JPS61153515A - プロ−ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は形状測定装置等に使用されるプローブに関する
。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

３次元物体の形状を簡易に測定する装置としてプローブ
（一平面を有する接触子うを被測定物体の各面にそれぞ
れ当接させ、このプローブの基準位置に対する位置およ
びプローブの上記各面に対する当接方向から物体の各接
平面の方程式を各々求めてその形状を測定する装置が提
案されている。

しかしこの装置においては、上記プローブが被測定物体
の各面に正しく接しているか否かを知るのは非常に困難
であった。例えば第５図に示されるように、プローブｌ
の接触面が被測定物体（特に球面を有するもの）の真の
接平面１２に正しく接していないとき、つまり誤った平
面１１に接しているときはこれを検出するのが極めて困
難である。

そのため上述の形状測定装置においては、しばしば測定
値に勝差を生じるという欠点が有った。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、被測定物体の接平面に正しくプローブ
が接していることを検出する装置を提供することにある
。

〔発明の概要〕

本発明はプローブ本体の接触面の外周に設冒された可動
枠と、この可動枠の外枠平面とプローブ本体の接触面と
が同一平面上に有る状態を検出する検出器とをｆ＃λ、
上記プローブが被測定物に正しく接しているか否かを検
出するようにしたものである。

〔発明の効果〕

本発明によれば、被測定物の接平面にプローブが正しく
接しているか否かを知ることが容易となり、プローブが
被測定物の接平面に正しく接していないことによる測定
誤差をなくすことが可能となるので形状測定の際の実用
性が向上する◇〔発明の実施例〕 以下、本発明の一実施例につき図面を参照して説明する
。＠１図は本発明の一実施例によるプローブの断面図、
第２図はプローブの平面図であり、第１図は第２図のｌ
ｌ′紗に沿った断面図である。

接触面７を有するプローブ本体ｌの外周には外枠接触面
８を有する外枠２が設毘されている。つまりこの外枠接
触面８は円形の接触面７に外周する円壌吠の外枠面とな
っている。

外枠２は外枠おさえバネ３　（うす巻き状のバネ）を介
してバネおさえ４に連設しており、このバネおさえ４は
プローブの支柱９に固定されている。

つまり外枠２は外枠おさえバネ３によりプローブ本体１
を外枠２の凹部に嵌入させるように下方に押されている
。又、プローブ本体１の周囲面と外枠２の凹部の傾斜面
１０４とはほぼ同一のテーパ形状となっており、これら
が一様に隣接するようにプローブ本体ｌが外枠２の凹部
に嵌入される。

接触検出器５は図示されるように外枠２に取付けられて
おり、外枠２の凹部の底面をｐ通してプローブ本体ｌの
背面上の接点６にて接するようにネジ状の構成をしてい
る。そして第１図のように接触面７と外枠接触面８とが
同一平面上にある場合に丁度接触検出器５の先端がプロ
ーブ本体接点６に接するように位［１の可能なネジとな
っている。この接触検出器５は第２図の平面図に示され
るようにプローブ１の中心軸回りに対称的に３佃以上設
けられている。又この接触検出器５はその先端がプロー
ブ本体接点６に接した時に！気信号を図示しない制御部
へ出力し、離れた時には電気的導通を切断する（信号を
出力しない）動作を行なうものである。こうして接触検
出器５をプローブ本体１の接＠面７と外枠接触面８とが
同一平面（接触面７と外枠接触面８が同一平面を成さな
い場合）、接触検出器５の先端が接点６より離れて電気
信号が出力されないことになる。

第３図はこのプローブが被測定物の接平面に正しく接し
ている状態を示す図である。

外枠接平面（まプローブ本体の接平面と興る平面で被測
定物に接するため、外枠は第１図に示される定常の位１
頃より被測定物に接している方の側か上出器と本体接点
の間が離れ、電気、的導通が断たれるので図示しない制
御部ではプローブが接平面に正しく接していないことが
容易に分る。そこで制御部では、導通が断たれている側
と反対側の外枠を被測定物に近ずければプ四−ブを被測
定物の面に正しく接するようになることが分る。

第４図はプローブが被測定物の面に正しく接している状
態を示す図である。正常に接している時は外枠接平面と
プローブ本体の接平面とが同一平面上にあるため、接触
検出器と本体接点とはいずれも接しており　（例えば接
触検出器が３・個設けられた場合）電気信号が出力され
ることにより制御部では正しく接していることを知るこ
とが出来る。

以上述べた様に本発明によればプローブを被測定物体に
当接させる場合に正常に接しているが否かを容易に検出
することが可能となり、その検出結果に基いて上記プロ
ーブを所定の方向に移動させることにより正しく当接さ
せることが出来るのでその実用的利点は絶大である。

品−大器ｒｌｌＪｊ→　μ」−古　≠副　１．−　Ｋ日
　中古　も　ヱ　止　小字Ｉ４ない。例えば接峡検出器
の所、配置位桁はプローブの大きさ、材質等に応じて定
めれば良い。

又、外枠をプローブが嵌入されるように下方におさえる
のはうず巻きバネによる方法以外に板状バネ、磁石の反
発力、吸引力による方法でも可能である。更に接触検出
器として光センサ等を用いても良い。要するに本発明は
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
が出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は本発明の
一実廉例の平面図、第３図、第５図は被測定物の接平面
に正しく接していない場合を示す図、第４図は被測定物
の接平面に正しく接した場合を示す図である。 １・・・プローブ本体　２・・・外枠　３・・・外枠お
さえバネ４・・・バネおさえ　５・・・接触検出器　６
・・・プローブ本体接点　７・・・接触面　８・・・外
枠接触面　９・・・プローブ支柱　１０・・・傾斜面 代理人　弁理士　則　近　憲　佑（ほか１名）第１図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被検出物体と接触する接触面を有するプローブ本
   体と、このプローブ本体の接触面の外周部に設けられた
   外枠と、この外枠の前記被検出物体と接触する接触面が
   前期プローブ本体の接触面と同方向に位置するよう前記
   外枠を前記プローブ本体に弾性的に取着する手段と、前
   記プローブ本体を被検出物体と接触した際にプローブ本
   体の接触面と前記外枠の接触面とが同一平面上にあるか
   否かを検出する検出手段とを具備したことを特徴とする
   プローブ。
2. （２）検出手段は前記外枠に取着され前記プローブ本体
   の接触面と前記外枠接触面とが同一平面にある場合に接
   触され、同一平面に無い場合に非接触となる様に調整さ
   れるネジ状構造のものである特許請求の範囲第１項記載
   のプローブ。