JP3321260B2 - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、磁気ヘッド等
の部品、基板上、チップ上或いはウエハー上に形成され
た電子回路（集積回路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ等の外観
を検査するに好適な外観検査装置に関する。
の部品、基板上、チップ上或いはウエハー上に形成され
た電子回路（集積回路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ等の外観
を検査するに好適な外観検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、磁気ヘッド等の部品、電子回路等
の被検査物体の外観検査用として顕微鏡やテレビカメラ
等が用いられている。被検査物体の外観検査をするには
被検査物体を照明する必要があるため、例えば、顕微鏡
には、被検査物体用の照明器具が不可欠である。
の被検査物体の外観検査用として顕微鏡やテレビカメラ
等が用いられている。被検査物体の外観検査をするには
被検査物体を照明する必要があるため、例えば、顕微鏡
には、被検査物体用の照明器具が不可欠である。
【０００３】この種の照明器具として、光ファイバを用
いた照明器具がある。この照明器具は、リング状の光照
射部を備えており、この光照射部には光ファイバの一方
の端部がリング状に並べられており、光ファイバの他方
の端部が光源に接続されている。そして、顕微鏡の対物
レンズが照明器具の中央の孔に挿入されている。
いた照明器具がある。この照明器具は、リング状の光照
射部を備えており、この光照射部には光ファイバの一方
の端部がリング状に並べられており、光ファイバの他方
の端部が光源に接続されている。そして、顕微鏡の対物
レンズが照明器具の中央の孔に挿入されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光ファイバ
を用いた従来の照明器具では、光照射部から光源までの
光ファイバが連続した一体物であり、なおかつ照明器具
が顕微鏡の対物レンズに半固定的に取り付けられてい
る。
を用いた従来の照明器具では、光照射部から光源までの
光ファイバが連続した一体物であり、なおかつ照明器具
が顕微鏡の対物レンズに半固定的に取り付けられてい
る。
【０００５】したがって、対物レンズを移動しようとす
る場合に光照射部の移動範囲が限定され、顕微鏡のレボ
ルバのような回転移動するものには対応できないという
不具合がある。
る場合に光照射部の移動範囲が限定され、顕微鏡のレボ
ルバのような回転移動するものには対応できないという
不具合がある。
【０００６】本発明は上記事実を考慮し、対物レンズの
移動に一切の影響を及ぼすことなく被検査物体に光を照
射して、被検査物体の外観を検査できる外観検査装置を
提供することが目的である。
移動に一切の影響を及ぼすことなく被検査物体に光を照
射して、被検査物体の外観を検査できる外観検査装置を
提供することが目的である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の外観検
査装置は、被検査物体の外観を検査するために用いら
れ、前記被検査物体と対向する検査位置から前記検査位
置とは異なる位置へ移動可能とされる複数の対物レンズ
を備えた顕微鏡と、前記対物レンズの外周に着脱可能に
設けられ、光入射部及び前記光入射部から入射した光を
前記被検査物体へ照射する光照射部を有する光伝達手段
を備え、前記対物レンズを前記検査位置に配置した状態
では光入射部が所定位置に配置される照明手段と、前記
照明手段を前記対物レンズに固定する固定手段と、前記
照明手段とは機械的に分離され、前記所定位置に配置さ
れた前記光入射部へ向けて光を照射する光源と、を備え
たことを特徴としている。
査装置は、被検査物体の外観を検査するために用いら
れ、前記被検査物体と対向する検査位置から前記検査位
置とは異なる位置へ移動可能とされる複数の対物レンズ
を備えた顕微鏡と、前記対物レンズの外周に着脱可能に
設けられ、光入射部及び前記光入射部から入射した光を
前記被検査物体へ照射する光照射部を有する光伝達手段
を備え、前記対物レンズを前記検査位置に配置した状態
