JPS61209414A - 光学顕微鏡用照明装置 - Google Patents
光学顕微鏡用照明装置Info
- Publication number
- JPS61209414A JPS61209414A JP5002485A JP5002485A JPS61209414A JP S61209414 A JPS61209414 A JP S61209414A JP 5002485 A JP5002485 A JP 5002485A JP 5002485 A JP5002485 A JP 5002485A JP S61209414 A JPS61209414 A JP S61209414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- optical fiber
- specimen
- shadow
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学顕微鏡用照明装置に関し、特に光学顕微
鏡の試料照明に関するものである。
鏡の試料照明に関するものである。
従来の技術
従来の光学顕微鏡では、第３図に示す同軸型照明装置、
第４図に示す全体的照明装置が多く用いられている。
第４図に示す全体的照明装置が多く用いられている。
ここで、７は顕微鏡本体、８はハルツミラー、９は光源
側レンズ、１ｏは光源、１１は対物し／ズ、１３は試料
、１４は載置台、１６は環形螢光灯、１６はカバーであ
る〇 しかし、これらの照明装置では、試料面上の凹凸や段差
の大きさが判別しにくく、特にある立体的な像が凹状態
で存在するのか凸状態で存在するのかの判断が困難であ
る。
側レンズ、１ｏは光源、１１は対物し／ズ、１３は試料
、１４は載置台、１６は環形螢光灯、１６はカバーであ
る〇 しかし、これらの照明装置では、試料面上の凹凸や段差
の大きさが判別しにくく、特にある立体的な像が凹状態
で存在するのか凸状態で存在するのかの判断が困難であ
る。
発明が解決しようとする問題点
本発明は、かかる点に鑑みてなされたもので、簡易な構
成で試料面上の凹凸および段差などの立体像が判別でき
る光学顕微鏡用照明装置を提供することを目的とする。
成で試料面上の凹凸および段差などの立体像が判別でき
る光学顕微鏡用照明装置を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明は、問題点を解決するため、光源からの光を光フ
ァイバーで導き、試料面上を単一方向から照射するもの
である。
ァイバーで導き、試料面上を単一方向から照射するもの
である。
作 用
本発明は上記した構成によシ、試料面上の凹凸および段
差の大きさの判別を可能にする。加えて光ファイバーで
導かれた光は、微細な領域では近似的に平行光線である
から、陰影の長さやその形から、凹凸や段差の正確な状
態を知ることができる０ 実施例 第１図に、本発明の照明装置の一実施例を示す〇従来例
を示す第３図と同一箇所には同一番号を付している。光
源ボックス４内で光源６からレンズ６で集束された光を
、光ファイバー１で載置台１４上の試料１３面上に導く
。ファイバー開口部１２は、ファイバー軸方向に対し垂
直な鏡平面をなし、平行光線を提供する。光フアイバー
固定具２は、ねじによって固定具ささえ治具３と任意の
角度をなすことができ、かつ上記３は操作の簡易性を考
えて、ＸＹＺ方向可動テーブルに固着されているＯ不実
施例は、上記構成をもつ照明装置を、同軸型照明装置を
もつ顕微鏡本体７に装着したものである。
差の大きさの判別を可能にする。加えて光ファイバーで
導かれた光は、微細な領域では近似的に平行光線である
から、陰影の長さやその形から、凹凸や段差の正確な状
態を知ることができる０ 実施例 第１図に、本発明の照明装置の一実施例を示す〇従来例
を示す第３図と同一箇所には同一番号を付している。光
源ボックス４内で光源６からレンズ６で集束された光を
、光ファイバー１で載置台１４上の試料１３面上に導く
。ファイバー開口部１２は、ファイバー軸方向に対し垂
直な鏡平面をなし、平行光線を提供する。光フアイバー
固定具２は、ねじによって固定具ささえ治具３と任意の
角度をなすことができ、かつ上記３は操作の簡易性を考
えて、ＸＹＺ方向可動テーブルに固着されているＯ不実
施例は、上記構成をもつ照明装置を、同軸型照明装置を
もつ顕微鏡本体７に装着したものである。
次に本実施例によって、どのように立体像を判別するか
を示す。
を示す。
試料面上の立体像が凹状の場合、上記低内部の光フアイ
バー光照射側に上記像の影が観察される０立体像が凸状
の場合、上記像外部の光フアイバー光照射側反対側に上
記像の影が観察される０簡単化のため、ある立体像が円
椎形の凹像・凸像としたきの観察される影の概念図を第
２図に示す。第２図ａは、凹像の影のつき方を示し、同
図すは顕微鏡で観察される上記像の状態を示す。第２図
Ｃは凸像の影のつき方を示し、同図ｄは顕微鏡で観察さ
れる上記像の状態を示す。いずれも光フアイバー光は図
