JPS6116533A - リ−ドフレ−ムの移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の利用分野］ 本発明は半導体集積回路等の製造に用いられる半導体組
立機におけるリードフレームの移送装置に関する。

［発明の背景］ 従来のリードフレーム移送装置として、例えば特公昭５
５−７９４４号公報に示すものが知られている。しかし
ながら、この構造は、リードフレームの送り用穴にフレ
ーム送り爪を挿入し、この爪をリードフレームの移送方
向に移動させてリードフレームを移送するので、リード
フレームの送り用穴の位置及び形状が異なる品種につい
ては、その度に送りビンの位置及び形状を変更しなけれ
ばならなく、品種交換の対応が困難であった。また送り
爪とリードフレームの送り用穴のがたによってリードフ
レームが位置ずれする。また前記送り爪の移動はカムに
よるため、リードフレームの送り量が異なる品種につい
ては、その度にカムを交換しなければならなく、この点
からも品種交換の対応が困難であった。

更に前記構造はリードフレームをガイドレールの下方に
フレーム送り爪の移動機構が設けられているので、例え
ばかかるリードフレーム移送装置をダイポンダに用いる
場合には、縦横等分割された多数のダイを有するウエノ
＼をウェハ取付台に取付け、ウェハ取付台上よりダイを
１個づつピックアップして前記リードフレーム移送装置
上のリードフレームにダイボンディングするような場合
には、ウェハ取付台の外周がリードフレーム移送装置の
側方に位置するようにしなければならないので、ダイホ
ンダの場合には装置全体が大型化する。

［発明の目的］ 本発明の目的は、リードフレームの送り用穴の位置及び
形状が異なる品種にも容易に対処でき、またリードフレ
ームを正確に移送できると共に、リードフレームの位置
ずれが生じた場合もその位置ずれを補正することができ
、更にダイポンダに使用した場合は装置全体が小型化で
きるリードフレームの移送装置を提供することにある。

［発明の実施例） 以下、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図は一部断面平面図、第２図は正面図、第３図は背
面図、第４図は左側面図、第５図は第１図の５−５線断
面図、第６図は第１図の６−６線断面図、第７図は第２
図の７−７線断面図である。

主構成は、ガイドレール幅調整機構と１．リードフレー
ム押え蓋上下動機構と、爪移動機構と、爪開閉機構とか
らなる。

ガイドレール幅調整機構（第１図、第３図、第５図、第
６図参照） 基板１０の正面側及び背面側には立上り部１０ａ、ｌＯ
ｂが形成されており、立上り部１０ａ、ｌＯｂの左右に
はそれぞれリードフレーム１１の送り方向と直角にねし
部材１２Ａ、１２Ｂが回転自在に支承されている。前記
立上り部１０ａの正面側にはリードフレーム１１の送り
方向と平行にリードフレームａ置板１３とリードフレー
ム側面規制板１４とが固定されており、リードフレーム
蔵置板１３とリードフレーム側面規制板１４でリードフ
レーム１１の一方側面をガイドするガイドレール１５を
形成している。またリードフレーム載置板１３とリード
フレーム側面規制板１４間には中央及び左右（左右は図
示せず）にそれぞれスペーサ１６が配設され、このスペ
ーサ１６によって形成された隙間に後記する上爪及び下
爪が配設される。また前記ねじ部材１２Ａ、１２Ｂには
前記ガイドレール１５に平行に配設されたガイドレール
１７が螺合されており、ガイドレール１７にはリードフ
レーム１１の他方側面をガイドするガイド溝１７ａが形
成されたいる。また前記立上り部１０ｂの上面には支持
板１８を介してガイドレール駆動用モータ１９が固定さ
れている。そして、モータ１９の出力軸に固定されたプ
ーリ２゜と前記ねじ部材１２Ａ、１２Ｂの一端に固定さ
れたプーリ２１Ａ、２１Ｂとにアイドルローラ２２．２
３を介してタイミングベルト２４が掛は渡されている。

従って、モータ１９を回転させると、タイミングベルト
２４を介してねじ部材１２Ａ、１２Ｂが回転させられ、
ガイドレール１７は矢印Ａ方向に駆動させられる。即ち
、モータ１９の回転方向によってガイドレール１７はガ
イドレール１５に接近又は離反するので、ガイドレール
１５と１７の幅が自由に調整される。