では光入射部が所定位置に配置される照明手段と、前記
照明手段を前記対物レンズに固定する固定手段と、前記
照明手段とは機械的に分離され、前記所定位置に配置さ
れた前記光入射部へ向けて光を照射する光源と、を備え
たことを特徴としている。
【０００８】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の斜め方向から暗視野照明することを特徴としてい
る。
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の斜め方向から暗視野照明することを特徴としてい
る。
【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の実質的に正面方向から明視野照明することを特徴
としている。
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の実質的に正面方向から明視野照明することを特徴
としている。
【００１０】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の斜め方向から暗視野照明する第１の光伝達手段
と、前記被検査物体の実質的に正面方向から明視野照明
する第２の光伝達手段と、を有することを特徴としてい
る。
の外観検査装置において、前記照明手段は、前記被検査
物体の斜め方向から暗視野照明する第１の光伝達手段
と、前記被検査物体の実質的に正面方向から明視野照明
する第２の光伝達手段と、を有することを特徴としてい
る。
【００１１】
【作用】請求項１に記載の外観検査装置によれば、被検
査物体に対向した検査位置に対物レンズを配置すると、
その対物レンズの外周に取り付けられた照明手段の光入
射部が所定位置に配置され、その光入射部へ向けて光源
の光が照射される。光入射部に照射された光は、光照射
部から被検査物体へ照射される。
査物体に対向した検査位置に対物レンズを配置すると、
その対物レンズの外周に取り付けられた照明手段の光入
射部が所定位置に配置され、その光入射部へ向けて光源
の光が照射される。光入射部に照射された光は、光照射
部から被検査物体へ照射される。
【００１２】被検査物体に光が照射されると、被検査物
体に反射した光が被検査物体に対向した対物レンズに入
射し、被検査物体の外観が検査できる。
体に反射した光が被検査物体に対向した対物レンズに入
射し、被検査物体の外観が検査できる。
【００１３】なお、各々の対物レンズは、例えば倍率が
異なっている。対物レンズには各々照明手段が設けられ
ているので、何れの対物レンズを用いても同様にして被
検査物体に光を照射することができる。なお、照明手段
と光源とは機械的に分離されているので、対物レンズの
移動等には一切の影響がなく、対物レンズは自由に移動
することが可能である。
異なっている。対物レンズには各々照明手段が設けられ
ているので、何れの対物レンズを用いても同様にして被
検査物体に光を照射することができる。なお、照明手段
と光源とは機械的に分離されているので、対物レンズの
移動等には一切の影響がなく、対物レンズは自由に移動
することが可能である。
【００１４】被検査物体の具体例としては、基板上、チ
ップ上或いはウエハー上に形成された電子回路（集積回
路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ等や、磁気ヘッド等を上げる
ことができるが、これら以外のものであってもよい。
ップ上或いはウエハー上に形成された電子回路（集積回
路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ等や、磁気ヘッド等を上げる
ことができるが、これら以外のものであってもよい。
【００１５】請求項２に記載の外観検査装置によれば、
被検査物体は、前記照明手段によって斜め方向から暗視
野照明され、暗視野照明された被検査物体が顕微鏡によ
って外観が検査される。
被検査物体は、前記照明手段によって斜め方向から暗視
野照明され、暗視野照明された被検査物体が顕微鏡によ
って外観が検査される。
【００１６】請求項３に記載の外観検査装置によれば、
被検査物体は、被検査物体の実質的に正面方向から明視
野照明され、明視野照明された被検査物体が顕微鏡によ
って外観が検査される。
被検査物体は、被検査物体の実質的に正面方向から明視
