JPS61149851U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61149851U JPS61149851U JP3453185U JP3453185U JPS61149851U JP S61149851 U JPS61149851 U JP S61149851U JP 3453185 U JP3453185 U JP 3453185U JP 3453185 U JP3453185 U JP 3453185U JP S61149851 U JPS61149851 U JP S61149851U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- semiconductor
- thin film
- glass thin
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図、第２図は第１図の組立工程説明図
、第３図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第４図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第５図は本考案の別の実施例の要部構成説明図、
第６図は本案の他の実施例の要部構成説明図、第
７図は本考案の別の実施例の要部構成説明図であ
る。 １…半導体基板、１１…導圧孔、２…ガラス薄
膜、３…半導体チツプ、３１…凹部、３２…ダイ
アフラム部、３３，３４，３５，３６，３７…欠
部、４…圧力検出素子。
の構成説明図、第２図は第１図の組立工程説明図
、第３図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第４図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第５図は本考案の別の実施例の要部構成説明図、
第６図は本案の他の実施例の要部構成説明図、第
７図は本考案の別の実施例の要部構成説明図であ
る。 １…半導体基板、１１…導圧孔、２…ガラス薄
膜、３…半導体チツプ、３１…凹部、３２…ダイ
アフラム部、３３，３４，３５，３６，３７…欠
部、４…圧力検出素子。
Claims (1)
- 一面側にガラス薄膜が設けられた半導体基板と
、該半導体基板に設けられた導圧孔と、前記ガラ
ス薄膜を介して前記半導体基板に陽極接合された
半導体チツプと、該半導体チツプに前記導圧孔に
対向して設けられダイアフラム部を形成する凹部
と、前記ダイアフラム部に設けられた圧力検出素
子とを具備する半導体圧力計において、前記半導
体基板と前記半導体チツプとの間に、陽極接合時
に、絶縁破壊が生じないように、前記ガラス薄膜
の外周縁部に接して前記半導体基板及びまたは前
記判導体チツプに欠部が設けられたことを特徴と
する半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3453185U JPS61149851U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3453185U JPS61149851U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149851U true JPS61149851U (ja) | 1986-09-16 |
Family
ID=30537989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3453185U Pending JPS61149851U (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149851U (ja) |
-
1985
- 1985-03-11 JP JP3453185U patent/JPS61149851U/ja active Pending
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