このように、リードフレーム１１の幅の変更に対して、
モータ１９の回転量を制御するのみでガイドレール１５
と１７の幅が自由に調整できるので、品種交換が容易に
行える。またリードフレーム１１を後記する爪移動機構
及び爪開閉機構の作用によって移送する時はモータ１９
の制御によってガイドレール１５．１７間をリードフレ
ーム１１の幅より０．１〜０．３１１１１１１程度広く
し、移送終了後にモータ１９を制御してガイドレール１
５．１７間を狭くすることにより、リードフレーム１１
の幅方向の正確な位置決めができる。

なお、本実施例においては、一つのガイドレール１７の
みを駆動させる場合について説明したが、ねじ部材１２
Ａ、１２Ｂを左右ねじに形成し、例えば左ねじ部に一方
のガイドレール１５を螺合させ、右ねじ部に他方のガイ
ドレール１７を螺合させるようにしてもよい。このよう
に構成すると、ねじ部材１２Ａ、１２Ｂの回転によって
ガイドレール１５．１７は共に接近又は離反する方向に
駆動され、両者１５．１７間の幅が変えられる。また本
実施例は２本のねじ部材１２Ａ、１２Ｂを使用してガイ
ドレール１７が平行に移動するようにしたが、ガイドレ
ール１７が平行に移動するようにガイド部材を設け、一
本のねじ部材で平行に動くようにしてもよい。

爪移動機構（第１図、第２図、第４図、第６図、第７図
参照） 基板１０の立上り部１０ａの上面には、左右両側に側板
３０Ａ、３０Ｂが、中央側に側板３０Ａ、３０Ｂに対向
して支持板３１Ａ、３１Ｂが、それぞれガイドレール１
５．１７の上方に伸びて固定されている。前記側板３０
Ａと支持板３１Ａにはローダ側の爪移動機構が取付けら
れ、前記側板３０Ｂと支持板３１Ｂにはアンローダ側の
爪移動機構が取付けられている。ここで、ローダ側とア
ンローダ側の爪移動機構はほぼ対称に構成されているの
で、同じ部材には同じ数字を付し、ローダ側には数字に
符号Ａを付して説明し、アンローダ側には数字に符号Ｂ
を付して図示するのみで、説明は省略する。

側板３ＯＡと支持板３１Ａには前記ガイドレール１５．
１７と平行に爪送り用ねじ部材３２Ａが回転自在に支承
されている。側板３０Ａには爪送り用モータ３３Ａが固
定されており、このモータ３３Ａの出力軸に固定された
プーリ３４Ａと前記ねじ部材３２Ａの＝一端に固定され
たプーリ３５Ａとにはタイミングベル）３６Ａが掛は渡
されている。なお、３７Ａはテンションローラを示す。

前記ねじ部材３２Ａにはめねじ部材３８Ａが螺合されて
おり、このめねじ部材３８Ａには爪ホルダ−３９Ａの４
木の保持部３９ａ、３９ｂ、３９Ｃ１３９ｄが挟持する
形で取付けられてい条。爪ホルダ−３９Ａは、前記ねじ
部材３２Ａと平行に配設された後記するガイド軸４ＯＡ
に摺動自在に嵌挿されている。

前記爪ホルダ−３９Ａには上爪レバー４１Ａがビン４２
Ａを中心に回転自在に支承されており、上爪レバー４Ｌ
Ａの一端には上爪４３Ａが固定されており、前記爪ホル
ダ−３９Ａには下爪４４Ａが固定されている。前記上爪
４３Ａの爪先端は前記リードフレーム載置板１３とリー
ドフレーム側面規制板１４間に上方から伸び、前記下爪
４４Ａの爪先端は前記リードフレーム載置板１３とリー
ドフレーム側面規制板１４間に下方から伸びており１両
爪４３Ａ、４４Ｂの先端は相対向して配設されている。

従って、モータ３３Ａが正回転すると、プーリ３４Ａ、
ベルト３６Ａ、プーリ３５Ａを介してねじ部材３２Ａが
回転する。これにより、めねじ部材３８Ａは第１図にお
いて右方向に移動する。前記めねじ部材３８Ａには爪ホ
ルダ−３９Ａが固定されており、この爪ホルダ−３９Ａ
に上爪４３Ａを有する上爪レバー４ＬＡが回動自在に設
けらいるので、前記のようにめねじ部材３８Ａが右方向
に移動すると、」二爪４３Ａ及び下爪４４Ａも共に移動
する。また前記と逆に、モータ３３Ａが逆回転すると、
めねじ部材３８Ａが左方向に移動し、上爪４３Ａ及び下
爪４４Ａも共に左方向移動する。

