JPS6119926B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6119926B2 JPS6119926B2 JP55038418A JP3841880A JPS6119926B2 JP S6119926 B2 JPS6119926 B2 JP S6119926B2 JP 55038418 A JP55038418 A JP 55038418A JP 3841880 A JP3841880 A JP 3841880A JP S6119926 B2 JPS6119926 B2 JP S6119926B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detector
- lens
- scanning
- scanning mirror
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000001931 thermography Methods 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/084—Adjustable or slidable
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0865—Optical arrangements having means for replacing an element of the arrangement by another of the same type, e.g. an optical filter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0875—Windows; Arrangements for fastening thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/047—Mobile mounting; Scanning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被写体の温度分布像を得るサーモグラ
フイー装置に関し、特に物界走査型の光学系を持
ちながら拡大観察を高分解能で行うことのできる
サーモグラフイー装置に関するものである。
フイー装置に関し、特に物界走査型の光学系を持
ちながら拡大観察を高分解能で行うことのできる
サーモグラフイー装置に関するものである。
サーモグラフイー装置には被写体―走査系―集
光系―赤外線検出器という順序で配置される光学
系を持つ所謂物界走査型の装置と、被写体―集光
系―走査系―赤外線検出器という順序で配置され
る光学系を持つ所謂像界走査型の装置とがある。
光系―赤外線検出器という順序で配置される光学
系を持つ所謂物界走査型の装置と、被写体―集光
系―走査系―赤外線検出器という順序で配置され
る光学系を持つ所謂像界走査型の装置とがある。
そして通常の物体を被写体として観察する上で
は分解能及びコストの面で前者がすぐれている。
ところがこの様にすぐれた物界走査型の装置でも
微小物体を拡大観察する上では集光系が走査系の
後方にある構造上、集光系に被写体を接近させる
ことができず、十分な拡大機能を持つことができ
なかつた。
は分解能及びコストの面で前者がすぐれている。
ところがこの様にすぐれた物界走査型の装置でも
微小物体を拡大観察する上では集光系が走査系の
後方にある構造上、集光系に被写体を接近させる
ことができず、十分な拡大機能を持つことができ
なかつた。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、
物界走査型の装置に十分な拡大機能を持たせるこ
とを目的とするものである。以下図面を用いて本
発明を詳説する。
物界走査型の装置に十分な拡大機能を持たせるこ
とを目的とするものである。以下図面を用いて本
発明を詳説する。
第１図は本発明の一実施例の構成を示し、同図
において１は赤外線検出器、２は走査鏡である。
該走査鏡２と検出器１との間には集光レンズ３が
配置され物界走査型の構成となつている。該集束
レンズ３はその枠体がネジ棒５に螺合され、該ネ
ジ棒５をモータ４によつて回転することによつて
上下方向に移動し、焦点合わせが行われる。
において１は赤外線検出器、２は走査鏡である。
該走査鏡２と検出器１との間には集光レンズ３が
配置され物界走査型の構成となつている。該集束
レンズ３はその枠体がネジ棒５に螺合され、該ネ
ジ棒５をモータ４によつて回転することによつて
上下方向に移動し、焦点合わせが行われる。
６は上記光学系を囲むカバーであり、該カバー
には視野Ｚからの赤外線を走査鏡２へ導入するた
めの窓７が設けられている。該窓前面には保護用
窓ガラス８及び拡大レンズ９を軸１０を挾んで対
称に保持した回転体１１が設けられており、該回
転体を回転させることにより窓前面に窓ガラス８
又は拡大レンズ９を選択的に配置することができ
る。上記回転体１１には軸上の突起１２と該突起
によつて閉じられるマイクロスイツチ１３とから
なるレンズ位置検出機構が設けられ、拡大レンズ
９が窓前面にセツトされた時マイクロスイツチ１
３はONとなる。その時検出回路１４は指令信号
を発し、前記モータ４を制御してレンズ３の位置
を調節する焦点位置制御回路１５へ送る。該焦点
位置制御回路１５は該指令信号を受けるとレンズ
