JPS61149803A - 干渉測定装置 - Google Patents
干渉測定装置Info
- Publication number
- JPS61149803A JPS61149803A JP27712984A JP27712984A JPS61149803A JP S61149803 A JPS61149803 A JP S61149803A JP 27712984 A JP27712984 A JP 27712984A JP 27712984 A JP27712984 A JP 27712984A JP S61149803 A JPS61149803 A JP S61149803A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interference
- brightness distribution
- interference fringe
- luminous flux
- light source
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は２光束の干渉によシ得た干渉縞より、光学部品
の平面度、球面度等の性能を測定する装置に関するもの
である。
の平面度、球面度等の性能を測定する装置に関するもの
である。
従来の技術
従来例を第７図に示す。可干渉光源であるレーザー１は
、レーザー駆動回路２によシ駆動され、出射された光は
コリメータレンズ３で平行光束４にされ、ビームスプリ
ッタ６により２方向に分岐される。一方は参照平面鏡６
に照射され、もう一方は被検平面鏡７に照射される。干
渉光束８は参照平面鏡６及び被検平面鏡７よシ反射され
た２光束よす得られ、結像レンズ９．テレビカメラ１０
によ、シ干渉縞が撮像される。
、レーザー駆動回路２によシ駆動され、出射された光は
コリメータレンズ３で平行光束４にされ、ビームスプリ
ッタ６により２方向に分岐される。一方は参照平面鏡６
に照射され、もう一方は被検平面鏡７に照射される。干
渉光束８は参照平面鏡６及び被検平面鏡７よシ反射され
た２光束よす得られ、結像レンズ９．テレビカメラ１０
によ、シ干渉縞が撮像される。
撮像された干渉縞から、干渉縞処理回路１１によ＃）第
２図に示す縞間隔ａ及び、基準線Ｃからのずれｂを求め
ることによりＢ点の波面収差が（ｂ／ａ ）×λ／２
の計算で得られる。
２図に示す縞間隔ａ及び、基準線Ｃからのずれｂを求め
ることによりＢ点の波面収差が（ｂ／ａ ）×λ／２
の計算で得られる。
ここでλは可干渉光源であるレーザー１の光の波長を示
す。また基準線は中央付近の縞を基準線Ｃとした。
す。また基準線は中央付近の縞を基準線Ｃとした。
基準線からのずれｂの値を縞間隔がλ／２として撮像画
素（第３図Ｄ）単位に測定領域Ｅ全体の波面収差を求め
、縞の傾き成分を除き、被検平面鏡７の波面収差を得る
。求めた波面収差の結果はテレビモニタ１２に干渉縞の
撮像信号とともに表示する。
素（第３図Ｄ）単位に測定領域Ｅ全体の波面収差を求め
、縞の傾き成分を除き、被検平面鏡７の波面収差を得る
。求めた波面収差の結果はテレビモニタ１２に干渉縞の
撮像信号とともに表示する。
発明が解決しようとする問題点
被検レンズの波面収差を２次元的に得るため、干渉縞処
理回路１１では膨大な量の画像演算を行なっている。可
干渉光源であるレーザー１のコリメータレンズ３の透過
後の光束に輝度分布があると干渉光束で得られる干渉縞
に影響を及はし、第４図に示すような平行光束４に輝度
分布がある場合、テレビカメラ１０により得られる干渉
縞の輝度分布は第６図のようになってしまう。
理回路１１では膨大な量の画像演算を行なっている。可
干渉光源であるレーザー１のコリメータレンズ３の透過
後の光束に輝度分布があると干渉光束で得られる干渉縞
に影響を及はし、第４図に示すような平行光束４に輝度
分布がある場合、テレビカメラ１０により得られる干渉
縞の輝度分布は第６図のようになってしまう。
このような干渉縞の２次元情報より被検レンズの波面収