爪開閉機構（第１図、第２図、第４図、第６図、第７図
参照） この爪開閉機構も前記爪移動機構と同様に、ローダ側と
アンローダ側はほぼ対称に構成されているので、同じ部
材には同じ数字を付し、ローダ側には数字に符号Ａを付
して説明し、アンローダ側には数字に符号Ｂを付して図
示するのみで、説明は省略する。

前記ガイド軸４０Ａの両端は爪開閉作動板５０Ａ、５１
Ａに固定されており、爪開閉作動板５０Ａ、５１Ａは側
板３０Ａと支持板３１Ａに取付けられた偏心軸５２Ａに
回転自在に支承されている。開閉作動板５０Ａ、５１Ａ
には、一方側に連固定されている。前記上爪レバー４１
Ａの他端には前記作動軸５４Ａに対応してベアリング５
５Ａが回転自在に取付けられたビン５６Ａが固定されて
いる。そして、前記爪ホルダ−３９Ａと上爪レバー４１
Ａにはそれぞればね掛け５７Ａ、５８Ａが固定され、こ
のばね掛け５７Ａ、５８Ａにばね５９Ａが掛けられ、前
記ベアリング５５Ａは前記作動軸５４Ａに当接するよう
に付勢されている。

前記連結板５３Ａにはカムフォロア６０Ａが回転自在に
支承されたカムフォロア支持板６１Ａが固定されており
、カムフォロア６０Ａが後記するカム６２Ａに当接する
ように連結板５３Ａに固定されたばね掛け６３Ａと前記
支持板３１Ａに掛けられたばね掛け６４Ａとに掛けられ
たばね６５Ａで付勢されている。前記側板３ＯＡにはカ
ム軸６６Ａが回転自在に支承されており、このカム軸６
６Ａの内側の一端には前記カム６２Ａが固定され、更に
外側の他端にはプーリ６７Ａが固定されている。また側
板３０Ａにはモータ６８ｋが固定されており、このモー
タ６８Ａの出力軸に固定されたプーリ６９Ａと前記プー
リ６７Ａとにはタイミングベル）７０Ａが掛は渡されて
いる。なお、７１Ａはテンションローラを示す。

ここで、カム６２Ａのプロフィルは、第６図に示すよう
に上爪４３Ａと下爪４４Ａが閉じた状態ヨリ、カム６２
Ａが１８０度回転すると、カムフォロア６０Ａがばね６
５Ａの付勢力で上昇し、更にカム６２Ａが１８０度回転
すると、今度は前記と逆に、カムフォロア６０Ａが下方
に押し下げられるように形成されている。

従って、第６図の状態よりモータ６８Ａが回転してカム
６２Ａが１８０度回転し、カムフォロア６０Ａが下方に
押し下げられると、カムフォロア支持板６１Ａ、支持板
５３Ａを介して爪開閉作動板５０Ａ、５１Ａが偏心軸５
２Ａを支点として第６図において反時計方向に回動させ
られる。これにより、爪ホルダ−３９Ａも偏心軸５２Ａ
を中心として反時計方向に回動し、下爪４４Ａが下方に
移動して開く。また爪開閉作動、板５０Ａ、５１Ａによ
って作動軸５４Ａが下降し、上爪レバー４１Ａがピン４
２Ａを中心として押し下げられて反時計方向に回動し、
上爪４３Ａが上昇して開く。この状態より更にモータ６
８Ａが回転してカム６２Ａが１８（）度回転すると、前
記と逆の作動して上爪４３Ａ、下爪４４Ａが閉る。

リードフレーム押え蓋上下動機構（第１図、第２図、第
３図、第５図参照） 前記基板１０のほぼ中央にはリードフレーム１１のポン
ディング部を支持するリードフレーム蔵置台８０が固定
されている。このリードフレーム載置台８０の上方には
ポンディング用窓８１ａが形成されたリードフレーム押
え蓋８１が配設されており、このリードフレーム押え蓋
８１は上下動板８２に固定されている。上下動板８２に
は縦溝が形成されたコ字状の可動ガイド板８３が固定さ
れており、この可動ガイド板８３の縦溝は前記支持板３
１Ａに固定された垂直側面を有する固定ガイド板８４に
上下動に嵌挿されている。また前記上下動板８２の側面
には、前記支持板３１Ａに回転自在に支承された回転軸
８５の一端に固定されたカム８６の上方に伸びた突出部
８２ａが設けられている。そして、上下動板８２の突出
部８２ａはカム８６に圧接するように、支持板３０Ａ及
び上下動板８２にそれぞれ設けられたばね掛け８７．８
８にばね８９が掛けられている。また前記回転軸８５の
他端にはプーリ９０が固定され、このプーリ９０と前記
支持板３１Ａに固定されたモータ９１の出力軸に固定さ
れたプーリ９２とにタイミングベルト９３が掛は渡され
ている。

