JPS61186188A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
- Publication number
- JPS61186188A JPS61186188A JP60025648A JP2564885A JPS61186188A JP S61186188 A JPS61186188 A JP S61186188A JP 60025648 A JP60025648 A JP 60025648A JP 2564885 A JP2564885 A JP 2564885A JP S61186188 A JPS61186188 A JP S61186188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- laser
- mirror
- laser light
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はレーザ加工装置、とくに金属等の高反射率を
もつ被加工物も安定に加工できるものに関するものであ
る。
もつ被加工物も安定に加工できるものに関するものであ
る。
第４図は例えば特開昭５１−１２１８９２号公報に示さ
れた従来のレーザ加工装置の概念のみを抜粋した概略構
成図であり、ＣＩ）はレーザ媒質で、（２）は部分反射
鏡、（３）は全反射鏡、（４）は偏光選択用反射鏡であ
り、共振器内で光路を折返す折返しミラ＋、 （５１は
共振器内で光路を折返すことにより発生した直線偏光レ
ーザ光、（６）は外部にとり出された直線偏光したレー
ザ光、（７）は９０°位相シフト反射鏡、＋８１は円偏
光レーザ光、（９）は集光レンズ、（ＩＱは被加工物＋
（８８） は加工物からの反射光、αＤは内部に
発生した直線偏光レーザ光（５）の電場方向が紙面に垂
直であることを示す矢印、 （６６） （５５）は
それぞれ被加工物からの反射光の反射鏡（７）による反
射光及び共振器へ入射した反射光を表わす。
れた従来のレーザ加工装置の概念のみを抜粋した概略構
成図であり、ＣＩ）はレーザ媒質で、（２）は部分反射
鏡、（３）は全反射鏡、（４）は偏光選択用反射鏡であ
り、共振器内で光路を折返す折返しミラ＋、 （５１は
共振器内で光路を折返すことにより発生した直線偏光レ
ーザ光、（６）は外部にとり出された直線偏光したレー
ザ光、（７）は９０°位相シフト反射鏡、＋８１は円偏
光レーザ光、（９）は集光レンズ、（ＩＱは被加工物＋
（８８） は加工物からの反射光、αＤは内部に
発生した直線偏光レーザ光（５）の電場方向が紙面に垂
直であることを示す矢印、 （６６） （５５）は
それぞれ被加工物からの反射光の反射鏡（７）による反
射光及び共振器へ入射した反射光を表わす。
つぎに動作について説明する。鏡＋２１． （３＋によ
り構成された共振器間を往復する光は、レーザ媒質（１
１により増幅される。レーザ媒質としてはガスレーザで
あればたとえば放電励起された循環ガスであり、ガラス
レーザであればフラッシュランプ等により励起されたガ
ラス体である。光路は折返しミラー（４）によって折返
されているので紙面に垂直な方向に電場成分をもつ光と
、平行な成分をもつ光との間に反射率の差が生じる。レ
ーザ光のコヒーレント効果より、より損失の少ない光が
共振器間に生成されるため、この場合折返しミラー（４
）での反射率が高い、すなわち損失の少ない紙面に垂直
な方向に電場成分をもつ直線偏光レーザ光（５）が発生
する。発生された直線偏光レーザ光（５）は外部に直線
偏光レーザ光（６）として１部とり出され、９０゜位相
シフト反射鏡（７）により円偏光レーザ光（８）として
反射され、集光レンズ＋Ｓ＋により集光され、被加工物
Ｏｑの加工を行なう。
り構成された共振器間を往復する光は、レーザ媒質（１
１により増幅される。レーザ媒質としてはガスレーザで
あればたとえば放電励起された循環ガスであり、ガラス
レーザであればフラッシュランプ等により励起されたガ
ラス体である。光路は折返しミラー（４）によって折返
されているので紙面に垂直な方向に電場成分をもつ光と
、平行な成分をもつ光との間に反射率の差が生じる。レ
ーザ光のコヒーレント効果より、より損失の少ない光が
共振器間に生成されるため、この場合折返しミラー（４
）での反射率が高い、すなわち損失の少ない紙面に垂直
な方向に電場成分をもつ直線偏光レーザ光（５）が発生
する。発生された直線偏光レーザ光（５）は外部に直線
偏光レーザ光（６）として１部とり出され、９０゜位相
シフト反射鏡（７）により円偏光レーザ光（８）として
反射され、集光レンズ＋Ｓ＋により集光され、被加工物
Ｏｑの加工を行なう。
従来のレーザ加工装置は以上のように構成されているの
で、高反射率の被加工物を加工する場合。
で、高反射率の被加工物を加工する場合。
被加工物からの反射光（８８）がレーザ発振器内へ反射
光（５５）として逆戻りし、鏡（２１，＋３１間を往復
する間に増幅され共振器内部のレーザ光（５）ヲ著しく
増大させミラー（２１，（３１，＋４１を破壊する。も