３を無条件に焦点無限遠の位置へ移動するように
設定されている。
には視野Ｚからの赤外線を走査鏡２へ導入するた
めの窓７が設けられている。該窓前面には保護用
窓ガラス８及び拡大レンズ９を軸１０を挾んで対
称に保持した回転体１１が設けられており、該回
転体を回転させることにより窓前面に窓ガラス８
又は拡大レンズ９を選択的に配置することができ
る。上記回転体１１には軸上の突起１２と該突起
によつて閉じられるマイクロスイツチ１３とから
なるレンズ位置検出機構が設けられ、拡大レンズ
９が窓前面にセツトされた時マイクロスイツチ１
３はONとなる。その時検出回路１４は指令信号
を発し、前記モータ４を制御してレンズ３の位置
を調節する焦点位置制御回路１５へ送る。該焦点
位置制御回路１５は該指令信号を受けるとレンズ
３を無条件に焦点無限遠の位置へ移動するように
設定されている。
尚赤外線検出器１から得られた検出信号は走査
鏡２と同期した表示装置１６へ増巾器１７を介し
て送られる。
鏡２と同期した表示装置１６へ増巾器１７を介し
て送られる。
上述の如き構成において通常の観察は第２図の
光学図に示す様に窓前面に窓ガラス８を配置して
行われる。この時例えば被写体を最も接近させら
れるのがＡの位置だとすれば、その時の視野の大
きさａは下式であらわれる。
光学図に示す様に窓前面に窓ガラス８を配置して
行われる。この時例えば被写体を最も接近させら
れるのがＡの位置だとすれば、その時の視野の大
きさａは下式であらわれる。
ａ＝2.ltan（θ／２） ……(1)
ここでｌは走査鏡と被写体との距離、θは走査
角である。又被写体上での検出器像スポツトの大
きさδ′は検出器の大きさをδ集速レンズ３から
被写体までの光路長をS1検出器と集速レンズ３と
の距離をS0として下式であらわされる。
角である。又被写体上での検出器像スポツトの大
きさδ′は検出器の大きさをδ集速レンズ３から
被写体までの光路長をS1検出器と集速レンズ３と
の距離をS0として下式であらわされる。
δ′＝δ×Ｓ１／Ｓ０ ……(2)
一方拡大観察は第３図の光学図に示す様に窓前
面に拡大レンズ９を配置して行われる。拡大レン
ズ９のセツトと連動して集束レンズ３は焦点無限
速の（即ち集束レンズ３の焦点位置に検出器１が
ある様な）位置へ移動される。従つて検出器１か
ら出た光は集束レンズ３を出て平行となり、平行
のまま走査鏡２によつて走査される。そして平行
のまま拡大レンズ９へ入射した光は該レンズ９の
焦点面上に集束されるから、その焦点面上に検出
器像スポツトが結像され、該スポツトは走査鏡２
により焦点面上で走査される。
面に拡大レンズ９を配置して行われる。拡大レン
ズ９のセツトと連動して集束レンズ３は焦点無限
速の（即ち集束レンズ３の焦点位置に検出器１が
ある様な）位置へ移動される。従つて検出器１か
ら出た光は集束レンズ３を出て平行となり、平行
のまま走査鏡２によつて走査される。そして平行
のまま拡大レンズ９へ入射した光は該レンズ９の
焦点面上に集束されるから、その焦点面上に検出
器像スポツトが結像され、該スポツトは走査鏡２
により焦点面上で走査される。
この第３図の場合視野の大きさｂは下式で表わ
される。
される。
ｂ＝２・1tan（θ／２） ……(3)
ここで１は拡大レンズの焦点距離、θは走査
角である。又被写体上での検出器像のスポツトの
大きさは下式であらわされる。
角である。又被写体上での検出器像のスポツトの
大きさは下式であらわされる。
δ′＝δ×１／０ ……(4)
ここで０は集束レンズ３の焦点距離である。
第２図と第３図における視野を比較すると、前
者ではｌを窓と走査鏡との距離よりも小さくする
ことはできないのでａを小さくすることは困難で
あるのに対し、第３図では内部の光路長には依存
せず１を適宜選択することによりｂを任意に小
さくすることができる。
者ではｌを窓と走査鏡との距離よりも小さくする
ことはできないのでａを小さくすることは困難で
あるのに対し、第３図では内部の光路長には依存
せず１を適宜選択することによりｂを任意に小
さくすることができる。
又検出器像スポツトの大きさを比較すると、第
２図では集束レンズ３から窓までの距離は短かく
することができないので、Ｓ１／Ｓ０は常に１以上とな
り スポツトサイズを小さくできないのに対し、第３
図では１と０の比で決まるので１を小さく
選択することによりスポツトサイズを小さくし、
分解能を向上させることができる。
２図では集束レンズ３から窓までの距離は短かく
することができないので、Ｓ１／Ｓ０は常に１以上とな
り スポツトサイズを小さくできないのに対し、第３
図では１と０の比で決まるので１を小さく
選択することによりスポツトサイズを小さくし、
分解能を向上させることができる。
尚上述した例では集光手段としてレンズを用い
たが、反射系を用いても同じ集光作用を持たせる
ことができることは言うまでもない。
たが、反射系を用いても同じ集光作用を持たせる
ことができることは言うまでもない。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図、第２
図及び第３図はその動作を説明するための光学図
である。 １：赤外線検出器、２：走査鏡、３：集束レン
ズ、９：拡大レンズ。
図及び第３図はその動作を説明するための光学図
である。 １：赤外線検出器、２：走査鏡、３：集束レン
ズ、９：拡大レンズ。
Claims (1)
- １ 赤外線検出器と、該検出器の像を視野内で走
査するための走査鏡と、該走査鏡と前記検出器と
