JPS61158622A - 透明導電膜の製造方法及びその装置 - Google Patents

透明導電膜の製造方法及びその装置

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JPS61158622A
JPS61158622A JP27766884A JP27766884A JPS61158622A JP S61158622 A JPS61158622 A JP S61158622A JP 27766884 A JP27766884 A JP 27766884A JP 27766884 A JP27766884 A JP 27766884A JP S61158622 A JPS61158622 A JP S61158622A
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新三 高田
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4851672B2 (ja) * 1999-12-03 2012-01-11 ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム 改良されたスパッタリングターゲット及びその製法並びに使用
JP2015120980A (ja) * 2012-06-29 2015-07-02 株式会社半導体エネルギー研究所 酸化膜の作製方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4851672B2 (ja) * 1999-12-03 2012-01-11 ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム 改良されたスパッタリングターゲット及びその製法並びに使用
JP2015120980A (ja) * 2012-06-29 2015-07-02 株式会社半導体エネルギー研究所 酸化膜の作製方法

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