JPS61164248A - 混成集積回路の抵抗調節方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は混成集積回路に関し、抵抗値の調節方法に関す
る。

〔従来の技術〕

従来よシ混成集積回路の抵抗値調節方法としてはサンド
ブラスト法或いはレーザートリミング方法として抵抗値
を高くする方向でトリミングを行なっていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した抵抗値の調節方法では抵抗値を高くする方向で
の調節のみが可能であったために要求されている抵抗値
範囲を越えた場合にはその抵抗を含む混成集積回路全体
を不良としなければなら々かった。

第２図に従来方法での抵抗値調節の方法を示す。

第２図（ａ）は抵抗体１の１部を切断することによシ抵
抗値調節可能な抵抗の平面図をしている抵抗体１の測定
用電極は２である。第２図（ｂ）は抵抗体１の一部をレ
ーザー照射或いはサンドブラスト等の方法により削除部
分３を作シ、第２図（ａ）で示す状態よシも高い抵抗値
になるように調節した状態を示す。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の目的は先に述べたような抵抗値が高くなるよう
な方向のみの調節しか出来ないよう々欠点を取シ除くこ
とができるような、抵抗値の調節方向を提供することに
ある。

本発明によれば抵抗体に平行して接続された短絡可能な
絶縁層を挾んだ電極対をレーザー光照射等の方法で短絡
することを特徴としている。

〔実施例〕

つぎに本発明を実施例により説明する、第１図（ａ）〜
（Ｃ）は本発明による方法の一実施例による製造方法を
説明する図面である。第１図（ａ）は抵抗体１ａ〜１ｃ
と絶縁層４ａ〜４ｄを挾んだ電極対５ａ〜５ｄを示す平
面図である。第１図（ｂｌは第１図（ａ）に於いて示し
たＡ−Ａ’部分の断面図であり、絶縁層４８〜４ｄは絶
縁層４ａ〜４ｄの上に位置する電極６ａ〜６ｄと下に位
置する７ａ〜７ｄに挾まれて基板１０上に設けられてい
る。又電極７ａと６ｂ或いは７ｂと６０等々は電気的に
接続宴れているが各電極対５８〜５ｄの間では電＠ｉ６
ａと７３或いは６ｂと７ｂ等々は絶縁層４３〜４ｄによ
シ互いに絶縁されている。第１図（Ｃ）は絶縁層４ｃを
レーザー光照射等の方法により孔８をあけかつ電極６ｃ
、７ｃを電気的に導通させた状態を示している。第１図
（ａ）の状態での抵抗値は電極７ａと電極７ｄの間では
抵抗体１ａ〜１ｃの合成抵抗であったが、第１図（ｃ）
では電極７ａ　、７ｄ間の抵抗値は抵抗体１ａ、ｌｃの
合成抵抗となるために抵抗値としては低くする方向での
抵抗値調節ができることとなる。

本発明に於いて孔を明ける場合は絶縁層が薄ければ薄い
程孔を明けることが容易になるが、本発明による絶縁層
の場合は電極対に平行に抵抗体がつながっているだめに
電極対に電圧がかかっても抵抗体につながっているため
に絶縁層の絶縁が電圧によって破壊されることはない。

〔発明の効果〕

以上述べた如く本発明を実施することにょシ抵抗値を低
くする方向での調節が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（Ｃ）は本発明の一実施例を示す平面図
及び断面図である。 又第２図（ａ）　、　（ｂ）は従来の抵抗値調節方法の
一例を示す平面図である。 １・・・・・・抵抗体、２・・・・・・測定用電極、３
・・・・・・削除部分、４ａ〜４ｄ・・・・・・絶縁層
、５ａ〜５ｄ・・・・・・電極対、６ａ〜６ｄ、７ａ〜
７ｄ・・・・・・電極、８・・囮・孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　絶縁層を挾んで電気的には絶縁されて上下に重ねられ
   た電極対と、該電極対に平行につながった抵抗体を有す
   る混成集積回路において、絶縁層に孔をあけさらに上下
   に重ねられた電極対を溶融させることにより電極対を短
   絡させて抵抗値を低くする抵抗の調節方法。