JPS61173101A - 位置センサ - Google Patents

位置センサ

Info

Publication number
JPS61173101A
JPS61173101A JP60288050A JP28805085A JPS61173101A JP S61173101 A JPS61173101 A JP S61173101A JP 60288050 A JP60288050 A JP 60288050A JP 28805085 A JP28805085 A JP 28805085A JP S61173101 A JPS61173101 A JP S61173101A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic field
position sensor
field sensitive
resistors
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60288050A
Other languages
English (en)
Inventor
ウオルフガング・ヘツク
ペーター・ケルステン
ハンス・フオルツ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Standard Electric Corp
Original Assignee
International Standard Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Standard Electric Corp filed Critical International Standard Electric Corp
Publication of JPS61173101A publication Critical patent/JPS61173101A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は特許請求の範囲第１項の前文に示す様な位置セ
ンサに関する。
〔従来の技術〕 この種類の位置センサは西ドイツ特許公開第２．４２６
．４２０号明細書で知られている。この装置の目的は高
分解能と高感度を可能とすることである。
この目的の達成のため釦従来技術では磁界感応半導体デ
バイスが誘導表面の面内に配置され、ストライプ状の磁
界感応半導体抵抗が例えば幅１００μｍで厚さは約２０
μｍとされている。従って測定部分への距離は少なくと
も１００μｍ程度である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
この種類の位置センサの分解性能を更に向上するという
問題を解決することが本発明の目的である。
〔問題点の解決手段と作用および効果〕本発明によれば
、この目的は特許請求の範囲第１項の特徴部分の教示に
よって解決される。ここで使用される磁界感応抵抗は非
直線性を有するので、ある部分の両端、即ち、例えば歯
車の歯の両側などで同じ偏差が得られ、従って前述の種
類の公知の位置センサの場合の２倍のパルスが得られ従
って２倍大きい分解能を示す。更に、前記各部分の距離
は、知られているストライプの幅よシ非常に小さい磁界
感応抵抗の厚さ程度に取シ得、従ってこれによって得ら
れる分解能を更に向上する。
その他の本発明の有利な細部は従属請求範囲に記載され
図面に示す実施例を基礎として以下に説明する所である
。
〔実施例〕
数字１は磁界検出用の検出器を示す。検出器１は支持体
２を有し、その表面乙に強磁性機製の磁界感応抵抗スト
