JPS61199231A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61199231A JPS61199231A JP4045785A JP4045785A JPS61199231A JP S61199231 A JPS61199231 A JP S61199231A JP 4045785 A JP4045785 A JP 4045785A JP 4045785 A JP4045785 A JP 4045785A JP S61199231 A JPS61199231 A JP S61199231A
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- Japan
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- magnetic
- nonmagnetic
- substrate
- recording medium
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、たとえばコバルト、コバルト合金。
鉄、鉄合金、ニッケル、ニッケル合金などの金属強磁性
体よりなる磁性層、あるいは酸化鉄、酸化クロムなどの
全綱酸化物強磁性体よりなる磁性1−を有する磁気記録
媒体に関するものである。
体よりなる磁性層、あるいは酸化鉄、酸化クロムなどの
全綱酸化物強磁性体よりなる磁性1−を有する磁気記録
媒体に関するものである。
近年、コンピュータ・システムにおける磁気ディスク等
の外部記憶装置の重要性が増大し、高記録密度化に対す
る要求はますます高まっている。
の外部記憶装置の重要性が増大し、高記録密度化に対す
る要求はますます高まっている。
磁気記録装置は記録再生ヘッドおよび磁気ディスクの主
構成部から構成され、磁気ディスクは高速で回転し記録
再生ヘッドは磁気ディスクより微小間隔浮上している。
構成部から構成され、磁気ディスクは高速で回転し記録
再生ヘッドは磁気ディスクより微小間隔浮上している。
磁気記録装置の高性能化に伴い、この浮上間隔を小さく
するために記録再生ヘッドの荷重を小さくするとともに
接触始動・停止(コンタクト・スタート・ストラフ:a
ss)9ヘツド浮揚システムが採用されている。磁気デ
ィスクすなわち磁気記録媒体の高記録密度化、高性能化
を図るためには、記録媒体の薄層化、均−一様化、磁気
特性の改良(保磁力、角形比の向上)。
するために記録再生ヘッドの荷重を小さくするとともに
接触始動・停止(コンタクト・スタート・ストラフ:a
ss)9ヘツド浮揚システムが採用されている。磁気デ
ィスクすなわち磁気記録媒体の高記録密度化、高性能化
を図るためには、記録媒体の薄層化、均−一様化、磁気
特性の改良(保磁力、角形比の向上)。
および低浮上量における安定したヘッド浮揚状態を確保
しヘッドとディスクの衝突(ヘッド・クラッシュ)を防
止するためのディスク表面精度の向上、耐ヘッドクラツ
シユ性等の向上が必要である。
しヘッドとディスクの衝突(ヘッド・クラッシュ)を防
止するためのディスク表面精度の向上、耐ヘッドクラツ
シユ性等の向上が必要である。
それに伴い磁性媒体層を支持する基板の品質の向上が重
要となっている。
要となっている。
高密度記録に適する基板の条件としては機械的平担性お
よび表面粗さが良好であり、欠陥が小さくその数も少な
いことが挙げられる。さらに、記録媒体の薄層化に伴い
基板の十分な硬度も必要とされてきた。すなわち、基板
が軟かいと磁気ヘッドが磁気ディスクに接続した際に陥
没などの変形を起こし、B&気ヘッドの安定した浮揚状
態が得られないばかりか、磁気記録装置の信頼性を表す
コンタクトスタートストップ(aSS)回数が小さくな
るという問題がある。
よび表面粗さが良好であり、欠陥が小さくその数も少な
いことが挙げられる。さらに、記録媒体の薄層化に伴い
基板の十分な硬度も必要とされてきた。すなわち、基板
が軟かいと磁気ヘッドが磁気ディスクに接続した際に陥
没などの変形を起こし、B&気ヘッドの安定した浮揚状
態が得られないばかりか、磁気記録装置の信頼性を表す
コンタクトスタートストップ(aSS)回数が小さくな
るという問題がある。
従来、@気ディスクの基板にはアルミ合金が使われてい
るが9表面硬化や表面精度をだすため。
るが9表面硬化や表面精度をだすため。
その上に硬化層を被覆している。この硬化層は研磨性の
良好なN1−Pめつき膜やアルマイト膜が用いられてき
た(たとえば、電々公社研究実用化報告第31巻第9号
1731〜1744頁、先行技術特願昭59−8863
3号、特願昭59−111468号明細書)。
良好なN1−Pめつき膜やアルマイト膜が用いられてき
た(たとえば、電々公社研究実用化報告第31巻第9号
1731〜1744頁、先行技術特願昭59−8863
3号、特願昭59−111468号明細書)。
この膜を形成した後9機械加工を行い表面精度をあげ、
