JPS61163646A - テ−プボンデイング装置のツ−ル昇降装置 - Google Patents
テ−プボンデイング装置のツ−ル昇降装置Info
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- JPS61163646A JPS61163646A JP412485A JP412485A JPS61163646A JP S61163646 A JPS61163646 A JP S61163646A JP 412485 A JP412485 A JP 412485A JP 412485 A JP412485 A JP 412485A JP S61163646 A JPS61163646 A JP S61163646A
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- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
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- H01L2224/8385—Bonding techniques using a polymer adhesive, e.g. an adhesive based on silicone, epoxy, polyimide, polyester
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/06—Polymers
- H01L2924/078—Adhesive characteristics other than chemical
- H01L2924/07802—Adhesive characteristics other than chemical not being an ohmic electrical conductor
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、テープボンディング装置における、ボンディ
ングツールの昇降Ｒ横に関するものである。
ングツールの昇降Ｒ横に関するものである。
従来のテープボンディング装置におけるボンディングツ
ールの昇降機構は、下端にツールを取り付けた単一のス
ライド部材をモータ駆動のカムまたはエアシリンダによ
って駆動するものであった。
ールの昇降機構は、下端にツールを取り付けた単一のス
ライド部材をモータ駆動のカムまたはエアシリンダによ
って駆動するものであった。
例えば、第２図（ａ）（ｂ）に示すテープボンディング
装置において、下端にツール６を取り付けたスライド部
材５は、モータ２に直結されたカム３およびスライド部
材５に設けたカムフォロワ４によりスライドｌに沿って
上下に駆動され、ツール６がワーク受は台１０上の被ボ
ンデイング物９（以下ワークと称する）に接触し、機体
との間にそれぞれバネ掛は棒８により張設されたバネ７
により加圧力が加えられる。
装置において、下端にツール６を取り付けたスライド部
材５は、モータ２に直結されたカム３およびスライド部
材５に設けたカムフォロワ４によりスライドｌに沿って
上下に駆動され、ツール６がワーク受は台１０上の被ボ
ンデイング物９（以下ワークと称する）に接触し、機体
との間にそれぞれバネ掛は棒８により張設されたバネ７
により加圧力が加えられる。
上記の方式は機構的には簡単であるが、以下のような問
題があった。
題があった。
ボンディング作業の速度を上げるにはモータ２によるカ
ム３の回転速度を上げることが必要であるが、高速にな
るとカム３に対するカムフォロワ４の追従性が悪くなり
、接離衝突による振動を生しる。これを防いで追従性を
よくするためにはバネ７を強くすることが必要となる。
ム３の回転速度を上げることが必要であるが、高速にな
るとカム３に対するカムフォロワ４の追従性が悪くなり
、接離衝突による振動を生しる。これを防いで追従性を
よくするためにはバネ７を強くすることが必要となる。
ところが従来の図示の如き構造のものにおんては、この
バネ７によりツール６にワーク９に対する押圧力が与え
られているので、バネ７を強くするとワーク９に対する
押圧力が過大となることがあり、ボンディング作業に支
障を来す。また、バネ７を調整するには、カムフォロワ
４の追従性と、ワーク９への押圧力とを共に同時に満足
するよう調整せねばならず、調整は手動と時間がかかり
、困難な作業であった・ 本発明は、従来のものの上記の問題点を解決し、ポンデ
ィング動作の押圧力との調整と、カムフォロワの追従性
の調整とを独立に別個に調整可能となし、調節時間の％
’Ｈ縮、調整の容易化を達成するテープボンディング装
置のツール昇降装置を提供することを目的としている。
バネ７によりツール６にワーク９に対する押圧力が与え
られているので、バネ７を強くするとワーク９に対する
押圧力が過大となることがあり、ボンディング作業に支
