JPS61154787A - レ−ザ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明はレーザ加工装置に関し、特にレーザトリミング
等に用いられるレーザ加工光学装置に関する。

従来技術 レーザトリミング等に用いられるレーザ加工光学装置で
は、ガルバノメータを使用した２次元走査型のビームポ
ジショナを用いて加工用レーザ光を被加工体上へ照射す
ることによりレーザ加工が行われるようになっている。

このビームポジショナの位置制御部は、データ入力部と
、カウンタを有する自動位置決め機構部とからなってい
る。

か＼る従来のレーザ加工光学装置においては、レーザ光
を指定した位置へ移動させるために予めトリミング基板
（被加工体）から求めた各厚膜抵抗体のトリミングスタ
ート点を、コンピュータの入力部から逐次位置情報とし
て入力しなければならない。また、トリミング基板にお
ける厚膜抵抗体の印刷による位置ずれや、あるいは基板
そのものの仕上精度のバラツキによシ位置情報の修正は
不可避となっている。

従って、トリミング基板の品種を変えた場合、上記手作
業が必らず必要となシ、レーザトリミング装置の稼動時
間に対する当該手作業による準備時間の占める割合を短
縮できないという欠点がある。

本発明は上記した従来のものの欠点を除去すべくなされ
たものであって、その目的とするところは、被加俸の品
種交換時における手作業準備時間を短縮せしめるように
したレーザ加工装置を提供することにある。

本発明によるレーザ加工装置は、２次元走査型ビームポ
ジショナを用いてレーザ光を被加工体上へ照射してこの
被加工体にレーザ加工をなすようにしたレーザ加工装置
を対象とし、その特徴とするところは、ビームポジショ
ナに対して位置情報を発生する位置情報発生手段と、こ
の位置情報によってビームポジショナを駆動する駆動手
段と、ビームポジショナの目標位置情報を予め格納する
目標位置格納手段と、この目標位置情報と位置情報発生
手段の出力との差に応じた差情報を発生する比較手段と
、位置情報発生手段の入力へ、この差情報及び外部から
の指示情報のいずれかを択一的に供給する選択手段とを
有し、この選択手段によって外部から必要指示情報を順
次位置情報発生手段へ供給してこの位置情報発生手段の
発生する位置情報を別に設けた記憶手段へ夫々格納して
おき、しかる後にこの記憶手段の格納情報を順次目標位
置格納手段へ移し、切換手段を切換えて当該差情報を位
置情報発生手段へ供給するようにしたことにある。

以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の実施例の概略ブロック図であり、加工
用レーザ装置ｌからのレーザビームは、ビームポジショ
ナ２において２次元走査可能となっている。このビーム
ポジショナ２は２軸走査用ミラー２１及び２２を有して
おシ、このビームポジショナ２を経たレーザビームは集
光レンズ３を介してダイクロイックミラー４へ入射され
る。このダイクロイックミラー４によシ光軸変換されて
被加工体であるトリミング用印刷基板５へ照射される。

一方、ビームポジショナ２を制御すべく、コンピュータ
（データ処理装置）８及び制御部７が設けられており、
この両者の間でビームポジショナの位置を示す情報が互
いにデータとしてやりとりされる。制御部７から構成さ
れる装置情報によシ駆動部６が作動して、この位置情報
に応じてビームポジショナを駆動するようになっている
。

尚、図中の点線９で示すルートはオペレータが介在する
ルートであり、これについては後述する。

第２図は第１図の制御部７の具体例回路図であシ、ビー
ムポジショナの２軸制却のうち１方のみについて示すが
、他も全く同等構成となっているものとする。

７１はコンピュータ８からの目標位置データを一時格納
するラッチ回路であり、このラッチ出力Ａが比較回路７
２の１人力となっている。また、ビームポジショナの位
置情報を発１するだめのアップ・ダウンカウンタ７３が
設けられておシ、このカウンタ出力Ｂが比較回路７２の
油入力となると共に駆動部６への駆動入力データとなっ
ている。また、このカウンタ出力Ｂはデータ出力回路７
４を介してデータバスへ導出され、コンピュータ８にお
いて必要に応じて取り込まれてコンピュータ８内のメモ
リに記憶される。

