JPS61156782A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61156782A JPS61156782A JP27442984A JP27442984A JPS61156782A JP S61156782 A JPS61156782 A JP S61156782A JP 27442984 A JP27442984 A JP 27442984A JP 27442984 A JP27442984 A JP 27442984A JP S61156782 A JPS61156782 A JP S61156782A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- gas
- blower
- laser
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はガスレーザ発振器に関し、特に冷却源［ｆｆ
動に対する出力安定化装置に関するものである。
動に対する出力安定化装置に関するものである。
従来、この１ｍの装置として第５図に示すものがあった
。図中、（１）はレーザガスを放電励起しレーザ発振動
作させる放電部、（２）Ｆｉレーザガヌを放電部（１）
へ閉ループで循環させるブロア、（５ａ）、 （３ｂ）
は放電部（１）やブロア（２）で温度上昇したガスを冷
却する冷却器、（４）は冷却器へ冷媒上供給するポンプ
、（５ンは冷媒を冷却する冷却装置で、レーザガスＫ例
えばＣＯ，ｔ−用いる炭酸ガスレーザの場合、ＣＯｘ−
Ｎ、、Ｈｅの混合ガスを約５０〜１００ Ｔｏｒｒの圧
力下に放電部（１）に２００ｍ／ｓの流速で流通させる
。放電部（１）にて入力された電気エネルギーの内レー
ザ光とならなかった部分はほとんどガスの温度上昇とな
シガス冷却器（３ｂ）へ２００℃で流入する。冷却器（
６ｂ）で５０℃に冷却されたガスはブロア（２）にて圧
縮され８０℃にて冷却器（６ａ）へ流入し、再度冷却さ
れ、約２０°Ｃにて放電部（１）へ再循環する。
。図中、（１）はレーザガスを放電励起しレーザ発振動
作させる放電部、（２）Ｆｉレーザガヌを放電部（１）
へ閉ループで循環させるブロア、（５ａ）、 （３ｂ）
は放電部（１）やブロア（２）で温度上昇したガスを冷
却する冷却器、（４）は冷却器へ冷媒上供給するポンプ
、（５ンは冷媒を冷却する冷却装置で、レーザガスＫ例
えばＣＯ，ｔ−用いる炭酸ガスレーザの場合、ＣＯｘ−
Ｎ、、Ｈｅの混合ガスを約５０〜１００ Ｔｏｒｒの圧
力下に放電部（１）に２００ｍ／ｓの流速で流通させる
。放電部（１）にて入力された電気エネルギーの内レー
ザ光とならなかった部分はほとんどガスの温度上昇とな
シガス冷却器（３ｂ）へ２００℃で流入する。冷却器（
６ｂ）で５０℃に冷却されたガスはブロア（２）にて圧
縮され８０℃にて冷却器（６ａ）へ流入し、再度冷却さ
れ、約２０°Ｃにて放電部（１）へ再循環する。
冷却器（３ａ ）＊ （３ｂ ） ヘは冷却器！（５）
よりボンプ（４）により約１０℃冷媒が供給され、冷却
器内で高温ガスと熱交換を行うよう動作する。
よりボンプ（４）により約１０℃冷媒が供給され、冷却
器内で高温ガスと熱交換を行うよう動作する。
レーザ入出力とガス温度の関係は第２図に示すごとく放
電部（１）へのガス入口温度Ｔが１５℃の場合と４５℃
の場合で定格入力Ｗ ｄ 、Ｑ時、定格出力Ｗｒ１が約
２０〜６０％変化する。
電部（１）へのガス入口温度Ｔが１５℃の場合と４５℃
の場合で定格入力Ｗ ｄ 、Ｑ時、定格出力Ｗｒ１が約
２０〜６０％変化する。
従来の装置は以上のように構成されているので、レーザ
の入出力特性の再現性及び出力の安定性を保証するため
放電部へのガス流入温度を延いては冷媒の温度を＋１°
以下に制御する必要があり、冷凍機等を用いても制御回
路が複雑であシ、又、低温冷却では断熱、結露冷却動力
の損失、過度応答（熱パランヌの立上シ）が遅い等々の
問題点があった。
の入出力特性の再現性及び出力の安定性を保証するため
放電部へのガス流入温度を延いては冷媒の温度を＋１°
以下に制御する必要があり、冷凍機等を用いても制御回
路が複雑であシ、又、低温冷却では断熱、結露冷却動力
の損失、過度応答（熱パランヌの立上シ）が遅い等々の
問題点があった。
この発８Ａは上記のような問題点を幣消するためなされ
たもので、冷媒の温度制御をすることなく、容易にレー
