JPS61197997A - ナトリウム取扱い機器の洗浄装置 - Google Patents
ナトリウム取扱い機器の洗浄装置Info
- Publication number
- JPS61197997A JPS61197997A JP60040740A JP4074085A JPS61197997A JP S61197997 A JPS61197997 A JP S61197997A JP 60040740 A JP60040740 A JP 60040740A JP 4074085 A JP4074085 A JP 4074085A JP S61197997 A JPS61197997 A JP S61197997A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sodium
- liquid
- handling equipment
- cleaning device
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野１
本発明は液体ナトリウムとカバーガス空間が存在する容
器内に付着したナトリウム化合物を除去するためのナト
リウム取扱いＩｌｌ器の洗浄装置に関する。
器内に付着したナトリウム化合物を除去するためのナト
リウム取扱いＩｌｌ器の洗浄装置に関する。
［発明の技術的背景Ｊ
本願明細書ではナトリウム取扱い機器の例として説明の
都合上、蒸気発生器で説明するが、これに限ることなく
液体ナトリウムを取扱う熱交換器、貯蔵タンクなども含
まれている。
都合上、蒸気発生器で説明するが、これに限ることなく
液体ナトリウムを取扱う熱交換器、貯蔵タンクなども含
まれている。
ところぐ、液体ナトリウムを一次冷却材、二次冷却材と
する高速増殖炉においては炉心の発生熱を一次冷却材を
介して中間熱交Ｗｋ器に伝達し、この中間熱交Ｖｉ５器
と蒸気発生器の間を二次冷却材で伝熱させるようにして
いる。蒸気発生器は第４図に示したように密閉された容
器１内に、水または水蒸気を加熱する伝熱管２が収納さ
れており、この伝熱管２は液体ナトリウムがナトリウム
入口管３／）日ら流入し、出口管４から流出するナトリ
ウム５で加熱されるようになっている。液体ナトリウム
５の液面６の上方は不活性ガスで覆うカバーガス空間７
であり、その空間７の−Ｆ方に管板８が取りつけられて
いる。なお、符号９は水・蒸気系入口配管、１０はその
出口配管、１１は水・蒸気系を示している。このような
蒸気発生器の容器２内で薄肉の伝熱管２を介して二次冷
却材ナトリウムの熱は水・蒸気系側に熱交換が行われる
。蒸気発生器は航述したように、薄肉の伝熱管２を介し
て液体ナトリウムと水および蒸気が接するため、伝熱管
２に欠陥が発生した場合、液体ナトリウム中へ水が漏洩
しナトリウムと水の激しい化学反応が生じる。この化学
反応は初期の段階では微少なものであるが、急速に大規
模な状態に成長する可能性が多分にある。このため、あ
らかじめ化学反応の初期段階でこの化学反応を迅速に検
出して大規模な化学反応事故を未然に防止しな【ノれば
ならない。この目的を達成するため蒸気発生器の周辺に
は水漏洩検出系が設置され、水漏洩が生じても初朋段Ｉ
Ｉ／ｉ′ｒ″検知し適切なＪｉｌ置が講じられるように
なっている。
する高速増殖炉においては炉心の発生熱を一次冷却材を
介して中間熱交Ｗｋ器に伝達し、この中間熱交Ｖｉ５器
と蒸気発生器の間を二次冷却材で伝熱させるようにして
いる。蒸気発生器は第４図に示したように密閉された容
器１内に、水または水蒸気を加熱する伝熱管２が収納さ
れており、この伝熱管２は液体ナトリウムがナトリウム
入口管３／）日ら流入し、出口管４から流出するナトリ
ウム５で加熱されるようになっている。液体ナトリウム
５の液面６の上方は不活性ガスで覆うカバーガス空間７
であり、その空間７の−Ｆ方に管板８が取りつけられて
いる。なお、符号９は水・蒸気系入口配管、１０はその
出口配管、１１は水・蒸気系を示している。このような
蒸気発生器の容器２内で薄肉の伝熱管２を介して二次冷
却材ナトリウムの熱は水・蒸気系側に熱交換が行われる
。蒸気発生器は航述したように、薄肉の伝熱管２を介し