カウンタ７３のクロック入力としてクロック信号例が用
いられる。このクロック信号はインバータ８７を介して
ＮＡＮＤゲート８８〜９１の各１人力となる。

ゲート８８と９０の出力がＮＯＲゲート９２の２人力と
なっておシ、このゲート９２の出力がカウンタ７３のア
ップカウント用クロック入力となる。ゲート８９と９１
の出力はＮＯＲゲート９３の２人力となり、このゲート
９３の出力がカウンタ７３のダウンカウント用クロック
入力となる。

比較回路７２による比較結果として、ＡくＢ及びＡ）Ｂ
及びＡ＝Ｂの各信号が得られるが、ＡくＢ信号及びＡ）
Ｂ信号は夫々ＮＡＮＤゲート７７及び７８の各１人力と
なっており、Ａ＝Ｂ信号はインバータ７５を介してゲー
ト７７及び７８の各他人力となっている。このゲート７
７及び７８の更に他人力には自動位置決め禁止指令信号
９８がインバータ７９を介して印加されている。Ａ＝Ｂ
信号のインバータ７５を経た信号はビームポジショナの
停止を確認するだめの信号であり、コンピュータへ送出
される。両ゲート７７及び７８の出力は夫々ゲート８９
及び８８の入力となっている。

一方、手動位置制御のために、レバースイッチ８０　、
８１が設けられており、プルアップ抵抗ＲＩ。

Ｒ２により高レベルにプルアップされているインバータ
８２　、８３の各入力を低レベルとするスイッチである
。このインバータ８２　、８３の両川力は夫々ＮＡＮＤ
ゲート８５　、８６の各１人力となっており、その他人
力には共に、手動位置制御禁止指令信号９７がインバー
タ８４を介して供給されている。

両ゲー１−８５　、８６の出力がゲート９０　、９１の
各１人力となっている。そして、各ゲート８８　、９０
の別の入力にはカウンタ７３のアップカウントの上限を
決めるリミット信号が印加され、また各ゲート８９　、
９１の別の入力にはカウンタ７３のダウンカウントの下
限を決めるリミット信号が印加されている。

通常の自動位置決め動作時には、手動位置制御禁止指令
信号９７は高レベルであり、よってゲート８５　、８６
は共にオフとなってレバースイッチ８０゜８１の動作は
禁止される。そして、自動位置決め禁止指令信号９８は
低レベルであり、ゲー）　７７　、７８は動作可能状態
に設定される。

この状態でビームポジショナの目標位置（座標）データ
がコンピュータからラッチ回路７１ヘラツチされる。ソ
シて、ビームポジショナの現在位置を示すカウンタ７３
の内容Ｂとラッチ内容Ａとが比較回路７２で比較され、
同一であればすなわちＡ＝Ｂであれば、ゲート８８　、
８９は共にオフとなってカウンタ７３へのクロック入力
は禁止されるので、ビームポジショナは駆動されず停止
したま＼である。

目標位置データが現在位置データより大であればすなわ
ちＡ）Ｂであれば、ゲート７８がオンとなってゲート８
８のみがオンとなる。よって、カラ／り７３へはアップ
カウントクロックが入力されてビームポジショナはＡ＝
Ｂとなるまで、すなわち目標位置に達するまで移動する
。逆ＫＡ＜Ｂであれば、ゲート７７がオンとなってゲー
ト８９のみがオンとなり、よってカウンタ７３はダウン
カウントする。ビームポジショナは同様にＡ＝Ｂとなる
まで移動することになる。

こうしてビームポジショナの自動位置決めが行われるの
である。よって、このカウンタ７３のクロック周波数の
選定によりビームポジショナの移動速度が決定されるこ
とになる。

