JPS61159754A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPS61159754A JPS61159754A JP59280865A JP28086584A JPS61159754A JP S61159754 A JPS61159754 A JP S61159754A JP 59280865 A JP59280865 A JP 59280865A JP 28086584 A JP28086584 A JP 28086584A JP S61159754 A JPS61159754 A JP S61159754A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、無色もしくは淡色透明な硬化物を与え、しか
も素子よりの光散乱が樹脂全体に均一に広がる樹脂封止
型半導体ViWtに関する。
も素子よりの光散乱が樹脂全体に均一に広がる樹脂封止
型半導体ViWtに関する。
[発明の技術的背景とその問題点]
近年、種々の表示用等に実用化されている発光ダイオー
ド<LED)Wの発光装dは樹脂封止によって製造され
ている。ここに用いられる封止用の樹脂としては従来、
液状低粘度のエポキシ@脂等が用いられていた。
ド<LED)Wの発光装dは樹脂封止によって製造され
ている。ここに用いられる封止用の樹脂としては従来、
液状低粘度のエポキシ@脂等が用いられていた。
しかしながら、一般に用いられているエポキシ樹脂によ
る封止では素子よりの光が散乱せず、光が樹脂全体に均
一に広がらないという欠点を有していた。
る封止では素子よりの光が散乱せず、光が樹脂全体に均
一に広がらないという欠点を有していた。
この問題を解決する方法として、シリカ系充填剤を分散
剤として用いる方法が考えられているが、少量の添加で
エポキシ樹脂が増粘してしまうほか、分離しやすく、さ
らにその散乱性も不十分という問題があった。
剤として用いる方法が考えられているが、少量の添加で
エポキシ樹脂が増粘してしまうほか、分離しやすく、さ
らにその散乱性も不十分という問題があった。
[発明の目的]
発明者らは、上記の問題点を達成すべく鋭意研究を重ね
た結果、光散乱剤としてポリメチルシルセスキオキサン
を添加したエポキシ樹脂組成物を用いて半導体及び/又
は部品等を封止すれば透過率が良く光の散乱が均一な樹
脂1引止型半導体装置が得られることを見い出した。
た結果、光散乱剤としてポリメチルシルセスキオキサン
を添加したエポキシ樹脂組成物を用いて半導体及び/又
は部品等を封止すれば透過率が良く光の散乱が均一な樹
脂1引止型半導体装置が得られることを見い出した。
本発明はこれらの知見にもとずいてなされたもので透過
率および光の散乱性が良い性質を有する低粘度のエポキ
シtH1fly組酸物により半導体等を封止した樹脂封
止型半導体装置を促供することを目的としている。
率および光の散乱性が良い性質を有する低粘度のエポキ
シtH1fly組酸物により半導体等を封止した樹脂封
止型半導体装置を促供することを目的としている。
すなわち、本発明は
(A)エポキシ樹脂
<8)硬化剤
(C)硬化促進剤
(D)ポリメチルシルセスキオキサン
からなる透明な硬化物を与えるエポキシ樹脂組成物によ
って半導体及び/又は部品を封止してなることを特徴と
する樹脂封止型半導体装置に関する。
って半導体及び/又は部品を封止してなることを特徴と
する樹脂封止型半導体装置に関する。
本発明に用いる(A)のエポキシ樹脂は、透明なエポキ
シ樹脂硬化物を得る必要上、無色もしくは淡色透明な液
状もしくは固状のエポキシ樹脂を用いる。また、本発明
においては、公知のエポキシ樹脂のうちエポキシ当量が
1000以下のものを使用するととくに効果的である。
シ樹脂硬化物を得る必要上、無色もしくは淡色透明な液
状もしくは固状のエポキシ樹脂を用いる。また、本発明
においては、公知のエポキシ樹脂のうちエポキシ当量が
1000以下のものを使用するととくに効果的である。