中り方向から照射されているものとする。従来の照明装
置では、同図の凹像、凸像はいずれも円形に観察される
だけである。しかし、本発明の装置を用いると、凹凸の
違いが簡易にかつ明確に判別しうる。また影の形状から
、その立体像の概要を知ることができ、その影の長さか
ら、立体像の高さあるいは深さを類推することもできる
０次に、試料面上の段差は、第２図ｅ及びｆに示すよう
に観察される。第２図ｅは段差での影のでき方を示し、
同図ｆは顕微鏡で観察される影を示す。いずれも光フア
イバー光はＤ方向から照射されるものとする。特に段差
の観察は、前記立体像の観察に比べ、よシ強い影の明暗
が得られるため、光フアイバー光の試料面への入射角を
知ることにより、影の大きさと上記入射角の関係から、
段差そのものの大きさを概算することができる。本実施
例では、入射角を試料面に対し４６°にしであるので、
影の大きさと段差の大きさは１対１に対応し、簡易に段
差の値が算出される。
バー光照射側に上記像の影が観察される０立体像が凸状
の場合、上記像外部の光フアイバー光照射側反対側に上
記像の影が観察される０簡単化のため、ある立体像が円
椎形の凹像・凸像としたきの観察される影の概念図を第
２図に示す。第２図ａは、凹像の影のつき方を示し、同
図すは顕微鏡で観察される上記像の状態を示す。第２図
Ｃは凸像の影のつき方を示し、同図ｄは顕微鏡で観察さ
れる上記像の状態を示す。いずれも光フアイバー光は図
中り方向から照射されているものとする。従来の照明装
置では、同図の凹像、凸像はいずれも円形に観察される
だけである。しかし、本発明の装置を用いると、凹凸の
違いが簡易にかつ明確に判別しうる。また影の形状から
、その立体像の概要を知ることができ、その影の長さか
ら、立体像の高さあるいは深さを類推することもできる
０次に、試料面上の段差は、第２図ｅ及びｆに示すよう
に観察される。第２図ｅは段差での影のでき方を示し、
同図ｆは顕微鏡で観察される影を示す。いずれも光フア
イバー光はＤ方向から照射されるものとする。特に段差
の観察は、前記立体像の観察に比べ、よシ強い影の明暗
が得られるため、光フアイバー光の試料面への入射角を
知ることにより、影の大きさと上記入射角の関係から、
段差そのものの大きさを概算することができる。本実施
例では、入射角を試料面に対し４６°にしであるので、
影の大きさと段差の大きさは１対１に対応し、簡易に段
差の値が算出される。
発明の効果
以上述べてきたように、本発明は従来の照明装置とは異
なる概念で立体的観察を可能ならしめ、単眼・双眼など
の顕微鏡の種類を問わず、広く応用できる装置である。
なる概念で立体的観察を可能ならしめ、単眼・双眼など
の顕微鏡の種類を問わず、広く応用できる装置である。
かつ、光学系と顕微鏡本体とを独立させることも可能で
あるからきわめて実用的である０
あるからきわめて実用的である０
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図、第２図は試
料面上の像の本発明による観察例を示す概念図、第３図
は従来の同軸型照明装置を用いた顕微鏡の構成を示す図
、第４図は従来の全体的照明装置を用いた顕微鏡の構成
を示す図である０１・・・・・・光ファイバー、２・・
・・・・ファイバー固定具、３・・・・・・固定具ささ
え治具、４・・・・・・光源ボックス、５・・・・・・
レンズ、ｅ・・・・・・光源、７・・・・・・顕微鏡本
体、１３・・・・・−試料。 第２図 喚’ （ｂ’ｌ 第３図
料面上の像の本発明による観察例を示す概念図、第３図
は従来の同軸型照明装置を用いた顕微鏡の構成を示す図
、第４図は従来の全体的照明装置を用いた顕微鏡の構成
を示す図である０１・・・・・・光ファイバー、２・・
・・・・ファイバー固定具、３・・・・・・固定具ささ
え治具、４・・・・・・光源ボックス、５・・・・・・
レンズ、ｅ・・・・・・光源、７・・・・・・顕微鏡本
体、１３・・・・・−試料。 第２図 喚’ （ｂ’ｌ 第３図
Claims (1)
- 光源と、前記光源からの光を入射して試料に単一方向か
ら光線を照射する光ファイバーとを有する光学顕微鏡用
照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5002485A JPS61209414A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学顕微鏡用照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5002485A JPS61209414A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学顕微鏡用照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209414A true JPS61209414A (ja) | 1986-09-17 |
Family