第５図はリードフレーム押え蓋８１が下降しリードフレ
ーム１１をリードフレーム蔵置台８ｏに押付けた状態を
示す。この状態よリモータ９１が回転し、タイミングベ
ルト９３を介して回転軸８５が１８０度回転すると、カ
ム８６によって上下動板８２が固定ガイド板８４に沿っ
て上昇させられ、リードフレーム押え蓋８１が上昇させ
られる。更に回転軸８５が１８０度回転すると、前記と
逆にリードフレーム押え蓋８１は下降し、第５図に示す
状態となる。

次に作用について説明する。まず、始動に先立ち、ガイ
ドレール１５．１７間の幅を調整する。

この調整は前記ガイドレール幅調整機構の項目で説明し
たように、モータ１９を回転させて行なう。また始動前
は、上爪４３Ａ及び下爪４４Ａは閉じた状態に、上爪４
３Ｂ及び下爪４４Ｂは開いた状態に、またリードフレー
ム押え蓋８１は上昇した状態にある。この状態より始動
させると、図示しないローダよりリードフレーム１１が
供給され、リードフレーム１１の先端は閉じた状態の上
爪４３Ａ及び下爪４４Ａに当接して位置決めされる。

次にローダ側の爪開閉機構が作動する。即ち、モータ６
８Ａが回転し、カム６２Ａが１８０度回転すると、爪開
閉機構の項で説明したように上爪４３Ａ及び下爪４４Ａ
が開く。その後、爪移動機構が作動する。即ち、モータ
３３Ａが正回転すると、爪移動機構の項で説明したよう
に上爪４３Ａ及び下爪４４Ａが左方向（ローダ側）にリ
ードフレーム１１の１デバイス分移動する。次に再び爪
開閉機構が作動し、モータ６８Ａによってカム６２Ａが
更に１８０度回転させられると、上爪４３Ａ及び下爪４
４Ａは閉じ、上爪４３Ａと下爪４４Ａによってリードフ
レーム１１は挟持される。次に再び爪移動機構のモータ
３３Ａが逆回転すると、上爪４３Ａ及び下爪４４Ａが右
方向、即ちアンローダ側にリードフレーム１１の１デバ
イス分移動する。これにより、リードフレーム１１はリ
ードフレームを置台８０の方向に送られる。

この動作を順次繰返し、リードフレーム１１の初めのデ
バイス部分がリードフレーム押え蓋８１のポンディング
用窓８１ａの上方に配設された図示しないテレビカメラ
によってリードフレーム１１のポンディングパターンが
検出される。検出の結果、リードフレーム１１の送り方
向に位置ずれしている場合は、その補正量が演算装置で
算出され、爪開閉機構及び爪移動機構が作動し、上爪４
３Ａと下爪４４Ａでリードフレーム１１を挟持した状態
でモータ３３Ａが回転し、リードフレーム１１は補正量
だけ移動させられる。ここで、リードフレーム１１が位
置ずれしている場合は、モータ３３Ａを回転させなく、
ポンディング時に補正量に応じて図示しないポンディン
グ装置を制御して行うようにしてもよい。

次に、ガイドレール幅調整機構が作動し、ガイドレール
幅調整機構の項で説明したようにガイドレール１５．１
７とリードフレーム１１との隙間が除去され、リードフ
レーム１１の幅方向が位置決めされる。続いてリードフ
レーム押え蓋上下動機構が作動し、リードフレーム押え
蓋上下動機構の項で説明したようにモータ９１が１８０
度回転すると、リードフレーム押え蓋８１が下降し、リ
ードフレーム１１はリードフレームｆｆｉ置台８０に押
付けられる。この状態で、リードフレーム押え蓋８１の
窓８１ａを通して図示しないポンディング装置によりリ
ードフレーム１１にベレットポンディング又はリードフ
レーム１１とこのリードフレーム１１にポンディングさ
れたペレットにワイヤポンディングがなされる。