このようなエポキシ樹脂としては、ビスフェノールAと
エピクロルヒドリンより得られるビスフェノールタイプ
のエポキシ樹脂、ヘキサハイドロフタル酸やテトラハイ
ドロフタル酸のジグリシジルエステル:ポリオルトクレ
ゾールホルムアルデヒドポリ(2,3−エポキシプロピ
ル)エーテル、ポリフェノールホルムアルデヒドポリ(
2,3−エポキシプロピル)エーテルなどのエポキシノ
ボラック;脂1式エポキシ樹脂などがあり、これらのエ
ポキシ樹脂の市販品としては、シェル化学社製の商品名
エポン827、エポン828、エポン834、エポン1
001、エポン1004:チバガイギー社製の商品名ア
ラルダイトCY183、CY182、CY175;ダウ
・ケミカル社製の商品名DEN431、DEN438、
チッソ■製の商品名チッソノックス221、チッソノッ
クス289;旭゛這化工業■製の商品名7デカレジンE
P−4080などが例示される。また本発明においては
、低い応力で耐熱性を有し、かつ低粘度のエポキシ樹脂
としてビスフェノールF型エポキシ樹脂が好ましい。こ
のビスフェノールF型エポキシ樹脂の市販品としては、
エピコート807(シェル化学社製商品名)、YDF−
170(東部化成社製商品名)、R114(三井エポキ
シ社製商品名)が例示される。
エピクロルヒドリンより得られるビスフェノールタイプ
のエポキシ樹脂、ヘキサハイドロフタル酸やテトラハイ
ドロフタル酸のジグリシジルエステル:ポリオルトクレ
ゾールホルムアルデヒドポリ(2,3−エポキシプロピ
ル)エーテル、ポリフェノールホルムアルデヒドポリ(
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ボラック;脂1式エポキシ樹脂などがあり、これらのエ
ポキシ樹脂の市販品としては、シェル化学社製の商品名
エポン827、エポン828、エポン834、エポン1
001、エポン1004:チバガイギー社製の商品名ア
ラルダイトCY183、CY182、CY175;ダウ
・ケミカル社製の商品名DEN431、DEN438、
チッソ■製の商品名チッソノックス221、チッソノッ
クス289;旭゛這化工業■製の商品名7デカレジンE
P−4080などが例示される。また本発明においては
、低い応力で耐熱性を有し、かつ低粘度のエポキシ樹脂
としてビスフェノールF型エポキシ樹脂が好ましい。こ
のビスフェノールF型エポキシ樹脂の市販品としては、
エピコート807(シェル化学社製商品名)、YDF−
170(東部化成社製商品名)、R114(三井エポキ
シ社製商品名)が例示される。
これらのエポキシプロピルは、1種類を単独に用いても
、2種類以上をブレンドして用いてもよい。
、2種類以上をブレンドして用いてもよい。
(8)は(A)のエポキシ樹脂の硬化剤で、多塩基性カ
ルボン酸無水物の1種もしくは2種以上を混合して使用
する。このような硬化剤としては、無水フタル酸、無水
テトラヒドロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無
水3,6エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水コ
ハク酸、無水アジピン酸、無水マイレン酸、無水アゼラ
イン酸、ピロメリット酸二無水物などが例示される。
ルボン酸無水物の1種もしくは2種以上を混合して使用
する。このような硬化剤としては、無水フタル酸、無水
テトラヒドロフタル酸、無水へキサヒドロフタル酸、無
水3,6エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水コ
ハク酸、無水アジピン酸、無水マイレン酸、無水アゼラ
イン酸、ピロメリット酸二無水物などが例示される。
また、これらの硬化剤は、十分に精製された着色の少な
いものを使用することが望ましく、その配合量は好まし
くは(A)のエポキシ樹脂1当量に対して0.5〜1.
2当出に相当する(至)である。
いものを使用することが望ましく、その配合量は好まし
くは(A)のエポキシ樹脂1当量に対して0.5〜1.
