JPS61161701A - サ−ミスタ - Google Patents
サ−ミスタInfo
- Publication number
- JPS61161701A JPS61161701A JP297185A JP297185A JPS61161701A JP S61161701 A JPS61161701 A JP S61161701A JP 297185 A JP297185 A JP 297185A JP 297185 A JP297185 A JP 297185A JP S61161701 A JPS61161701 A JP S61161701A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermistor
- thin film
- temperature
- lacro3
- heat sensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、サーミスタに係り、特に高温用温度センサと
して使用するのに好適なサーミスタに関する。
して使用するのに好適なサーミスタに関する。
従来の技術
従来の温度センサ用サーミスタはｔ’ Ｉｎ−旧−Ｇ。
等の金属酸化物半導体の感温体を、ビード状或いは円板
状等に成形して焼結させ、これを絶縁樹脂またはガラス
等によって被覆し、或いは金属容器に収納する構造が一
般的であった（例えば特公昭５２−７５３５号）、シか
し、Ｍｎ−Ｘｌ−Ｇｏ系サーミスタは、材料の特性上、
３００℃以上の温度では使用することができない。
状等に成形して焼結させ、これを絶縁樹脂またはガラス
等によって被覆し、或いは金属容器に収納する構造が一
般的であった（例えば特公昭５２−７５３５号）、シか
し、Ｍｎ−Ｘｌ−Ｇｏ系サーミスタは、材料の特性上、
３００℃以上の温度では使用することができない。
そこで、３００℃以上の温度範囲で使用し得る高温用サ
ーミスタとして、 ＬａＣｒＯ３を用いたサーミスタが
提案されている（例えば、特公昭５３−２７４８０号、
特公昭５３−３４８３６号、特公昭５３−３９６００号
） 、 ＬａＣｒＯ３は高温での安定性に優れ、高温用
サーミスタ素材として期待されている。第２図は従来の
ＬａＣｒ０３系サーミスタの斜視図であり、ｌはＬａＣ
ｒＯ３を主成分とする焼結成形体、２及び３はこのＬａ
Ｃｒｏ３系焼結成形体ｌの一方の端面側に平行に保持さ
れた白金線である。
ーミスタとして、 ＬａＣｒＯ３を用いたサーミスタが
提案されている（例えば、特公昭５３−２７４８０号、
特公昭５３−３４８３６号、特公昭５３−３９６００号
） 、 ＬａＣｒＯ３は高温での安定性に優れ、高温用
サーミスタ素材として期待されている。第２図は従来の
ＬａＣｒ０３系サーミスタの斜視図であり、ｌはＬａＣ
ｒＯ３を主成分とする焼結成形体、２及び３はこのＬａ
Ｃｒｏ３系焼結成形体ｌの一方の端面側に平行に保持さ
れた白金線である。
発明が解決しようとする問題点
しかし、ＬａＣｒＯ３は焼結成形体として使用するには
比抵抗が低すぎる。また、焼結成形体となるため、熱容
量が大きく応答速度の速いものが得られにくい。更に、
１７００°Ｃ以上の極めて高い焼結温度によっても、サ
ーミスタとして使用し得る緻密な焼結体が得にくいこと
、焼成雰囲気として還元雰囲気を必要とすることなど、
製造上の技術的困難性も多い、このため、高温用サーミ
スタ素材として優れた特性を有するにも拘わらず、その
実用化が阻まれていた。
比抵抗が低すぎる。また、焼結成形体となるため、熱容
量が大きく応答速度の速いものが得られにくい。更に、
１７００°Ｃ以上の極めて高い焼結温度によっても、サ
ーミスタとして使用し得る緻密な焼結体が得にくいこと
、焼成雰囲気として還元雰囲気を必要とすることなど、
製造上の技術的困難性も多い、このため、高温用サーミ
スタ素材として優れた特性を有するにも拘わらず、その
実用化が阻まれていた。
問題点を解決するための手段
上述する問題点を解決するため、本発明に係るサーミス
タは、感熱体がＬａＣｒＯ３薄膜でなることを特徴とす
る。
タは、感熱体がＬａＣｒＯ３薄膜でなることを特徴とす
る。
作用
上述のように本発明においては感熱体がＬａＣｒＯ３薄
膜でなること、つまり、ＬａＧ ｒ０３をＳ膜化したこ
とにより、焼結成形体としたために問題となっていた緻
密な焼結体を得るための技術的困難性を避けることがで
きる。また、ＬａＣｒＯ３を薄膜化することで、ＬａＣ
ｒＯ３自体の比抵抗が低いにも拘わらず、サーミスタ全
体として高い抵抗値を取り出すことができる。更に、感
熱体となるＬａＣｒＯ３が薄膜となっているため、感熱
部分の熱容量が小さくなり、温度変化に対する応答性が
極めて速くなる。
膜でなること、つまり、ＬａＧ ｒ０３をＳ膜化したこ
とにより、焼結成形体としたために問題となっていた緻
密な焼結体を得るための技術的困難性を避けることがで
きる。また、ＬａＣｒＯ３を薄膜化することで、ＬａＣ
ｒＯ３自体の比抵抗が低いにも拘わらず、サーミスタ全
体として高い抵抗値を取り出すことができる。更に、感
熱体となるＬａＣｒＯ３が薄膜となっているため、感熱
部分の熱容量が小さくなり、温度変化に対する応答性が
極めて速くなる。
実施例
本発明の一実施例を第１図に基づいて説明する。第１図
は、絶縁体からなる基板４の表面上に間隔をおいて電極
５．６を被着形成すると共に、この電極５−６間を橋絡
するように、 ＬａＣｒＯ３薄膜からなる感熱体７を形
成し、電極５．６にリード線８，９をポンディングした
構造となっている。
は、絶縁体からなる基板４の表面上に間隔をおいて電極
５．６を被着形成すると共に、この電極５−６間を橋絡
するように、 ＬａＣｒＯ３薄膜からなる感熱体７を形
成し、電極５．６にリード線８，９をポンディングした
構造となっている。
前記基板４は耐熱性に優れた絶縁体、例えばアルミナ、
ステアライト、フォルステライト、へりリア、ジルコニ
ア、無アルカリガラス等によって形成される。
ステアライト、フォルステライト、へりリア、ジルコニ
ア、無アルカリガラス等によって形成される。
電極５．６は、Ｐｔ、 Ａｕ等を導電成分とし、これを
スクリーン印刷または蒸着等の手段によって基板４上に
被着形成する。この電極５．６は感熱体７の形成後にそ
の上に被着形成することも可能である。
スクリーン印刷または蒸着等の手段によって基板４上に
被着形成する。この電極５．６は感熱体７の形成後にそ
の上に被着形成することも可能である。
