JPS61187626A - 力を測定するための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、力を測定するための方法及び装置に関するも
のである。

本発明は、広い範囲に渡ってかなり正値な測定値を得る
力の測定方法を提供することを目的としている。

問題は、発明に従って、梁の軸方向に力を印加すること
で梁を共振状態にもたらし、実際の共振周波数を測定し
、更にその実際の共振周波数からることで解決された。

Ｃ０及びＣＩは、この場合梁の性質により決定される値
（量）である。

共振周波数は、印加する力により著しく変化するので、
共振周波数から非常に広い範囲に渡る力を算出すること
ができる。

待に梁を振動させる励振周波数は、実際の共振周波数に
助けられて増大される。これは小さな励振を発生するの
である。実際の共振周波数は、いずれにせよりを計算す
る為に知る必要があるので、力を付加的に消費すること
な（励振周波数の制御下に実際の共振周波数を用いるこ
とができる。

梁は２の整数倍の関係にある２つの周波数によって同時
に共振状態を惹起されると言う利点と、実際の両周波数
から温度依存性に対する補正値Ｃ０及びＣ２が算出され
ると言う利点がある。この様な方法で得られた測定値は
、周囲温度に無関係である。

この場合、実際の第２共振周波数は、実際の第１共振周
波数の温度依存性とは異った温度依存性を有しているの
で、これらの両周波数からはっきりとした温度に対する
補正値を算出することができると言う事実が利用される
のである。

好都合にもこれらの両周波数の一方は基本周波数である
。基本周波数は最大振幅を有するので、実際の共振値に
対しては特有の測定信号を出す。

両周波数の他の一方は、主に第３高調波に対応すること
になっている。それは奇数高調波に関する問題であるの
で、基本周波数と高調波に対しては共通の一台の発振器
で間に合う。この場合、第３高調波はすべての高調波の
中で一番大きな振幅を有している。

２本の平行な梁の各々に力が半分づつ印加され、両方の
梁は逆方向に振動させられると言う利点もある。これは
実際に、周囲に全熱雑音を発生しないように計画されて
いる。

この力は張力として梁上に印加される車が望ましい、こ
の場合の測定範囲には、圧縮力の測定の場合と同様に座
屈荷重による上限はない。

本発明を実施するための力の測定装置は、測定されるべ
き力を軸方向へ印加される梁が各々１つの節点を形成す
る様に軸上に設けられた２箇所で、横方向へ歪まないよ
うに防止されており、発振器は梁に設けられた節点の間
で作動し、梁にはセンサが取付けられており、実際周波
数を確認するための測定信号を発し、実際の共振周波数
の助けにより励振周波数を強化する励振回路が設けられ
ていることを特徴としている。梁は励振回路と共に振動
系を形成している。梁は共振回路であり、励振回路は必
要とされるループの強化と帰還を行う。

更にほんのわずかな励振により特有の共振に至らしめる
。

２本の梁の端が共通の印加手段によりお互いに連結され
ており、その節点でお互いが固定されており、発振器は
各々の梁に設けられて共に作用する２つの部分を存して
おり、センサも又同様に各々の梁に設けられて共に作用
する２つの部分を有していることは特に好都合なことで
ある。この様な方法により、周囲への振動エネルギ１及
びｆ３の放出、更にひいては不快な雑音の発生を回避で
きるのである。

良好な一実施例においては、発振器は梁の固有振動及び
固有振動に重畳した高調波振動を発生し、測定信号から
固有振動及び高調波振動の共振値を算出する周波数算出
回路を有している。両振動の共振周波数を用いて、次に
温度に対する補正が行われる。

この場合、発振器は節点間の中央に、又センサは、発振
器と節点の間に設けられるのが好ましい。

中央に設けられた発振器を用いて、同時に固有振動及び
奇数高調波振動のための振動エネルギーを供給できる。

発振器に対向して設けられているセンサは、再振動特有
の分力を受ける。

高調波振動として第３高調波を使用する場合、センサは
節点から１５乃至２５％離れているのが望ましく、約２
０％離れていれば十分である。これにより一方では最大
振幅の近くで第３高調波振動がキャッチされ又、固有振
動も同様に十分な振幅でキャッチされることができる。