2当出に相当する(至)である。
本発明で使用される(C)の硬化促進剤としては、第3
級アミン類、イミダゾール類、カルボン酸金属塩、第4
級アンモニウム塩、第4級リン酸塩、ジアザビシクロア
ルケン類およびその塩類があげられる。これらの化合物
として、ベンジルジメチルアミン、2.4.6−トリス
(ジメチルアミノメチル)フェノール、2−エチル−4
−メチルイミダゾール、トリアミルアンモニウムフェノ
ラート、ナトリウムヘキサントリオラードなどが例示さ
れる。
級アミン類、イミダゾール類、カルボン酸金属塩、第4
級アンモニウム塩、第4級リン酸塩、ジアザビシクロア
ルケン類およびその塩類があげられる。これらの化合物
として、ベンジルジメチルアミン、2.4.6−トリス
(ジメチルアミノメチル)フェノール、2−エチル−4
−メチルイミダゾール、トリアミルアンモニウムフェノ
ラート、ナトリウムヘキサントリオラードなどが例示さ
れる。
これらの硬化促進剤の添加日は、好ましくは(2)(A
)のエポキシ樹脂と(B)の硬化剤の合計量100重量
部に対して、0.05〜10重量部である。
)のエポキシ樹脂と(B)の硬化剤の合計量100重量
部に対して、0.05〜10重量部である。
本発明において使用される(D)のポリメチルシルセス
キオキサンは、発光素子よりの光を樹脂全体に広がるよ
う散乱させるものであり、本発明の最も特徴をなすもの
である。
キオキサンは、発光素子よりの光を樹脂全体に広がるよ
う散乱させるものであり、本発明の最も特徴をなすもの
である。
この粉体は、粉砕石英やけいそう土のような類似の平均
粒子径をもつ他のシリカ系の粉末に比べて組成物にした
場合の比重が低く、また煙霧質シリカや湿式シリカと比
較して組成物にした場合の粘度の増加が少ない。また、
いずれの場合も長期保存における沈降の問題はその他の
粉末と比較して著しく少ない。そのため多迅に充填する
ことができる。ポリメチルシルセスキオキサンとしては
、メチルトリアルコキシシランまたはその加水分解・縮
合物をアンモニアまたはアミン類の水溶液中で加水分解
・縮合させて得られたものが塩素原子、アルカリ土類金
属、アルカリ金属などの不純物がほとんどなく、また球
状で自由流動性にすぐれており好ましい。ポリメチルシ
ルセスキオキサンの平均粒子径は0.1〜100μm、
好ましくは0.1〜20μmである。0.1μm未満の
ものは製造しにくく、また 100μmを超えると樹脂
に均一に分散せず均一な発光が不可能となる。また、配
合量は(2)(A) 100重i部に対して0.1〜
50重口部が好ましい、0.1重量部未満では均一な発
光が得にくく、50重量部を超えると光の透過率が悪く
なる場合があるからである。
粒子径をもつ他のシリカ系の粉末に比べて組成物にした
場合の比重が低く、また煙霧質シリカや湿式シリカと比
較して組成物にした場合の粘度の増加が少ない。また、
いずれの場合も長期保存における沈降の問題はその他の
粉末と比較して著しく少ない。そのため多迅に充填する
ことができる。ポリメチルシルセスキオキサンとしては
、メチルトリアルコキシシランまたはその加水分解・縮
合物をアンモニアまたはアミン類の水溶液中で加水分解
・縮合させて得られたものが塩素原子、アルカリ土類金
属、アルカリ金属などの不純物がほとんどなく、また球
状で自由流動性にすぐれており好ましい。ポリメチルシ
ルセスキオキサンの平均粒子径は0.1〜100μm、
好ましくは0.1〜20μmである。0.1μm未満の
ものは製造しにくく、また 100μmを超えると樹脂
に均一に分散せず均一な発光が不可能となる。また、配
合量は(2)(A) 100重i部に対して0.1〜
50重口部が好ましい、0.1重量部未満では均一な発
光が得にくく、50重量部を超えると光の透過率が悪く
なる場合があるからである。
また本発明のエポキシ樹脂組成物には上記成分の他に必
要に応じて酸化防止剤、染料等の添加剤を加えることが
できる。
要に応じて酸化防止剤、染料等の添加剤を加えることが
できる。
こうして得たエポキシ樹脂組成物で発光素子・受光素子
及び/又は部品等を封止する方法(,1次のようにして
行う。例えば第1図(a )に示すごとく離型剤を塗布
した発光ダイオード用プラスチック型1にエポキシ樹脂
組成物2を注入し、ガリウムーヒ素−リン(Ga −A
s−P)発光色黄色のチップ3なマウントしたフレーム
4を固定用治具5を用いて取り付け、140℃の温度で
16時間加熱硬化させる。こうして封止された発光ダイ
オードを固定用治具5より取りはずして、エポキシ樹脂
組成物で封止された発光装置6を得ることができる。型
1より取りはずした樹脂封止型半導体装置を第1図(b
)に示した。
及び/又は部品等を封止する方法(,1次のようにして
行う。例えば第1図(a )に示すごとく離型剤を塗布
した発光ダイオード用プラスチック型1にエポキシ樹脂
組成物2を注入し、ガリウムーヒ素−リン(Ga −A
s−P)発光色黄色のチップ3なマウントしたフレーム
4を固定用治具5を用いて取り付け、140℃の温度で