障を来す。また、バネ７を調整するには、カムフォロワ
４の追従性と、ワーク９への押圧力とを共に同時に満足
するよう調整せねばならず、調整は手動と時間がかかり
、困難な作業であった・ 本発明は、従来のものの上記の問題点を解決し、ポンデ
ィング動作の押圧力との調整と、カムフォロワの追従性
の調整とを独立に別個に調整可能となし、調節時間の％
’Ｈ縮、調整の容易化を達成するテープボンディング装
置のツール昇降装置を提供することを目的としている。
〔問題点を解決するための手段および作用〕本発明は上
記の問題点を解決するための手段として、ボンディング
ツールの昇降機構が、カムにより昇降動作を行う昇降部
材と、該昇降部材に対し上下方向に滑動可能に備えられ
た滑動部材と、前記昇降部材に設けられ前記滑動部材に
下向きの押圧力を与えるエアシリンダとを備えたことを
特徴とするテープボンディング装置のツール昇降装置を
提供するものであり、上下移動速度、および加圧力をそ
れぞれ別個に調整することができ、調整作業を容易にか
つ短時間で行うことが可能となった。
記の問題点を解決するための手段として、ボンディング
ツールの昇降機構が、カムにより昇降動作を行う昇降部
材と、該昇降部材に対し上下方向に滑動可能に備えられ
た滑動部材と、前記昇降部材に設けられ前記滑動部材に
下向きの押圧力を与えるエアシリンダとを備えたことを
特徴とするテープボンディング装置のツール昇降装置を
提供するものであり、上下移動速度、および加圧力をそ
れぞれ別個に調整することができ、調整作業を容易にか
つ短時間で行うことが可能となった。
以下本発明の実施例を第１図（ａ）（ｂ）を参照して説
明する。
明する。
図示のテープボンディング装置は、ボンディングツール
１８の昇降機構として、昇降部材としてのカム駆動のカ
ムスライド部材１９とエアシリンダ１６により駆動され
る滑動部材としての加圧スライド部材１７とを備えてい
る。
１８の昇降機構として、昇降部材としてのカム駆動のカ
ムスライド部材１９とエアシリンダ１６により駆動され
る滑動部材としての加圧スライド部材１７とを備えてい
る。
カムスライド部材１９は、カムフォロワ２０を備え、カ
ムフォロワ２０はモータ１１からカップリング１２を介
して駆動されるカムシャフトＩ４の端部に取り付けられ
たカム１５に係合し、カム１５の回転にともなってカム
スライド部材１９を昇降させる。なお、１３はテープボ
ンディング装置の作動を制御イするための電気信号円板
である。
ムフォロワ２０はモータ１１からカップリング１２を介
して駆動されるカムシャフトＩ４の端部に取り付けられ
たカム１５に係合し、カム１５の回転にともなってカム
スライド部材１９を昇降させる。なお、１３はテープボ
ンディング装置の作動を制御イするための電気信号円板
である。
カムスライド部材１９の上端にはエアシリンダ１６が取
り付けられ、その作動部材はカムスライド部材１９を通
って下方に突出し、加圧スライド部材１７の上端に係合
している。
り付けられ、その作動部材はカムスライド部材１９を通
って下方に突出し、加圧スライド部材１７の上端に係合
している。
カムスライド部ヰオ１９の前面には加圧スライド２３を
介して加圧スライド部材１７が上下摺動可能に支承され
、その下端にはボンディングツール１８が取り付けられ
ている。また、その上端には調節可能なストッパふジ２
２が取り付けられ、ストッパネジ２２は加圧スライド２
３の上端と共働して加圧スライド部材１７のカムスライ
ド部材１９に対する下降位Ｉを限定する。ボンディング
ツール１８とカムスライド部材１９の間には加圧スライ
ド部材１７の自重を相殺するバネ２５が張設されている
。加圧スライド部材１７とカムスライド部材１９のそれ
ぞれの下端には、共働して相対的変位を検出する変位ス
イッチ２７が設置されている。
介して加圧スライド部材１７が上下摺動可能に支承され
、その下端にはボンディングツール１８が取り付けられ
ている。また、その上端には調節可能なストッパふジ２
２が取り付けられ、ストッパネジ２２は加圧スライド２
３の上端と共働して加圧スライド部材１７のカムスライ
ド部材１９に対する下降位Ｉを限定する。ボンディング
ツール１８とカムスライド部材１９の間には加圧スライ
ド部材１７の自重を相殺するバネ２５が張設されている
。加圧スライド部材１７とカムスライド部材１９のそれ
ぞれの下端には、共働して相対的変位を検出する変位ス
イッチ２７が設置されている。
カムスライド部材１９は、機体の前面に設けられたカム
スライドホルダ２Ｂに対して、カムスライド２４を介し
て上下摺動可能に支持されている。
スライドホルダ２Ｂに対して、カムスライド２４を介し
て上下摺動可能に支持されている。
カムスライドホルダ２８の上端とカムスライド部材１９
との間には、カムスライド引き上げ用のバネ２６が張設
されている。なお、２１はハネを張設するためのバネ掛
は棒である。
との間には、カムスライド引き上げ用のバネ２６が張設
されている。なお、２１はハネを張設するためのバネ掛