野照明され、明視野照明された被検査物体が顕微鏡によ
って外観が検査される。
【００１７】請求項４に記載の外観検査装置によれば、
照明手段は、前記被検査物体の斜め方向から暗視野照明
する第１の光伝達手段と、前記被検査物体の実質的に正
面方向から明視野照明する第２の光伝達手段と、を有し
ているので、一つの照明手段によって暗視野照明と明視
野照明とを切り替えて使用することができる。
照明手段は、前記被検査物体の斜め方向から暗視野照明
する第１の光伝達手段と、前記被検査物体の実質的に正
面方向から明視野照明する第２の光伝達手段と、を有し
ているので、一つの照明手段によって暗視野照明と明視
野照明とを切り替えて使用することができる。
【００１８】暗視野照明と明視野照明とを切り替えるに
は、例えば、光源を第１の光伝達手段用と第２の光伝達
手段用とに２組設け、所望の光源を点灯させれば良い。
は、例えば、光源を第１の光伝達手段用と第２の光伝達
手段用とに２組設け、所望の光源を点灯させれば良い。
【００１９】
【実施例】〔第１実施例〕 本発明の第１実施例を図１乃至図４にしたがって説明す
る。
る。
【００２０】図３には、外観検査装置１０の要部が示さ
れている。
れている。
【００２１】外観検査装置１０は、顕微鏡１２を備えて
いる。顕微鏡１２は通常の一般的な構造であり、一対の
接眼レンズ１４、鏡筒１６、各々倍率の異なる複数個
（本実施例では５個）の対物レンズ１８、対物レンズ１
８を切り替えるためのレボルバ２０、被検査物体２２を
載置するための載物台２４を備えている。また、この顕
微鏡１２には、ＶＴＲ、モニター、画像処理用コンピュ
ーター等に接続されたテレビカメラ２６が接続されてい
る。
いる。顕微鏡１２は通常の一般的な構造であり、一対の
接眼レンズ１４、鏡筒１６、各々倍率の異なる複数個
（本実施例では５個）の対物レンズ１８、対物レンズ１
８を切り替えるためのレボルバ２０、被検査物体２２を
載置するための載物台２４を備えている。また、この顕
微鏡１２には、ＶＴＲ、モニター、画像処理用コンピュ
ーター等に接続されたテレビカメラ２６が接続されてい
る。
【００２２】図３及び図４に示すように、円筒状とされ
た各々の対物レンズ１８の外周にはリング状のライトガ
イド２８が取り付けられている（なお、図３では、ライ
トガイド２８が一つしか取り付けられていないが、実際
には全ての対物レンズ１８にライトガイド２８を取り付
けることも可能であり、その場合も実際には多い。）。
た各々の対物レンズ１８の外周にはリング状のライトガ
イド２８が取り付けられている（なお、図３では、ライ
トガイド２８が一つしか取り付けられていないが、実際
には全ての対物レンズ１８にライトガイド２８を取り付
けることも可能であり、その場合も実際には多い。）。
【００２３】図１及び図２に示すように、ライトガイド
２８は、例えば、アルミ合金等で形成された厚肉リング
状の本体３０を備えている。本体３０の孔３２の内径ｄ
１は、対物レンズ１８の外径Ｄ１よりも大径とされてお
り、この孔３２に対物レンズ１８が挿入されている。本
実施例では、孔３２の内径ｄ１が３２mmである。
２８は、例えば、アルミ合金等で形成された厚肉リング
状の本体３０を備えている。本体３０の孔３２の内径ｄ
１は、対物レンズ１８の外径Ｄ１よりも大径とされてお
り、この孔３２に対物レンズ１８が挿入されている。本
実施例では、孔３２の内径ｄ１が３２mmである。
【００２４】図２に示すように、この本体３０には３個
の固定ネジ３４が等間隔（１２０°間隔）で設けられて
おり、これらの固定ネジ３４によってライトガイド２８
が対物レンズ１８に固定されている。
の固定ネジ３４が等間隔（１２０°間隔）で設けられて
おり、これらの固定ネジ３４によってライトガイド２８
が対物レンズ１８に固定されている。
【００２５】図１に示すように、本体３０には、載物台
側（図１の下側）に環状の凹部３６が形成されており、
この凹部３６には、黄銅製の照射リング３８が嵌合して
固定されている。なお、照射リング３８の載物台側の端
部は、外周側が斜めに面取りされており、端面カバー４
０で角部が保護されている。
側（図１の下側）に環状の凹部３６が形成されており、
この凹部３６には、黄銅製の照射リング３８が嵌合して
固定されている。なお、照射リング３８の載物台側の端