16時間加熱硬化させる。こうして封止された発光ダイ
オードを固定用治具5より取りはずして、エポキシ樹脂
組成物で封止された発光装置6を得ることができる。型
1より取りはずした樹脂封止型半導体装置を第1図(b
)に示した。
[発明の実施例]
次に本発明を実施例および参考例により説明するが、本
発明はこれらにより限定されるもので【まない。なお実
施例および参考例中、部はすべて重口部を示す。
発明はこれらにより限定されるもので【まない。なお実
施例および参考例中、部はすべて重口部を示す。
参考例1(ポリメチルシルセスキオキサンの生成)温度
計、還流器および撹拌機のついた4つロフラスコに、水
500部と28%の濃度のアンモニア水溶液50部とを
仕込み、このアンモニア水溶液中に、第1表に示すメチ
ルトリメトキシシラン200部を撹拌しながら約40分
かけて徐々に滴下した。反応温度は10℃からスタート
し、滴下終了時には30℃に遅した。次にマントルヒー
ターで加熱して84℃で還流ざVlこの温度で約1時間
撹拌を続けた。
計、還流器および撹拌機のついた4つロフラスコに、水
500部と28%の濃度のアンモニア水溶液50部とを
仕込み、このアンモニア水溶液中に、第1表に示すメチ
ルトリメトキシシラン200部を撹拌しながら約40分
かけて徐々に滴下した。反応温度は10℃からスタート
し、滴下終了時には30℃に遅した。次にマントルヒー
ターで加熱して84℃で還流ざVlこの温度で約1時間
撹拌を続けた。
冷却後フラスコ内に析出した生成物を循環し、水洗して
乾燥侵粉砕工程を経て、第1表に示す自由流動性に優れ
た粉末状のポリメチルシルセスキオキサン(F−1〜F
−2)が得られた。
乾燥侵粉砕工程を経て、第1表に示す自由流動性に優れ
た粉末状のポリメチルシルセスキオキサン(F−1〜F
−2)が得られた。
(以下余白)
参考例2(ポリメチルシルセスキオキサンの生成)1重
i%の!!素原子を含むメチル89161925211
8部に水9部を添加し、80℃で約2vI間加熱してそ
の部分加水分解縮合物を得た。これをエチレンジアミン
の3重婚%水溶液500部中に滴下し、参考例1と同様
の条件下で加水分解・縮合させたところ、平均粒子径8
μ厘の粉末状のポリメチルシルセスキオキサン(F−3
)が得られた。
i%の!!素原子を含むメチル89161925211
8部に水9部を添加し、80℃で約2vI間加熱してそ
の部分加水分解縮合物を得た。これをエチレンジアミン
の3重婚%水溶液500部中に滴下し、参考例1と同様
の条件下で加水分解・縮合させたところ、平均粒子径8
μ厘の粉末状のポリメチルシルセスキオキサン(F−3
)が得られた。
実施例1
エポン807(シェル化学社製エポキシml商品名)
10011 、無水へキサヒトOフタル酸10001
VCAT 5A102[サンアボット社製1.8−ジ
アザピシクO(5,4,0)ウンデセン7の2エチルヘ
キサンFW塩] 2.0g、およびF−1のポリメチ
ルシルセスキオキサン1部を混合かく拌して均一に混合
しエポキシ樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を離
型剤を塗布した発光ダイオード用プラスチック型に注入
し、ガリウムーヒ素−リン(Ga −As−P)発光色
黄色のチップをマウントしたフレームを、冶具を用いて
取り付け、140℃で16時間加熱硬化して治具より取
りはずし1個1個切り離し、樹脂封止型発光¥Kliを
得た。
10011 、無水へキサヒトOフタル酸10001
VCAT 5A102[サンアボット社製1.8−ジ
アザピシクO(5,4,0)ウンデセン7の2エチルヘ
キサンFW塩] 2.0g、およびF−1のポリメチ
ルシルセスキオキサン1部を混合かく拌して均一に混合
しエポキシ樹脂組成物を得た。得られた樹脂組成物を離
型剤を塗布した発光ダイオード用プラスチック型に注入
し、ガリウムーヒ素−リン(Ga −As−P)発光色
黄色のチップをマウントしたフレームを、冶具を用いて
取り付け、140℃で16時間加熱硬化して治具より取
りはずし1個1個切り離し、樹脂封止型発光¥Kliを
得た。
実施例2〜7
第2表に示した樹脂組成物で実施例1と同様な方法でL
EDを封止して樹脂封止型発光装置を得た。
EDを封止して樹脂封止型発光装置を得た。
比較例1〜2
第2表に示した樹脂組成物で実施例1と同様な方法でL
EDを封止して樹脂封止型発光装置を得た。なお比較例
1は実施例1におけるポリメチルシルセスキオキサンを
含まぬ系、比較例2はポリメチルシルセスキオキサンの
代りに平均粒子径5μ−の湿式シリカを用いたものであ
る。
EDを封止して樹脂封止型発光装置を得た。なお比較例
1は実施例1におけるポリメチルシルセスキオキサンを
含まぬ系、比較例2はポリメチルシルセスキオキサンの
代りに平均粒子径5μ−の湿式シリカを用いたものであ
る。
次にこの装置の輝度の測定を専用8置を用いて行った。
次にそれぞれのLEDを、25■A、2.2■の条件で
空温で168時間通電後、再びそれぞれのLEDの輝度