て液体ナトリウムと水および蒸気が接するため、伝熱管
２に欠陥が発生した場合、液体ナトリウム中へ水が漏洩
しナトリウムと水の激しい化学反応が生じる。この化学
反応は初期の段階では微少なものであるが、急速に大規
模な状態に成長する可能性が多分にある。このため、あ
らかじめ化学反応の初期段階でこの化学反応を迅速に検
出して大規模な化学反応事故を未然に防止しな【ノれば
ならない。この目的を達成するため蒸気発生器の周辺に
は水漏洩検出系が設置され、水漏洩が生じても初朋段Ｉ
Ｉ／ｉ′ｒ″検知し適切なＪｉｌ置が講じられるように
なっている。
寸なわち、液体ノトリウム５中に費用の水が混入した場
合、水はナトリウムと激しい化学反応を生じて水素化合
物と酸化物となる。水漏洩検出系はこのナトリウム−水
反応により液体ナトリウム５中またはカバーガス空間７
のカバーガス中に発生ずる水素または酸素の濃度を早期
に検出し警報を発生するようになっている。小さな水漏
洩を生じた伝熱管２は修復され、修復された然気発生器
は再び使用可能であるが、再使用する際に蒸気発生器１
の容器２内の管板８の下面に付着したナトリウム化合物
１２を除去する必要がある。ジなわも、水漏洩が液体ナ
トリウム５の近傍またはカバーガス空間７で発生した場
合、ナトリウム−水反応で生成したナトリウム化合物１
２はカバーガス空間７を飛散し、管板８に付着する。こ
の管板８に付着したナトリウム化合物１２は、カバーガ
ス空間７に存在Ｊる水素ガスに対して吸脱着をおこ１原
囚となる。これは蒸気発生器ナトリウムのカバーガス空
間７に含まれる水素濃度を常時監視し、水漏洩の判定を
行う水漏洩検出系に対して大きな外乱をあたえることに
なるため、この管板８に付着したナトリウム化合物１２
を除去し洗浄する必要がある。
合、水はナトリウムと激しい化学反応を生じて水素化合
物と酸化物となる。水漏洩検出系はこのナトリウム−水
反応により液体ナトリウム５中またはカバーガス空間７
のカバーガス中に発生ずる水素または酸素の濃度を早期
に検出し警報を発生するようになっている。小さな水漏
洩を生じた伝熱管２は修復され、修復された然気発生器
は再び使用可能であるが、再使用する際に蒸気発生器１
の容器２内の管板８の下面に付着したナトリウム化合物
１２を除去する必要がある。ジなわも、水漏洩が液体ナ
トリウム５の近傍またはカバーガス空間７で発生した場
合、ナトリウム−水反応で生成したナトリウム化合物１
２はカバーガス空間７を飛散し、管板８に付着する。こ
の管板８に付着したナトリウム化合物１２は、カバーガ
ス空間７に存在Ｊる水素ガスに対して吸脱着をおこ１原
囚となる。これは蒸気発生器ナトリウムのカバーガス空
間７に含まれる水素濃度を常時監視し、水漏洩の判定を
行う水漏洩検出系に対して大きな外乱をあたえることに
なるため、この管板８に付着したナトリウム化合物１２
を除去し洗浄する必要がある。
従来、この管板８に付着したナトリウム化合物１２を除
去する方法は容器１内の液体ナトリウム５の液位を上昇
させるか、または液体ナトリウムを管板８に付着したナ
トリウム化合物に吹付けて洗浄している。
去する方法は容器１内の液体ナトリウム５の液位を上昇
させるか、または液体ナトリウムを管板８に付着したナ
トリウム化合物に吹付けて洗浄している。
［背景技術の問題点ｊ
しかしながら、上述した従来技術の洗浄方法には以下に
述べるような問題点があった。
述べるような問題点があった。
すなわち、洗浄操作を実施するだめの設置が複雑で大が
かりなものとなるとともに管板８に熱衝撃を与える可能
性がある。
かりなものとなるとともに管板８に熱衝撃を与える可能
性がある。
つまり、洗浄の際、管板に熱応力が発生して熱変形をお
こさせたりまたは破損させたりするおそれがある。
こさせたりまたは破損させたりするおそれがある。
［′ｆｌ明の［１的］
本発明はｆｔ景技術における上述のごとき不都合を除去
すべくなされたもので、ナトリウム取扱い ・
ｍＷ内でナトリウム−水反応等が生じてナトリウム取扱
い機器の容器内がナトリウム化合物等の不純物で汚染さ
れた場合、容器に熱的な衝撃を与えることなく簡単な装
置により容器内に付着した不純物を容易に洗浄すること