差を精度よく求めようとすると、前記波面収差の演算処
理を行なう前に輝度分布を補正する必要があるが、平行
光束４の輝度分布が２次元情報であるため、干渉縞の２
次元情報も各画素毎に補正が必要となり、干渉縞処理回
路の構成及び処理時間に多大な負担がかかってしまう。
差を精度よく求めようとすると、前記波面収差の演算処
理を行なう前に輝度分布を補正する必要があるが、平行
光束４の輝度分布が２次元情報であるため、干渉縞の２
次元情報も各画素毎に補正が必要となり、干渉縞処理回
路の構成及び処理時間に多大な負担がかかってしまう。
本発明はかかる点を簡易な構成で可干渉光源の平行光束
にともなう輝度分布を補正し、画像処理回路の負担を軽
減し、処理時間の短かい、干渉測定装置の提供を目的と
している。
にともなう輝度分布を補正し、画像処理回路の負担を軽
減し、処理時間の短かい、干渉測定装置の提供を目的と
している。
問題点を解決するための手段
本発明では上記問題点を解決するため可干渉光源の平行
光束の輝度分布を２次元情報として得て、干渉縞の２次
元情報を含む信号が干渉縞処理回路に入る前に、輝度分
布の補正をリアルタイムで行なっている。
光束の輝度分布を２次元情報として得て、干渉縞の２次
元情報を含む信号が干渉縞処理回路に入る前に、輝度分
布の補正をリアルタイムで行なっている。
本発明では前記輝度分布の２次元情報を得るため、可干
渉光源の平行光束部にビームスプリッタ−を付加し、平
行光束を分岐し、干渉縞の撮像部と同様に結像レンズ及
びテレビカメラにより撮像している。
渉光源の平行光束部にビームスプリッタ−を付加し、平
行光束を分岐し、干渉縞の撮像部と同様に結像レンズ及
びテレビカメラにより撮像している。
また、干渉縞処理回路の前で輝度分布をリアルタイムで
補正するため、干渉縞を撮像するテレビカメラと、輝度
分布を撮像するテレビカメラとの撮像を対応させ、撮像
画素毎に除算処理を行なっている。
補正するため、干渉縞を撮像するテレビカメラと、輝度
分布を撮像するテレビカメラとの撮像を対応させ、撮像
画素毎に除算処理を行なっている。
作 用
第２図、第６図に示すように被測定物及び参照物より反
射されてきた２光束により得られる干渉縞は、第６図の
ように、第４図に示す可干渉光源の輝度分布の影響をう
けており、この影響を、取除くことにより、第６図に示
すように、被測定物の波面収差のみの情報を含んだ撮像
信号が得られ、干渉縞処理回路において測定精度の高い
、処理時間の短かい、波面収差演算処理が可能となる。
射されてきた２光束により得られる干渉縞は、第６図の
ように、第４図に示す可干渉光源の輝度分布の影響をう
けており、この影響を、取除くことにより、第６図に示
すように、被測定物の波面収差のみの情報を含んだ撮像
信号が得られ、干渉縞処理回路において測定精度の高い
、処理時間の短かい、波面収差演算処理が可能となる。
実施例
本発明の実施例を第１図に示す。
可干渉扶源であるレーザー１はレーザー駆動回路２によ
り駆動され、出射された光はコリメータレンズ３で平行
光束４にされビームスプリッタ１３により分岐される。
り駆動され、出射された光はコリメータレンズ３で平行
光束４にされビームスプリッタ１３により分岐される。
一方はビームスプリッタ５の方に進み、もう一方は結像
レンズ１４及びテレビカメラ１５の方に進み、撮像され
る。この撮像された信号は可干渉光源の輝度分布の２次
元情報を含んでおり、輝度分布撮像信号１６として輝度
分布補正回路１７に入力される。
レンズ１４及びテレビカメラ１５の方に進み、撮像され
る。この撮像された信号は可干渉光源の輝度分布の２次
元情報を含んでおり、輝度分布撮像信号１６として輝度
分布補正回路１７に入力される。
ビームスプリッタ５に入射した平行光束は、更に分岐し
、一方は参照平面鏡６に照射され、もう一方は被検平面
鏡７に照射される。干渉光束８は参照平面鏡６及び、被
検平面鏡７より反射されてきた２光束より得られ、結像
レンズ９及びテレビカメラ１０によシ干渉縞が撮像され
る。この撮像された信号は干渉縞の２次元情報を含んで
