ
ローブ２２４のスタイラス３６が接した状態において、
可動ブロック４４を一定量づつ変位させ、このときのア
ナログ式変位検出器３５の計測値を順次取込んだ後、こ
れらの計測値から補正係数を求め、この補正係数により
計測時に得られた計測値を補正するようにしたので、ア
３５の各ゲイン毎に求めるようにしたので、ゲインが切
換っても計測値の信頼性が損なわれることがない。
なお、実施に当って、較ｔＥ器４２は、上記実施例で述
べた較正台４３の斜面を利用して可動ブロック４４の上
面、つまり基準面を変位させる構造に限らず、モータの
回転量に比例して可動ブロックの基準面が変位できる構
造であれば、いずれでもよい。
べた較正台４３の斜面を利用して可動ブロック４４の上
面、つまり基準面を変位させる構造に限らず、モータの
回転量に比例して可動ブロックの基準面が変位できる構
造であれば、いずれでもよい。
［発明の効果］
以上の通り、本発明によれば、アナログ式変位検出器の
較正が迅速かつ容易な上、計測値の信頼性が高い自動較
正機能付計測装置を提供できる。
較正が迅速かつ容易な上、計測値の信頼性が高い自動較
正機能付計測装置を提供できる。
図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は全体の外
観を示す斜視図、第２図は真円度等を計測する計測プロ
ーブを示す側面図、第３図は較正器を示す断面図、第４
図は回路構成を示すプロフ鳩図、第５図はフローチャー
トである。 ２２、〜２２４，２２ｎ・・・計測プローブ、２３・・
・計Ａ１１１主軸、３５・・・アナログ式変位検出器、
３６・・・スライラス、４２・・・較正器、４７・・・
パルスモータ、６１・・・制御装置、６８・・・記憶装
置。 特許出願人 工業技術院長 等々力 達筆１図 第３図 第４図 第５図
観を示す斜視図、第２図は真円度等を計測する計測プロ
ーブを示す側面図、第３図は較正器を示す断面図、第４
図は回路構成を示すプロフ鳩図、第５図はフローチャー
トである。 ２２、〜２２４，２２ｎ・・・計測プローブ、２３・・
・計Ａ１１１主軸、３５・・・アナログ式変位検出器、
３６・・・スライラス、４２・・・較正器、４７・・・
パルスモータ、６１・・・制御装置、６８・・・記憶装
置。 特許出願人 工業技術院長 等々力 達筆１図 第３図 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）予め設定された手順に従って多次元方向へ自動的
に移動される計測主軸に、スタイラスの変位量をアナロ
グ式変位検出器によって検知する計測プローブを取付け
、この計測プローブによって被測定物の形状等を計測す
る計測装置において、 モータによって変位されかつその変位量がモータの回転
量に比例する較正器と、 この較正器に前記計測プローブのスタイラスが接した状
態において、前記モータを所定量づつ回転させ、このと
きのアナログ式変位検出器の値を順次取込んだ後、これ
らの値から補正係数を求める制御装置と、 この制御装置によって求められた補正係数を記憶する記
憶手段と、をそれぞれ設け、 被測定物の計測時、前記アナログ式変位検出器で得られ
た計測値を前記記憶手段の補正係数で補正して変位量を
求める、 ことを特徴とする自動較正機能付計測装置。 - （２）特許請求の範囲第１項において、前記補正係数を
、前記アナログ式変位検出器の各ゲイン毎に求め、かつ
前記記憶手段に記憶するようにしたことを特徴とする自
動較正機能付計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085385A JPS61219814A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 自動較正機能付計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6085385A JPS61219814A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 自動較正機能付計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61219814A true JPS61219814A (ja) | 1986-09-30 |
Family
ID=13154351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6085385A Pending JPS61219814A (ja) | 1985-03-27 | 1985-03-27 | 自動較正機能付計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61219814A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07204991A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-08 | Japan Small Corp | 変位検出形測定ヘッドを用いた測定システム |
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- 1985-03-27 JP JP6085385A patent/JPS61219814A/ja active Pending
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