励振回路は、センサと接続された１箇所の入口と、１台
の増幅器を有する１箇の固有振動ブリッジと１台の選択
フィルタ装置及び１台の増幅器を有する高調波振動ブリ
ッジと、出口（出力）に直列接続されており、両ブリッ
ジの増幅された信号を受信する１個の加算ユニットを備
えているのが望ましい。

高調波振動ブリッジの助けにより、高調波振動を特別に
処理及び増幅することができるので、高調波振動を調整
できれば好都合であるが割り当てられた割合で固有振動
ブリッジの増幅された信号と混合することができる。こ
の様は方法で、高調波振動の為に部分な励振エネルギー
が確実に使用できる。

加算ユニットが、ＡＧＣ（自動利得制御）制御を有する
加算増幅器であることは好都合である。

それゆえに励振電力は、測定信号を検知可能なある一定
の値を持つように制御されている。

更にこれらの両ブリッジは各々１つ宛の位相補正ユニッ
トを有しているべきである。固有振動に対しては小さな
補正値で十分である。高調波振動に対しては大きな相回
転が必要であり、第３高調波に対しては、例えば位相反
転が必要である。

更に加算ユニットと発振器の間に電圧−電流−変成器が
挿入されていれば好都合である。このような方法により
、発振器は、コイルのインダクタンスによる移相及びひ
いてはそれに伴う誤測定を回避できる。

選択フィルタ装置が同期インパルスによって設定できる
選択周波数を持った帯域フィルタとインパルス発生器と
を有しており、インパルス発生器の周波数は、高調波振
動ブリッジを用いて高調波振動周波数を増大しているこ
とが好ましい。この方法により、力の変化に伴って発生
する高調波振動の変化にもかかわらず、選択フィルタ装
置は、確実にその中間周波数を常に正確に現在の高調波
振動周波数に合わせることが出来る。従って、固定フィ
ルタの場合、周波数の変動に伴い発生する相回転を回避
することができる。

特にインパルス発生器は位相連動回路を有していること
が望ましく、その第１入口は、補償器を介して増幅器に
接続されている高調波振動ブリッジの切片と接続されて
おり、第２の入口は、ｌ：Ｎのディバイダーを介してそ
の出口と接続されているのが望ましい。高調波振動周波
数に依存するインパルス発生器の構造は極めて単純なの
である。

更に、位相連動回路の第１入口に電圧が送られており、
その回路がまた連動していない場合には、始動回路を推
奨する。この始動回路においては、加算ブリッジがもう
１つの入口を有しており、その入口には、理論回路を介
して方形波信号を受信する。これにより励振は高調波振
動を惹起し、短時間内に位相連動を開始し、選択フィル
タは普通に作動する。

更に、励振回路を利用して周波数検知回路が形成されて
おり、２箇所に周波数信号の出口を有しており、それら
は各々コンパレータを介して増幅器に接続された固有振
動ブリッジ又は高調波振動ブリッジの切片と接続されて
いる事が望ましい。

周波数信号の出口で簡単に検知せんとする周波数を伴っ
て信号が受信できる。

次に図示の実施例に基づいて本発明の詳細な説明をする
に、 第１図に示されているけん引力Ｓを測定するための装置
ｌは、梁２及び３を存しており、これらの梁は直線であ
り、お互いが平行状態になっている。これらの梁は、横
の連絡手段４及び５により継ぎ手を介して連結されてお
り、横の連絡手段の一方は、支柱６を介して固定されて
おり、他方はけん引力Ｓにより引張られている。図示の
継ぎ手は、両方の梁２及び３のために各々２箇所の節点
７と８及び９と１０を有している。各梁は、その節点の
間で固有振動又は高調波振動する。

梁２及び３のほぼ中央には、１台の発振器１１が設けら
れており、その発振器は梁２に連接されている１個の永
久磁石１２と、梁３に連接されている１個の駆動コイル
１３を有している。梁の全長の約２０％の節点８及び１
０例の位置には、センサ１４が設けられており、このセ
ンサは、梁１２に取付けられている１個の永久磁石と、
他方の梁３に取付けられている１個の誘導コイル１６を
有している。発振器１１に同期的な励磁電流１８が供給
されると、両方の梁２及び３はお互いに逆方向に振動す
る。センサ１４のインダクタンスコイル１６内で、振動
によって電圧としての測定信号ＵＩが誘導されるが、こ
の振動は、梁の振動速度に比例してお互いが相対関係に
ある。

