JPS61188024A - 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 - Google Patents
導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法Info
- Publication number
- JPS61188024A JPS61188024A JP2777285A JP2777285A JPS61188024A JP S61188024 A JPS61188024 A JP S61188024A JP 2777285 A JP2777285 A JP 2777285A JP 2777285 A JP2777285 A JP 2777285A JP S61188024 A JPS61188024 A JP S61188024A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- tool
- work
- workpiece
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H5/00—Combined machining
- B23H5/06—Electrochemical machining combined with mechanical working, e.g. grinding or honing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明はシリコンセラミ、りなどの導電性硬脆材によ
る工作物の孔内壁ポリシング方法に関するO 〔従来技術とその問題点〕 従来この種の材料による工作物における孔の精密仕上は
砥石による研削や研摩剤による研摩が行なわれているが
、加工時のチッピングやクラ、りを生じさせることなく
、かつ効藁的に加工することは困難であった。さらに@
梳的な加工力のみで工作物の不要個所を除去していくこ
とは加工表面における加工変質層の生成が避けられず、
このような加工変質層tできるだけ小さく押える必要が
ある場合にはそれの除去が極めて難しいという欠点があ
った。
る工作物の孔内壁ポリシング方法に関するO 〔従来技術とその問題点〕 従来この種の材料による工作物における孔の精密仕上は
砥石による研削や研摩剤による研摩が行なわれているが
、加工時のチッピングやクラ、りを生じさせることなく
、かつ効藁的に加工することは困難であった。さらに@
梳的な加工力のみで工作物の不要個所を除去していくこ
とは加工表面における加工変質層の生成が避けられず、
このような加工変質層tできるだけ小さく押える必要が
ある場合にはそれの除去が極めて難しいという欠点があ
った。
この発明の目的は上述に髄みテ、ピングやクラックを生
じさせることなくかつ加工変質層の生成がほとんどなく
して加工動車の高い導電性硬脆材工作物の孔内壁ボリシ
ング方法を提供することにある。
じさせることなくかつ加工変質層の生成がほとんどなく
して加工動車の高い導電性硬脆材工作物の孔内壁ボリシ
ング方法を提供することにある。
この発明は上述の目的を達成するために、加工対象孔が
穿たれた導電性硬脆材による工作智を黴細な砥粒が一様
に分散する電解液中に固定し・前記」工対象孔より小径
にしてかつ軸線方向からの挿入が可能な円筒状の導電性
弾性材でなり前記工作物との間イこ直流1源が接続され
た工具と、該工具を前記加工対象孔の内壁に対して所定
の〃ロエ圧で押圧するとともに自転させかつ孔内壁に沿
って公転させる駆動装置とt備え、電解液による電解お
よび遊離は粒による#細除去の複合で竹なうことにより
、チッピングやクラ、りt生じさせることなくしかも加
工変質層のほとんどない精密な加工面を得ようとするこ
とにある。
穿たれた導電性硬脆材による工作智を黴細な砥粒が一様
に分散する電解液中に固定し・前記」工対象孔より小径
にしてかつ軸線方向からの挿入が可能な円筒状の導電性
弾性材でなり前記工作物との間イこ直流1源が接続され
た工具と、該工具を前記加工対象孔の内壁に対して所定
の〃ロエ圧で押圧するとともに自転させかつ孔内壁に沿
って公転させる駆動装置とt備え、電解液による電解お
よび遊離は粒による#細除去の複合で竹なうことにより
、チッピングやクラ、りt生じさせることなくしかも加
工変質層のほとんどない精密な加工面を得ようとするこ
とにある。
第1図および第2図はこの発明による導電性硬脆材工作
物の孔内壁ボリシング方法の一実施例を示す図で、図に
おいてシリコンセラミ、りなどの導電性硬脆材で作られ
た工作物lには事前に加工対象孔1aが穿たれ、工作物
1はアルミナなどの微細な遊離砥粒2が一様に分散する
電解液3中に固定されている。児工対象孔1a円にはそ
れより小径にしてかつ軸線が平行になる専′也性ゴムな
どの導電性弾性材による円筒状の工具4が挿入され・工
具4は図示されていない駆動装置に連結された同軸上の
軸5により支持されている。そして工作物lと軸5との
間には工作物lけプラスとし、軸51111 ’?マイ
ナスとする直流電源6が接続されて(Sる。一方軸5に
連結された駆動装置は、工具4を加工対象孔1aの内壁
に対して流体軸受状態の好適な膜厚みケ形成する加工圧