ザ発振器の入出力特性の＄現性及び出力の安定性を向上
させることができる装置を得ることを目的としている。
たもので、冷媒の温度制御をすることなく、容易にレー
ザ発振器の入出力特性の＄現性及び出力の安定性を向上
させることができる装置を得ることを目的としている。
この発明は放電部へのガス流入温度を検出すると共にブ
ロアの回転数を上記信号により制御したものである。あ
るいは放電部へのガス流入温度ケ決めるガス冷却器の冷
媒温度を検出信号とし、もしくはガス冷却が直接又は間
接的に外気により行なわれる構造を有する場合は外気温
度を検出器、号とし、これによりブロアの回転数延いて
は放電部へのガス流入Ｓを制御したものである。
ロアの回転数を上記信号により制御したものである。あ
るいは放電部へのガス流入温度ケ決めるガス冷却器の冷
媒温度を検出信号とし、もしくはガス冷却が直接又は間
接的に外気により行なわれる構造を有する場合は外気温
度を検出器、号とし、これによりブロアの回転数延いて
は放電部へのガス流入Ｓを制御したものである。
この発明においては、ガス流入温度を一定にするのでは
なく、ガス流入温度に応じてガス流知を変化させレーザ
入出力特性を一定にする。
なく、ガス流入温度に応じてガス流知を変化させレーザ
入出力特性を一定にする。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。図中
（１）〜（４）は第５図と同一部分を示す。（６）は冷
媒を外気によりフアン（７）にて冷却するか・熱器、（
８）はレーザガスの放電部（１）への流入温度を検出す
る温度検出器、（９）は調節計、αＯ１はインバータで
、冷媒は放熱器（６）にて外気により５〜６５゛Ｃの温
度範囲で冷却されると実質的に冷媒温度１１１０〜４０
℃の変化を示し、ガス冷却器（３ａ）、 （３ｂ）で冷
却されたレーザガスは放電部＋１１への流入温度が１５
〜４５℃の温度範囲で変化する。
（１）〜（４）は第５図と同一部分を示す。（６）は冷
媒を外気によりフアン（７）にて冷却するか・熱器、（
８）はレーザガスの放電部（１）への流入温度を検出す
る温度検出器、（９）は調節計、αＯ１はインバータで
、冷媒は放熱器（６）にて外気により５〜６５゛Ｃの温
度範囲で冷却されると実質的に冷媒温度１１１０〜４０
℃の変化を示し、ガス冷却器（３ａ）、 （３ｂ）で冷
却されたレーザガスは放電部＋１１への流入温度が１５
〜４５℃の温度範囲で変化する。
温度検出器（８）の信号を比例調節計（９りを介しイン
バータ（ＩＩの入力としブロア（２）の枢動モータを回
転数制御すると、第２図に示すレーザ入出力特性はフロ
ア回転数’ｓ”６０Ｈｚで一定の場合は前述に示したよ
うに、ガス入口温度Ｔ＝１５℃と４５℃で定格点にて出
力に２０〜３０％程の変化が生ずるが、Ｔ＝４５℃でも
ｆＢ＝７０Ｈｚとすると、Ｔ；１５℃ｅｆＢ＝６０Ｈｚ
と同様な入出゛力特性が得られる。このため、外気温が
５〜３５℃と変化すｉくともないレーザガスの放電部入
口温度が１５〜４５℃と変化しても、ルーツブロアの回
転数ｆ、！６０〜７０ｆｌｚの範囲で上記温度に対応し
て制御すれは、入出力特性は土５％の範囲で再現できる
ことが判明した。
バータ（ＩＩの入力としブロア（２）の枢動モータを回
転数制御すると、第２図に示すレーザ入出力特性はフロ
ア回転数’ｓ”６０Ｈｚで一定の場合は前述に示したよ
うに、ガス入口温度Ｔ＝１５℃と４５℃で定格点にて出
力に２０〜３０％程の変化が生ずるが、Ｔ＝４５℃でも
ｆＢ＝７０Ｈｚとすると、Ｔ；１５℃ｅｆＢ＝６０Ｈｚ
と同様な入出゛力特性が得られる。このため、外気温が
５〜３５℃と変化すｉくともないレーザガスの放電部入
口温度が１５〜４５℃と変化しても、ルーツブロアの回
転数ｆ、！６０〜７０ｆｌｚの範囲で上記温度に対応し
て制御すれは、入出力特性は土５％の範囲で再現できる
ことが判明した。
この場合、直線近似で出力信号を出し制御する比例調節
計を使用しているが、ガス温度に対するレーザ出力の変
化が比例関係にないときケ最適化を計るために非線型系
演シー回路を調節計に内蔵させても良い。
計を使用しているが、ガス温度に対するレーザ出力の変
化が比例関係にないときケ最適化を計るために非線型系
演シー回路を調節計に内蔵させても良い。
外気温度変化は系の応答に対しいちじるしくかんまんな
ため過渡応答に対しても十分良好な結果であった。
ため過渡応答に対しても十分良好な結果であった。
