JPS6119926B2 - - Google Patents
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- JPS6119926B2 JPS6119926B2 JP55038418A JP3841880A JPS6119926B2 JP S6119926 B2 JPS6119926 B2 JP S6119926B2 JP 55038418 A JP55038418 A JP 55038418A JP 3841880 A JP3841880 A JP 3841880A JP S6119926 B2 JPS6119926 B2 JP S6119926B2
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- JP
- Japan
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- detector
- lens
- scanning
- scanning mirror
- distance
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- 238000001931 thermography Methods 0.000 claims description 4
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/084—Adjustable or slidable
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0865—Optical arrangements having means for replacing an element of the arrangement by another of the same type, e.g. an optical filter
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0875—Windows; Arrangements for fastening thereof
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/047—Mobile mounting; Scanning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は被写体の温度分布像を得るサーモグラ
フイー装置に関し、特に物界走査型の光学系を持
ちながら拡大観察を高分解能で行うことのできる
サーモグラフイー装置に関するものである。
フイー装置に関し、特に物界走査型の光学系を持
ちながら拡大観察を高分解能で行うことのできる
サーモグラフイー装置に関するものである。
サーモグラフイー装置には被写体―走査系―集
光系―赤外線検出器という順序で配置される光学
系を持つ所謂物界走査型の装置と、被写体―集光
系―走査系―赤外線検出器という順序で配置され
る光学系を持つ所謂像界走査型の装置とがある。
光系―赤外線検出器という順序で配置される光学
系を持つ所謂物界走査型の装置と、被写体―集光
系―走査系―赤外線検出器という順序で配置され
る光学系を持つ所謂像界走査型の装置とがある。
そして通常の物体を被写体として観察する上で
は分解能及びコストの面で前者がすぐれている。
ところがこの様にすぐれた物界走査型の装置でも
微小物体を拡大観察する上では集光系が走査系の
後方にある構造上、集光系に被写体を接近させる
ことができず、十分な拡大機能を持つことができ
なかつた。
は分解能及びコストの面で前者がすぐれている。
ところがこの様にすぐれた物界走査型の装置でも
微小物体を拡大観察する上では集光系が走査系の
後方にある構造上、集光系に被写体を接近させる
ことができず、十分な拡大機能を持つことができ
なかつた。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、
物界走査型の装置に十分な拡大機能を持たせるこ
とを目的とするものである。以下図面を用いて本
発明を詳説する。
物界走査型の装置に十分な拡大機能を持たせるこ
とを目的とするものである。以下図面を用いて本
発明を詳説する。
第1図は本発明の一実施例の構成を示し、同図
において1は赤外線検出器、2は走査鏡である。
該走査鏡2と検出器1との間には集光レンズ3が
配置され物界走査型の構成となつている。該集束
レンズ3はその枠体がネジ棒5に螺合され、該ネ
ジ棒5をモータ4によつて回転することによつて
上下方向に移動し、焦点合わせが行われる。
において1は赤外線検出器、2は走査鏡である。
該走査鏡2と検出器1との間には集光レンズ3が
配置され物界走査型の構成となつている。該集束
レンズ3はその枠体がネジ棒5に螺合され、該ネ
ジ棒5をモータ4によつて回転することによつて
上下方向に移動し、焦点合わせが行われる。
6は上記光学系を囲むカバーであり、該カバー
には視野Zからの赤外線を走査鏡2へ導入するた
めの窓7が設けられている。該窓前面には保護用
窓ガラス8及び拡大レンズ9を軸10を挾んで対
称に保持した回転体11が設けられており、該回
転体を回転させることにより窓前面に窓ガラス8
又は拡大レンズ9を選択的に配置することができ
る。上記回転体11には軸上の突起12と該突起
によつて閉じられるマイクロスイツチ13とから
なるレンズ位置検出機構が設けられ、拡大レンズ
9が窓前面にセツトされた時マイクロスイツチ1
3はONとなる。その時検出回路14は指令信号
を発し、前記モータ4を制御してレンズ3の位置
を調節する焦点位置制御回路15へ送る。該焦点
位置制御回路15は該指令信号を受けるとレンズ
3を無条件に焦点無限遠の位置へ移動するように
設定されている。
には視野Zからの赤外線を走査鏡2へ導入するた
めの窓7が設けられている。該窓前面には保護用
窓ガラス8及び拡大レンズ9を軸10を挾んで対
称に保持した回転体11が設けられており、該回
転体を回転させることにより窓前面に窓ガラス8
又は拡大レンズ9を選択的に配置することができ
る。上記回転体11には軸上の突起12と該突起
によつて閉じられるマイクロスイツチ13とから
なるレンズ位置検出機構が設けられ、拡大レンズ
9が窓前面にセツトされた時マイクロスイツチ1
3はONとなる。その時検出回路14は指令信号
を発し、前記モータ4を制御してレンズ3の位置
を調節する焦点位置制御回路15へ送る。該焦点
位置制御回路15は該指令信号を受けるとレンズ
3を無条件に焦点無限遠の位置へ移動するように
設定されている。
尚赤外線検出器1から得られた検出信号は走査
鏡2と同期した表示装置16へ増巾器17を介し
て送られる。
鏡2と同期した表示装置16へ増巾器17を介し
て送られる。
上述の如き構成において通常の観察は第2図の
光学図に示す様に窓前面に窓ガラス8を配置して
