JPS61158622A - 透明導電膜の製造方法及びその装置 - Google Patents
透明導電膜の製造方法及びその装置Info
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- JPS61158622A JPS61158622A JP27766884A JP27766884A JPS61158622A JP S61158622 A JPS61158622 A JP S61158622A JP 27766884 A JP27766884 A JP 27766884A JP 27766884 A JP27766884 A JP 27766884A JP S61158622 A JPS61158622 A JP S61158622A
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- Liquid Crystal (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27766884A JPS61158622A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 透明導電膜の製造方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27766884A JPS61158622A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 透明導電膜の製造方法及びその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61158622A true JPS61158622A (ja) | 1986-07-18 |
JPH0350367B2 JPH0350367B2 (de) | 1991-08-01 |
Family
ID=17586632
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27766884A Granted JPS61158622A (ja) | 1984-12-29 | 1984-12-29 | 透明導電膜の製造方法及びその装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61158622A (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4851672B2 (ja) * | 1999-12-03 | 2012-01-11 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 改良されたスパッタリングターゲット及びその製法並びに使用 |
JP2015120980A (ja) * | 2012-06-29 | 2015-07-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化膜の作製方法 |
-
1984
- 1984-12-29 JP JP27766884A patent/JPS61158622A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4851672B2 (ja) * | 1999-12-03 | 2012-01-11 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 改良されたスパッタリングターゲット及びその製法並びに使用 |
JP2015120980A (ja) * | 2012-06-29 | 2015-07-02 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化膜の作製方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0350367B2 (de) | 1991-08-01 |
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