なお、上記実施例ではガス流入温度を直接検出している
が、第３図に示すよう゛にガス冷却器（３ａ）、Ｃ５ｂ
）へ入る冷却媒体の温度から間接的にガス流入温度全検
出する様構成してもよい。
が、第３図に示すよう゛にガス冷却器（３ａ）、Ｃ５ｂ
）へ入る冷却媒体の温度から間接的にガス流入温度全検
出する様構成してもよい。
さらに、第４図に示す如く、ガスを直接外気により冷却
する熱交換器Ｑｖｔ−設は外気温を検出して、間接的に
ガス流入温度を検出し、この信号によりブロア（２）の
回転数を制御するよう構成しても上記実施例と同様の効
果を奏する。
する熱交換器Ｑｖｔ−設は外気温を検出して、間接的に
ガス流入温度を検出し、この信号によりブロア（２）の
回転数を制御するよう構成しても上記実施例と同様の効
果を奏する。
この第４図に示す実施例では、下記の点でも有利である
（１）冷凍接金必要としない（［労費軽減）、従って安
価。
価。
（２１Ｍ露防止対策（断熱）が不用。
（３）常温のため熱バランスが早く装置の立上り時間が
短い。
短い。
なお、上記実施において、冷媒温度は外気温度より約０
〜５°０高く、ガス流入温度は冷媒温度より約Ｄ〜５℃
高い。
〜５°０高く、ガス流入温度は冷媒温度より約Ｄ〜５℃
高い。
以上のようにこの発明によれば、放電部へのガス流入温
度、つ″１シガヌ冷却器を通じた後の温度を検出し、こ
の信号によりブロアの回転数を制御するようにしたから
、制御性が良好で、性能の安定したレーザ発振器か安価
に得られる効果がある。
度、つ″１シガヌ冷却器を通じた後の温度を検出し、こ
の信号によりブロアの回転数を制御するようにしたから
、制御性が良好で、性能の安定したレーザ発振器か安価
に得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示す系統図、第２図はレ
ーザ発振器のガス温度、ブロア回転数に関する入出力特
性を示すグラフ、第３図はこの発明の他の実施例を示す
系統図、第４図はこの発明の更に他の実施例を示す系統
図、第５図は従来のレーザ発振器を示す系統図である。 図中、（１）は放電部、（２）はブロア、（３ａ）、
（３ｂ）は冷却器、（４）はポンプ、（６）は放熱器、
（７）はファン、（８）ｔ［［検出器、（９１Ｕ Ｆ
筒針、ａ（Ｊｔｄイアバータテある。 なお、図中、同一符号は夫々同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第１図 第２図 し 第３図 嘗
ーザ発振器のガス温度、ブロア回転数に関する入出力特
性を示すグラフ、第３図はこの発明の他の実施例を示す
系統図、第４図はこの発明の更に他の実施例を示す系統
図、第５図は従来のレーザ発振器を示す系統図である。 図中、（１）は放電部、（２）はブロア、（３ａ）、
（３ｂ）は冷却器、（４）はポンプ、（６）は放熱器、
（７）はファン、（８）ｔ［［検出器、（９１Ｕ Ｆ
筒針、ａ（Ｊｔｄイアバータテある。 なお、図中、同一符号は夫々同−又は相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗第１図 第２図 し 第３図 嘗
Claims (3)
- （１）放電によりレーザ媒質ガスを励起しレーザ発振動
作を行ない、放電励起部より出たガスを冷却器を通じブ
ロアにより放電励起部へ再循環させる形式のものにおい
て、上記放電部へのガス流入温度を検出し、この信号に
より上記ブロアの回転数を制御することを特徴とするレ
ーザ発振器。 - （２）放電部へのガス流入温度を、ガス冷却器への冷却
媒体の温度により間接的に検出し、この信号により上記
ブロアの回転数を制御することを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載のレーザ発振器。 - （３）ガスの冷却が直接又は間接的に外気により行なわ
れる構造を有しており、放電部へのガス流入温度を、外
気温度により間接的に検出し、この信号により上記ブロ
アの回転数を制御することを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27442984A JPS61156782A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27442984A JPS61156782A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | レ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61156782A true JPS61156782A (ja) | 1986-07-16 |