部は、外周側が斜めに面取りされており、端面カバー４
０で角部が保護されている。
【００２６】照射リング３８には複数本の光ファイバ４
２が埋設されている。図１及び図２に示すように、照射
リング３８の載物台側の端部には複数個の細孔が所定ピ
ッチで環状に配置されている。これらの細孔には各々光
ファイバ４２が１本づつ挿入されて接着剤等で固定され
ており、各々の一端部が照射リング３８の端部と面一と
なっている。
２が埋設されている。図１及び図２に示すように、照射
リング３８の載物台側の端部には複数個の細孔が所定ピ
ッチで環状に配置されている。これらの細孔には各々光
ファイバ４２が１本づつ挿入されて接着剤等で固定され
ており、各々の一端部が照射リング３８の端部と面一と
なっている。
【００２７】図１に示すように、本実施例では、光ファ
イバ４２の一端部の光軸４２Ａは、照射リングの軸芯と
平行、即ち、対物レンズ１８の光軸１８Ａと平行となっ
ている。
イバ４２の一端部の光軸４２Ａは、照射リングの軸芯と
平行、即ち、対物レンズ１８の光軸１８Ａと平行となっ
ている。
【００２８】一方、これら光ファイバ４２の他端部は、
一つに束ねられて本体３０の外周面に取り付けられた丸
パイプ４４に挿入され、接着剤等で固定されている。な
お、これら光ファイバ４２の他端部は丸パイプ４４の先
端と面一となっている。
一つに束ねられて本体３０の外周面に取り付けられた丸
パイプ４４に挿入され、接着剤等で固定されている。な
お、これら光ファイバ４２の他端部は丸パイプ４４の先
端と面一となっている。
【００２９】図４に示すように、各ライトガイド２８
は、丸パイプ４４がレボルバ２０の半径方向外側を向
き、且つ、レボルバ２０を回転させて対物レンズ１８を
被検査物体２２に対応させた際に、丸パイプ４４の先端
が全て同一位置となるように対物レンズ１８へ取り付け
られている。
は、丸パイプ４４がレボルバ２０の半径方向外側を向
き、且つ、レボルバ２０を回転させて対物レンズ１８を
被検査物体２２に対応させた際に、丸パイプ４４の先端
が全て同一位置となるように対物レンズ１８へ取り付け
られている。
【００３０】一方、被検査物体２２に対向させた対物レ
ンズ１８（図４では図面右側の対物レンズ１８）の側方
には、光源４６に接続された光ファイバ束４８の先端部
が配設されている。この光ファイバ束４８は、全体がス
テンレス等のフレキシブルチューブ５０に入れられて保
護されており、先端部の断面形状が円形となっている。
ンズ１８（図４では図面右側の対物レンズ１８）の側方
には、光源４６に接続された光ファイバ束４８の先端部
が配設されている。この光ファイバ束４８は、全体がス
テンレス等のフレキシブルチューブ５０に入れられて保
護されており、先端部の断面形状が円形となっている。
【００３１】光ファイバ束４８の先端側は、顕微鏡１２
の非可動部分（本体、鏡筒等）に固定金具５２を介して
取り付けられている。なお、固定金具５２は、光ファイ
バ束４８の位置を調整できるようにねじ等で長さを調整
できるようにしてもよい。
の非可動部分（本体、鏡筒等）に固定金具５２を介して
取り付けられている。なお、固定金具５２は、光ファイ
バ束４８の位置を調整できるようにねじ等で長さを調整
できるようにしてもよい。
【００３２】ここで、光ファイバ束４８の先端部と、被
検査物体２２に対向させた対物レンズ１８に取り付けら
れたライトガイド２８の丸パイプ４４の先端とは互いの
中心が合わせられている。
検査物体２２に対向させた対物レンズ１８に取り付けら
れたライトガイド２８の丸パイプ４４の先端とは互いの
中心が合わせられている。
【００３３】また、光ファイバ束４８の先端の直径Ｄ２
は、丸パイプ４４の先端側の光ファイバ４２の束の直径
Ｄ３よりも大径とすることが好ましく、光ファイバ束４
８の先端部と、丸パイプ４４の先端との間隔Ｔは、出来
る限り小さいこと（５mm以下）が好ましい。
は、丸パイプ４４の先端側の光ファイバ４２の束の直径
Ｄ３よりも大径とすることが好ましく、光ファイバ束４
８の先端部と、丸パイプ４４の先端との間隔Ｔは、出来
る限り小さいこと（５mm以下）が好ましい。
【００３４】これは、光ファイバ束４８の先端の直径Ｄ
２を大径とするのは、焦点調節のために対物レンズ１８
を微小移動させても丸パイプ４４の先端側の光ファイバ
４２へ光ファイバ束４８から照射された光が確実に照射