ポンディング終了後、リードフレーム押え蓋上下動機構
のモータ９１が再び１８０度回転し、リードフレーム押
え蓋８１が上昇する。そして、爪開閉動機構及び爪移動
機構が作動し、上爪４３Ａと下爪４４Ａとでリードフレ
ーム１１を挟持してリードフレーム１１の次のポンディ
ング部分がポンディング用窓８１ａの下方に送られると
、前記した動作を行った後にポンディングされる。この
ようにして順次ポンディングが行われ、リードフレーム
１１がアンローダ側に送られると第１図、第２図におい
て右側に示す爪開閉機構及び爪移動機構の上爪４３Ｂと
下爪４４Ｂが前記説明した上爪４３Ａと下爪４４Ａの動
作と同様の動作を行ない、ポンディングが終了したリー
ドフレー、＝１１を図示しないアンローダに収納する。

このような動作を繰返し、順次リードフレーム１１の移
送が行われる。

なお、」二足実施例においては、上爪４３Ａ、４３Ｂ及
び下爪４４Ａ、４４Ｂが共に開閉する場合について説明
したが、上爪４３Ａ、４３Ｂ及び下爪４４Ａ、４４Ｂの
一方のみが開閉し、他方は固定、例えば上爪４３Ａ、４
３Ｂのみが開閉し、下爪４４Ａ、４４Ｂは固定でもよい
。また上爪４３Ａ、４３Ｂ及び下爪４４Ａ、４４Ｂの開
閉はモータ６８Ａによって行ったが、ソレノイド、エア
ーシリンダ等で行ってもよい。

［発明の効果］ 以上の説明から明らかな如く、本発明によれば、リード
フレームを上爪と下爪で挟持して送るので、リードフレ
ームの送り用穴の位置及び形状に関係なくリードフレー
ムを送ることができる。

またリードフレームの送りはモータの回転量で制御でき
るため、送り量を任意に設定できると共に、リードフレ
ームの位置ずれも容易に補正することができる。爪開閉
駆動手段、爪保持部材及び爪移動機構はガイドレールよ
り上方に設けられているので、ダイポンダに用いる場合
には、ウェハを取付けるウェハ取付台のほぼ半分をリー
ドフレーム移送装置下方に位置させることができ、ダイ
ポンダの場合には装置全体が小型化する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す一部断面平面図、第２
図は正面図、第３図は背面図、第４図は左側面図、第５
図は第１図の５−５線断面図、第６図は第１図の６−６
線断面図、第７図は第２図の７−７線断面図である。 １１０・命リードフレーム、 １５．１７・・・ガイドレール、 ３２Ａ、３２Ｂ・・・ねじ部材、 ３３Ａ、３３Ｂ・・・モータ、 ３４Ａ、３４Ｂ３５Ａ、３５Ｂ−−−プーリ、３６Ａ、
３６Ｂ・串−タイミングベルト、３８Ａ、３８Ｂ・・・
めねじ部材、 ３９Ａ、３９Ｂ一番・爪ホルダー、 ４ＯＡ、４０Ｂ・・・ガイド軸、 ４１Ａ、４１Ｂ・・・上爪レバー、 ４２Ａ、４２Ｂ・・・ピン、 ４３Ａ、４３Ｂ・・・上爪、 ４４Ａ、４４Ｂ−・・下爪。 ５０Ａ、５０Ｂ、５１Ａ、５１Ｂ・・・爪開閉作動板、 ５２Ａ、５２Ｂ・・・偏心軸、 ５４Ａ、５４Ｂ−・・作動軸、 ６２Ａ、６２Ｂ−−−カム、 ６６Ａ、６６Ｂ−−−カム軸、 ６７Ａ、６７Ｂ＠拳・プーリ、 ６８Ａ、６８Ｂ−・・モータ、 ６９Ａ、６９Ｂ・・・プーリ、 第４図 ９Ｍ５図 第６図 第７図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）相対向して平行に配設されリードフレームをガイ
   ドする２個のガイドレールと、このガイドレールの上方
   よりガイドレール間に伸びた上爪部材と、この上爪に対
   抗して配設され前記ガイドレールの下方よりガイドレー
   ル間に伸びた下爪部材と、前記上爪部材及び下爪部材の
   少なくとも一方を開閉させる爪開閉駆動手段と、前記上
   爪部材及び下爪部材を保持する爪保持部材と、この爪保
   持部材を前記ガイドレールに沿つて移動させる爪移動機
   構とを有し、前記爪開閉駆動手段、爪保持部材及び爪移
   動機構は前記ガイドレールより上方に設けられているこ
   とを特徴とするリードフレームの移送装置。
2. （２）爪移動機構は、爪保持部材を移動させるねじ部材
   と、このねじ部材を回転させるモータとからなる特許請
   求の範囲第１項記載のリードフレームの移送装置。