が可能なナトリウム取扱い機器の洗浄装置を提供するこ
とになる。
すべくなされたもので、ナトリウム取扱い ・
ｍＷ内でナトリウム−水反応等が生じてナトリウム取扱
い機器の容器内がナトリウム化合物等の不純物で汚染さ
れた場合、容器に熱的な衝撃を与えることなく簡単な装
置により容器内に付着した不純物を容易に洗浄すること
が可能なナトリウム取扱い機器の洗浄装置を提供するこ
とになる。
［発明の概要１
すなわち本発明は、液体ナトリウムとカバーガス空間が
共存するナトリウム取扱い機器の容器内の、液体ナトリ
ウム液面近傍にナトリウム気化器を設けて、強制的に液
体ナトリウム液面からミスト状の飛沫を発生させ、カバ
ーガス空間の蒸気およびミスト濁度を増加させ、その一
部を容器内に付着する不純物と接触さＵ、流下により不
純物を洗浄することにより、従来問題となっていた点を
解決したすｉ〜シリウム扱い機器の洗浄装置である。
共存するナトリウム取扱い機器の容器内の、液体ナトリ
ウム液面近傍にナトリウム気化器を設けて、強制的に液
体ナトリウム液面からミスト状の飛沫を発生させ、カバ
ーガス空間の蒸気およびミスト濁度を増加させ、その一
部を容器内に付着する不純物と接触さＵ、流下により不
純物を洗浄することにより、従来問題となっていた点を
解決したすｉ〜シリウム扱い機器の洗浄装置である。
［１明の実施例１
以下、第１図および第２図を参照して本発明の一実施例
を説明する。なお、この実施例は本発明を高速増殖炉用
蒸気発生器に適用した例−〇ある。
を説明する。なお、この実施例は本発明を高速増殖炉用
蒸気発生器に適用した例−〇ある。
第１図においては、液体ナトリウムの蒸気またはミスト
あるいはその両者を発生させる気化器として不活性ガス
注入方式を採用した例て゛ある。なお、図中、第４図と
同一部分には同一符号で示す。
あるいはその両者を発生させる気化器として不活性ガス
注入方式を採用した例て゛ある。なお、図中、第４図と
同一部分には同一符号で示す。
すなわら、蒸気発生器の容器１には液体ナトリウムが流
入するだめのナトリウム入口管３が設りられており、ナ
トリウム入口管３から容器１内に流入した液体ナトリウ
ムは伝熱管２と熱交換した後ナトリウム出１」管４から
流出する。また容器１の頂部には水・蒸気系入口配管９
が設けられており、水・蒸気はここから容器１内に導か
れる。容器１内に流入した水・蒸気系１１は伝熱管２内
を流れ、ナトリウム５側から熱を奪い、水・蒸気系出口
配管１０から加熱蒸気となって流出していく。また、容
器１内のカバーガス空間７には伝熱管２の破損を検知す
るための水漏洩検出系が接続されている（図示せず）。
入するだめのナトリウム入口管３が設りられており、ナ
トリウム入口管３から容器１内に流入した液体ナトリウ
ムは伝熱管２と熱交換した後ナトリウム出１」管４から
流出する。また容器１の頂部には水・蒸気系入口配管９
が設けられており、水・蒸気はここから容器１内に導か
れる。容器１内に流入した水・蒸気系１１は伝熱管２内
を流れ、ナトリウム５側から熱を奪い、水・蒸気系出口
配管１０から加熱蒸気となって流出していく。また、容
器１内のカバーガス空間７には伝熱管２の破損を検知す
るための水漏洩検出系が接続されている（図示せず）。
液体ナトリウム５の液面６近傍には不活性ガスを液面６
近傍に注入するための不活性ガス注入ノズル１３が設置
されている。注入ノズル１ζ３にはバルブ１４が接続さ
れて不活性ガスの注入量を調節する。不活性ガス注入ノ
ズル１３から液体ナトリウム；うの液面６の近傍には不
活性ガスを注入すると、液体ナトリウム５の液面６が乱
れ、液面６からナトリウム蒸気またはミス１〜状の飛沫
が発生し、カバーガス空間７内のナトリウム酒気または
ミスト濃度を平衡状態以りに増加させる。発生したナト
リウム蒸気またはミストの一部は管板８の下面に付着す
るナトリウム化合物（不純物）１２と接触し、その不純
物１２土に堆積する。ある程麿の堆積が進むと、第２図
に部分的に拡大して示したように蒸気またはミス１〜は
液化しＣ液滴１５となって流下がおこり、この際流下−
ナトリウムの液滴１４は不純物を一部溶解したものを含
んである。このナトリウムの流下により（＝ｊ ＠ し
