JPS61170642A - ストロボ方式ｘ線透視装置 - Google Patents
ストロボ方式ｘ線透視装置Info
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- JPS61170642A JPS61170642A JP60011868A JP1186885A JPS61170642A JP S61170642 A JPS61170642 A JP S61170642A JP 60011868 A JP60011868 A JP 60011868A JP 1186885 A JP1186885 A JP 1186885A JP S61170642 A JPS61170642 A JP S61170642A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- shutter
- observed
- electronic flash
- rays
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は電子部品等の内部構造検査や故障解析に使用さ
れるＸ線透視装置に関するものである。
れるＸ線透視装置に関するものである。
一般に電子部品はその性能を維持するために、ケース等
に封入したり、モールドされる場合が多く、内部構造を
非破壊で観察するためにはＸ線で透視してみる場合が多
い。
に封入したり、モールドされる場合が多く、内部構造を
非破壊で観察するためにはＸ線で透視してみる場合が多
い。
従来、この種のＸ線透視装置は第２図に示すように、ワ
ークテーブル３上に被観察物１２を設置し、上部に設け
られたＸ線発生器２から発生したＸ線を被測定物に照射
し、得られた透視像をＸ線テレヒカメラ４にて撮像し、
その像をテレビモニター１１にて写し出し、内部形状を
観察するものであった。
ークテーブル３上に被観察物１２を設置し、上部に設け
られたＸ線発生器２から発生したＸ線を被測定物に照射
し、得られた透視像をＸ線テレヒカメラ４にて撮像し、
その像をテレビモニター１１にて写し出し、内部形状を
観察するものであった。
９はＸ線発生器２の電源である。
従来の装置を用いた観察像はいずれも被測定物が無負荷
状態であった。
状態であった。
一方、電子部品、特に内部に可動部を有するリレー、ス
イッチ等において、動作状態で内部を観察できれば、極
めて重要な情報を得ることができる。すなわち、これら
の電子部品においては、動作時のバネの変形状態、反発
、接点の接触順序等、その後の信頼性を決定するような
重要な情報は、動的観察のみによって得られるが、従来
装置にはこのような情報が得られる装置はなく、あくま
で 。
イッチ等において、動作状態で内部を観察できれば、極
めて重要な情報を得ることができる。すなわち、これら
の電子部品においては、動作時のバネの変形状態、反発
、接点の接触順序等、その後の信頼性を決定するような
重要な情報は、動的観察のみによって得られるが、従来
装置にはこのような情報が得られる装置はなく、あくま
で 。
停止状態での観察しかできないという欠点があったＯ
本発明は動作状態での内部透視ができるようにした装置
を提供するものである。
を提供するものである。
本発明はＸ線発生器と被観察物との間のＸ線照射路中に
ストロボシャッターを配設するとともに、被観察物を動
作させる駆動部と、ストロボシャッター及び駆動部を同
期させて動作させるコンドローラードｆ：有し、ストロ
ボシャッターと駆動部とを同期動作させて、被観察物を
透視したストロボ像を得ることを特徴とするストロボ方
式Ｘ線透視装置である。
ストロボシャッターを配設するとともに、被観察物を動
作させる駆動部と、ストロボシャッター及び駆動部を同
期させて動作させるコンドローラードｆ：有し、ストロ
ボシャッターと駆動部とを同期動作させて、被観察物を
透視したストロボ像を得ることを特徴とするストロボ方
式Ｘ線透視装置である。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
本装置は、第１図に示すように、防Ｘ線暗箱型のキャビ
ネット１内に、Ｘ線発生器２とワークテーブル３とＸ線
テレビカメラ４が収納されている。
ネット１内に、Ｘ線発生器２とワークテーブル３とＸ線
テレビカメラ４が収納されている。
前記Ｘ線発生器２とワークテーブル３の間には、Ｘ線を
間欠的に遮蔽するストロボシャッター５が設けられてい
る。外部制御装置として、ストロボシャッター５を間欠
動作させるシャッター制御盤６と、被観察物を外部から
動作させる駆動部７とが装備され、かつ制御盤６と駆動
部７とを同期させて動作させるコ／トローラ−８を有し
ている。
間欠的に遮蔽するストロボシャッター５が設けられてい
る。外部制御装置として、ストロボシャッター５を間欠
動作させるシャッター制御盤６と、被観察物を外部から
動作させる駆動部７とが装備され、かつ制御盤６と駆動
部７とを同期させて動作させるコ／トローラ−８を有し
ている。
尚、ストロボシャッター５は機械式、電気式いずれのも
のでも良い。
のでも良い。
実施例において、被観察物１２は駆動部７からの信号に
より動作した状態で、前記シャッター５の開放状態にお
いて、Ｘ線が照射される。このようにＸ線はシャッター
制御により時分割で被観察物１２に照射され、Ｘ線テレ
ビカメラ４に被観察物１２の動作状態でのストロボ像が
得られる。
より動作した状態で、前記シャッター５の開放状態にお
いて、Ｘ線が照射される。このようにＸ線はシャッター
