JPS61201670A - 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法Info
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- JPS61201670A JPS61201670A JP60040756A JP4075685A JPS61201670A JP S61201670 A JPS61201670 A JP S61201670A JP 60040756 A JP60040756 A JP 60040756A JP 4075685 A JP4075685 A JP 4075685A JP S61201670 A JPS61201670 A JP S61201670A
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- aluminum nitride
- sintered body
- sintering
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- nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法に
係り、更に詳しくは、緻密質で熱伝導性、絶縁性、誘電
率などの実用上の緒特性に優れている窒化アルミニウム
焼結体及びその製造方法に関する。
係り、更に詳しくは、緻密質で熱伝導性、絶縁性、誘電
率などの実用上の緒特性に優れている窒化アルミニウム
焼結体及びその製造方法に関する。
従来の技術
窒化アルミニウム（ＡＩ Ｎ ）焼結体は、高熱伝導性
、高絶縁性を有するなど、半導体工業において、絶縁材
料、あるいはパッケージ材料として注目を集めつつある
。
、高絶縁性を有するなど、半導体工業において、絶縁材
料、あるいはパッケージ材料として注目を集めつつある
。
ところで、ＡＩＮ単独で焼結体を製造する場合、ＡＩＮ
自体の焼結性が良くない為、ＡＩＮ粉末を成形後、焼結
して得られるＡＩＮ焼結体の相対密度（ＡＩＮの理論密
度３．２６ｇ／ｃ＋＋ｔを基準とする）は、焼結条件に
も依るが、高々７０〜８０％しか示さない。また、その
為、ホットプレスを用いる加圧焼結も試みられたが、良
好な結果は得られていない。
自体の焼結性が良くない為、ＡＩＮ粉末を成形後、焼結
して得られるＡＩＮ焼結体の相対密度（ＡＩＮの理論密
度３．２６ｇ／ｃ＋＋ｔを基準とする）は、焼結条件に
も依るが、高々７０〜８０％しか示さない。また、その
為、ホットプレスを用いる加圧焼結も試みられたが、良
好な結果は得られていない。
一般にフォノン伝導を主体とする窒化アルミニウム焼結
体の如き絶縁性セラミックスでは、気孔、不純物等の欠
陥によりフォノン散乱が生じ、熱伝導率が低減する。
体の如き絶縁性セラミックスでは、気孔、不純物等の欠
陥によりフォノン散乱が生じ、熱伝導率が低減する。
一方、最近のＬＳＩの進歩はめざましく、集積度の向上
が著しい。これには、ＩＣチップサイズの向上も寄与し
ており、ＩＣチップサイズの向上に伴ってパッケージ当
りの発熱量が増大している。
が著しい。これには、ＩＣチップサイズの向上も寄与し
ており、ＩＣチップサイズの向上に伴ってパッケージ当
りの発熱量が増大している。
このため基板材料の放熱性が重要視されるようになって
きた。また、従来ＩＣ基板として用いられていたアルミ
ナ焼結体の熱伝導率では放熱性が不十分であり、ＩＣチ
ップの発熱量の増大に対応できなくなりつつある。この
ためアルミナ基板に代わるものとして、高熱伝導性のべ
ＩＪ ＩＪア基板が使用されているが、ベリリアは毒性
が強く取扱いが難しいという欠点がある。
きた。また、従来ＩＣ基板として用いられていたアルミ
ナ焼結体の熱伝導率では放熱性が不十分であり、ＩＣチ
ップの発熱量の増大に対応できなくなりつつある。この
ためアルミナ基板に代わるものとして、高熱伝導性のべ
ＩＪ ＩＪア基板が使用されているが、ベリリアは毒性
が強く取扱いが難しいという欠点がある。
以上の様な技術的背景から、高絶縁性を有する窒化アル
ミニウム焼結体の高熱伝導化、すなわち高密度化が望ま
れるものである。
ミニウム焼結体の高熱伝導化、すなわち高密度化が望ま