されるようにするためである。また、間隔Ｔを大きくす
ると、丸パイプ４４の先端側の光ファイバ４２へ入射す
る光の量が少なくなるため好ましくない。なお、光ファ
イバ束４８の先端へレンズを取り付けで、光の発散を抑
えるようにしてもよい。
２を大径とするのは、焦点調節のために対物レンズ１８
を微小移動させても丸パイプ４４の先端側の光ファイバ
４２へ光ファイバ束４８から照射された光が確実に照射
されるようにするためである。また、間隔Ｔを大きくす
ると、丸パイプ４４の先端側の光ファイバ４２へ入射す
る光の量が少なくなるため好ましくない。なお、光ファ
イバ束４８の先端へレンズを取り付けで、光の発散を抑
えるようにしてもよい。
【００３５】なお、本実施例では、耐衝撃性、コスト等
の点から光ファイバ４２をプラスチック製としたが、石
英製、ガラス製等であっても良いのは勿論である。
の点から光ファイバ４２をプラスチック製としたが、石
英製、ガラス製等であっても良いのは勿論である。
【００３６】ここで、本実施例の顕微鏡１２は、拡大率
が１．５倍〜６０倍であり、対物レンズ１８の外径Ｄ１
が２５〜３２mmである。また、対物レンズ１８の先端か
ら被検査物体２２までの距離は、０．３mm〜２０mmであ
る。
が１．５倍〜６０倍であり、対物レンズ１８の外径Ｄ１
が２５〜３２mmである。また、対物レンズ１８の先端か
ら被検査物体２２までの距離は、０．３mm〜２０mmであ
る。
【００３７】一方、ライトガイド２８の光ファイバ４２
の直径は、本実施例では０．２５mmである。
の直径は、本実施例では０．２５mmである。
【００３８】図２に示すように、照射リング３８に環状
に配列した光ファイバ４２の配置径Ｄ４は、上記顕微鏡
の場合では、２０mm〜４０mmとすることが好ましい。本
実施例では、配置径Ｄ４を３２mmとした。
に配列した光ファイバ４２の配置径Ｄ４は、上記顕微鏡
の場合では、２０mm〜４０mmとすることが好ましい。本
実施例では、配置径Ｄ４を３２mmとした。
【００３９】また、光ファイバ４２と光ファイバ４２と
の間隔は、明るさの点では零（密着状態）とすることが
好ましいが、１０mm程度の隙間を設けてもよい。なお、
配列ピッチＰは照射ムラを無くすために全て同じにする
ことが好ましい。本実施例では、配列ピッチＰを２mmと
した。
の間隔は、明るさの点では零（密着状態）とすることが
好ましいが、１０mm程度の隙間を設けてもよい。なお、
配列ピッチＰは照射ムラを無くすために全て同じにする
ことが好ましい。本実施例では、配列ピッチＰを２mmと
した。
【００４０】また、本実施例では、光源４６に５０ワッ
トのハロゲンランプを用い、ハロゲンランプの光を反射
鏡及びレンズで集光して光ファイバ束４８の端部へ照射
している。
トのハロゲンランプを用い、ハロゲンランプの光を反射
鏡及びレンズで集光して光ファイバ束４８の端部へ照射
している。
【００４１】さらに、本実施例では、光ファイバ束４８
の先端の直径Ｄ２を１０mmとし、丸パイプ４４の先端側
の光ファイバ４２の束の直径Ｄ３を８mmとした。また、
光ファイバ束４８の先端部と丸パイプ４４の先端との間
隔Ｔは、５mmとした。
の先端の直径Ｄ２を１０mmとし、丸パイプ４４の先端側
の光ファイバ４２の束の直径Ｄ３を８mmとした。また、
光ファイバ束４８の先端部と丸パイプ４４の先端との間
隔Ｔは、５mmとした。
【００４２】次に本実施例の作用を説明する。
【００４３】本実施例の外観検査装置１０で、被検査物
体２２（例えば、基板上、チップ上或いはウエハー上に
形成された電子回路（集積回路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ
等や、磁気ヘッド等）の外観を検査する場合には、載物
台２４の所定位置に被検査物体２２を載置する。次に、
レボルバ２０を回転させて所望の対物レンズ１８を被検
査物体２２に対向させ、光源４６を点灯させる。
体２２（例えば、基板上、チップ上或いはウエハー上に
形成された電子回路（集積回路等）、即ちＩＣ、ＬＳＩ
等や、磁気ヘッド等）の外観を検査する場合には、載物
台２４の所定位置に被検査物体２２を載置する。次に、
レボルバ２０を回転させて所望の対物レンズ１８を被検
査物体２２に対向させ、光源４６を点灯させる。
【００４４】光源４６の光は、光ファイバ束４８の一端
から被検査物体２２に対向した対物レンズ１８に取り付