ライプ４が薄膜技術によってその底端に被着されている
。磁界感応抵抗４の厚さは約０．５μｍ以下である。こ
のストライプは、公知の方法例えばＣｏＦｅ　Ｂ合金の
スパッタリングによって作った。例えばガラスまたはセ
ラミックを支持体°　として使用する。磁界感応抵抗４
０両端５，６は、支持体２上にこれも被着された接触ス
トライプ７゜８にそれぞれ電気的に接続されている。
検出器１の下方に、これから小距離ｘｆ隔てて、表面１
０上に周期的に交番する磁界を有する磁化可能装置９が
位置する。第１図に示す例では、この性質の周期的交番
磁界はいわゆる漂遊磁界マスクで形成され、長手方向に
直交する軟又は硬磁性ストライブ１２を支持する非磁性
または軟または硬磁性材料製のス）　ＩＪツブ状ま、た
は環状基板１１から成る。磁化方向Ｈは、全ス゛ドライ
ブ１２に対して同一で、基板１１の移動方向即ち長手方
向又はその反対方向である。従って装置９の厚部１０は
高い空間透磁率の幅Ｂの部分１２と、低い空間透磁率の
部分１３とを有する。後者の部分１６の幅ａは好ましく
は距離ＢＫ等しい。
空気またはアルミニウム等の様な非磁性金属、または誘
電物質を部分１３内に配置することが好ましい。従って
、周期的な高低交番磁束密度と交番磁束方向をもつ磁界
が、少なくともストライプ１２が永久磁石であるか或い
は図示の方向に数比されていれば、表面１０上に形成さ
れる。薄い基板１１が永久磁石ではなく、或いは軟磁性
材料製のス′ドライブ１２が例えば使用された場合、例
えば基板１１に対面している横向ヨーク１５を有する磁
石１４が基板１１の下部に配置され、これがストライプ
１２および必要に応じて基板１１を磁界Ｈ（第２図）の
方向に磁化する。
装置９と検出器１は相対移動可能である。装置９は、通
常、輪状または環状に設計されて枢着されるが、この場
合装置９を歯付円板またはリングとするのが実際的であ
る。
前述の被着厚さおよびストライプの長手方向に異方性を
有する強磁性被覆が、被覆面内にある磁界のみに感応す
ることが判明した。本発明によれば、好ましくは、磁界
感応抵抗４の製造中、磁界感応抵抗４は従ってただ一つ
の方向、即ちその長手方向が磁化容易軸方向となるよう
な磁界中に置かれる。磁化容易軸方向に直角な成分を被
覆面内に有する磁界をこの種の磁界感応抵抗に作用させ
ると、接触ストライプ７と８の間で測定される抵抗値に
変化が生じる。本発明においては、前記の抵抗値変化が
非常に小さい磁界強度で生じるので、この作用を弱磁界
の検出のために使用している。
やはシ外部磁界によって何等の障害も発生しない。
異なる空間透磁率を有する部分１２．１３１７ｍよって
、交互に反対となる漂遊磁界が各部分１２１１３の上に
得られる。これを第４図と第６図に示す。従って磁界Ｈ
に直角な磁界成分Ｈｓｔが歯、即ちストライプの両側に
生じる。〜この磁界成分Ｈｓｔは例えば８０ないし１０
００　Ａ／ｍ　（１ないし２０エルステツド）程度と非
常に小さいのではあるが、磁界成分Ｈｓｔが異方性方向
に直交しているならば磁界感応抵抗４の抵抗値に相当の
影響を与えるのに充分である。そのため磁界感応抵抗４
はその被覆面３′が例示の様に磁界成分Ｈｓｔの方向に
配列されているのである。
然し被覆面６′ヲ移動方向内に配置することも可能であ
る。この場合は、移動方向を向いを磁界成分町が検出さ
れる。ただし、この種の配列においては、外部磁石によ
って行われた例えば部分１２の磁化によっては、漂遊磁
界が磁界感応抵抗にすでに強く影響を及ぼさず、これを
飽和状態にする可能性がないことを充分に確認する必要
がある。