は棒である。
以下、本実施例装置の作用について説明する。
モータ１１が回転すると、その回転はカップリング１２
、カムシャフト１４を介してカム１５に伝達される。カ
ム１５の回転に従って、カムフォロワ２０を介して、カ
ムスライドホルダ２８からバネ２６によって吊下げられ
たカムスライド部材１９は、カムスライド２４に沿って
上下に移動する。このとき、カムスライド部材１９上に
固定されたエアシリンダ１６、およびバネ２５によって
カムスライド部材１９から吊下げられた加圧スライド部
材１７もカムスライド部材１９とともに上下に移動する
。
、カムシャフト１４を介してカム１５に伝達される。カ
ム１５の回転に従って、カムフォロワ２０を介して、カ
ムスライドホルダ２８からバネ２６によって吊下げられ
たカムスライド部材１９は、カムスライド２４に沿って
上下に移動する。このとき、カムスライド部材１９上に
固定されたエアシリンダ１６、およびバネ２５によって
カムスライド部材１９から吊下げられた加圧スライド部
材１７もカムスライド部材１９とともに上下に移動する
。
加圧スライド部材１７、カムスライド部材１９が下降す
る場合、加圧スライド部材１７の下端に固定されたボン
ディングツール１８は、ワーク受は台１０上のワーク９
に接近する。そしてポンディングツール１８がワ−り９
に接触したとき、変位スイッチ２７がこれを検知し、加
圧、切換、加 。
る場合、加圧スライド部材１７の下端に固定されたボン
ディングツール１８は、ワーク受は台１０上のワーク９
に接近する。そしてポンディングツール１８がワ−り９
に接触したとき、変位スイッチ２７がこれを検知し、加
圧、切換、加 。
熱等の予め設定された次ぎの作業動作に入る。
加圧カムスライド部材１７は、ポンディングツール１８
がワーク９に接触しているため取り残され、その上端の
ストッパネジ２２が加圧スライド２３の上端から離れる
。そこで、エアシリンダ１６に所定の圧力が供給されて
いれば、その圧力によって、ワーク９は加圧されること
になる。また、変位スイッチ２７の作動により、上記の
加圧以外の他の作業を行うこともできる。
がワーク９に接触しているため取り残され、その上端の
ストッパネジ２２が加圧スライド２３の上端から離れる
。そこで、エアシリンダ１６に所定の圧力が供給されて
いれば、その圧力によって、ワーク９は加圧されること
になる。また、変位スイッチ２７の作動により、上記の
加圧以外の他の作業を行うこともできる。
本発明は、上記のようにボンディングツールの昇降機構
がカム駆動部とエアシリンダ駆動部とから構成されてい
るので、モータの制ｊｎ、カムの交換等による速度、ス
トロークの設定およびエアシリンダの弁の調節による加
圧設定を、それぞれ別々にかつ容易にしかも短時間で行
うことができる。
がカム駆動部とエアシリンダ駆動部とから構成されてい
るので、モータの制ｊｎ、カムの交換等による速度、ス
トロークの設定およびエアシリンダの弁の調節による加
圧設定を、それぞれ別々にかつ容易にしかも短時間で行
うことができる。
また、ツールがワークに接触したことを検知したときエ
ア加圧制御を行うようにすれば、ワークを傷めずに比較
的高速で接触することができて時間的にも有利であり、
作業の迅速化を図ることができる。
ア加圧制御を行うようにすれば、ワークを傷めずに比較
的高速で接触することができて時間的にも有利であり、
作業の迅速化を図ることができる。
第１図（ａ）（ｂ）は本発明実施例の正面図および一部
を除去した側面図、第２図（ａ）（ｂ）は従来装置の第
１図と同様の図である。 １・・スライド ２・・モータ ３・・カム４・・カム
フォロワ ５・・スライド部材６・・ボンディングツー
ル ７・・バネ８・・バネ掛は棒 ９・・ワー
ク ｌＯ・・ワーク受は台 １１・・モータ１２・・カップ
リング Ｉ３・・電気信号円板１４・・カムシャフト １５・・カム １６・・エアシリンダ１７・・
加圧スライド部材 １８・・ボンディングツール １９・・カムスライド部材 ２０ カムフォロワ ２１・・ハネ掛は欅２２・・ス
トッパぶジ ２３・・加圧スライド２４・・カムスライ
ド ２５・ ・バネ ２６・・バネ ２７・・変位スイッチ ２日・・カムスライドホルダ 特許出願人 日本電気株式会社 同 海上電機株式会社 代理人弁理士 高 木 正 行 間 薬師 稔 同 依 １） 孝次部 （Ｑ） （ｂ）手続補正書 昭和６０年２り！４日 特許庁長官 志 賀 学 殿２、発明の名称
テープボンディング装置のツール昇降装置３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （４２３）日本電気株式会社 名称 海上電機株式会社 ４、代理人 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄
８、補正の内容 第２頁第２０行「おんては」とあるを「おい）論→４４
丁正する。
を除去した側面図、第２図（ａ）（ｂ）は従来装置の第