特に良好なセンサ１１４の一実施例が第２図に図示され
ている。第２図は第１図の１（１１）倍に拡大されてい
る。横方向に並列状態でＳ極及びＮ極として磁化されて
いる永久磁石１１５は、インダクタンスコイル１１８に
対向して置かれており、その軸は、梁と平行になってい
る。

発振器１１１の極めて良好な一実施例が第３図に示され
ている。同じように横方向に並列状態でＳ極及びＮ極と
して磁化されている永久磁石１１２は駆動コイル１１３
の内部にあり、この駆動コイルは、磁化しない材料で作
られた土台１１７によって形成されている。

第５図との関連において詳細に説明されている励振回路
１８は、その入口１９で測定信号Ｕ１を受信し、出口２
０を通って励磁電流■８を発振器１１に供給する。励振
回路１８は、励磁電流が２本の梁を固有振動Ｆｌ及び第
３高調波Ｆ、に関して梁の共振状態に至らしめるように
構成されており、これは第４図中に図式で示されている
。各々の梁の固有振動ＦＩは、実線で示されている線Ｆ
。

と点線の間で起こる。第３高調波Ｆ１及びｆ３の振動は
、図示されている大きさよりもはるかに小さく、固有振
動に重畳している。

励振回路１８の一部分は周波数検知回路２１として使用
されている。周波数検知回路の出口２２及び２３には、
固有振動及び第３高調波のために検知された２つの共振
周波数がある。これらの両方の周波数は、認知回路２４
へ送られる。この認知回路は、１台の計算機と入口２５
を有するデータ記憶装置を有している。人力されたデー
タと、周波数ｆ、、ｆ、から張力Ｓの大きさに対する信
号が計算され、例えば表示装置２７のように出口２６で
発信される。

高調波振動は、ここでは序数で表わされており、固有振
動には序数１が付されている。温度及び梁の断面によっ
て、これらの振動の共振周波数は、どうしてもお互いが
きちんとした整数倍の関係にならない。

励振回路の構造は、台５図に示されている。励振回路は
、梁の装置と共に発振装置を形成しており、この発振装
置により梁は共振回路を形成しており、励振回路は必要
とされるループ強化と帰還を行っている。その結果、こ
のシステムは自動的に梁の共振周波数に調整される。そ
れゆえに両方の梁を同時に固有振動及び高調波振動の共
振周波数「１及びｆ３により振動させることができる。

測定信号Ｕ、は、前置増幅器１を介して固有振動ブリッ
ジ２８及び高調波振動ブリッジ２９へ送られる。固有振
動ブリッジ２８は、位相補正回路ｐｃｔ及び増幅器Ａ２
を有している。

測定信号Ｕ、に見られる固有振動は、励磁電流！。に見
られる固有振動と位相に関して類似しているので、位相
補正回路ＰＣＩではほとんど補正を必要としない。高調
波振動ブリッジ２９は、高域フィルタＨＰ　Ｆと、位相
補正回路Ｐ、Ｃ２−と、選択フィルタＳＦと、増幅器Ａ
３とを有している。

測定信号Ｕ１に見られる第３高調波振動は、第３高調波
振動に関して言えば、励磁電流！、中で位相が逆になっ
ている。それゆえに、位相補正回路ＰＣ２は位相反転を
行う、ブリッジ２８の出力信号は、加算抵抗Ｒ１を介し
て加算増幅器Ａ４中へ送られ、ブリッジ２９の出口信号
も同じく加算抵抗Ｒ２を介して加算増幅器Ａ４へ送られ
るが、この出力信号は、はっきりとした第３高調波振動
が梁に加えられるような出力信号内の固有振動と高調波
振動の割合いを選択するためにポテンショメータｐｔに
作用する。前置増幅器ＡＩにより増幅　　。

された測定信号Ｕ１は、自動増幅制御装置ＡＧＣに送ら
れ、この自動増幅制御装置は、増幅された測定信号の振
幅をポテンショメータＰ２に基づき調節できる目標値と
比較し、それに応じて加算増幅器Ａ４の増幅を、復帰回
路内のポテンショメータＰ３の図面から判る如く、測定
信号振幅が目標値に相応するように調整する。加算増幅
器Ａ４の出力の値は、電圧−電流−変成器Ｕ／１．と最
終段Ｅを経て、電流１０として発振器に供給される。