行われる。この時例えば被写体を最も接近させら
れるのがAの位置だとすれば、その時の視野の大
きさaは下式であらわれる。
光学図に示す様に窓前面に窓ガラス8を配置して
行われる。この時例えば被写体を最も接近させら
れるのがAの位置だとすれば、その時の視野の大
きさaは下式であらわれる。
a=2.ltan(θ/2) ……(1)
ここでlは走査鏡と被写体との距離、θは走査
角である。又被写体上での検出器像スポツトの大
きさδ′は検出器の大きさをδ集速レンズ3から
被写体までの光路長をS1検出器と集速レンズ3と
の距離をS0として下式であらわされる。
角である。又被写体上での検出器像スポツトの大
きさδ′は検出器の大きさをδ集速レンズ3から
被写体までの光路長をS1検出器と集速レンズ3と
の距離をS0として下式であらわされる。
δ′=δ×S1/S0 ……(2)
一方拡大観察は第3図の光学図に示す様に窓前
面に拡大レンズ9を配置して行われる。拡大レン
ズ9のセツトと連動して集束レンズ3は焦点無限
速の(即ち集束レンズ3の焦点位置に検出器1が
ある様な)位置へ移動される。従つて検出器1か
ら出た光は集束レンズ3を出て平行となり、平行
のまま走査鏡2によつて走査される。そして平行
のまま拡大レンズ9へ入射した光は該レンズ9の
焦点面上に集束されるから、その焦点面上に検出
器像スポツトが結像され、該スポツトは走査鏡2
により焦点面上で走査される。
面に拡大レンズ9を配置して行われる。拡大レン
ズ9のセツトと連動して集束レンズ3は焦点無限
速の(即ち集束レンズ3の焦点位置に検出器1が
ある様な)位置へ移動される。従つて検出器1か
ら出た光は集束レンズ3を出て平行となり、平行
のまま走査鏡2によつて走査される。そして平行
のまま拡大レンズ9へ入射した光は該レンズ9の
焦点面上に集束されるから、その焦点面上に検出
器像スポツトが結像され、該スポツトは走査鏡2
により焦点面上で走査される。
この第3図の場合視野の大きさbは下式で表わ
される。
される。
b=2・1tan(θ/2) ……(3)
ここで1は拡大レンズの焦点距離、θは走査
角である。又被写体上での検出器像のスポツトの
大きさは下式であらわされる。
角である。又被写体上での検出器像のスポツトの
大きさは下式であらわされる。
δ′=δ×1/0 ……(4)
ここで0は集束レンズ3の焦点距離である。
第2図と第3図における視野を比較すると、前
者ではlを窓と走査鏡との距離よりも小さくする
ことはできないのでaを小さくすることは困難で
あるのに対し、第3図では内部の光路長には依存
せず1を適宜選択することによりbを任意に小
さくすることができる。
者ではlを窓と走査鏡との距離よりも小さくする
ことはできないのでaを小さくすることは困難で
あるのに対し、第3図では内部の光路長には依存
せず1を適宜選択することによりbを任意に小
さくすることができる。
又検出器像スポツトの大きさを比較すると、第
2図では集束レンズ3から窓までの距離は短かく
することができないので、S1/S0は常に1以上とな
り スポツトサイズを小さくできないのに対し、第3
図では1と0の比で決まるので1を小さく
選択することによりスポツトサイズを小さくし、
分解能を向上させることができる。
2図では集束レンズ3から窓までの距離は短かく
することができないので、S1/S0は常に1以上とな
り スポツトサイズを小さくできないのに対し、第3
図では1と0の比で決まるので1を小さく
選択することによりスポツトサイズを小さくし、
分解能を向上させることができる。
尚上述した例では集光手段としてレンズを用い
たが、反射系を用いても同じ集光作用を持たせる
ことができることは言うまでもない。
たが、反射系を用いても同じ集光作用を持たせる
ことができることは言うまでもない。
第1図は本発明の一実施例の構成を示す図、第2
図及び第3図はその動作を説明するための光学図
である。 1:赤外線検出器、2:走査鏡、3:集束レン
ズ、9:拡大レンズ。
図及び第3図はその動作を説明するための光学図
である。 1:赤外線検出器、2:走査鏡、3:集束レン
ズ、9:拡大レンズ。
Claims (1)
- 1 赤外線検出器と、該検出器の像を視野内で走
査するための走査鏡と、該走査鏡と前記検出器と
の間に配置された焦点合わせを行うための集光手
段を備えたサーモグラフイー装置において、走査
鏡の前面にレンズ手段を挿脱何能に設けると共
に、該レンズ手段の挿入に対応した信号に基づき
前記検出器と前記集光手段との距離を該集光手段
の焦点距離に略等しく設定する集光手段位置設定
手段を設けたことを特徴とするサーモグラフイー
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3841880A JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3841880A JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS56135134A JPS56135134A (en) | 1981-10-22 |
JPS6119926B2 true JPS6119926B2 (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=12524756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3841880A Granted JPS56135134A (en) | 1980-03-26 | 1980-03-26 | Thermography device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS56135134A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111731U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
JPH0496931U (ja) * | 1991-01-31 | 1992-08-21 |
-
1980
- 1980-03-26 JP JP3841880A patent/JPS56135134A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63111731U (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-18 | ||
JPH0496931U (ja) * | 1991-01-31 | 1992-08-21 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS56135134A (en) | 1981-10-22 |
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