次に、手動位置制御の場合には、信号９７が低レベルと
なり、信号９８が高レベルとなる。その結果、ゲート８
５　、８６がオンとなシ、ゲート７７　、７８はオフと
なる。いま、レバースイッチ８０ヲオペレータがオンと
すると、ゲート９０　、９２を介してクロックがカウン
タ７３のアップ入力となるので、カウンタ７３の内容は
増大してビームポジショナはそれにつれて座標を増大す
る方向に移動する。

レバースイッチ８１をオンとすると、ゲート９１９３を
介してクロックがカウンタ７３のダウン入力となるので
、カウンタ７３の内容が減じてビームポジショナはそれ
につれて座標を減少する方向に移動する。レバースイッ
チ８０　、８１によるカウンタ７３のアップ、ダウン動
作の終了時点で、その時のカウンタ７３の内容がデータ
出力回路７４によりコンピュータ８へ導出され、コンピ
ュータ内のメモリへ格納されるようになっている。

以下に、レーザトリミングをなす場合について説明する
。

先ず、信号９８を高レベル、信号９７を低レベルとして
自動位置決め動作を禁止せしめる。手動式レバースイッ
チ８０　、８１　Ｋよりビームポジショナの手動位置決
めが可能となる。トリミング基板５上の第１番目の厚膜
抵抗体のトリミングスタート点にビームポジショナを移
動させる。これは、オペレータがビームポジショナの位
置をモニタ装置（図示せず）にてモニタしつつ（第１図
の点線９のルート）レバースイッチ８０　、８１をオン
オフ操作することにより行われる。この第１番目のスタ
ート点への位置合せが終了すると、その時のカラ／り７
３の内容がデータ出力回路７４を介してコンピュータ８
へ送出され、そのコンピュータ内のメモリの所定番地へ
格納される。

以下、第２番目以降の抵抗体の各トリミングスタート点
についても同様な操作により、そのスタート点の位置情
報が夫々メモリの各対応番地へ格納されることになる。

しかる後に、信号９７を高レベル、信号９８を低レベル
トスると、ビームポジショナの手動位置制御が禁止され
て自動位置決め動作となる。すなわち、コンピュータ　
８内のメモリから第１番目の抵抗体のトリミングスター
ト点の位置データがラッチ回路７１へ取込まれて、　ビ
ームポジショナの現在位置データを示すカウンタ７３の
内容と比較される。この比較結果によりビームポジ／フ
ナが移動制御されて、先述した如くＡ−Ｂとなるように
動作する。以下、通常のレーザトリミングの方法により
トリミングが行われ、第２番目以降の抵抗体についても
同様になされることになる。

救主の如く、本発明によれば、トリミング基板上の抵抗
体の各トリミングスタート点を自動的にコンピュータに
読込み記憶させることが可能となるので、トリミング基
板の品種交換時における準備作業時間を大幅に短縮可能
となる。

尚、トリミング加工のみならず種々のレーザ加工に本装
置を適用し得るものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の概略構成図、第２図は第１図
における一部具体例を示す図である。 主要部分の符号の説明 １・・・加工用レーザ装置 ２・・・ビームポジショナ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ２次元走査型ビームポジシヨナを用いてレーザ光を被加
   工体上へ照射してこの被加工体にレーザ加工をなすよう
   にしたレーザ加工装置であつて、前記ビームポジシヨナ
   に対して位置情報を発生する位置情報発生手段と、この
   位置情報によつて前記ビームポジシヨナを駆動する駆動
   手段と、前記ビームポジシヨナの目標位置情報を予め格
   納する目標位置格納手段と、この目標位置情報と前記位
   置情報発生手段の出力との差に応じた差情報を発生する
   比較手段と、前記位置情報発生手段の入力ヘ、前記差情
   報及び外部からの指示情報のいずれかを択一的に供給す
   る選択手段とを有し、前記選択手段によつて外部から必
   要指示情報を順次前記位置情報発生手段へ供給してこの
   位置情報発生手段の発生する位置情報を別に設けた記憶
   手段へ夫々格納しておき、しかる後にこの記憶手段の格
   納情報を順次前記目標位置格納手段へ移し、前記切換手
   段を切換えて前記差情報を前記位置情報発生手段へ供給
   するようにしたことを特徴とするレーザ加工装置。