高調波振動、つまりここでは第３高調波がきれいにフィ
ルタされているためには、低い周波数を阻止するための
高域フィルタ以外に選択フィルタＳＦが使用され、フィ
ルタ機能を決定する選択フィルタの中間周波数はインパ
ルス発生器３０から発生される同期インパルスｉｔによ
って決定され、この同期インパルスは導線３１を通って
高調波振動周波数ｆ１及びｆ３のＮ倍の時間周波数ｆ１
を供給する。

この目的のために位相連動回路ＰＬＬの一方の入口３１
は、コンパレータＫｌを介して高調波振動ブリッジ２９
の増幅器Ａ３の出口に接続されており、第２の入口３２
は、ディバイダＴを介して位相連動回路の出口３３と接
続されている。残りの入口は、通常の如く、位相コンパ
レータの直列回路と低域フィルタの直列回路と、電圧制
御されている発振器の直列回路で構成されている。時間
周波数「、は高調波振動周波数ｆ３の４の整数倍である
。Ｎは、例えば値６４を有している。ポテンショメータ
Ｐ４及びＰ５を用いて、選択フィルタＳＦを付加的に調
整することができる。これは、いわゆる“トラッキング
　フィルタ”　であり、例えばナショナル社のＭＦ１０
型がそれである。

選択フィルタＳＦの中間周波数は、高調波振動の共振周
波数ｆ、を増大するので、このフィルタは非常に正確に
この周波数ｒ３に確実にセットされている。つまり他の
すべての周波数は著しく減衰されるのに対し高調波振動
は増大される。

始動回路３４は２つのナンドユニットＮｌ及びＮ２を備
えた理論回路を有している。このナンドユニットＮ２は
、コンパレータに１の出口３５に方形インパルスが、存
在すると同時に、信号０の発生により位相連動回路ＰＬ
Ｌのもう１つの出口３６で位相連動がまだ行われていな
いことが示される時はいつでも、第３加算抵抗Ｒ３を介
して不規則に発生する方形波インパルスを加算増幅器に
供給する。その反対に連動によって信号ｌが出口３６に
現われると、つまり普通の稼動状態の場合、ナンドユニ
ットＮ２はしゃ断されたままである。不規則に発生する
方形波インパルスは、さまざまな周波数を持った振動を
惹起する。励振回路１８の構造に基づいて、固有振動及
び高調波振動は、短絡状態において制御されているので
、すぐに普通の稼動状態に戻る。

この種の励振回路１８の場合、周波数検知回路２１は極
めて単純な構造を呈している。要するに出口２２はコン
パレータに２を介して固有振動ブリッジ２８中の増幅器
Ａ２の出口と接続されており、出口２３は、高調波振動
ブリッジ２９のコンパレータＫｌの出口３５と接続され
ている必要がある。出口２２には固有振動の共振周波数
１１を伴う方形波インパルスが現われ、出口２３には第
３高調波の共振周波数Ｃ１を伴う方形波インパルスが現
われる。

梁の周波数を表わすと、 （υ となり、この場合、 ｆ、＝ｎ−ｒ。共振周波数 ｎ　＝振動に対する序数 １　＝梁の長さ Ｅ　＝弾性モジュール ■　＝慣性モーメント ρ　＝梁の密度 Ａ　＝梁の横断面積 Ｓ　＝軸方向の力　　である。

これを二乗すると固有振動周波数及び第３高調波周波数
が明らかとなり、 ｒ、　　　＝ｃ、　　＋ｃ、　　・　５（２）これらを
まとめると、 この場合Ｍ＝梁の量である。

方程式（２）から軸の力を計算すると、Ｃ３ となる。

Ｃ０及びＣ１は普通の条件として既知であるので、固有
振動の共振周波数ｆ、から直接力Ｓを算出できる。

測定値をより正確なものとするには、周囲温度を考慮す
べきである。つまり°温度依存性を有する値Ｃ０及びＣ
１は、Ｌ　　［、ρ、Ａ及びＥの値を含んでいる。値Ｃ
０及びＣＩが、方程式（２）及び（３）から周波数ｆ１
及びｆ３を用いて算出される場合にはこの温度依存性を
考慮することができる。Ｃ１を消去すると 梁の長さ１が値Ｃ１の中に含まれているので、値Ｃ１も
同様に温度に依存している。普通の温度における梁の長
さ並びに膨張係数は既知のものであるので、周囲温度が
判っていれば、値Ｃ，は算出できる。周囲温度は測定さ
れるか、もしくはＣ０から算出される。Ｃ０は温度によ
ってのみ変化するからであ、る。周囲温度は、周波数１
１及びｆ。