しくは共振器内部のレーザ光（５）の不安定さを招き、
安定な加工が行えない等の問題点があったーまた反射鏡
（３）に数％の透過率をもたせ、内部強度の測定を行う
場合９反射光の為正確な値が測定できないなどの問題が
あった。
光（５５）として逆戻りし、鏡（２１，＋３１間を往復
する間に増幅され共振器内部のレーザ光（５）ヲ著しく
増大させミラー（２１，（３１，＋４１を破壊する。も
しくは共振器内部のレーザ光（５）の不安定さを招き、
安定な加工が行えない等の問題点があったーまた反射鏡
（３）に数％の透過率をもたせ、内部強度の測定を行う
場合９反射光の為正確な値が測定できないなどの問題が
あった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、高反射率の被加工物を加工する場合において
も、共振器を構成するミラーに衝撃を与えずに、安定な
レーザ光で加工できるレーザ加工装置を得ることを目的
とする。
たもので、高反射率の被加工物を加工する場合において
も、共振器を構成するミラーに衝撃を与えずに、安定な
レーザ光で加工できるレーザ加工装置を得ることを目的
とする。
この発明に係るレーザ加工装置は、共振器内の光路を折
返すミラーの１つを、直線偏光したレーザ光と９０°電
場方向の異なるレーザ光に対し透過性のミラーで構成し
たものである。
返すミラーの１つを、直線偏光したレーザ光と９０°電
場方向の異なるレーザ光に対し透過性のミラーで構成し
たものである。
この発明における共振器内の折返し用ミラーの１つは、
被加工物からの反射光をほとんど透過し。
被加工物からの反射光をほとんど透過し。
光路外部へとり出し２反射光による影響を与えなくさせ
る。
る。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置を示
す概略構成図である。図において（４）は折返しミラー
で、＋４１はこのミラー（４）の折返し表面に施され、
偏光方向により反射率が異なるコーティング層である。
す概略構成図である。図において（４）は折返しミラー
で、＋４１はこのミラー（４）の折返し表面に施され、
偏光方向により反射率が異なるコーティング層である。
＋３１は円偏光化された光で、 （ａａ） はこの
レーザ光（８）の加工物からの反射レーザ光であり、入
射レーザ光（８）と回転方向が逆の円偏光である。（６
６）は反射光（８８）のうち９０°位相シフト反射鏡（
７）により直線偏光化されたレーザ光で。
レーザ光（８）の加工物からの反射レーザ光であり、入
射レーザ光（８）と回転方向が逆の円偏光である。（６
６）は反射光（８８）のうち９０°位相シフト反射鏡（
７）により直線偏光化されたレーザ光で。
α２はこのレーザ光（６６）の電場ベクトルの方向を示
す矢印である。（５６）は折返しミラー（４）により外
部に取出された反射光で、α３はこの反射光（５６）を
吸収するレーザ光吸収体である。
す矢印である。（５６）は折返しミラー（４）により外
部に取出された反射光で、α３はこの反射光（５６）を
吸収するレーザ光吸収体である。
次に動作について説明する。ミラー（２＋、 ＋４１．
＋３１を往復する光はレーザ媒質ｆｉ＋により増幅さ
れる。
＋３１を往復する光はレーザ媒質ｆｉ＋により増幅さ
れる。
折返しミラー（４）の表面には２紙面垂直方向に電場ベ
クトルが偏波したレーザ光の反射率が、平行方向に偏波
したレーザ光に比較して高くなるようにコーティング層
０瘤が施されている為紙面垂直方向に電場グクトルが偏
波したレーザ光に対する損失が共振器内にて低く、より
損失の低いレーザ光が発撮し、それに全体が揃うという
レーザの性質より２紙面垂直方向に電場ベクトルが偏波
したレーザ光（５）が発生する。発生した直線偏光レー
ザ光は９０°位相シフト反射鏡（７）により円偏光化さ
れ。
クトルが偏波したレーザ光の反射率が、平行方向に偏波
したレーザ光に比較して高くなるようにコーティング層
０瘤が施されている為紙面垂直方向に電場グクトルが偏
波したレーザ光に対する損失が共振器内にて低く、より
損失の低いレーザ光が発撮し、それに全体が揃うという
レーザの性質より２紙面垂直方向に電場ベクトルが偏波
したレーザ光（５）が発生する。発生した直線偏光レー
ザ光は９０°位相シフト反射鏡（７）により円偏光化さ
れ。
円偏光レーザ光（８）として集光レンズ（９）に導かれ
。
。
集光され被加工物Ｑ（Ｉの加工を行う。被加工物からの
反射光（８日）は入射光（８）と回転方向の逆の円偏光
レーザ光として反射され、９０°位相シフト反射鏡（７
）により反射するが、入射光（８］と回転方向が逆の円
偏光である為反射光（６６）は入射光（６１と９０°
電場ベクトルの異なる電場ベクトル方向（ｌｚとして反
射される。反射光（６６）は共振器内に入射する。折返
しミラー（４）の表面に施されたコーティング層ｆ４Ｇ
は矢印１２方向に偏波したレーザ光（５５）に対しては
透過率が高い為外部にレーザ光（５６）として取出され
、光吸収体αりに吸収される。
反射光（８日）は入射光（８）と回転方向の逆の円偏光
