JPS61149807A - 光ビ−ムの位置検出装置 - Google Patents
光ビ−ムの位置検出装置Info
- Publication number
- JPS61149807A JPS61149807A JP27557384A JP27557384A JPS61149807A JP S61149807 A JPS61149807 A JP S61149807A JP 27557384 A JP27557384 A JP 27557384A JP 27557384 A JP27557384 A JP 27557384A JP S61149807 A JPS61149807 A JP S61149807A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- small hole
- deviation
- center
- optical path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、レーザビームや各種の光ビームを所定の位置
や対象物に向けて照射する場合などにビームの光路位置
を検出するために用いる装置であって、主として不可視
光ビームの位置検出に利用する場合に適した装置に関す
る。
や対象物に向けて照射する場合などにビームの光路位置
を検出するために用いる装置であって、主として不可視
光ビームの位置検出に利用する場合に適した装置に関す
る。
〈従来の技術〉
従来、炭酸ガス（Ｃｏｔ）レーザのような不可視光ビー
ムの光路位置検出には、感熱紙の発色を利用してモニタ
ーしているものがある。
ムの光路位置検出には、感熱紙の発色を利用してモニタ
ーしているものがある。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかし、感熱紙の発色点のモニターによる位置検出は精
度が低く、また検査時間が長引くほど発色範囲が拡がっ
て検出が困難になるものであり、連続的な検出はできな
いものであり、レーザビーム使用中の位置検出は非常に
煩わしいものであった。
度が低く、また検査時間が長引くほど発色範囲が拡がっ
て検出が困難になるものであり、連続的な検出はできな
いものであり、レーザビーム使用中の位置検出は非常に
煩わしいものであった。
本発明は、光ビームの光路位置を精度よく、かつ実運転
中でも所望タイミング、所望時間によって検出すること
が可能な光ビームの位置検出装置を提供しようとしたも
のである。
中でも所望タイミング、所望時間によって検出すること
が可能な光ビームの位置検出装置を提供しようとしたも
のである。
く問題点を解決するための手段〉
本発明による検出装置は、焦電性結晶基板の中心に光ビ
ーム通過用小孔を備え、前記焦電性結晶基板の一方の主
表面であって、前記小孔の周囲に複数の電極が放射状に
かつ電気的に分離されて形成されているとともに、各電
極上に熱吸収膜が形成されており、前記焦電性結晶基板
の他方の主表面には前記複数の電極にそれぞれ対向して
共通電極が形成されている構成とした。したがって、焦
電性結晶基板には小孔の周面に放射状の複数の焦電型検
出ユニットが配置された構成となる。
ーム通過用小孔を備え、前記焦電性結晶基板の一方の主
表面であって、前記小孔の周囲に複数の電極が放射状に
かつ電気的に分離されて形成されているとともに、各電
極上に熱吸収膜が形成されており、前記焦電性結晶基板
の他方の主表面には前記複数の電極にそれぞれ対向して
共通電極が形成されている構成とした。したがって、焦
電性結晶基板には小孔の周面に放射状の複数の焦電型検
出ユニットが配置された構成となる。
〈作用〉
光ビームの光路中に本検出装置を配置してチョッパで光
路を開閉すると、光ビームの細心が小孔の中心と合致し
ている状態では周囲の焦電型検出ユニットからの出力電
圧は全く同一となる。また、光ビームの軸心が小孔中心
からずれると焦電型検出ユニット群の出力電圧分布に偏
りが生じ、この偏り位相及び出力偏差の大きさから光ビ
ーム軸心の偏り方向と偏り具合とが判別出来る。この検
出装置に基づいて光ビームを小孔の中心に通すように光
路修正を行うことにより光ビームを所定位置に照射する
ことも可能となる。
路を開閉すると、光ビームの細心が小孔の中心と合致し
ている状態では周囲の焦電型検出ユニットからの出力電
圧は全く同一となる。また、光ビームの軸心が小孔中心
からずれると焦電型検出ユニット群の出力電圧分布に偏
りが生じ、この偏り位相及び出力偏差の大きさから光ビ
ーム軸心の偏り方向と偏り具合とが判別出来る。この検
出装置に基づいて光ビームを小孔の中心に通すように光
路修正を行うことにより光ビームを所定位置に照射する
ことも可能となる。
〈実施例〉
