JPS61198790A - 気体レ−ザ装置用送風機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は気体レーザ装置用送風機に関する。

〔従来の技術〕

従来の気体レーザ装置としては第２図に示すものがある
。この装置は、気密性の高い真空容器１、励起用の放電
電極２、加熱されたレーザガスを冷却する熱交換器３お
よびレーザガスを強制的に循環させるプロペラファン４
等から構成されている。

しかし、送風機とし【プロペラファン４を用いた上記気
体レーザ装置は、プロペラファン４の出口近傍のレーザ
ガスの断面形状が円形であり、−万放電部におけるレー
ザガスの断面形状が偏平した矩形であるため、循環経路
におけるレーザガスの収縮、膨張箇所、コーナーなどが
多く、ここでのレーザガスの圧力損失も大きくなってい
た。したがってプロペラファン４は大出力、大型化し、
レーザ全体の効率の低下を招いていた。

この問題点を解決するために、近年、円筒型の真宅容器
と貫流ファンを使った気体レーザ装置が提案されている
（特願昭５８−２７４１８）。

しかしながら、この装置を使って実験を行なったところ
、レーザガスがサージングを起こすことが判明した。気
体レーザ装置においては、安定な放電を得るためにはレ
ーザガスの速度が放を部において時間的に一定であるこ
とが必要である。この条件が満たされないときは放電が
不安定になり、レーザの出力が変動したり、最終的には
発振が止まってしまう結果にもなる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

本発明は上記円筒型真空容器と貫流ファンを使った気体
レーザ装置において、レーザガスの流れを円滑にし、貫
流ファンの性能の向上を図るようにした気体レーザ装置
用送風機を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明によ
れは、円筒型の真空容器内に、貫流ファンの後ケーシン
グを含む該真空容器の内局部と前記貫流ファンの舌部を
含む前記内周部の内側に設けたガイドダクトとによって
レーザ媒質の循環経路を形成し、この循環経路内に放電
電極、前記貫流ファンの回転子および熱交換器を配設し
てなる気体レーザ装置において、前記循環経路を形成す
る前記ガイドダクトを、一端が前記貫流ファンの舌部と
なって前記貫流ファンと前記放電電極との間に配設され
る第１のガイドダクトと、前記放電電極と前記熱交換器
との間に配設される第２のガイドダクトのみによって形
成し、前記貫流ファンの入口側に大空間を設けることに
よりサージングの発生を防止するようにしている。

〔実施例〕

以下、本発明を添付図面を参照して詳細に説明する。

第１図は本発明による気体レーザ装置用送風機を適用し
た気体レーザ装置の一実施例を示す断面図である。この
装置は、主として円筒型真空容器ｉｏ、ガイドダクト１
１．　１２．　１３．　１４゜貫流ファン１５０回転子
１６、放電部１７の放電電極１８、熱交換器１９、整流
用のガイドベーン２０等から構成されている。

円筒型真空容器ｌＯは、ＣＯ，、Ｎ、、　Ｈ・の混合気
体であるレーザガスと外気とを遮断するとともに、その
容器内壁およびガイドダクト１１および１２からなる真
空容器の内周部は前記レーザガスの循環経路の外周を形
成している。また、前記ガイドダクト１１および１２は
貫流ファン１５の後ケーシングとして作用する。

−万、ガイドダクト１３および１４は前記循環経路の内
周を形成するもので、ガイドダクト１３は一端か貫流フ
ァン１５の舌部１３ｍとなって貫流ファン１５と放電電
極１８との間に配設され、ガイドダクト１４は放電電極
１８と熱交換器１９との間に配設されている。

回転子１６は上記のようにして形成された循環経路中に
配設され、前記後ケーシングとなるガイドダクト１１．
１２およびガイドダクト１３の舌部１３ａとともに貫流
ファン１５を構成している。放電電極１８は上記循環経
路中の放電部１７を挟んで配設され、また熱交換器１９
は貫流ファン１１５の入口側に配設されている。なお、
回転子１６、放電電極１８および熱交換器１９は真空容
器１０の長手方向の長さとほぼ同一の長さを有している
。

さて、貫流ファン１５によって送出されるレーザガスは
、ガイドダクト１１および１３によって形成される循環
経路を逼り放電部１７を通過する。放電部１７では順次
送られてくるレーザガスを放電電極１８間の放電によっ
て連続的に励起し、放電部１７に反転分布領域を作り出
し、この反転分布領域に蓄わえられたエネルギは流れに
対して直角方向に配設された光共振器（図示せず）によ
りレーザ光として取り出される。そして放電部１７を通
過して温度が上昇したレーザガスは、ガイドベーン２０
によってその流れが整えられて熱交換器１９に導かれ、
ここで冷却されて再び貫流ファン１５０入口に戻る。

従来の円筒型の気体レーザ装置（％願昭５８−２７４１
８）は、第１図の破線部２１にガイドダクトが設けられ
ており、送風実験を行なったところレーザガスがサージ
ングを起こしていたことは前述の通りである。

本発明では上述のように破線部２１におけるガイドダク
トを除去し、負流ファン１５の入力側に大きな空間を形
成し、負流ファン１５に流入するレーザガスの流れを円
滑にするようにしている。

〔発明の効果Ｊ 以上説明したように本発明によれば、円筒型の気体レー
ザ装置の送風機として使用される負流ファンに流入する
レーザ媒質の流れを円滑し、レーザ媒質のサージングを
防止するとともに貫流ファ／の効率を向上させることか
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による気体レーザ装置用送風機を適用し
た気体レーザ装置の一実施例を示す断面図、第２図は従
来の気体レーザ装置の一例を示す構成図である。 １０・・・円筒型真空容器、１１，１２，１３゜１４・
・“ガイドダクト、１５・・・負流ファン、１６・・・
回転子、１７・・・放電部、１８・・・放ｉｔｓ極、１
９°・・熱交換器、２０・・・ガイドベーン。 出願人代理人　木　村　高　久ｊ、’ニー、７　ワ、１
ｊ、、：、Ｉ−：璽・１ ゛・−二１．１

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 円筒型の真空容器内に、貫流ファンの後ケーシングを含
   む該真空容器の内周部と前記貫流ファンの舌部を含む前
   記内周部の内側に設けたガイドダクトとによってレーザ
   媒質の循環経路を形成し、この循環経路内に放電電極、
   前記貫流ファンの回転子および熱交換器を配設してなる
   気体レーザ装置において、 前記循環経路の内周を形成する前記ガイドダクトを、一
   端が前記貫流ファンの舌部となって前記貫流ファンと前
   記放電電極との間に配設される第１のガイドダクトと、
   前記放電電極と前記熱交換器との間に配設される第２の
   ガイドダクトのみによって形成し、前記貫流ファンの入
   口側に大空間を設けたことを特徴とする気体レーザ装置
   用送風機。