に基づいて算出することもできる。これらの周波数は温
度に応じてさまざまに変化するからである。

固有振動の共振周波数ｆ３は温度が高くなるにつれて高
調波振動の共振周波数ｆ、よりも著しく大きく変化する
。それゆえに、Ｃ０値を用いようと、商を用いようと、
これら両方の周波数を何かの計算法を用いて結び付ける
と、結び付けた値と温度の関係がはっきりとする。それ
ゆえにｒ、及び「。

が判っている場合、Ｃ１は、計算機を用いて検知回路２
４に計算させることができる。

梁２及び３が各々１つの継目板を用いて梁の端の近くを
お互いに連結している場合には、節点は他の箇所に設け
られうる。

軸方向の力を計算するためには、他の振動の共振周波数
を固有振動又は第３高調波振動の共振周波数として用い
ることができる。特にこの場合第２高調波を用いること
が可能であるが、発振器は中央より他の場所に配置され
、ひいてはより大きな励振エネルギーが必要となる。比
較的高い高調波振動の場合には、比較的小さな振動振幅
でがまんしなければならない。

【図面の簡単な説明】

第１図は付属回路を有する力の測定装置を示す図。 第２図はセンサの一実施例を示す図。 第３図は発振器の一実施例を示す図。 第４図は梁の振動状態を示す図。 第５図は励振回路の一実施例を示す図。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. （１）力Ｓが軸方向で梁に印加されており、上記梁は、
   共振状態に至らしめられ、上記実際の共振周波数が検知
   され更にそこから関係式Ｓ＝（ｆ＾２−Ｃ＿０）／Ｃ＿
   １に従って上記力が測定され、この場合Ｃ＿０及びＣ＿
   １は、上記梁の性質に依存した値（量）であることを特
   徴とする力を測定するための方法。
2. （２）上記梁が振動に至らしめられる励振周波数は、上
   記実際の共振周波数ｆの助けにより増大されることを特
   徴とする特許請求の範囲第（１）項記載の方法。
3. （３）上記梁は、お互いが２の整数倍の関係にある２つ
   の周波数によって同時に上記共振状態を惹起され、上記
   実際の両周波数ｆ＿１、ｆ＿３から温度依存性に対する
   補正値Ｃ＿０及びＣ＿１が算出されることを特徴とする
   特許請求の範囲第（１）項又は第（２）項の何れか１つ
   に記載の方法。
4. （４）上記両周波数の一方ｆ＿１は基本周波数であるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載の方法。
5. （５）上記両周波数の他方ｆ＿３は第３高調波に相応す
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（４）項記載の方
   法。
6. （６）２本の平行な梁上へ各々上記力Ｓの半分宛が印加
   され、上記両方の梁は逆方向で振動させられることを特
   徴とする特許請求の範囲第（１）項乃至第（５）項の何
   れか１つに記載の方法。
7. （７）上記力Ｓはけん引力として２本の梁上へ印加され
   ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項乃至第（
   ６）項の何れか１つに記載の方法。
8. （８）測定されるべき上記力Ｓが軸方向に印加される梁
   ２及び３は各々１つの節点７乃至１０を形成するために
   軸に設けられている箇所で、横に歪まないように防止さ
   れており、発振器１１は、上記梁の上記節点間に取付け
   られており、上記梁にはセンサ１９が取付けられており
   、上記センサは上記実際周波数の検知に対して測定信号
   Ｕ＿１を発し、励振回路が設けられており、上記励振回
   路は、上記実際の共振周波数ｆ＿１及びｆ＿３の助けに
   より励振周波数を増大することを特徴とする特許請求の
   範囲第（１）項乃至第（７）項の何れか１つに従った方
   法を実施するための力を測定するための装置。
9. （９）上記２本の梁２及び３の端は、共通の印加手段４
   及び５によりお互いが連結されており、上記梁の節点７
   乃至１０でお互いに固定されており、上記発振器は共に