磁性媒体層を形成する。この磁性媒体層の磁気特性と結
晶配向性には密接な関係があり、結晶配向性は磁性媒体
層の下地膜の種類に影響されることがわかっている(た
とえば、太田ら、第8回日本応用磁気学会学術講演概要
集、 15PB−8(1984))。たとえば、γ−
Fe203薄膜の場合は1j111配向、CおよびC8
合金薄膜の場合はC軸配向した場合が磁気特性が良好で
あることがわかっている。
磁性媒体層を形成する。この磁性媒体層の磁気特性と結
晶配向性には密接な関係があり、結晶配向性は磁性媒体
層の下地膜の種類に影響されることがわかっている(た
とえば、太田ら、第8回日本応用磁気学会学術講演概要
集、 15PB−8(1984))。たとえば、γ−
Fe203薄膜の場合は1j111配向、CおよびC8
合金薄膜の場合はC軸配向した場合が磁気特性が良好で
あることがわかっている。
しかし、i々の硬化層を形成し磁性媒体層を形成すると
、はとんどの場合望ましい結晶配向性になりに<〈、そ
の結果磁化曲線から求められる角形比Sか悪化するなど
磁気特性が良くならないという問題点があった。
、はとんどの場合望ましい結晶配向性になりに<〈、そ
の結果磁化曲線から求められる角形比Sか悪化するなど
磁気特性が良くならないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、結晶配向性すなわち磁気特性が良好でaSS
回数が増大する信頼性の高い磁気記録媒体を得ることを
目的とする。
たもので、結晶配向性すなわち磁気特性が良好でaSS
回数が増大する信頼性の高い磁気記録媒体を得ることを
目的とする。
この発明の磁気記録媒体は、非磁性硬化層と磁性媒体層
の間に+ ZrO2、ZrC、およびZrNのうちの
いずれか1種よりなる非磁性下地層を形成したものであ
る。
の間に+ ZrO2、ZrC、およびZrNのうちの
いずれか1種よりなる非磁性下地層を形成したものであ
る。
この発明は係るZrO2、ZrC、およびZrNのうち
いずれか1種より成る非磁性下地層の形成により。
いずれか1種より成る非磁性下地層の形成により。
非磁性硬化層の悪影響を防止し、磁性媒体層の結晶配向
性を良くすることができ、非磁性硬化層の硬く表面精度
の良好な特性を減することがない。
性を良くすることができ、非磁性硬化層の硬く表面精度
の良好な特性を減することがない。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、(1)は非磁性基板であるアルミニウム合
金基板、(2)は非磁性硬化層、(3)はZ rO2非
磁性下地層、(4)は磁性媒体層である。
図において、(1)は非磁性基板であるアルミニウム合
金基板、(2)は非磁性硬化層、(3)はZ rO2非
磁性下地層、(4)は磁性媒体層である。
以下、具体的実施例によりこの発明をより詳細に説明す
るが、この発明はこれに限定されるものではない。
るが、この発明はこれに限定されるものではない。
実施例
ディスク状アルミニウム合金基板(ll上に非磁性硬化
層(2)としてアルマイト膜を4μm被覆した。
層(2)としてアルマイト膜を4μm被覆した。
アルマイト膜を鏡面仕上げした後、非磁性下地層(3)
としてZrO2膜を反応スパッタ法により形成した。
としてZrO2膜を反応スパッタ法により形成した。
さらに、磁性媒体層(4)としてγ−Fe203薄膜を
形成した。ZrO2膜の膜厚を変えた試料を作製し9種
々の測定を行い、結果を表にまとめた。結晶配向性につ
いては、X線回折法により測定し、γ−Fe2O3(ス
ピネル型)の222方向のピーク!(222)と311
方向のピークI(311)の比によって表現した。角形
比Sは磁化曲線より求めた。
形成した。ZrO2膜の膜厚を変えた試料を作製し9種
々の測定を行い、結果を表にまとめた。結晶配向性につ
いては、X線回折法により測定し、γ−Fe2O3(ス
ピネル型)の222方向のピーク!(222)と311
方向のピークI(311)の比によって表現した。角形
比Sは磁化曲線より求めた。
さらに、非磁性下地層の膜厚と各特性値の変化を、非磁
性下地層がZ rO2の場合の例を第2図に。
性下地層がZ rO2の場合の例を第2図に。
非磁性下地層がZrNの場合の例を第3図にそれぞれ示
す。図中9曲線11はI(222)/I(311)の変
化9曲線12はS の変化9曲線13はaSS回数の比
の変化を表す。
す。図中9曲線11はI(222)/I(311)の変
化9曲線12はS の変化9曲線13はaSS回数の比
の変化を表す。
注) ZrO□膜厚がoX(形成しない)の時の08
8回数を1として比で表した。
8回数を1として比で表した。
表および第2図より明らかなように、 ZrO□ の
膜厚がsoXを越えると、結晶配向性およびS*の値が
向上していく。−Ms ZrO2の膜厚が2400
Kを越え3000X以上になると、 aSS回数の悪
化がみられた。ZrO2の膜厚が厚すぎると、非磁性硬