を測定し、輝度の変化を調べた。
空温で168時間通電後、再びそれぞれのLEDの輝度
を測定し、輝度の変化を調べた。
測定は20個のLEDで行い、輝度の残存率の平均をそ
の時間の輝度の残存率とした。
の時間の輝度の残存率とした。
また、光源として、出力2Kwの高圧水銀ラン12本を
使用し、光源との距離が10cmのところで照射を行い
、光の散乱性の有無をvA察した。
使用し、光源との距離が10cmのところで照射を行い
、光の散乱性の有無をvA察した。
ざらに、実施例1〜7および比較例2の組成物を500
m lのがラスピンに入れ、1力月間静置してフィラー
の沈降の有無を112寮した。
m lのがラスピンに入れ、1力月間静置してフィラー
の沈降の有無を112寮した。
その結果を第2表に示す。
(以下余白)
第2表から明らかなように本発明のエポキシ樹脂組成物
を用いた樹脂封止型半導体装置は均一な光散乱性を有し
た素子であることが確認された。
を用いた樹脂封止型半導体装置は均一な光散乱性を有し
た素子であることが確認された。
[発明の効果]
以上説明したようにエポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤
およびポリメチルシルセスキオキサンからなるエポキシ
樹脂組成物で封止したことによって、光の散乱性の均一
な輝度効率がよく耐熱性に優れたb1脂封止型半導体装
置を得ることができた。
およびポリメチルシルセスキオキサンからなるエポキシ
樹脂組成物で封止したことによって、光の散乱性の均一
な輝度効率がよく耐熱性に優れたb1脂封止型半導体装
置を得ることができた。
第1図は、本発明の樹脂封止型半導体装置の注型時にお
ける断面図、第2図は樹脂封止後の半導体装置を示す。 1・・・・・・・・・・・・プラスチック型2・・・・
・・・・・・・・エポキシ樹脂組成物3・・・・・・・
・・・・・LEDチップ4・・・・・・・・・・・・フ
レーム 5・・・・・・・・・・・・固定用冶具6・・・・・・
・・・・・・樹脂封止型半導体装置代理人弁理士
須 山 佐 − 手 vc ?!l 正 硼 昭和60年 1月31日 Vg許庁長宮 殿 2、発明の名称 樹脂封止型半導体装置 3、?li正をする者 事件との関係・特許出願人 東京都港区六本木6丁目2番31号 東芝シリコーン株式会社 代表者 −木 利 夫 4、 代 理 人 〒 101東京都千代
田区神田多町2丁目1番地 5、補正命令の日付 −自
発 6、補正の対象 明l1iI言の発明の詳細な説明の欄 7、補正の内
容 (1)明細1第10頁5〜6行の「水soo部と28%
の濃度のアンモニア水溶液50部」を[第1表に示す層
の水と28%の濃度のアンモニア水溶液Jと補正する。 (2ン明細WI第10頁7行の「第1表に示すJを削除
する。 (3)明細書第11頁第1表におけるF−2の生成物の
含有塩素原子濃度の「1pp園以下」をr 0.1pp
■以下」と補正する。 (4)明細履第13頁下がら1行のr2KWJをr2k
WJと補正する。
ける断面図、第2図は樹脂封止後の半導体装置を示す。 1・・・・・・・・・・・・プラスチック型2・・・・
・・・・・・・・エポキシ樹脂組成物3・・・・・・・
・・・・・LEDチップ4・・・・・・・・・・・・フ
レーム 5・・・・・・・・・・・・固定用冶具6・・・・・・
・・・・・・樹脂封止型半導体装置代理人弁理士
須 山 佐 − 手 vc ?!l 正 硼 昭和60年 1月31日 Vg許庁長宮 殿 2、発明の名称 樹脂封止型半導体装置 3、?li正をする者 事件との関係・特許出願人 東京都港区六本木6丁目2番31号 東芝シリコーン株式会社 代表者 −木 利 夫 4、 代 理 人 〒 101東京都千代
田区神田多町2丁目1番地 5、補正命令の日付 −自
発 6、補正の対象 明l1iI言の発明の詳細な説明の欄 7、補正の内
容 (1)明細1第10頁5〜6行の「水soo部と28%
の濃度のアンモニア水溶液50部」を[第1表に示す層
の水と28%の濃度のアンモニア水溶液Jと補正する。 (2ン明細WI第10頁7行の「第1表に示すJを削除
する。 (3)明細書第11頁第1表におけるF−2の生成物の
含有塩素原子濃度の「1pp園以下」をr 0.1pp
■以下」と補正する。 (4)明細履第13頁下がら1行のr2KWJをr2k
WJと補正する。
Claims (8)
- (1)(A)エポキシ樹脂 (B)硬化剤 (C)硬化促進剤 (D)ポリメチルシルセスキオキサン から成る透明な硬化物を与えるエポキシ樹脂組成物によ
って半導体及び/又は部品を封止してなることを特徴と
する樹脂封止型半導体装置。 - (2)(A)のエポキシ樹脂が、ビスフェノールF型エ
ポキシ樹脂である特許請求の範囲第1項記載の半導体装
置。 - (3)(B)の硬化剤の量が(A)のエポキシ樹脂1当
量に対して0.5〜1.2当量に相当する量である特許
請求の範囲第1項記載の半導体装置。 - (4)(C)の硬化促進剤の量が(A)のエポキシ樹脂
と(B)の硬化剤の合計量100重量部に対して0.0