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。第１図ないし第２図は、本発明の実施例に係る検
出装置が示されている。この検出装置Ｓは、円板上の焦
電性結晶基板１の中心に直径が約１ｍｍ程度の小孔２を
設けるとともに、焦電性結晶基板ｌの一方の主表面の小
孔２の周囲に複数の電極３を環状に形成し、各電極３の
表面には黒化膜などの熱吸収膜４を形成し、焦電性結晶
基板ｌの他方の主表面には電極３にそれぞれ対向して共
通電極５を形成し、これにより小孔２の周囲に多数の焦
電型検出ユニット６を配備した構造となっている。
する。第１図ないし第２図は、本発明の実施例に係る検
出装置が示されている。この検出装置Ｓは、円板上の焦
電性結晶基板１の中心に直径が約１ｍｍ程度の小孔２を
設けるとともに、焦電性結晶基板ｌの一方の主表面の小
孔２の周囲に複数の電極３を環状に形成し、各電極３の
表面には黒化膜などの熱吸収膜４を形成し、焦電性結晶
基板ｌの他方の主表面には電極３にそれぞれ対向して共
通電極５を形成し、これにより小孔２の周囲に多数の焦
電型検出ユニット６を配備した構造となっている。
このような構成の検出装置Ｓを光ビームの光路中に対向
して設置する。このような設置においては、光ビームの
軸心が小孔２の中心Ｐと合致すると、各焦電型検出ユニ
ット６へのビーム照射分布が均一になり、各出力電圧も
均一となる。仮に、光ビームの細心が小孔中心Ｐから外
れると、焦電型検出ユニット６群からの出力分布に偏り
が生じるので、この偏りをなくすように光路を修正すれ
ば光ビームを小孔２を通して所定方向に照射することが
可能となる。 第３図にこの検出装置Ｓの使用例が示さ
れる。レーザ光発生装置７から発射されたレーザビーム
（例えばＣＯｔレーザビーム）Ｂｏはアクチュエータ８
により角度調節可能な第１ミラーＭ、を介してハーフミ
ラ−Ｍ、に導かれ、そしで反射した主ビームＢ、は所望
の対象位置に向けて照射される。また、ハーフミラ−Ｍ
、を通過した一部のビームＢ、はハーフミラ−Ｍ、と平
行に設置された第３ミラーＭ３で反射され、主ビームＢ
ｔと平行なレファレンス光として検出装置Ｓに導れる。
して設置する。このような設置においては、光ビームの
軸心が小孔２の中心Ｐと合致すると、各焦電型検出ユニ
ット６へのビーム照射分布が均一になり、各出力電圧も
均一となる。仮に、光ビームの細心が小孔中心Ｐから外
れると、焦電型検出ユニット６群からの出力分布に偏り
が生じるので、この偏りをなくすように光路を修正すれ
ば光ビームを小孔２を通して所定方向に照射することが
可能となる。 第３図にこの検出装置Ｓの使用例が示さ
れる。レーザ光発生装置７から発射されたレーザビーム
（例えばＣＯｔレーザビーム）Ｂｏはアクチュエータ８
により角度調節可能な第１ミラーＭ、を介してハーフミ
ラ−Ｍ、に導かれ、そしで反射した主ビームＢ、は所望
の対象位置に向けて照射される。また、ハーフミラ−Ｍ
、を通過した一部のビームＢ、はハーフミラ−Ｍ、と平
行に設置された第３ミラーＭ３で反射され、主ビームＢ
ｔと平行なレファレンス光として検出装置Ｓに導れる。
なお、レファレンス光ビームＢ、は回転チョッパ９によ
り適当な周波数でチョッピングされる。
り適当な周波数でチョッピングされる。
検出装置Ｓの各焦電型検出ユニット６からの出力信号は
装置増幅器ｌＯで増幅された後、比較演算回路１１に入
力され、ここで各出力の分布位相の偏りおよび出力偏差
が演算され、ビームＢ、の検出装置Ｓに対するずれが判
別され、これに基づいてミラー駆動回路１２が作動され
、第１ミラーＭ１の駆動用アクチュエータ８の作動に伴
なってビーム光路の修正がなされる。
装置増幅器ｌＯで増幅された後、比較演算回路１１に入
力され、ここで各出力の分布位相の偏りおよび出力偏差
が演算され、ビームＢ、の検出装置Ｓに対するずれが判
別され、これに基づいてミラー駆動回路１２が作動され
、第１ミラーＭ１の駆動用アクチュエータ８の作動に伴
なってビーム光路の修正がなされる。
このようなフィードバック制御系により、レファレンス
光ビームＢ、を検出装置Ｓの小孔中心Ｐに通すことによ
り主ビームＢｔの光路を実運転中に連続的に精度よく修
正することができる。
光ビームＢ、を検出装置Ｓの小孔中心Ｐに通すことによ
り主ビームＢｔの光路を実運転中に連続的に精度よく修
正することができる。
なお、本発明は不可視光ビームの位置検出に特に有効で
あるが、可視光ビームの光路位置検出にも適用すること
ができる。
あるが、可視光ビームの光路位置検出にも適用すること
ができる。
〈発明の効果〉
以上のように、本発明によれば、小孔中心に対するビー
ム軸心の偏りを焦電型検出ユニット群の出力分布から極
めて高い精度で検出することができ、しかもその検出は
光ビームを遮断することなく行なえるので、実運転中に