化層の効果が薄れてしまい、 aSS回数の悪化につ
ながったと考えられる。また、 3000X以上だと
熱膨張係数の違いから、クラックがはいることが多(3
00Gλ以上は望ましくない。
膜厚がsoXを越えると、結晶配向性およびS*の値が
向上していく。−Ms ZrO2の膜厚が2400
Kを越え3000X以上になると、 aSS回数の悪
化がみられた。ZrO2の膜厚が厚すぎると、非磁性硬
化層の効果が薄れてしまい、 aSS回数の悪化につ
ながったと考えられる。また、 3000X以上だと
熱膨張係数の違いから、クラックがはいることが多(3
00Gλ以上は望ましくない。
上記実施例では、ZrO2膜の場合について説明したが
、 zrc 、 ZrNの場合であっても同様の結果
が得られ、上記実施例と同様の効果を奏する。
、 zrc 、 ZrNの場合であっても同様の結果
が得られ、上記実施例と同様の効果を奏する。
〔発明の効果]
以上のように、この発明によれば、非磁性基板と、この
非磁性基板に被覆された非磁性硬化層と。
非磁性基板に被覆された非磁性硬化層と。
この非磁性硬化層に被覆されたZrO2、ZrC、およ
びZrNのうちのいずれか1種よりなる非磁性下地層と
、この非磁性下地層に被覆された磁性媒体層を備えたの
で、結晶配向性および磁気特性が向上し、 aSS回
数が増大し、信頼性の高い磁気記録媒体が得られ本効果
がある。
びZrNのうちのいずれか1種よりなる非磁性下地層と
、この非磁性下地層に被覆された磁性媒体層を備えたの
で、結晶配向性および磁気特性が向上し、 aSS回
数が増大し、信頼性の高い磁気記録媒体が得られ本効果
がある。
また、 ZrO2,zrO、およびZrNのうちのい
ずれか1種よりなる非磁性下地層の厚さを50〜240
0又の範囲にすると、一層上述の効果が増大する。
ずれか1種よりなる非磁性下地層の厚さを50〜240
0又の範囲にすると、一層上述の効果が増大する。
第1図はこの発明の一実施例により得られた磁気記録媒
体を示す断面図であり、第2図および第3図は非磁性下
地層の膜厚と各特性値の変化を示す特性図である。 (1)・・・非磁性基板、(2)・・・非磁性硬化層、
(3)・・・Zro2非磁性下地層、(4)・・・磁性
媒体層。
体を示す断面図であり、第2図および第3図は非磁性下
地層の膜厚と各特性値の変化を示す特性図である。 (1)・・・非磁性基板、(2)・・・非磁性硬化層、
(3)・・・Zro2非磁性下地層、(4)・・・磁性
媒体層。
Claims (2)
- (1)非磁性基板と、この非磁性基板に被覆された非磁
性硬化層と、この非磁性硬化層に被覆されたZrO_2
、2rC、およびZrNのうちのいずれか1種よりなる
非磁性下地層と、この非磁性下地層に被覆された磁性媒
体層を備えた磁気記録媒体。 - (2)ZrO_2、ZrC、およびZrNのうちのいず
れか1種より形成された非磁性下地層の膜厚を50〜2
400Åの範囲にしたことを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4045785A JPS61199231A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4045785A JPS61199231A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61199231A true JPS61199231A (ja) | 1986-09-03 |
Family
ID=12581170
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4045785A Pending JPS61199231A (ja) | 1985-03-01 | 1985-03-01 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61199231A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5572763A (en) * | 1993-11-29 | 1996-11-12 | Kao Corporation | Toothbrush |
-
1985
- 1985-03-01 JP JP4045785A patent/JPS61199231A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5572763A (en) * | 1993-11-29 | 1996-11-12 | Kao Corporation | Toothbrush |
AU674264B2 (en) * | 1993-11-29 | 1996-12-12 | Kao Corporation | Toothbrush |
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