5〜10重量部である特許請求の範囲第1項記載の半導
体装置。 - (5)(D)のポリメチルシルセスキオキサンの量が(
A)のエポキシ樹脂100重量部に対して0.1〜50
重量部である特許請求の範囲第1項記載の半導体装置。 - (6)(D)が平均粒子径0.1〜100μmのポリメ
チルシルセスキオキサンである特許請求の範囲第1項な
いし第5項記載の半導体装置。 - (7)(D)がメチルトリアルコキシシランまたはその
加水分解・縮合物をアンモニアまたはアミン類の水溶液
中で加水分解・縮合させて得られたポリメチルシルセス
キオキサンである特許請求の範囲第1項、第5項ないし
第6項のいずれか1項記載の半導体装置。 - (8)(D)の平均粒子径が0.1〜20μmである特
許請求の範囲第1項、第5項、第6項ないし第7項のい
ずれか1項記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59280865A JPS61159754A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59280865A JPS61159754A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61159754A true JPS61159754A (ja) | 1986-07-19 |
JPH0315821B2 JPH0315821B2 (ja) | 1991-03-04 |
Family
ID=17631037
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59280865A Granted JPS61159754A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61159754A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61225253A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | Toray Silicone Co Ltd | 熱硬化性樹脂組成物 |
JPH01172801A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光透過性を有する光拡散板 |
JPH0770408A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-03-14 | Nitto Denko Corp | 半導体装置 |
JP2014152310A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Panasonic Corp | 液状エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4617163B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2011-01-19 | 三菱農機株式会社 | 歩行型耕耘機 |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP59280865A patent/JPS61159754A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61225253A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-07 | Toray Silicone Co Ltd | 熱硬化性樹脂組成物 |
JPH0511147B2 (ja) * | 1985-03-29 | 1993-02-12 | Dow Corning Toray Silicone | |
JPH01172801A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 光透過性を有する光拡散板 |
JPH0516002B2 (ja) * | 1987-12-28 | 1993-03-03 | Asahi Chemical Ind | |
JPH0770408A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-03-14 | Nitto Denko Corp | 半導体装置 |
JP2014152310A (ja) * | 2013-02-13 | 2014-08-25 | Panasonic Corp | 液状エポキシ樹脂組成物とそれを用いた半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0315821B2 (ja) | 1991-03-04 |
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