た不純物１２を管板８の下面から除去することができる
。
近傍に注入するための不活性ガス注入ノズル１３が設置
されている。注入ノズル１ζ３にはバルブ１４が接続さ
れて不活性ガスの注入量を調節する。不活性ガス注入ノ
ズル１３から液体ナトリウム；うの液面６の近傍には不
活性ガスを注入すると、液体ナトリウム５の液面６が乱
れ、液面６からナトリウム蒸気またはミス１〜状の飛沫
が発生し、カバーガス空間７内のナトリウム酒気または
ミスト濃度を平衡状態以りに増加させる。発生したナト
リウム蒸気またはミストの一部は管板８の下面に付着す
るナトリウム化合物（不純物）１２と接触し、その不純
物１２土に堆積する。ある程麿の堆積が進むと、第２図
に部分的に拡大して示したように蒸気またはミス１〜は
液化しＣ液滴１５となって流下がおこり、この際流下−
ナトリウムの液滴１４は不純物を一部溶解したものを含
んである。このナトリウムの流下により（＝ｊ ＠ し
た不純物１２を管板８の下面から除去することができる
。
第２図は第１図のΔ部を拡大し、ナトリウム液滴１５の
流下による洗浄状態を詳細に示すもので、笛板８のＦ面
に付着するナトリウム化合物１２にナトリウム蒸気また
はミストの液滴１５が接触、堆積し、ナトリウム化合物
を一部溶解し、流下する状態を示している。
流下による洗浄状態を詳細に示すもので、笛板８のＦ面
に付着するナトリウム化合物１２にナトリウム蒸気また
はミストの液滴１５が接触、堆積し、ナトリウム化合物
を一部溶解し、流下する状態を示している。
第３図は本発明の他の実施例を示したものて・、第１図
と同一の部分には同一の符号を示し＠複する部分の説明
を省略する。
と同一の部分には同一の符号を示し＠複する部分の説明
を省略する。
第３図が第１図と異なる点は、液体金属蒸気またはミス
トの気化器として超音波振動装置１６を採用した点にあ
る。超音波ｉ！初装置１６を液体ナトリウム５の液面６
近傍に設置し、超音波を発生させることにより、液体ナ
トリウム５の液面６を乱し、液体ナトリウム５の液面６
から蒸気またはミスト状の飛沫を発生させることができ
る。これにより第１図で説明したと同様な作用により管
板８に付着するすトリウム化合物１２を洗浄することが
できる。
トの気化器として超音波振動装置１６を採用した点にあ
る。超音波ｉ！初装置１６を液体ナトリウム５の液面６
近傍に設置し、超音波を発生させることにより、液体ナ
トリウム５の液面６を乱し、液体ナトリウム５の液面６
から蒸気またはミスト状の飛沫を発生させることができ
る。これにより第１図で説明したと同様な作用により管
板８に付着するすトリウム化合物１２を洗浄することが
できる。
［発明の効果１
以上）ホべたように本発明にかかるナトリウム取扱い機
器の洗ｆｔ１装置によれば、ナトリウムを収容する容器
内の機器類や構造材が少トリウム化合物などの不純物に
より汚染されても、容易な操作によりしかも容器内の機
器類や構造材に熱的＜’に１＃ｉ撃を与えることなく洗
浄することができる。したがって、８器内の機器類とか
構造材に悪影響を与えることがないのはもらろんのこと
、原子炉の信頼性向上に大きく寄与でき、非常に大きな
効果を奏する。
器の洗ｆｔ１装置によれば、ナトリウムを収容する容器
内の機器類や構造材が少トリウム化合物などの不純物に
より汚染されても、容易な操作によりしかも容器内の機
器類や構造材に熱的＜’に１＃ｉ撃を与えることなく洗
浄することができる。したがって、８器内の機器類とか
構造材に悪影響を与えることがないのはもらろんのこと
、原子炉の信頼性向上に大きく寄与でき、非常に大きな
効果を奏する。
なお、本発明の実施例では、高速増殖炉の蒸気発生器に
ついて述べたが、これに限るもの′Ｃは／ｆｆｉく、液
体金属とカバーガス空間が共存する容器内の機器類また
は構造材などの洗浄についてすべてに適用できる。
ついて述べたが、これに限るもの′Ｃは／ｆｆｉく、液
体金属とカバーガス空間が共存する容器内の機器類また
は構造材などの洗浄についてすべてに適用できる。
第１図は本発明にかかる洗浄装置の一部側面で示づ断面