従って、移動方向にある被覆面６′の形式においては永
久的に磁化された部分１２に対してのみ採用可能である
。
本発明の好ましい実施例においては、相互間が電気的に
絶縁されている２個の磁界感応抵抗４１と４４が、出力
電圧の増加のために、支持体２上に相互に隣接して一線
上に配列されている。歯車ないし歯付円板ないしラック
の歯即ちストライプ１２の長さＬは、磁界感応抵抗・・
・、４４と４４から成る抵抗対の全長にわたるくらいに
少なくとも充分に大きくする。検出器１のこの種の実施
例を第６図と第５図に示すが、その接続ピンは第５図の
上縁１７に設けられている。これらの２個の磁界感応ｍ
抗４１、４４はブリッジの対角アームに置き得る。
第４図、第６図および第９図に示す各実施例の１つによ
れば、それぞれが磁界感応抵抗４１　、　４４および４
２　、４３　から成る２対の抵抗対が検出器ユニット１
′に組み合わされ、磁界感応抵抗４１と４４は第１支持
体２１ＩＣ位置し、他方の磁気感応抵抗４２と４３は第
２支持体２２に位置している。磁気感応抵抗４２と４３
とは第１０図に示す様にブリッジ回路の他方の対角アー
ムに接続し得る。これは端子Ａ１とＡ２間に最高測定出
力電圧ＵＡヲ発生する。
＋ＵＢと−Ｕ８とは動作電圧を示し、例えばひとつの例
では約１０ボルトである。
最適測定値の大きさのために、抵抗対４　、４４と４２
　、４ｓ　　との間の距離Ａは抵抗対間のストライプ１
２または部分１３の数ｎに、ストライプ１２０幅Ｂの半
分を加えた値に等しく、即ち式Ａ　＝　ｎ・ａ＋Ｂ／２
・で示されるようにし、ここにｎは０．１．２１・・・
である。出力電圧ＵＡの大きさは磁界感応抵抗４、ない
し４４　と表面１０間の距離Ｘの関数である。
この関係を第１１図中に含まれる測定曲線に示す。
丈夫な検出器ユニット１′ヲ得るために、支持体２Ｉと
２２は第６図の様に取付板１９に取付ける。
取付板１９の厚さは所望の距離ＡＫ相当する。支持体２
．．２２はまた第７図の様にこれに直交して上縁１７に
設置された取付板１９に取付けてもよい。この場合、取
付板１９はこれを貫通する開孔２０を有し、これを通し
て接続ピン１８が配置されている。開孔２０は、支持板
２１．２２の接続ビン１８を挿入することによって距離
Ａが得られ、この距離が必要に応じて変えられるように
配置されている。いずれの場合でも、取付板１９には第
７図に示す様に印刷回路の要領で所要の接続ないし給電
線２１を設けることができる。取付板１９と支持体２ｘ
　、２２　とは好ましくは相互間を接着ないし半田付け
で固着する。
【図面の簡単な説明】
第１図は１個のセンサと基板に取付けられた１個の漂遊
磁界マスクとを有する実施例を示す斜視図、第２図は励
磁磁石を有する第１図による配列の概略示を示す側面図
、第３図は同一基板上の一対のセンサ配列を示す正面図
、第４図は共通の磁化装置に対す２対のセンサ配列を示
す側面図、第５図は一対のセンサの実施例を示す正面図
、第６図は第３図または第５図による２対めセンサを基
礎とする検出器を下方に磁化装置を添置して示す斜視図
、第７図は第５図による２ユニツトから成る検出器の別
の実施例を示す斜視図、第８図、第９図および第１０図
は４個のセンサのブリッジ回路形成のための配列を示す
配列図°と接続図、第１１図は磁化装置からのセンサの
距離に対して得られた出力電圧の変化を示す測定曲線図
である。 図において、１は位置センサ、２　、１９）が支持体（
２１　、　２２ハ支持体、４　、４　、４２、　４ｓ　
、　４４は磁界感応抵抗、９は磁化可能装置、１２．１
３はその磁化率の相違する部分、１８は接続ピン、１９
は取付板、２０は接続ピン用開孔を示す。