れるものである。
発明の解決すべき問題
本発明の目的は、緻密質で高熱伝導率の窒化アルミニウ
ム焼結体およびその製造方法を提供することにある。さ
らに詳細には本発明の目的は、半導体の絶縁材料あるい
はパッケージ材料として好適に使用できる窒化アルミニ
ウム焼結体およびその製造方法を提供することにある。
ム焼結体およびその製造方法を提供することにある。さ
らに詳細には本発明の目的は、半導体の絶縁材料あるい
はパッケージ材料として好適に使用できる窒化アルミニ
ウム焼結体およびその製造方法を提供することにある。
問題点を解決する手段
本発明者らは、上記の従来従来技術の問題点に鑑みて、
窒化アルミニウム焼結体に対し種々検討を行い、その結
果、Ｍｇ５Ｃａ、 Ｓｒ、 Ｂａなどの周期律表ＩＩａ
族系列元素の窒化物が窒化アルミニウムの焼結性を向上
させ、緻密質の焼結体の実現に有効であること、また、
焼結体の熱伝導率の向上に有効であることを見い出した
ものである。
窒化アルミニウム焼結体に対し種々検討を行い、その結
果、Ｍｇ５Ｃａ、 Ｓｒ、 Ｂａなどの周期律表ＩＩａ
族系列元素の窒化物が窒化アルミニウムの焼結性を向上
させ、緻密質の焼結体の実現に有効であること、また、
焼結体の熱伝導率の向上に有効であることを見い出した
ものである。
すなわち、本発明に従うと、周期律表ＩＩａ族系列元素
の窒化物から選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１
〜５０ｗｔ％含む窒化アルミニウムの混合粉末から焼結
されたことを特徴とする、緻密質で熱伝導性の優れた窒
化アルミニウム焼結体が提供される。
の窒化物から選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１
〜５０ｗｔ％含む窒化アルミニウムの混合粉末から焼結
されたことを特徴とする、緻密質で熱伝導性の優れた窒
化アルミニウム焼結体が提供される。
さらに本発明に従うと、周期律表ＩＩａ族系列元素、す
なわちＭｇ５ＣａＸＳｒ、 Ｂａなどの元素の窒化物か
４選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１〜５０ｗｔ
％含む窒化アルミニウムの混合粉末を成形し、次いで１
５００〜２２００℃の温度で、非酸化性雰囲気中で焼結
することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方
法が提供される。
なわちＭｇ５ＣａＸＳｒ、 Ｂａなどの元素の窒化物か
４選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１〜５０ｗｔ
％含む窒化アルミニウムの混合粉末を成形し、次いで１
５００〜２２００℃の温度で、非酸化性雰囲気中で焼結
することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方
法が提供される。
上記非酸化性雰囲気が、真空、窒素ガス、水素ガス、一
酸化炭素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスより成る群
から選ばれた１種または２種以上の雰囲気である。
酸化炭素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスより成る群
から選ばれた１種または２種以上の雰囲気である。
さらに本発明の好ましい態様に従うと、上記の成形した
混合粉末を、非酸化性雰囲気中２０Ｋｇ／ｃｍ以上のプ
レス圧でホットプレスを用いて加圧焼結する。
混合粉末を、非酸化性雰囲気中２０Ｋｇ／ｃｍ以上のプ
レス圧でホットプレスを用いて加圧焼結する。
本発明により製造された窒化アルミニウム焼結体は８０
％以上の相対密度を示し、室温における熱伝導率は、８
０Ｗ／ｍ−に以上である。
％以上の相対密度を示し、室温における熱伝導率は、８
０Ｗ／ｍ−に以上である。
更に、本発明に従う窒化アルミニウム焼結体は周期率表
ＩＩａ族系列元素の窒化物の少なくとも１種類の粉末を
０．１〜５０ｗｔ％含むほか、ＩＩａ族系列元素の酸化
物、フッ化物、さらに■ａ族系列元素の窒化物、酸化物
、フッ化物を含有してもよい。
ＩＩａ族系列元素の窒化物の少なくとも１種類の粉末を