図、第２図は第１図のＡ部を拡大して示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例を一部側面で示ｔｌ１７ｉ而図
、第４図は従来例を説明するための一部側面で示寸断面
図である。 １・・・・・・・・・・・・容 器 ２・・・・・・・・・・・・伝熱管 ３・・・・・・・・・・・・ナトリウム入口管４・・・
・・・・・・・・・ナトリウム出口管５・・・・・・・
・・・・・ナトリウム６・・・・・・・・・・・・液
面 ７・・・・・・・・・・・・カバーガス空間８・・・・
・・・・・・・・管板 ９・・・・・・・・・・・・水・蒸気系入口配管１０・
・・・・・・・・・・・水・蒸気系出口配管１１・・・
・・・・・・・・・水・蒸気系１２・・・・・・・・・
・・・ナトリウム化合物１３・・・・・・・・・・・・
不活性ガス注入ノズル１４・・・・・・・・・・・・バ
ルブ １５・・・・・・・・・・・・ナトリウム液滴１６・・
・・・・・・・・・・超音波振動装置式 理 人 弁理
士 須山佐− ａ 第２図 第３図 ｄ 第４図 ＋ ｄ
図、第２図は第１図のＡ部を拡大して示す断面図、第３
図は本発明の他の実施例を一部側面で示ｔｌ１７ｉ而図
、第４図は従来例を説明するための一部側面で示寸断面
図である。 １・・・・・・・・・・・・容 器 ２・・・・・・・・・・・・伝熱管 ３・・・・・・・・・・・・ナトリウム入口管４・・・
・・・・・・・・・ナトリウム出口管５・・・・・・・
・・・・・ナトリウム６・・・・・・・・・・・・液
面 ７・・・・・・・・・・・・カバーガス空間８・・・・
・・・・・・・・管板 ９・・・・・・・・・・・・水・蒸気系入口配管１０・
・・・・・・・・・・・水・蒸気系出口配管１１・・・
・・・・・・・・・水・蒸気系１２・・・・・・・・・
・・・ナトリウム化合物１３・・・・・・・・・・・・
不活性ガス注入ノズル１４・・・・・・・・・・・・バ
ルブ １５・・・・・・・・・・・・ナトリウム液滴１６・・
・・・・・・・・・・超音波振動装置式 理 人 弁理
士 須山佐− ａ 第２図 第３図 ｄ 第４図 ＋ ｄ
Claims (4)
- （１）液体ナトリウムとカバーガス空間を有するナトリ
ウム取扱い機器の容器内に付着したナトリウム化合物を
除去する洗浄装置において、前記液体ナトリウムの液面
近傍に液体ナトリウムを気化するナトリウム気化器を設
けてなることを特徴とするナトリウム取扱い機器の洗浄
装置。 - （２）ナトリウム取扱い機器は液体ナトリウムで水・蒸
気を加熱して蒸気を発生させる蒸気発生器であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のナトリウム取扱
い機器の洗浄装置。 - （３）気化器は不活性ガスを液体ナトリウム中に注入す
るガス注入ノズルを備えていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のナトリウム取扱い機器の洗浄装置
。 - （４）気化器は超音波振動装置を備えていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のナトリウム取扱い機
器の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040740A JPS61197997A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ナトリウム取扱い機器の洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60040740A JPS61197997A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ナトリウム取扱い機器の洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197997A true JPS61197997A (ja) | 1986-09-02 |
Family