１図と同様の図である。 １・・スライド ２・・モータ ３・・カム４・・カム
フォロワ ５・・スライド部材６・・ボンディングツー
ル ７・・バネ８・・バネ掛は棒 ９・・ワー
ク ｌＯ・・ワーク受は台 １１・・モータ１２・・カップ
リング Ｉ３・・電気信号円板１４・・カムシャフト １５・・カム １６・・エアシリンダ１７・・
加圧スライド部材 １８・・ボンディングツール １９・・カムスライド部材 ２０ カムフォロワ ２１・・ハネ掛は欅２２・・ス
トッパぶジ ２３・・加圧スライド２４・・カムスライ
ド ２５・ ・バネ ２６・・バネ ２７・・変位スイッチ ２日・・カムスライドホルダ 特許出願人 日本電気株式会社 同 海上電機株式会社 代理人弁理士 高 木 正 行 間 薬師 稔 同 依 １） 孝次部 （Ｑ） （ｂ）手続補正書 昭和６０年２り！４日 特許庁長官 志 賀 学 殿２、発明の名称
テープボンディング装置のツール昇降装置３、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 名称 （４２３）日本電気株式会社 名称 海上電機株式会社 ４、代理人 ５、補正命令の日付 自発 ６、補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄
８、補正の内容 第２頁第２０行「おんては」とあるを「おい）論→４４
丁正する。
Claims (1)
- １、ボンディングツールの昇降機構が、カムにより昇降
動作を行う昇降部材と、該昇降部材に対し上下方向に滑
動可能に備えられた滑動部材と、前記昇降部材に設けら
れ前記滑動部材に下向きの押圧力を与えるエアシリンダ
とを備えたことを特徴とするテープボンディング装置の
ツール昇降装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP412485A JPS61163646A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | テ−プボンデイング装置のツ−ル昇降装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP412485A JPS61163646A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | テ−プボンデイング装置のツ−ル昇降装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61163646A true JPS61163646A (ja) | 1986-07-24 |
Family
ID=11576033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP412485A Pending JPS61163646A (ja) | 1985-01-16 | 1985-01-16 | テ−プボンデイング装置のツ−ル昇降装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61163646A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63261722A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング方法及び装置 |
| JPH0263536U (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-11 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187944A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | Die bonding device |
-
1985
- 1985-01-16 JP JP412485A patent/JPS61163646A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187944A (en) * | 1981-05-13 | 1982-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | Die bonding device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63261722A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-28 | Toshiba Seiki Kk | ペレツトボンデイング方法及び装置 |
| JPH0263536U (ja) * | 1988-11-01 | 1990-05-11 |
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