レーザ光として反射され、９０°位相シフト反射鏡（７
）により反射するが、入射光（８］と回転方向が逆の円
偏光である為反射光（６６）は入射光（６１と９０°
電場ベクトルの異なる電場ベクトル方向（ｌｚとして反
射される。反射光（６６）は共振器内に入射する。折返
しミラー（４）の表面に施されたコーティング層ｆ４Ｇ
は矢印１２方向に偏波したレーザ光（５５）に対しては
透過率が高い為外部にレーザ光（５６）として取出され
、光吸収体αりに吸収される。
なお、上記実施例では発生されたレーザ光のモニターは
行っていなかったが第２図に示すように１％程度の透過
率をもつコーティング層（至）を施した反射釧（３１ｉ
用いることにより、内部発生レーザ光（５）の１％程度
が外部にレーザ光（至）として取出される。前記レーザ
光（イ）を光検知器（１４１により検知することにより
内部レーザ光の強度をみつもることかできる。
行っていなかったが第２図に示すように１％程度の透過
率をもつコーティング層（至）を施した反射釧（３１ｉ
用いることにより、内部発生レーザ光（５）の１％程度
が外部にレーザ光（至）として取出される。前記レーザ
光（イ）を光検知器（１４１により検知することにより
内部レーザ光の強度をみつもることかできる。
また上記実施例では１回の折返し共振器のみを示したが
第３図に示すような２回の折返し、もしくはそれ以上の
折返しを行った共振器においても少なくとも１ケ所の折
返しミラーに前記コーティング層顛を施した折返しミラ
ー（４）ｔ−用いれば全く同様の効果を奏する。
第３図に示すような２回の折返し、もしくはそれ以上の
折返しを行った共振器においても少なくとも１ケ所の折
返しミラーに前記コーティング層顛を施した折返しミラ
ー（４）ｔ−用いれば全く同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば共振器内の折返しミラ
ーの１つを光路を折返すことにより直線偏光したレーザ
光と９０°電場方向の異なるレーザ光に対し透過性とな
るミラーで構成したので。
ーの１つを光路を折返すことにより直線偏光したレーザ
光と９０°電場方向の異なるレーザ光に対し透過性とな
るミラーで構成したので。
例えば高反射率をもつ被加工物からの反射光により内部
強度が著しく高くなり共振器を構成するミラーを破壊す
ることを防ぐとともに反射光の共振によるレーザ光の不
安定さも防ぐ効果がある。
強度が著しく高くなり共振器を構成するミラーを破壊す
ることを防ぐとともに反射光の共振によるレーザ光の不
安定さも防ぐ効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ加工装置を示
す概略構成図、第２図及び第３図は各々この発明の他の
実施例によるレーザ加工装置を示す概略構成図、第４図
は従来のレーザ加工装置を示す概略構成図である。 図において、（１）はレーザ媒質、（２）は部分反射鏡
（３）は全反射鏡、（４１は折返しミラー、 （４Ｇは
コーティング層、 ｆ５＋ （ｓｓ） （６１（６６
） ｔｓ＋ （ａｓ）はレーザ光、（７）は９０°位相
シフト反射鏡、顛は被加工物、（Ｉυα２はレーザ光の
電場ベクトル方向及びαＪは光吸収体である。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
す概略構成図、第２図及び第３図は各々この発明の他の
実施例によるレーザ加工装置を示す概略構成図、第４図
は従来のレーザ加工装置を示す概略構成図である。 図において、（１）はレーザ媒質、（２）は部分反射鏡
（３）は全反射鏡、（４１は折返しミラー、 （４Ｇは
コーティング層、 ｆ５＋ （ｓｓ） （６１（６６
） ｔｓ＋ （ａｓ）はレーザ光、（７）は９０°位相
シフト反射鏡、顛は被加工物、（Ｉυα２はレーザ光の
電場ベクトル方向及びαＪは光吸収体である。 なお２図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 共振器内で１回以上光路を折返すことにより直線偏光し
たレーザ光を円偏光化して被加工物を加工するものにお
いて、上記光路を折返すミラーの１つを、直線偏光した
上記レーザ光と９０°電場方向の異なるレーザ光に対し
透過性のミラーで構成したことを特徴とするレーザ加工
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025648A JPS61186188A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025648A JPS61186188A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186188A true JPS61186188A (ja) | 1986-08-19 |
| JPH0366076B2 JPH0366076B2 (ja) | 1991-10-16 |
Family