０．１〜５０ｗｔ％含むほか、ＩＩａ族系列元素の酸化
物、フッ化物、さらに■ａ族系列元素の窒化物、酸化物
、フッ化物を含有してもよい。
発明の作用
次に本発明の窒化アルミニウム焼結体の成分範囲の限定
理由およびその製造方法の条件限定理由を説明する。
理由およびその製造方法の条件限定理由を説明する。
周期律表ＩＩａ族系列元素の窒化物の混合の割合を、０
．１〜５０ｗｔ％としたのは、０，１ｗｔ％未満では、
十分に緻密な焼結体が得られず、また、５０ｗｔ％を超
える場合、得られる焼結体の熱伝導率が低下する傾向を
示すためである。
．１〜５０ｗｔ％としたのは、０，１ｗｔ％未満では、
十分に緻密な焼結体が得られず、また、５０ｗｔ％を超
える場合、得られる焼結体の熱伝導率が低下する傾向を
示すためである。
焼結温度を１５００〜２２００℃としてのは、１５００
℃未満では、十分に焼結が行なわれないためである。
℃未満では、十分に焼結が行なわれないためである。
窒化アルミニウムの焼結に関しては、焼結温度は高い方
が望ましいが、２２００℃以上では、窒化アルミニウム
の分解反応が著しく促進され、焼結体の重量減少が大き
くなる。
が望ましいが、２２００℃以上では、窒化アルミニウム
の分解反応が著しく促進され、焼結体の重量減少が大き
くなる。
例えばＭｇ、 Ｃａ５Ｓｒ、 Ｂａなどの周期律表ＩＩ
ａ族系列元素の窒化物の添加により、窒化アルミニウム
の焼結性が向上する機構は明らかではないが、周期律表
ＩＩａ族系列元素の窒化物は窒化アルミニウムの固相焼
結を促進するためと考えられる。
ａ族系列元素の窒化物の添加により、窒化アルミニウム
の焼結性が向上する機構は明らかではないが、周期律表
ＩＩａ族系列元素の窒化物は窒化アルミニウムの固相焼
結を促進するためと考えられる。
また、後記の実施例で示されるように、熱伝導率は、無
添加の窒化アルミニウムの焼結体に比べ最高４倍強の増
加を示している。これは、窒化アルミニウム焼結体の緻
密化が促進されるためと考えられるが、熱伝導率が向上
する機構は、明らかではない。
添加の窒化アルミニウムの焼結体に比べ最高４倍強の増
加を示している。これは、窒化アルミニウム焼結体の緻
密化が促進されるためと考えられるが、熱伝導率が向上
する機構は、明らかではない。
以下、本発明を実施例により説明するが、これらの実施
例は本発明の範囲を回答制限するものではないことは勿
論である。
例は本発明の範囲を回答制限するものではないことは勿
論である。
実施例１
窒化アルミニウム粉末（粒径１〜３μ）に、窒化カルシ
ウム粉末を０．１〜５０ｗｔ％の範囲で変化させて添加
した混合粉末を２ｔｏｎ／ｃａｔのプレス圧で予備成形
し、１５００〜２２００℃範囲の各種温度で３時間焼結
を行った。得られた焼結体の密度（３，２６ｇ ／ｃｔ
ｄを基準とした相対密度）を第１図に示す。
ウム粉末を０．１〜５０ｗｔ％の範囲で変化させて添加
した混合粉末を２ｔｏｎ／ｃａｔのプレス圧で予備成形
し、１５００〜２２００℃範囲の各種温度で３時間焼結
を行った。得られた焼結体の密度（３，２６ｇ ／ｃｔ
ｄを基準とした相対密度）を第１図に示す。
焼結はＮ２ガス（１６気圧）雰囲気中で行った。また、
窒化アルミニウム粉末への窒化カルシウム粉末の混合は
、ボールミル（ＡＩＮｍ）を用いて、１２時間行った。
窒化アルミニウム粉末への窒化カルシウム粉末の混合は
、ボールミル（ＡＩＮｍ）を用いて、１２時間行った。
第１図において、○印は２２００℃の焼結温度、右半分
を黒く塗り潰した丸印は２０００℃の焼結温度、・印は
１８００℃の焼結温度、ム印は本発明の範囲外の１４０
０℃の焼結温度で、各々焼結した窒化アルミニウム焼結
体の相対密度を示す。
を黒く塗り潰した丸印は２０００℃の焼結温度、・印は
１８００℃の焼結温度、ム印は本発明の範囲外の１４０
０℃の焼結温度で、各々焼結した窒化アルミニウム焼結
体の相対密度を示す。
第１図に示す如（、本発明の範囲内の添加量、すなわち
０．１〜５０ｗｔ％の窒化カルシウムを含有し、１５０
０℃以上の温で焼結した窒化アルミニウム焼結体は密度
が高いことが確認される。
０．１〜５０ｗｔ％の窒化カルシウムを含有し、１５０
０℃以上の温で焼結した窒化アルミニウム焼結体は密度
が高いことが確認される。