制御により時分割で被観察物１２に照射され、Ｘ線テレ
ビカメラ４に被観察物１２の動作状態でのストロボ像が
得られる。
尚、Ｘ線信号は微弱となるため、画像処理部ＩＯにて処
理され、テレビモニター１１に写し出される。
理され、テレビモニター１１に写し出される。
以上説明したように本発明は、被観察物の動作状態にお
いて任意の動作時点で、その形状等を静止画像として観
察することができ、しかも非破壊試験法であることから
、その利用効果は極めて大である。例えば、製品のスク
リーニング法としても活用できる他、長期信頼性試験で
の時系列的な観測や設計検討評価への活用等極めて多方
面に利用することができる。特に被観察物としてのリー
ドスイッチ、有極リレー、プリンタヘッド、メカニカル
フィルタ、水晶振動子等を動的観察できるばかりでなく
、その他の受動部品や能動部品に対しても有効な情報が
得られる。さらには、例えばバイアス印加時の熱膨張に
よる変形推移の観察や、外部応力による変形の観察等、
その用途は極めて広い領域に及ぶ。
いて任意の動作時点で、その形状等を静止画像として観
察することができ、しかも非破壊試験法であることから
、その利用効果は極めて大である。例えば、製品のスク
リーニング法としても活用できる他、長期信頼性試験で
の時系列的な観測や設計検討評価への活用等極めて多方
面に利用することができる。特に被観察物としてのリー
ドスイッチ、有極リレー、プリンタヘッド、メカニカル
フィルタ、水晶振動子等を動的観察できるばかりでなく
、その他の受動部品や能動部品に対しても有効な情報が
得られる。さらには、例えばバイアス印加時の熱膨張に
よる変形推移の観察や、外部応力による変形の観察等、
その用途は極めて広い領域に及ぶ。
第１図は本発明のストロボ方式Ｘ線透視装置の構成図、
第２図は従来方式のＸ線装置の構成図である。 １・・・キャビネット ２・・・Ｘ線発生器３・・
・ワークテーブル ４・・・Ｘ線テレビカメラ５・・
・ストロボシャッター ６・・・シャッター制御盤７
・・・被観察物の駆動部 ８・・・コントローラー１０
・・・画像処理部 １１・・・テレビモニター１
２・・・被観察物
第２図は従来方式のＸ線装置の構成図である。 １・・・キャビネット ２・・・Ｘ線発生器３・・
・ワークテーブル ４・・・Ｘ線テレビカメラ５・・
・ストロボシャッター ６・・・シャッター制御盤７
・・・被観察物の駆動部 ８・・・コントローラー１０
・・・画像処理部 １１・・・テレビモニター１
２・・・被観察物
Claims (1)
- （１）Ｘ線により被観察物を透視し、その内部を非破壊
で観察するＸ線透視装置において、Ｘ線発生器と被観察
物との間に形成されたＸ線照射路中にストロボシャッタ
ーを配設するとともに、被観察物を動作させる駆動部と
、ストロボシャッター及び駆動部を同期させて動作させ
るコントローラーとを有し、ストロボシャッターと、駆
動部とを同期動作させることにより、被観察物を透視し
たストロボ像を得ることを特徴とするストロボ方式Ｘ線
透視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60011868A JPS61170642A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | ストロボ方式ｘ線透視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60011868A JPS61170642A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | ストロボ方式ｘ線透視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61170642A true JPS61170642A (ja) | 1986-08-01 |
Family
ID=11789698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60011868A Pending JPS61170642A (ja) | 1985-01-25 | 1985-01-25 | ストロボ方式ｘ線透視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61170642A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0215965A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Kouyoushiya:Kk | 研削装置 |
| CN105877769A (zh) * | 2016-03-13 | 2016-08-24 | 朱宪增 | 封闭式全方位放射诊断装置 |
-
1985
- 1985-01-25 JP JP60011868A patent/JPS61170642A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0215965A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-19 | Kouyoushiya:Kk | 研削装置 |
| CN105877769A (zh) * | 2016-03-13 | 2016-08-24 | 朱宪增 | 封闭式全方位放射诊断装置 |
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