ID=12589028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60040740A Pending JPS61197997A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | ナトリウム取扱い機器の洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197997A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104338719A (zh) * | 2014-09-12 | 2015-02-11 | 内蒙古兰太实业股份有限公司 | 一种液态金属钠iso储罐清理工艺 |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP60040740A patent/JPS61197997A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104338719A (zh) * | 2014-09-12 | 2015-02-11 | 内蒙古兰太实业股份有限公司 | 一种液态金属钠iso储罐清理工艺 |
| CN104338719B (zh) * | 2014-09-12 | 2016-08-17 | 内蒙古兰太实业股份有限公司 | 一种液态金属钠iso储罐清理工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6051001B2 (ja) | 蒸気発生器のスラツジ除去方法 | |
| JPS6038505A (ja) | 蒸気発生器 | |
| US4116766A (en) | Ultrasonic dip seal maintenance system | |
| JP2001081050A (ja) | 易重合性化合物の取り扱い装置および取り扱い方法 | |
| RU2262382C2 (ru) | Устройство для разложения карбамата и отгонки аммиака и диоксида углерода из растворов мочевины и способ увеличения срока службы такого устройства | |
| JPS61197997A (ja) | ナトリウム取扱い機器の洗浄装置 | |
| KR20030079954A (ko) | 홀로우 바디 내부에 위치된 표면의 방사성 오염을제거하기 위한 장치 및 방법 | |
| CN218501273U (zh) | 一种用于离子液高温解析的再沸器 | |
| JPH0159964B2 (ja) | ||
| JPH03152499A (ja) | 部品の洗浄方法 | |
| CN107377552A (zh) | 一种强酸蒸馏雾化清洗器 | |
| JPH1027739A (ja) | レジスト塗布装置のレジスト配管の洗浄方法及びその治具 | |
| CN219128339U (zh) | 一种油水混合物料用换热缓冲槽 | |
| CN211470843U (zh) | 一种灰水喷雾热力除氧器 | |
| JPH04281196A (ja) | スラッジ除去方法 | |
| CN210995488U (zh) | 一种洗苯塔循环清洗装置 | |
| CN115282618A (zh) | 一种用于离子液高温解析的再沸器 | |
| JPS6383692A (ja) | ヒ−トパイプ型原子炉 | |
| RU2382274C1 (ru) | Компенсатор | |
| SU740899A1 (ru) | Устройство дл стабилизации и амортизации сооружени | |
| WO1998041317A1 (en) | Injection port assembly | |
| JPS61129088A (ja) | 復水脱塩装置 | |
| JPS604898A (ja) | 単胴式廃液濃縮器 | |
| JP2000121005A (ja) | ドレン回収装置 | |
| KR200152530Y1 (ko) | 저압화학기상증착 반응로의 잉여공정액 배출장치 |