実施例２
実施例１で示した組成の窒化アルミニウムー窒化カルシ
ウム混合粉末を、ホットプレス（プレス圧２００Ｋｇ
／ ｃＩｌｌ）を用いて、２時間加圧焼結した場合の焼
結体の密度を第２図に示した。
ウム混合粉末を、ホットプレス（プレス圧２００Ｋｇ
／ ｃＩｌｌ）を用いて、２時間加圧焼結した場合の焼
結体の密度を第２図に示した。
第２図において、・印は２２００℃の焼結温度、０印は
２０００℃の焼結温度、左側半分を黒く塗り潰した丸印
は１８００℃の焼結温度、ム印は１６００℃の焼結温度
、Ｉ印は本発明の範囲外の１４００℃の焼結温度で、各
々焼結した窒化アルミニウム焼結体の相対密度を示す。
２０００℃の焼結温度、左側半分を黒く塗り潰した丸印
は１８００℃の焼結温度、ム印は１６００℃の焼結温度
、Ｉ印は本発明の範囲外の１４００℃の焼結温度で、各
々焼結した窒化アルミニウム焼結体の相対密度を示す。
第２図に示す結果より、０．１〜５０ｗｔ％の窒化カル
シウムを含有し、１５００℃以上の温で焼結した窒化ア
ルミニウム焼結体は密度が高いことが確認されると同時
に、ホットプレスにより加圧焼結することにより安定し
た特性の焼結体かえられることが理解できる。
シウムを含有し、１５００℃以上の温で焼結した窒化ア
ルミニウム焼結体は密度が高いことが確認されると同時
に、ホットプレスにより加圧焼結することにより安定し
た特性の焼結体かえられることが理解できる。
実施例３
実施例２で示した焼結条件のうち、窒化カルシウム含有
量を５ｗｔ％とし、プレス圧を２０にｇ ／ ｃｎ！と
し、１５００〜２１００℃の範囲の温度でホットプレス
を用いて２時間の加圧焼結を行って得た焼結体の密度を
表−１に示した。
量を５ｗｔ％とし、プレス圧を２０にｇ ／ ｃｎ！と
し、１５００〜２１００℃の範囲の温度でホットプレス
を用いて２時間の加圧焼結を行って得た焼結体の密度を
表−１に示した。
表−１
この実施例の結果より、ホットプレスにより加圧焼結し
た場合は本発明の範囲の１５００℃以上の焼結温度で９
０％以上の密度の窒化アルミニウム焼結体かえられるこ
とがわかる。
た場合は本発明の範囲の１５００℃以上の焼結温度で９
０％以上の密度の窒化アルミニウム焼結体かえられるこ
とがわかる。
実施例４
窒化アルミニウム粉末（粒子径１〜３μｍ）に窒化マグ
ネシウム粉末（粒子径１〜２μｍ）を加えた混合粉末を
、ボールミル（窒化アルミニウム製）を用いて１２時間
混合して作製した。これを焼結したときの密度、熱伝導
率を表−２に示した。
ネシウム粉末（粒子径１〜２μｍ）を加えた混合粉末を
、ボールミル（窒化アルミニウム製）を用いて１２時間
混合して作製した。これを焼結したときの密度、熱伝導
率を表−２に示した。
実施例５
窒化カルシウム、窒化ストロンチウム、窒化バリウムに
ついて、焼結温度を２０００℃としたときの添加量によ
る熱伝導率の変化を図−３に示した。
ついて、焼結温度を２０００℃としたときの添加量によ
る熱伝導率の変化を図−３に示した。
窒化カルシウムを加えた混合粉末のホットプレスを用い
た加圧焼結の焼結時間は２時間であり、他の焼結時間は
３時間である。また、混合粉末の調整方法及び常圧焼結
方法は、実施例１に従った。
た加圧焼結の焼結時間は２時間であり、他の焼結時間は
３時間である。また、混合粉末の調整方法及び常圧焼結
方法は、実施例１に従った。
第３図において、○印は窒化カルシウムを含有し、２０
００℃の焼結温度、・印は窒化カルシウムを含有し、ホ
ットプレスでの２０００℃での加圧焼結、Δ印は窒化ス
トロンチウムを含有し、２０００℃の焼結温度、ム印は
窒化バリウムを含有し、２０００℃の焼結温度で、各々
焼結した窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を示す。な
お、比較のためＡＩＮ単独の粉体を焼結した熱伝導率を
比較例として示す。
００℃の焼結温度、・印は窒化カルシウムを含有し、ホ
ットプレスでの２０００℃での加圧焼結、Δ印は窒化ス
トロンチウムを含有し、２０００℃の焼結温度、ム印は
窒化バリウムを含有し、２０００℃の焼結温度で、各々
焼結した窒化アルミニウム焼結体の熱伝導率を示す。な
お、比較のためＡＩＮ単独の粉体を焼結した熱伝導率を
比較例として示す。