けられたライトガイド２８の丸パイプ４４に向けて照射
される。丸パイプ４４に挿入された光ファイバ４２に入
射した光は、照射リング３８の端部に環状に配置された
光ファイバ４２の一端から被検査物体２２側へ照射され
る。
から被検査物体２２に対向した対物レンズ１８に取り付
けられたライトガイド２８の丸パイプ４４に向けて照射
される。丸パイプ４４に挿入された光ファイバ４２に入
射した光は、照射リング３８の端部に環状に配置された
光ファイバ４２の一端から被検査物体２２側へ照射され
る。
【００４５】本実施例では、各対物レンズ１８にライト
ガイド２８が取り付けられており、しかもこのライトガ
イド２８とと光源４６とが光学的には結合されてはいる
が、機械的には分離されているので、顕微鏡１２の操作
を阻害することなく、被検査物体２２に確実に照明用の
光を照射させることが出来る。
ガイド２８が取り付けられており、しかもこのライトガ
イド２８とと光源４６とが光学的には結合されてはいる
が、機械的には分離されているので、顕微鏡１２の操作
を阻害することなく、被検査物体２２に確実に照明用の
光を照射させることが出来る。
【００４６】また、光ファイバ束４８が固定されている
ので光ファイバ束４８の寿命を低下させることも無い。
ので光ファイバ束４８の寿命を低下させることも無い。
【００４７】本実施例では、被検査物体２２へ光を照射
する光ファイバ４２の一端部の光軸４２Ａが対物レンズ
１８の光軸に対して平行であるため、被検査物体２２に
対しては明視野照明となる。なお、明視野照明とするに
は、光ファイバ４２の一端部の光軸４２Ａの方向と対物
レンズ１８の光軸１８Ａと直交する方向とのなす角度θ
を８５°〜９０°に設定することが好ましい。
する光ファイバ４２の一端部の光軸４２Ａが対物レンズ
１８の光軸に対して平行であるため、被検査物体２２に
対しては明視野照明となる。なお、明視野照明とするに
は、光ファイバ４２の一端部の光軸４２Ａの方向と対物
レンズ１８の光軸１８Ａと直交する方向とのなす角度θ
を８５°〜９０°に設定することが好ましい。
【００４８】また、本実施例では、光ファイバ４２を１
本づつ並べて環状に配置したが、同軸的に２重以上に配
置してもよい。
本づつ並べて環状に配置したが、同軸的に２重以上に配
置してもよい。
【００４９】〔第２実施例〕 本発明の第２実施例を図５にしたがって説明する。な
お、第１実施例と同一構成に関しては同一符号を付しそ
の説明は省略する。
お、第１実施例と同一構成に関しては同一符号を付しそ
の説明は省略する。
【００５０】図５に示すように、本実施例では、光ファ
イバ４２の一端がライトガイド２８の内周面に開口する
孔に挿入されている。本実施例では、光ファイバ４２の
一端の光軸４２Ａの方向が対物レンズ１８の光軸１８Ａ
に直角な方向に対して所定角度傾斜させて、暗視野照明
となるようにした例である。
イバ４２の一端がライトガイド２８の内周面に開口する
孔に挿入されている。本実施例では、光ファイバ４２の
一端の光軸４２Ａの方向が対物レンズ１８の光軸１８Ａ
に直角な方向に対して所定角度傾斜させて、暗視野照明
となるようにした例である。
【００５１】なお、暗視野照明とするには、光ファイバ
４２の光軸４２Ａが対物レンズ１８の光軸１８Ａと直交
する方向となす角度θを５°〜６０°とすることが好ま
しい。
４２の光軸４２Ａが対物レンズ１８の光軸１８Ａと直交
する方向となす角度θを５°〜６０°とすることが好ま
しい。
【００５２】〔第３実施例〕 本発明の第３実施例を図６及び図７にしたがって説明す
る。
る。
【００５３】図７に示すように、本実施例のライトガイ
ド２８には、本体３０に２個の丸パイプ４４が設けられ
ており、一方の丸パイプ４４には暗視野照明用の光ファ
イバ４２の他端が、他方の丸パイプ４４には明視野用の
光ファイバ４２の他端がそれぞれ挿入されている。
ド２８には、本体３０に２個の丸パイプ４４が設けられ
ており、一方の丸パイプ４４には暗視野照明用の光ファ
イバ４２の他端が、他方の丸パイプ４４には明視野用の
光ファイバ４２の他端がそれぞれ挿入されている。
【００５４】また、本実施例では光ファイバ束４８が２
本の設けられており、各々の端部はそれぞれ、一方の丸
パイプ４４及び他方の丸パイプ４４に対向している。
本の設けられており、各々の端部はそれぞれ、一方の丸