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）両端が出力電圧に接続可能な少なくともひとつの
    平坦なストライプ状磁界感応抵抗と、該磁界感応抵抗と
    相対的に移動可能であり交互に相違する空間透磁率を呈
    する移動方向に直角な部分を有する磁化可能装置とを備
    え、磁界感応抵抗が前記部分に対して平行に離隔位置し
    ている位置センサであつて、 前記磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・、４＿４）が強
    磁性材料で作られていることと、 前記磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・、４＿４）が最
    大厚さ０．５μｍを有することと、 前記磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・、４＿４）が磁
    化容易軸方向を前記ストライプに平行とした単軸異方性
    を示すことと、および 少なくとも前記磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・、４
    ＿４）の領域内において前記装置（９；１１、１２、１
    ３）が移動方向又はその反対方向に磁化されることによ
    つて特徴付けられた位置センサ。
  2. （２）相互に電気的に絶縁されている二つの磁界感応抵
    抗（４＿１、４＿４；４＿２、４＿３）が共通支持体（
    ２＿１；２＿２）上で一線上に互に隣接位置しているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の位置セン
    サ。
  3. （３）異なる空間磁化率の前記部分（１２、１３）が等
    しい幅（Ｂ）を有し、それぞれ二つの磁界感応抵抗（４
    ＿１、４＿４；４＿２、４＿３）を有し互いに電気的に
    離隔されているふたつの支持体（２＿１、２＿２）が、
    各抵抗の対（４＿１、４＿４及び４＿２、４＿１）が距
    離Ａ＝（２・ｎ＋１）・Ｂ／２（但しｎ＝０、１、２、
    ・・・は磁界感応抵抗対の間に位置する前記部分の数だ
    け離れるように互に平行に配置されていることを特徴と
    する特許請求の範囲第１項に記載の位置センサ。
  4. （４）前記装置（９；１１、１２、１３）が異なる空間
    透磁率の前記部分（１２、１３）を有する漂遊磁界マス
    クを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
    ３項のうちの任意１項に記載の位置センサ。
  5. （５）前記装置（９；１１、１２、１３）がラックまた
    は歯付板の形に設計されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第１項から第３項までのうちの任意１項に記載
    の位置センサ。
  6. （６）前記部分（１２、１３）が交互に磁性および非磁
    性材料から成ることを特徴とする特許請求の範囲第１項
    から第５項までのうちの任意１項に記載の位置センサ。
  7. （７）一個または複数個の高い空間透磁率の磁性部分（
    １２）およびその支持体（１１）が軟磁性材料で作られ
    、これが少なくとも磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・
    、４＿４）の領域において一定磁界によつて移動方向又
    はその反対方向に磁化され、また、磁界感応抵抗（４；
    ４＿１、・・・、４＿４）の表面（３′）が移動方向お
    よび前記部分（１２）の表面（１０）に少なくともほぼ
    横向きになつていることを特徴とする特許請求の範囲第
    １項から第６項までのうちの任意１項に記載の位置セン
    サ。
  8. （８）高い空間透磁率の１個または複数個の磁性部分（
    １２）およびその支持体（１１）が硬磁性材料で作られ
    、移動方向に又はその反対方向に磁化されていることを
    特徴とする特許請求の範囲第１項から第６項までのうち
    の任意１項に記載の位置センサ。
  9. （９）磁界感応抵抗（４；４＿１、・・・、４＿４）の
    表面（３′）が移動方向と平行に、また部分（１２、１
    ３）の表面（１０）に平行に延在していることを特徴と
    する特許請求の範囲第８項に記載の位置センサ。
  10. （１０）１対または２対の抵抗（４＿１、４＿４；４＿
    ２、４＿３）が共通支持体（２１、２２）上に位置して
    ブリッジ回路を形成している場合に、各抵抗対の一方の
    磁界感応抵抗（４＿１または４＿４；４＿２または４＿
    ３）がその他の磁界感応抵抗（４＿４または４＿１；４
    ＿３または４＿２）に対して対角的に反対側のブリッジ
    アームに挿入されていることを特徴とする特許請求の範
    囲第１項から第９項までのうちの任意１項に記載の位置
    センサ。
  11. （１１）磁界感応抵抗（４＿１、・・・、４＿４）の反
    対側に位置する支持体（２；２＿１、２＿２）の上縁（
    １７）に、突出接続、ピン（１８）が配置されているこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項から第１０項まで
    のうちの任意１項に記載の位置センサ。
  12. （１２）２対の抵抗（４＿１、４＿４；４＿２、４＿３
    ）の場合、それらの支持体（２１、２２）が取付板（１
    ９）の各一側面に取付けられ、その厚さが抵抗対（４＿
    １、４＿４；４＿２、４＿３）間に必要な距離（Ａ）に
    対応することを特徴とする特許請求の範囲第１項から第
    １１項までのうちの任意１項に記載の位置センサ。
  13. （１３）２対の抵抗（４＿１、４＿２；４＿３、４＿４
    ）の場合、取付板（１９）が支持体（２＿１、２＿２）
    の上縁（１７）に配置され、取付板（１９）が接続ピン
    （１８）用の開孔（２０）を有し、また、この開孔（２
    ０）が、支持体（２＿１、２＿２）を用いる際に支持体
    （２＿１、２＿２）に必要な距離（Ａ）に少なくとも近
    い寸法を生じるように配置されていることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項から第１１項までのうちの任意１
    項に記載の位置センサ。
  14. （１４）支持体（２；２＿１、２＿２）がガラスまたは
    セラミックからなることを特徴とする特許請求の範囲第
    １項から第１３項までのうちの任意１項に記載の位置セ
    ンサ。
JP60288050A 1984-12-24 1985-12-23 位置センサ Pending JPS61173101A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3447325.4 1984-12-24
DE3447325A DE3447325A1 (de) 1984-12-24 1984-12-24 Positionsgeber