の間に配置された焦点合わせを行うための集光手
段を備えたサーモグラフイー装置において、走査
鏡の前面にレンズ手段を挿脱何能に設けると共
に、該レンズ手段の挿入に対応した信号に基づき
前記検出器と前記集光手段との距離を該集光手段
の焦点距離に略等しく設定する集光手段位置設定
手段を設けたことを特徴とするサーモグラフイー
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3841880A JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3841880A JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56135134A JPS56135134A (en) | 1981-10-22 |
| JPS6119926B2 true JPS6119926B2 (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=12524756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3841880A Granted JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS56135134A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111731U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
| JPH0496931U (ja) * | 1991-01-31 | 1992-08-21 |
-
1980
- 1980-03-26 JP JP3841880A patent/JPS56135134A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63111731U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
| JPH0496931U (ja) * | 1991-01-31 | 1992-08-21 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56135134A (en) | 1981-10-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000517434A (ja) | コンパクトなビデオ顕微鏡 | |
| JPS57158826A (en) | Automatic focusing device for stereoscopical microscope | |
| JPS58166244A (ja) | Ｘ線検査装置 | |
| US3371212A (en) | Light spot projection system for infrared camera | |
| EP1184702B1 (en) | Infrared imaging microscope | |
| JPH07318814A (ja) | 顕微鏡写真撮影装置 | |
| JP3806198B2 (ja) | カメラ及びステレオカメラシステム | |
| WO1987007024A1 (en) | Method and apparatus for identifying particulate matter | |
| JPH0139082B2 (ja) | ||
| JPS55153903A (en) | Angle adjusting method for plane mirror in reflecting mirror for heliostat | |
| JPS6119926B2 (ja) | ||
| US2838601A (en) | Optical system | |
| US2428627A (en) | Focal field periphery indicating device in photographic apparatus | |
| JPH06133201A (ja) | 固体影像記録装置 | |
| US4150883A (en) | Cineconversion machine | |
| JP2699702B2 (ja) | 赤外線撮像装置 | |
| JPH06207852A (ja) | 捕獲フラックスの寄生変調が防止された赤外線カメラ | |
| JP3214896B2 (ja) | サーモグラフィ装置 | |
| JPS55113015A (en) | Radiating device | |
| SU708284A1 (ru) | Способ атоматической фокусировки кинообъектива | |
| JPS5671380A (en) | Television camera | |
| JPS5775071A (en) | Optical system for focus detection of television camera | |
| JPS5937702Y2 (ja) | サ−モグラフイ装置 | |
| JPH05207373A (ja) | 赤外線撮像装置の雑音低減方法 | |
| JPS5824900B2 (ja) | 電子顕微鏡 |