JPS61188024A - 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 - Google Patents

導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法

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Publication number
JPS61188024A
JPS61188024A JP2777285A JP2777285A JPS61188024A JP S61188024 A JPS61188024 A JP S61188024A JP 2777285 A JP2777285 A JP 2777285A JP 2777285 A JP2777285 A JP 2777285A JP S61188024 A JPS61188024 A JP S61188024A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hole
tool
work
workpiece
wall
Prior art date
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Pending
Application number
JP2777285A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Nakamura
幸次 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Co Ltd filed Critical Fuji Electric Co Ltd
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Publication of JPS61188024A publication Critical patent/JPS61188024A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23HWORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H5/00Combined machining
    • B23H5/06Electrochemical machining combined with mechanical working, e.g. grinding or honing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明はシリコンセラミ、りなどの導電性硬脆材によ
る工作物の孔内壁ポリシング方法に関するO 〔従来技術とその問題点〕 従来この種の材料による工作物における孔の精密仕上は
砥石による研削や研摩剤による研摩が行なわれているが
、加工時のチッピングやクラ、りを生じさせることなく
、かつ効藁的に加工することは困難であった。さらに@
梳的な加工力のみで工作物の不要個所を除去していくこ
とは加工表面における加工変質層の生成が避けられず、
このような加工変質層tできるだけ小さく押える必要が
ある場合にはそれの除去が極めて難しいという欠点があ
った。
〔発明の目的〕
この発明の目的は上述に髄みテ、ピングやクラックを生
じさせることなくかつ加工変質層の生成がほとんどなく
して加工動車の高い導電性硬脆材工作物の孔内壁ボリシ
ング方法を提供することにある。
〔発明の要点〕
この発明は上述の目的を達成するために、加工対象孔が
穿たれた導電性硬脆材による工作智を黴細な砥粒が一様
に分散する電解液中に固定し・前記」工対象孔より小径
にしてかつ軸線方向からの挿入が可能な円筒状の導電性
弾性材でなり前記工作物との間イこ直流1源が接続され
た工具と、該工具を前記加工対象孔の内壁に対して所定
の〃ロエ圧で押圧するとともに自転させかつ孔内壁に沿
って公転させる駆動装置とt備え、電解液による電解お
よび遊離は粒による#細除去の複合で竹なうことにより
、チッピングやクラ、りt生じさせることなくしかも加
工変質層のほとんどない精密な加工面を得ようとするこ
とにある。
〔発明の実施例〕
第1図および第2図はこの発明による導電性硬脆材工作
物の孔内壁ボリシング方法の一実施例を示す図で、図に
おいてシリコンセラミ、りなどの導電性硬脆材で作られ
た工作物lには事前に加工対象孔1aが穿たれ、工作物
1はアルミナなどの微細な遊離砥粒2が一様に分散する
電解液3中に固定されている。児工対象孔1a円にはそ
れより小径にしてかつ軸線が平行になる専′也性ゴムな
どの導電性弾性材による円筒状の工具4が挿入され・工
具4は図示されていない駆動装置に連結された同軸上の
軸5により支持されている。そして工作物lと軸5との
間には工作物lけプラスとし、軸51111 ’?マイ
ナスとする直流電源6が接続されて(Sる。一方軸5に
連結された駆動装置は、工具4を加工対象孔1aの内壁
に対して流体軸受状態の好適な膜厚みケ形成する加工圧
で押圧するとともに自転させ、かつ加工対象孔1aの内
壁に沿って公転させる機能を備えている。
次に以上の構成における加工原理について説明する。工
作物1と工具4との間に直流電源6による電圧が印加さ
れて電解作用が行なわれているなかで、工具4ya−前
述の加工圧で加工対象孔1aの内壁に押圧しながら自転
させると、動圧効果により工具4と内壁との間に流体膜
が形成され、同時に流体膜中に遊離砥粒2が導入される
。また直流電源6のプラス側を工作物1に接続したこと
で、陽極溶解作用によるもろい陽極皮膜が加工対象孔1
aの内壁に生成される。そしてこの陽極皮膜は流体膜中
に導入された遊離砥粒2が衝突することにより加工対象
孔1aの内壁より除去されていく。陽極皮膜が除去され
た加工対象孔1aの内壁には再び陽極皮膜が生成され、
同様な原理によりさらに除去されていきこれが繰返され
る。このように電解作用と遊離砥粒による微細除去作用
の複合により加工が進行し、この工具4v加工対象孔1
aの内壁に沿って公転させることにより内壁全周の精密
加工が促進される。そしてここで使用される遊離砥粒2
は粒径がMo〜′1/1ooμ惧程度であることから、
加工単位量はそれ以下となることは確かであり、したが
って加工時にテ、ピングやクラ、りが発生ずることはな
く、また加工変質層も極めて薄いものとなる。
〔発明の効果〕
この発明によれば加工対象孔が穿たれた工作物1に′電
解作用および遊離砥粒による微細除去作用の複合作用を
利用することにより加工面が精密にして安定しかつm1
効率が向上した導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング
方法の提供ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明による導電性硬脆材工作物の孔内壁ボ
リシング方法の一実施例の構成図、第2図は第1図のI
−I線に沿う拡大断面図である。 1・・・工作物、1a・・・加工対象孔、2・・・遊離
砥粒、3・・・電解液、4・・・工具、6・・・直流電
源。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)加工対象孔が穿たれた導電性硬脆材による工作物を
    微細な砥粒が一様に分散する電解液中に固定し、前記加
    工対象孔より小径にしてかつ軸線方向からの挿入が可能
    な円筒状の導電性弾性材でなり前記工作物との間に直流
    電源が接続された工具と、該工具を前記加工対象孔の内
    壁に対して所定の加工圧で押圧するとともに自転させつ
    か孔内壁に沿って公転させる駆動装置とを備え、電解液
    による電解および遊離砥粒による微細除去の複合で行な
    うことを特徴とする導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシ
    ング方法。
JP2777285A 1985-02-15 1985-02-15 導電性硬脆材工作物の孔内壁ポリシング方法 Pending JPS61188024A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101144129B1 (ko) * 2009-10-29 2012-05-24 현대 파워텍 주식회사 자동변속기용 샤프트 및 이의 가공방법
RU2588953C1 (ru) * 2014-12-08 2016-07-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) Способ анодно-абразивного полирования отверстий

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