任意にかつ任意の時間に亙って検出することができる。
ム軸心の偏りを焦電型検出ユニット群の出力分布から極
めて高い精度で検出することができ、しかもその検出は
光ビームを遮断することなく行なえるので、実運転中に
任意にかつ任意の時間に亙って検出することができる。
したがって、実運転を中断することなく効率よく検出お
よび光路修正を行なうことができ、実用上極めて有益で
ある。
よび光路修正を行なうことができ、実用上極めて有益で
ある。
第１図は本発明の実施例の正面図、第２図はその断面図
、第３図はその原理構成図である。 ２・・・小孔、６・・・焦電型検出ユニ・ソト。
、第３図はその原理構成図である。 ２・・・小孔、６・・・焦電型検出ユニ・ソト。
Claims (1)
- （１）焦電性結晶基板の中心に光ビーム通過用小孔を備
え、前記焦電性結晶基板の一方の主表面であって、前記
小孔の周囲に複数の電極が放射状にかつ電気的に分離さ
れて形成されているとともに、各電極上に熱吸収膜が形
成されており、前記焦電性結晶基板の他方の主表面には
前記複数の電極にそれぞれ対向して共通電極が形成され
ている光ビームの位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27557384A JPS61149807A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光ビ−ムの位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27557384A JPS61149807A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光ビ−ムの位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149807A true JPS61149807A (ja) | 1986-07-08 |
Family
ID=17557333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27557384A Pending JPS61149807A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 光ビ−ムの位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149807A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538729B2 (en) | 2000-04-10 | 2003-03-25 | Ccs Co., Ltd. | Unit for inspecting a surface |
| JP2003315282A (ja) * | 2000-04-10 | 2003-11-06 | Ccs Inc | 表面検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146195A (ja) * | 1974-05-15 | 1975-11-22 | ||
| JPS5415759A (en) * | 1978-05-24 | 1979-02-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical transmission fiber |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27557384A patent/JPS61149807A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146195A (ja) * | 1974-05-15 | 1975-11-22 | ||
| JPS5415759A (en) * | 1978-05-24 | 1979-02-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Optical transmission fiber |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538729B2 (en) | 2000-04-10 | 2003-03-25 | Ccs Co., Ltd. | Unit for inspecting a surface |
| JP2003315282A (ja) * | 2000-04-10 | 2003-11-06 | Ccs Inc | 表面検査装置 |
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