パイプ４４及び他方の丸パイプ４４に対向している。
【００５５】図６及び図７に示すように、明視野用の各
々の光ファイバ４２の一端は、照射リング３８の端部に
第１実施例と同様に環状に配置され、暗視野用の各々の
光ファイバ４２の一端は、照射リング３８の内周面側に
第２実施例と同様に環状に配置されている。
々の光ファイバ４２の一端は、照射リング３８の端部に
第１実施例と同様に環状に配置され、暗視野用の各々の
光ファイバ４２の一端は、照射リング３８の内周面側に
第２実施例と同様に環状に配置されている。
【００５６】なお、本実施例では、２本の光ファイバ束
４８は、それぞれ異なる光源（図示せず）に接続されて
いる。
４８は、それぞれ異なる光源（図示せず）に接続されて
いる。
【００５７】このため、本実施例では光源を切り替える
ことによって明視野照明と暗視野照明とを簡単に切り替
えて使い分けることができる。
ことによって明視野照明と暗視野照明とを簡単に切り替
えて使い分けることができる。
【００５８】なお、前記実施例では、顕微鏡にライトガ
イドを取り付けた例を示したが、本発明はこれに限ら
ず、ライトガイドはルーペ、テレビカメラ等の他の種類
の光学系に取り付けてもよいのは勿論である。なお、テ
レビ用レンズとＣＣＤとを組み合わせたテレビカメラに
ライトガイドを取り付ける場合は、光ファイバ４２の配
置径Ｄ４は、１０mm〜８０mm程度である。
イドを取り付けた例を示したが、本発明はこれに限ら
ず、ライトガイドはルーペ、テレビカメラ等の他の種類
の光学系に取り付けてもよいのは勿論である。なお、テ
レビ用レンズとＣＣＤとを組み合わせたテレビカメラに
ライトガイドを取り付ける場合は、光ファイバ４２の配
置径Ｄ４は、１０mm〜８０mm程度である。
【００５９】また、前述した寸法等はライトガイドを取
り付ける光学系の種類によって適宜変更されるものであ
る。
り付ける光学系の種類によって適宜変更されるものであ
る。
【００６０】また、実施例では、光伝達手段として光フ
ァイバを用いたが、本発明はこれに限らず、光伝達手段
は透明の樹脂やガラスで成型したプリズムであっても良
く、複数個のミラーを組み合わせたものであっても良
い。
ァイバを用いたが、本発明はこれに限らず、光伝達手段
は透明の樹脂やガラスで成型したプリズムであっても良
く、複数個のミラーを組み合わせたものであっても良
い。
【００６１】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
外観検査装置は上記の構成としたので、対物レンズの移
動等に一切の影響を及ぼすことはなく、被検査物体に光
を照射して、外観を検査できるという優れた効果を有す
る。
外観検査装置は上記の構成としたので、対物レンズの移
動等に一切の影響を及ぼすことはなく、被検査物体に光
を照射して、外観を検査できるという優れた効果を有す
る。
【００６２】請求項２に記載の外観検査装置は上記の構
成としたので、暗視野照明した被検査物体を拡大して外
観検査できるという優れた効果を有する。
成としたので、暗視野照明した被検査物体を拡大して外
観検査できるという優れた効果を有する。
【００６３】請求項３に記載の外観検査装置は上記の構
成としたので、明視野照明した被検査物体を拡大して外
観検査できるという優れた効果を有する。
成としたので、明視野照明した被検査物体を拡大して外
観検査できるという優れた効果を有する。
【００６４】請求項４に記載の外観検査装置は上記の構
成としたので、一つの照明手段によって所望によって暗
視野照明と明視野照明とを切り替えて使用できるという
優れた効果を有する。
成としたので、一つの照明手段によって所望によって暗
視野照明と明視野照明とを切り替えて使用できるという
優れた効果を有する。
【図１】本発明の第１実施例に係る外観検査装置のライ
トガイド周辺の断面図である。
トガイド周辺の断面図である。
【図２】図１に示すライトガイドを対物レンズ正面がら
見た底面図である。
見た底面図である。
【図３】本発明の第１実施例に係る外観検査装置の要部
全体図である。
全体図である。
【図４】対物レンズに取り付けられたライトガイドを示
す、レボルバ周辺の斜視図である。
す、レボルバ周辺の斜視図である。
【図５】本発明の第２実施例に係る外観検査装置のライ
トガイド周辺の断面図である。
トガイド周辺の断面図である。