Family
ID=17541548
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27442984A Pending JPS61156782A (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61156782A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003030313A1 (fr) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Émetteur de laser à gaz |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP27442984A patent/JPS61156782A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003030313A1 (fr) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Émetteur de laser à gaz |
| US7046705B2 (en) * | 2001-09-28 | 2006-05-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Gas laser transmitter |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5500615B2 (ja) | 冷凍機冷却水温度安定化による省エネルギー制御運転方法 | |
| JP2010266132A (ja) | インバータ冷却装置およびインバータ冷却方法ならびに冷凍機 | |
| JP2005090480A (ja) | 車両のエンジン冷却システム制御装置及び方法 | |
| CN104246397A (zh) | 一种用于控制排热型热交换器的一个或多个风扇的方法 | |
| JP2020136290A (ja) | 除湿機能を高めたレーザ発振器 | |
| EP0509844B1 (en) | Apparatus for cooling electronic equipment | |
| JPH0375424A (ja) | ヒートポンプシステム及びその運転方法 | |
| JP3758074B2 (ja) | 電子機器の冷却装置 | |
| JPS61156782A (ja) | レ−ザ発振器 | |
| JP2009058199A (ja) | 冷却装置 | |
| US6862895B2 (en) | Semiconductor cooling device and method of controlling same | |
| JP3284628B2 (ja) | 遠心分離機 | |
| JP2008525700A (ja) | 自動車エンジンの熱エネルギー制御システム | |
| JP4322040B2 (ja) | 燃料電池システムおよびその制御方法 | |
| JP3732893B2 (ja) | 吸収冷温水機の制御方法 | |
| JPS60105933A (ja) | 風洞試験設備の制御方法 | |
| JP2005259402A (ja) | 燃料電池システム、燃料電池システムの制御方法、及びそのコンピュータプログラム | |
| JP2005005040A (ja) | 燃料電池の冷却制御装置 | |
| JP2682629B2 (ja) | Ｌｓｉの冷却装置 | |
| KR0171307B1 (ko) | 흡수식 냉난방기의 비례 제어장치 | |
| JP3846247B2 (ja) | ガスレーザ発振装置 | |
| JP2006280074A (ja) | 空調・発電システム | |
| JPS61229383A (ja) | ガス流動形レ−ザ発振器 | |
| JPS5912269A (ja) | 冷凍装置 | |
| JP3317013B2 (ja) | 放電励起型ｃｏガスレーザ |