ＬａＣｒＯ３で成る感熱体７の形成方法としては、真空
蒸着、電子ビーム蒸着、ケミカル、ベーパ。
蒸着、電子ビーム蒸着、ケミカル、ベーパ。
ディポジション法（ＣＶＤ）またはスパッタリング蒸着
等があるが、この実施例では、スパッタリング蒸着によ
って形成した例を示す。
等があるが、この実施例では、スパッタリング蒸着によ
って形成した例を示す。
まず、スパッタリング装置として高周波スパッタリング
装置を用い、ターゲットをＬ託ｒｏ＋焼結体または粉体
で構成し、５×ｌθ〜５ＸＩＯＴｏｒｒのアルゴン雰囲
気中でスパッタリングすることにより、基板４の上にＬ
ａＣｒＯ３薄膜を形成した。
装置を用い、ターゲットをＬ託ｒｏ＋焼結体または粉体
で構成し、５×ｌθ〜５ＸＩＯＴｏｒｒのアルゴン雰囲
気中でスパッタリングすることにより、基板４の上にＬ
ａＣｒＯ３薄膜を形成した。
この後、リード！ｉ８．９として０．１鵬謙φの白金線
を用い、これを電極５．６の上にウェルディング装置で
溶着させ、第１図に示したサーミスタを得ることができ
た。このようにして得られたサーミスタはＢ定数１００
０〜２０００の値を持ち、常温から６００’０まで充分
な安定性を示し、温度変化に対する応答性も非常に優れ
ていた。
を用い、これを電極５．６の上にウェルディング装置で
溶着させ、第１図に示したサーミスタを得ることができ
た。このようにして得られたサーミスタはＢ定数１００
０〜２０００の値を持ち、常温から６００’０まで充分
な安定性を示し、温度変化に対する応答性も非常に優れ
ていた。
発明の効果
以上述べたように１本発明によれば、常温から６００℃
の高温に至るまで安定に動作し、しかも温度変化に対す
る応答性に優れ、常温から高温までの温度センシング、
高速応答性が要求される分野で非常に実用性の高いサー
ミスタを提供することができる。
の高温に至るまで安定に動作し、しかも温度変化に対す
る応答性に優れ、常温から高温までの温度センシング、
高速応答性が要求される分野で非常に実用性の高いサー
ミスタを提供することができる。
第１図は本発明に係るサーミスタの一実施例における断
面図、第２図は従来のサーミスタを示す図でる。
面図、第２図は従来のサーミスタを示す図でる。
Claims (3)
- （１） 感熱体がＬａＣｒＯ＿３薄膜でなることを特徴
とするサーミスタ。 - （２） 前記ＬａＣｒＯ＿３薄膜は、絶縁基板上に被着
形成されることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記
載のサーミスタ。 - （３） 前記ＬａＣｒＯ＿３薄膜は、前記絶縁基板上に
被着形成された少なくとも一対の電極に導通接続させた
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項に記載のサーミ
スタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP297185A JPS61161701A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | サ−ミスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP297185A JPS61161701A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | サ−ミスタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61161701A true JPS61161701A (ja) | 1986-07-22 |
Family
ID=11544255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP297185A Pending JPS61161701A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | サ−ミスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61161701A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5610111A (en) * | 1993-11-25 | 1997-03-11 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic composition for thermistor |
| EP0974983A1 (de) * | 1998-07-21 | 2000-01-26 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Thermistor |
| JP2009057273A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-03-19 | Mitsubishi Materials Corp | サーミスタ用金属酸化物焼結体、サーミスタ素子及びサーミスタ温度センサ並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
-
1985
- 1985-01-10 JP JP297185A patent/JPS61161701A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5610111A (en) * | 1993-11-25 | 1997-03-11 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Ceramic composition for thermistor |
| EP0974983A1 (de) * | 1998-07-21 | 2000-01-26 | Heraeus Electro-Nite International N.V. | Thermistor |
| JP2009057273A (ja) * | 2007-08-03 | 2009-03-19 | Mitsubishi Materials Corp | サーミスタ用金属酸化物焼結体、サーミスタ素子及びサーミスタ温度センサ並びにサーミスタ用金属酸化物焼結体の製造方法 |
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