【図６】本発明の第３実施例に係る外観検査装置のライ
トガイド周辺の断面図である。
トガイド周辺の断面図である。
【図７】本発明の第３実施例に係る外観検査装置のライ
トガイドを対物レンズ正面から見た底面図である。
トガイドを対物レンズ正面から見た底面図である。
１０ 外観検査装置 １２ 顕微鏡１８ 対物レンズ ２８ ライトガイド（照明手段） ４２ 光ファイバ（光伝達手段） ４６ 光源
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/30 - 11/30 102 G02B 21/00 - 21/36
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査物体の外観を検査するために用い
られ、前記被検査物体と対向する検査位置から前記検査
位置とは異なる位置へ移動可能とされる複数の対物レン
ズを備えた顕微鏡と、 前記対物レンズの外周に着脱可能に設けられ、 光入射部
及び前記光入射部から入射した光を前記被検査物体へ照
射する光照射部を有する光伝達手段を備え、前記対物レ
ンズを前記検査位置に配置した状態では光入射部が所定
位置に配置される照明手段と、前記照明手段を前記対物レンズに固定する固定手段と、 前記照明手段とは機械的に分離され、前記所定位置に配
置された前記光入射部へ向けて光を照射する光源と、を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 前記照明手段は、前記被検査物体の斜め
方向から暗視野照明することを特徴とする請求項１に記
載の外観検査装置。 - 【請求項３】 前記照明手段は、前記被検査物体の実質
的に正面方向から明視野照明することを特徴とする請求
項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 前記照明手段は、前記被検査物体の斜め
方向から暗視野照明する第１の光伝達手段と、前記被検
査物体の実質的に正面方向から明視野照明する第２の光
伝達手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載
の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23819793A JP3321260B2 (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23819793A JP3321260B2 (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0791942A JPH0791942A (ja) | 1995-04-07 |
| JP3321260B2 true JP3321260B2 (ja) | 2002-09-03 |
Family
ID=17026606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23819793A Expired - Fee Related JP3321260B2 (ja) | 1993-09-24 | 1993-09-24 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3321260B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102145960B1 (ko) * | 2013-07-19 | 2020-08-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 실링 검사 장치 및 방법 |
| JP6971770B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2021-11-24 | 株式会社キーエンス | 拡大観察装置 |
-
1993
- 1993-09-24 JP JP23819793A patent/JP3321260B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0791942A (ja) | 1995-04-07 |
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