第３図に示す結果から明らかな如く、窒化カルシウム、
窒化ストロンチウムおよび窒化バリウムの添加により窒
化アルミニウムの焼結が促進され、緻密性が高く、熱伝
導性の優れた焼結体が得られることかわかる。また、各
種添加物の含有量が３０％以下のとき、特に優れた熱伝
導性を有する焼結体が得られることがわかる。
窒化ストロンチウムおよび窒化バリウムの添加により窒
化アルミニウムの焼結が促進され、緻密性が高く、熱伝
導性の優れた焼結体が得られることかわかる。また、各
種添加物の含有量が３０％以下のとき、特に優れた熱伝
導性を有する焼結体が得られることがわかる。
実施例６
窒化アルミニウム粉末（粒径１〜３μ）に、表−３に示
す如く、窒化カルシウム粉末及び酸化カルシウム、フッ
化カルシウム、酸化イツトリウム、窒化イツトリウム粉
末、フッ化イツトリウムの中から選ばれた少なくとも１
種類以上の粉末を加えた混合粉末を２ｔＯｎ／Ｃｄのプ
レス圧で予備成形し、１８００℃、３時間、常圧焼結を
行った。得られた焼結の密度（３，２６ｇ ／ ｃｎｆ
を基準とした相対密度）を表−３に示す。
す如く、窒化カルシウム粉末及び酸化カルシウム、フッ
化カルシウム、酸化イツトリウム、窒化イツトリウム粉
末、フッ化イツトリウムの中から選ばれた少なくとも１
種類以上の粉末を加えた混合粉末を２ｔＯｎ／Ｃｄのプ
レス圧で予備成形し、１８００℃、３時間、常圧焼結を
行った。得られた焼結の密度（３，２６ｇ ／ ｃｎｆ
を基準とした相対密度）を表−３に示す。
焼結は、Ｎ２ガス（０，１気圧）雰囲気中で行った。
表−３
以上に説明の如く本発明は、周期律表Ｉｒａ族系列元素
の窒化物から選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１
〜５０ｗｔ％含む窒化アルミニウムの混合粉末を成形し
、次いで１５００〜２２００℃の温度で、非酸化性雲間
気中で焼結することを特徴とし、本発明により得られた
窒化アルミニウム焼結体は、緻密質であり、そのため熱
伝導性、絶縁性、誘電特性などに優れ、半導体の絶縁材
料、あるいはパッケージ材料として有用である。
の窒化物から選ばれた少なくとも１種類の粉末を０．１
〜５０ｗｔ％含む窒化アルミニウムの混合粉末を成形し
、次いで１５００〜２２００℃の温度で、非酸化性雲間
気中で焼結することを特徴とし、本発明により得られた
窒化アルミニウム焼結体は、緻密質であり、そのため熱
伝導性、絶縁性、誘電特性などに優れ、半導体の絶縁材
料、あるいはパッケージ材料として有用である。
本発明の窒化アルミニウム焼結体は、サーディツプ用基
板、サーバツク用基板、ハイブリッドＩＣ用基板等のＩ
Ｃ基板のみならず、パワートランジスタ、パワーダイオ
ードおよびレーザダイオード用のヒートシンクとして、
更に、レーザディスク、或いはマイカ代替としての絶縁
性薄板として好適に利用できる。
板、サーバツク用基板、ハイブリッドＩＣ用基板等のＩ
Ｃ基板のみならず、パワートランジスタ、パワーダイオ
ードおよびレーザダイオード用のヒートシンクとして、
更に、レーザディスク、或いはマイカ代替としての絶縁
性薄板として好適に利用できる。
第１図は、本願の実施例１で製造した窒化アルミニウム
焼結体の窒化カルシウム粉末の混合割合と得られた焼結
体の密度との関係を示すグラフであり、 第２図は、本願の実施例２で製造した窒化アルミニウム
焼結体の窒化カルシウム粉末の混合割合と得られた焼結
体の密度との関係を示すグラフであり、 第３図は、本願の実施例５で製造した窒化アルミニウム
焼結体の窒化カルシウム、窒化ストロンチウムおよび窒
化バリウムの混合割合と得られた焼結体の熱伝導率との
関係を示すグラフである。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 新居正彦 第１図 溢／７０量（Ｗｔ’／、） 第２図 シ（力口 ４７ （ＷｔＺ） 第３図
焼結体の窒化カルシウム粉末の混合割合と得られた焼結
体の密度との関係を示すグラフであり、 第２図は、本願の実施例２で製造した窒化アルミニウム
焼結体の窒化カルシウム粉末の混合割合と得られた焼結
体の密度との関係を示すグラフであり、 第３図は、本願の実施例５で製造した窒化アルミニウム