で押圧するとともに自転させ、かつ加工対象孔1aの内
壁に沿って公転させる機能を備えている。
物の孔内壁ボリシング方法の一実施例を示す図で、図に
おいてシリコンセラミ、りなどの導電性硬脆材で作られ
た工作物lには事前に加工対象孔1aが穿たれ、工作物
1はアルミナなどの微細な遊離砥粒2が一様に分散する
電解液3中に固定されている。児工対象孔1a円にはそ
れより小径にしてかつ軸線が平行になる専′也性ゴムな
どの導電性弾性材による円筒状の工具4が挿入され・工
具4は図示されていない駆動装置に連結された同軸上の
軸5により支持されている。そして工作物lと軸5との
間には工作物lけプラスとし、軸51111 ’?マイ
ナスとする直流電源6が接続されて(Sる。一方軸5に
連結された駆動装置は、工具4を加工対象孔1aの内壁
に対して流体軸受状態の好適な膜厚みケ形成する加工圧
で押圧するとともに自転させ、かつ加工対象孔1aの内
壁に沿って公転させる機能を備えている。
次に以上の構成における加工原理について説明する。工
作物1と工具4との間に直流電源6による電圧が印加さ
れて電解作用が行なわれているなかで、工具4ya−前
述の加工圧で加工対象孔1aの内壁に押圧しながら自転
させると、動圧効果により工具4と内壁との間に流体膜
が形成され、同時に流体膜中に遊離砥粒2が導入される
。また直流電源6のプラス側を工作物1に接続したこと
で、陽極溶解作用によるもろい陽極皮膜が加工対象孔1
aの内壁に生成される。そしてこの陽極皮膜は流体膜中
に導入された遊離砥粒2が衝突することにより加工対象
孔1aの内壁より除去されていく。陽極皮膜が除去され
た加工対象孔1aの内壁には再び陽極皮膜が生成され、
同様な原理によりさらに除去されていきこれが繰返され
る。このように電解作用と遊離砥粒による微細除去作用
の複合により加工が進行し、この工具4v加工対象孔1
aの内壁に沿って公転させることにより内壁全周の精密
加工が促進される。そしてここで使用される遊離砥粒2
は粒径がMo〜′1/1ooμ惧程度であることから、
加工単位量はそれ以下となることは確かであり、したが
って加工時にテ、ピングやクラ、りが発生ずることはな
く、また加工変質層も極めて薄いものとなる。
作物1と工具4との間に直流電源6による電圧が印加さ
れて電解作用が行なわれているなかで、工具4ya−前
述の加工圧で加工対象孔1aの内壁に押圧しながら自転
させると、動圧効果により工具4と内壁との間に流体膜
が形成され、同時に流体膜中に遊離砥粒2が導入される
。また直流電源6のプラス側を工作物1に接続したこと
で、陽極溶解作用によるもろい陽極皮膜が加工対象孔1
aの内壁に生成される。そしてこの陽極皮膜は流体膜中
に導入された遊離砥粒2が衝突することにより加工対象
孔1aの内壁より除去されていく。陽極皮膜が除去され
た加工対象孔1aの内壁には再び陽極皮膜が生成され、
同様な原理によりさらに除去されていきこれが繰返され
る。このように電解作用と遊離砥粒による微細除去作用
の複合により加工が進行し、この工具4v加工対象孔1
aの内壁に沿って公転させることにより内壁全周の精密
加工が促進される。そしてここで使用される遊離砥粒2
は粒径がMo〜′1/1ooμ惧程度であることから、
加工単位量はそれ以下となることは確かであり、したが
って加工時にテ、ピングやクラ、りが発生ずることはな
く、また加工変質層も極めて薄いものとなる。
この発明によれば加工対象孔が穿たれた工作物1に′電
解作用および遊離砥粒による微細除去作用の複合作用を
利用することにより加工面が精密にして安定しかつm1
効率が向上した導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング
方法の提供ができる。
解作用および遊離砥粒による微細除去作用の複合作用を
利用することにより加工面が精密にして安定しかつm1
効率が向上した導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング
方法の提供ができる。
第1図はこの発明による導電性硬脆材工作物の孔内壁ボ
リシング方法の一実施例の構成図、第2図は第1図のI
−I線に沿う拡大断面図である。 1・・・工作物、1a・・・加工対象孔、2・・・遊離
砥粒、3・・・電解液、4・・・工具、6・・・直流電
源。
リシング方法の一実施例の構成図、第2図は第1図のI
−I線に沿う拡大断面図である。 1・・・工作物、1a・・・加工対象孔、2・・・遊離
砥粒、3・・・電解液、4・・・工具、6・・・直流電
源。
Claims (1)
- 1)加工対象孔が穿たれた導電性硬脆材による工作物を
微細な砥粒が一様に分散する電解液中に固定し、前記加
工対象孔より小径にしてかつ軸線方向からの挿入が可能
な円筒状の導電性弾性材でなり前記工作物との間に直流
電源が接続された工具と、該工具を前記加工対象孔の内
壁に対して所定の加工圧で押圧するとともに自転させつ
か孔内壁に沿って公転させる駆動装置とを備え、電解液
による電解および遊離砥粒による微細除去の複合で行な
うことを特徴とする導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシ
ング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2777285A JPS61188024A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2777285A JPS61188024A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61188024A true JPS61188024A (ja) | 1986-08-21 |
Family
ID=12230266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2777285A Pending JPS61188024A (ja) | 1985-02-15 | 1985-02-15 | 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61188024A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101144129B1 (ko) * | 2009-10-29 | 2012-05-24 | 현대 파워텍 주식회사 | 자동변속기용 샤프트 및 이의 가공방법 |
RU2588953C1 (ru) * | 2014-12-08 | 2016-07-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) | Способ анодно-абразивного полирования отверстий |
-
1985
- 1985-02-15 JP JP2777285A patent/JPS61188024A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101144129B1 (ko) * | 2009-10-29 | 2012-05-24 | 현대 파워텍 주식회사 | 자동변속기용 샤프트 및 이의 가공방법 |
RU2588953C1 (ru) * | 2014-12-08 | 2016-07-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) | Способ анодно-абразивного полирования отверстий |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4373933A (en) | Method of producing precision abrasive tools | |
JP2900253B2 (ja) | 半導体ウェーハ縁部の材料研削加工方法 | |
EP1877216B1 (en) | Method of electrolytically microfinishing a metallic workpiece | |
US6146245A (en) | Method of and device for machining flat parts | |
JP2000326235A (ja) | Elid用砥石とこれを用いたelid平面研削装置 | |
JP6145548B1 (ja) | 面取り研削方法及び面取り研削装置 | |
EP1033908A2 (en) | Plasma discharge truing apparatus and fine-machining methods using the apparatus | |
JPS61188024A (ja) | 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 | |
JP3088537B2 (ja) | 高硬度材の孔の仕上げ加工方法及び加工装置 | |
JPS63102859A (ja) | 半導体板に面取り輪郭をつける方法 | |
JPS62152674A (ja) | 研削砥石の目詰り防止装置 | |
JPH06315828A (ja) | 難削材のベベリング加工方法 | |
JP2565385B2 (ja) | 電解ドレッシング研削法と導電性砥石を工具に兼用した研磨法の複合加工方法および装置 | |
JPH11123365A (ja) | 超音波振動複合加工具 | |
JPH08257923A (ja) | 軸付き砥石および工具保持具 | |
JPH0531628A (ja) | 円筒工作物の電解複合研磨方法 | |
JP2003071716A (ja) | 脆性材料製工作物の加工方法及び装置 | |
JP2018058198A (ja) | 面取り研削方法及び面取り研削装置 | |
JP4141118B2 (ja) | 研削工具のドレッシング装置 | |
JP3194621B2 (ja) | 球面創成加工方法および装置 | |
JPH04201073A (ja) | 機上放電ツルーイング/ドレッシング方法及びその装置 | |
JP2008030187A (ja) | 複合加工方法 | |
JPH06720A (ja) | 円筒工作物外面の電解複合研磨方法 | |
JPH01171712A (ja) | 微細孔の加工法並びに加工用ドリル | |
JPH04275874A (ja) | 両面ラップ研削装置 |