ID=12171644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60025648A Granted JPS61186188A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186188A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001060550A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-06 | Lambda Physik G Zur Herstellung Von Lasern Mbh | レーザビームのスペックル低減方法及びその装置、及びリソグラフィ装置 |
| US8360793B2 (en) | 2009-03-31 | 2013-01-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Connector fitting structure and electric apparatus using the same |
-
1985
- 1985-02-13 JP JP60025648A patent/JPS61186188A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001060550A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-06 | Lambda Physik G Zur Herstellung Von Lasern Mbh | レーザビームのスペックル低減方法及びその装置、及びリソグラフィ装置 |
| US8360793B2 (en) | 2009-03-31 | 2013-01-29 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Connector fitting structure and electric apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0366076B2 (ja) | 1991-10-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR20010031310A (ko) | 프리즘 역행반사기가 장착된 공동 링다운 분광용 광학공진기 | |
| JPS61186188A (ja) | レ−ザ加工装置 | |
| JPS6016115B2 (ja) | 複屈折結合式レ−ザ | |
| US5132528A (en) | Arrangement for measuring laser power incorporating a first partially transmitting mirror and a second partially transmitting mirror positioned by 90° degrees | |
| JPH03138991A (ja) | 複数波長発生固体レーザ | |
| JPH05283773A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH0789591B2 (ja) | 炭酸ガスレ−ザ装置 | |
| JPH0697545A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH0453572Y2 (ja) | ||
| JPH01202891A (ja) | 色素レーザ装置 | |
| JPH065953A (ja) | 固体レ−ザ装置 | |
| JPH01124275A (ja) | レーザ発振器 | |
| JPH05267756A (ja) | 半導体励起固体レーザ | |
| JPH01130582A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JPH0456373A (ja) | 和差周波発生固体レーザ装置 | |
| JPH073896B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JPS62189778A (ja) | レ−ザ発振装置 | |
| KR950023742A (ko) | 케이티피(ktp) 단결정의 절단방법 | |
| JPS62132384A (ja) | レ−ザ用開放形共振器 | |
| JPH02295180A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPS611073A (ja) | レーザ発振装置 | |
| JP2000187130A (ja) | レーザ合成器 | |
| JPH0394989A (ja) | 光加工装置 | |
| JPH02122586A (ja) | 固体レーザ発振器 | |
| JPH01293988A (ja) | レーザ加工装置 |