焼結体の窒化カルシウム、窒化ストロンチウムおよび窒
化バリウムの混合割合と得られた焼結体の熱伝導率との
関係を示すグラフである。 特許出願人 住友電気工業株式会社 代 理 人 弁理士 新居正彦 第１図 溢／７０量（Ｗｔ’／、） 第２図 シ（力口 ４７ （ＷｔＺ） 第３図
Claims (4)
- （１）周期律表IIａ族系列元素の窒化物から選ばれた少
なくとも１種類の粉末を０．１〜５０ｗｔ％含む窒化ア
ルミニウムの混合粉末から焼結されたことを特徴とする
緻密質で熱伝導性の優れた窒化アルミニウム焼結体。 - （２）周期律表IIａ族系列元素の窒化物から選ばれた少
なくとも１種類の粉末を０．１〜５０ｗｔ％含む窒化ア
ルミニウムの混合粉末を成形し、次いで１５００〜２２
００℃の温度で、非酸化性雰囲気中で焼結することを特
徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造方法。 - （３）上記非酸化性雰囲気が、真空、窒素ガス、水素ガ
ス、一酸化炭素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガスより
成る群から選ばれた１種または２種以上の雰囲気である
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の窒化アル
ミニウム焼結体の製造方法。 - （４）上記の成形した混合粉末を、非酸化性雰囲気中２
０Ｋｇ／ｃｍ以上のプレス圧でホットプレスを用いて加
圧焼結することを特徴とする特許請求の範囲第２項また
は第３項に記載の窒化アルミニウム焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040756A JPS61201670A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040756A JPS61201670A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201670A true JPS61201670A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12589465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60040756A Pending JPS61201670A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201670A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205670A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
| JPH06321639A (ja) * | 1994-05-23 | 1994-11-22 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Citations (2)
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| JPS60186478A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-21 | 株式会社東芝 | 窒化物焼結体の製造方法 |
| JPS61146764A (ja) * | 1984-12-17 | 1986-07-04 | ティーディーケイ株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP60040756A patent/JPS61201670A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61205670A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-11 | 住友電気工業株式会社 | 窒化アルミニウム焼結体およびその製造方法 |
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