   作用する２つの部分１２及び１３を有しており、上記そ
   れらの部分は各々梁に取付けられており、上記センサ１
   ４も同様に共に作用する２つの部分１５及び１６を有し
   ており、上記これらの部分も各々梁に取付けられている
   ことを特徴とする特許請求の範囲第（８）項記載の装置
   。
10. （１０）上記発振器１１は、上記梁２及び３の固有振動
    と、上記固有振動に重畳した高調波振動を発生し、周波
    数検知回路２１を有しており、上記周波数検知回路は、
    上記測定信号Ｕ＿１から上記固有振動の上記共振周波数
    ｆ＿１及びｆ＿３の上記値を算出することを特徴とする
    特許請求の範囲第（８）項又は第（９）項の何れか１つ
    に記載の装置。
11. （１１）上記発振器１１は、上記節点７乃至１０の間の
    ほぼ中央に取付けられており、上記センサ１４は上記発
    振器と上記節点との間に取付けられていることを特徴と
    する特許請求の範囲第（１０）項記載の装置。
12. （１２）上記センサ１４は上記節点８及び１０から約２
    ０％離れていれば良好であり、１５％乃至２５％離れて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第（１１）項記載
    の装置。
13. （１３）上記励振回路は、上記センサ１４に接続された
    入口１９と、増幅器Ａ２を有する固有振動ブリッジ２８
    と、選択フィルタ装置ＳＦ及び増幅器Ａ３を有する高調
    波振動ブリッジ２９と、上記出口に直列接続されており
    、両ブリッジの上記増幅された信号を受信する加算ユニ
    ットＡ４を有していることを特徴とする特許請求の範囲
    第（８）乃至第（１２）項の何れか１つに記載の装置。
14. （１４）上記加算ユニットＡ４は自動利得制御を有する
    加算増幅器であることを特徴とする特許請求の範囲第（
    １３）項記載の装置。
15. （１５）上記両ブリッジは各々位相補正ユニットＰＣ１
    及びＰＣ２を有していることを特徴とする特許請求の範
    囲第（１３）項又は第（１４）項の何れか１つに記載の
    装置。
16. （１６）上記加算ユニットＡ４と上記発振器１１の間に
    は電圧−電流−変成器Ｕ／Ｉｅ）が挿入されていること
    を特徴とする特許請求の範囲第（１３）項乃至第（１５
    ）項の何れか１つに記載の装置。
17. （１７）上記選択フィルタ装置ＳＦは同期インパルスｉ
    ＿ｔより設定できる選択周波数を持った帯域フィルタと
    、インパルス発生器３０を有しており、上記インパルス
    発生器の周波数ｆ＿ｔは、高調波振動ブリッジ２９を用
    いて高調波振動周波数ｆ＿３を増大していることを特徴
    とする特許請求の範囲第（１３）項乃至第（１６）項の
    何れか１つに記載の装置。
18. （１８）上記インパルス発生器３０は位相連動回路ＰＬ
    Ｌを有しており、上記位相連動回路の第１入口３１は、
    補償器Ｋ１を介して増幅器に接続されている高調波振動
    ブリッジの切片と接続されており、上記位相連動回路の
    第２入口３２は、１：ＮのディバイダーＴを介して上記
    位相連動回路の出口と接続されていることを特徴とする
    特許請求の範囲第（１７）項記載の装置。
19. （１９）上記位相連動回路の上記第１入口３１には電圧
    があり、上記回路はまた連動していない場合に上記加算
    ユニットＡ４はもう１つの入口を有しており、上記入口
    は理論回路Ｎ１及びＮ２を介して方形波信号を受信して
    いる始動回路３４を有していることを特徴とする特許請
    求の範囲第（１８）項記載の装置。
20. （２０）上記励振回路１８を利用して上記周波数検知回
    路２１が形成されており、上記周波数検知回路は各々コ
    ンパレータＫ１及びＫ２を介して上記増幅器Ａ２及びＡ
    ３に接続された上記固有振動ブリッジ２８又は上記高調
    波振動ブリッジ２９の切片と接続されていることを特徴
    とする特許請求の範囲第（１１）項乃至第（１９）項の
    何れか１つに記載の装置。