ID=12847427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5002485A Pending JPS61209414A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | 光学顕微鏡用照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209414A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1258768A3 (de) * | 2001-05-16 | 2004-01-14 | Leica Microsystems AG | Vorrichtung zur Beleuchtung eines Betrachtungsfeldes, beispielsweise eines Objektfeldes unter einem Mikroskop, durch zwei Lichtquellen |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP5002485A patent/JPS61209414A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1258768A3 (de) * | 2001-05-16 | 2004-01-14 | Leica Microsystems AG | Vorrichtung zur Beleuchtung eines Betrachtungsfeldes, beispielsweise eines Objektfeldes unter einem Mikroskop, durch zwei Lichtquellen |
| US6883952B2 (en) | 2001-05-16 | 2005-04-26 | Leica Microsystems Ag | Apparatus for illuminating a viewing field by two light sources |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6822790B2 (en) | Lighting system for a stereomicroscope | |
| US20080278790A1 (en) | Apparatus with enhanced resolution for measuring structures on a substrate for semiconductor manufacture and use of apertures in a measuring apparatus | |
| JPS62168125A (ja) | ビジヨンシステム用の対象物照明装置 | |
| JPS61120110A (ja) | 明視野及び暗視野顕微鏡照明装置 | |
| JP3315358B2 (ja) | 画像処理測定機の照明装置 | |
| JPS61209414A (ja) | 光学顕微鏡用照明装置 | |
| JP7086813B2 (ja) | 照明装置 | |
| JPH1194756A (ja) | 基板検査装置 | |
| US2518240A (en) | Projection microscope | |
| US3624400A (en) | Apparatus for the production of high-resolution visible images of objects illuminated by or emitting infrared radiation | |
| JPH03142301A (ja) | 走査トンネル顕微鏡 | |
| JP2000250100A (ja) | 光学測定機用照明装置 | |
| JPH0720650Y2 (ja) | 偏射照明式倒立顕微鏡 | |
| JP6845562B2 (ja) | 照明システム | |
| KR930016796A (ko) | 현미경 시스템 | |
| JPS6323524B2 (ja) | ||
| JPH0229710A (ja) | 実体顕微鏡 | |
| JP2598860Y2 (ja) | 光学画像認識装置に用いる照明装置 | |
| JP6347345B2 (ja) | 移植用角膜の観察装置及びこれに用いられる補助光源ユニット | |
| JP2544288B2 (ja) | 光学式測長装置 | |
| JP3321260B2 (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH043292Y2 (ja) | ||
| JPH06174452A (ja) | 光学計測器の照明装置 | |
| JPS6134487Y2 (ja) | ||
| JPH0651812U (ja) | 画像処理型測定機 |