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61173101A true JPS61173101A (ja) 1986-08-04

Family

ID=6253847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60288050A Pending JPS61173101A (ja) 1984-12-24 1985-12-23 位置センサ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4712083A (ja)
EP (1) EP0188772A3 (ja)
JP (1) JPS61173101A (ja)
DE (1) DE3447325A1 (ja)
ES (1) ES8705718A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05195472A (ja) * 1992-01-14 1993-08-03 Ookurashiyou Insatsu Kyokucho 抄紙機において抄造紙上に設置されるシャワーセブォール及び作業足場の裏面結露防止装置
JP2006300779A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Denso Corp 回転検出装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3707174A1 (de) * 1986-09-10 1988-03-24 Stoll & Co H Einrichtung zur ansteuerung einer flachstrickmaschine
DE3704729A1 (de) * 1987-02-14 1988-08-25 Standard Elektrik Lorenz Ag Anordnung zur bestimmung der position und der bewegung von gegenstaenden
US5278497A (en) * 1991-06-18 1994-01-11 Mitsubishi Denki K.K. Magnetic sensor having a magnet-sensitive plane of an MR element arranged perpendicular to both a substrate plane and a magnet
US5341097A (en) * 1992-09-29 1994-08-23 Honeywell Inc. Asymmetrical magnetic position detector
US5818323A (en) * 1994-09-09 1998-10-06 Sanyo Electric Co., Ltd. Magnetoresistive device
DE4432827C2 (de) * 1994-09-15 1998-10-22 Festo Ag & Co Positionsbestimmungseinrichtung
JP2982638B2 (ja) * 1995-01-19 1999-11-29 株式会社デンソー 変位検出装置
DE10010042A1 (de) * 2000-01-13 2001-07-19 Continental Teves Ag & Co Ohg Linearer Wegsensor und dessen Verwendung als Betätigungsvorrichtung für Kraftfahrzeuge
JP2003524778A (ja) * 2000-01-13 2003-08-19 コンティネンタル・テーベス・アクチエンゲゼルシヤフト・ウント・コンパニー・オッフェネ・ハンデルスゲゼルシヤフト 線形変位センサおよび自動車用操作装置としてその使用
US6411081B1 (en) 2000-02-10 2002-06-25 Siemens Ag Linear position sensor using magnetic fields
DE10052086A1 (de) * 2000-10-20 2002-01-03 Forschungszentrum Juelich Gmbh Positionsmeßeinrichtung

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5616801A (en) * 1979-07-19 1981-02-18 Sharp Corp Magnetic scale

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3716781A (en) * 1971-10-26 1973-02-13 Ibm Magnetoresistive sensing device for detection of magnetic fields having a shape anisotropy field and uniaxial anisotropy field which are perpendicular
US4039936A (en) * 1976-04-05 1977-08-02 International Business Machines Corporation Interleaved magnetoresistive displacement transducers
JPS54118259A (en) * 1978-03-06 1979-09-13 Nec Corp Angle detector
GB2052855B (en) * 1979-03-30 1983-05-18 Sony Corp Magnetoresistive transducers
US4418372A (en) * 1979-08-02 1983-11-29 Hitachi, Ltd. Magnetic rotary encoder
JPS6047988B2 (ja) * 1979-12-19 1985-10-24 株式会社日立製作所 磁気ヘツド
US4853632A (en) * 1981-02-07 1989-08-01 Hitachi, Ltd. Apparatus for magnetically detecting a position of a movable magnetic body

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5616801A (en) * 1979-07-19 1981-02-18 Sharp Corp Magnetic scale

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05195472A (ja) * 1992-01-14 1993-08-03 Ookurashiyou Insatsu Kyokucho 抄紙機において抄造紙上に設置されるシャワーセブォール及び作業足場の裏面結露防止装置
JP2006300779A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Denso Corp 回転検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
ES8705718A1 (es) 1987-05-16
EP0188772A2 (de) 1986-07-30
ES550278A0 (es) 1987-05-16
EP0188772A3 (de) 1988-03-23
DE3447325A1 (de) 1986-06-26
US4712083A (en) 1987-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5362188B2 (ja) 磁性体検出センサ
EP1975637B1 (en) Magnetic substance detection sensor and magnetic substance detecting apparatus
US20100001723A1 (en) Bridge type sensor with tunable characteristic
JPS61173101A (ja) 位置センサ
JP2019516094A (ja) セット／リセットデバイスのない異方性磁気抵抗（ａｍｒ）センサ
JP3487452B2 (ja) 磁気検出装置
JP5227527B2 (ja) 磁性体検出センサ
JP2000512763A (ja) ホイートストンブリッジを備える磁界センサ
JP3764834B2 (ja) 電流センサー及び電流検出装置
JPH052033A (ja) 電流センサ及びその検出電流範囲の設定方法
US8125217B2 (en) Magnetoresistive array design for improved sensor-to-magnet carrier tolerances
JP4541136B2 (ja) 磁性体検出センサ及び磁性体検出ラインセンサ
JPS6243483B2 (ja)
JPH0151127B2 (ja)
JP5243725B2 (ja) 磁性体検出センサ
JPS638531B2 (ja)
JPH0710245Y2 (ja) 磁気センサー
JPH04282481A (ja) 磁電変換器
JPH09113590A (ja) 磁気センサー
JP4237855B2 (ja) 磁界センサ
JPS6226091B2 (ja)
JPS625284B2 (ja)
JPH0414735B2 (ja)
JPS6051153B2 (ja) 磁気カ−ド読取装置
JP2929714B2 (ja) 角度検出装置