おり、干渉縞撮像信号１８として輝度分布補正回路１７
に入力される。
、一方は参照平面鏡６に照射され、もう一方は被検平面
鏡７に照射される。干渉光束８は参照平面鏡６及び、被
検平面鏡７より反射されてきた２光束より得られ、結像
レンズ９及びテレビカメラ１０によシ干渉縞が撮像され
る。この撮像された信号は干渉縞の２次元情報を含んで
おり、干渉縞撮像信号１８として輝度分布補正回路１７
に入力される。
輝度分布補正回路１７では、干渉縞撮像信号１８を、輝
度分布撮像信号１６で撮像画素毎に除算処理をリアルタ
イムで行なう。
度分布撮像信号１６で撮像画素毎に除算処理をリアルタ
イムで行なう。
輝度分布補正された干渉縞撮像信号１８は、干渉縞処理
回路１１において、撮像画素毎に波面収差の演算が行な
われ、被検平面鏡の波面収差がテレビモニタ１２に表示
される。また、干渉縞撮像信号についても表示がなされ
る。
回路１１において、撮像画素毎に波面収差の演算が行な
われ、被検平面鏡の波面収差がテレビモニタ１２に表示
される。また、干渉縞撮像信号についても表示がなされ
る。
発明の効果
可干渉光源の平行光束に輝度分布の一様でない光束を使
用する場合にも、簡単な構成で干渉縞処理回路の負担を
軽減し、測定処理時間の短かい、干渉測定が行なえる。
用する場合にも、簡単な構成で干渉縞処理回路の負担を
軽減し、測定処理時間の短かい、干渉測定が行なえる。
第１図は本発明の一実施例における干渉測定装置の構成
図、第２図は干渉縞の撮像図、第３図はテレビカメラの
撮像画素を示す図、第４図、第６図及び第６図は撮像図
の断面の輝度分布図、第７図は従来の干渉測定装置の構
成図である。 １・・・・・・レーザー、４・・・・・・平行光束、６
・・・・・・ビームスプリッタ、ｅ・・・・・・参照平
面鏡、７・・・・・・被検平面鏡、１０・・・・・・テ
レビカメラ、１１・・・・・・干渉縞処理回路、１２・
・・・・・テレビモニタ、１６・・・・・・輝度分布撮
像信号、１７・・・・・・輝度分布補正回路、１８・・
・・・・干渉縞撮像信号。 第２図 α・・、鳩間島 第３図 第 ４１！ｉ！ｌ 第５図 第６図 第７図
図、第２図は干渉縞の撮像図、第３図はテレビカメラの
撮像画素を示す図、第４図、第６図及び第６図は撮像図
の断面の輝度分布図、第７図は従来の干渉測定装置の構
成図である。 １・・・・・・レーザー、４・・・・・・平行光束、６
・・・・・・ビームスプリッタ、ｅ・・・・・・参照平
面鏡、７・・・・・・被検平面鏡、１０・・・・・・テ
レビカメラ、１１・・・・・・干渉縞処理回路、１２・
・・・・・テレビモニタ、１６・・・・・・輝度分布撮
像信号、１７・・・・・・輝度分布補正回路、１８・・
・・・・干渉縞撮像信号。 第２図 α・・、鳩間島 第３図 第 ４１！ｉ！ｌ 第５図 第６図 第７図
Claims (3)
- （１）可干渉光源より出射した光を被測定物と参照物と
に照射し被測定物を透過又は反射した光束と、参照物を
透過又は反射した光束との２光束により干渉縞を得る干
渉測定装置において、干渉縞を２次元情報として得る手
段と、可干渉光源の輝度分布を２次元情報として得る手
段と、この干渉縞の２次元情報より可干渉光源の輝度分
布を補正する干渉縞輝度分布補正手段とをもつ干渉測定
装置。 - （２）可干渉光源の輝度分布を２次元情報として得る手
段として、可干渉光源の平行光束部にビームスプリッタ
を挿入して光束を分岐し、テレビカメラにより撮像する
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の干渉測定
装置。 - （３）干渉縞輝度分布補正手段として、干渉縞の２次元
情報を可干渉光源の輝度分布の２次元情報により、テレ
ビカメラの撮像画素毎に対応させて除算処理を行なうこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の干渉測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27712984A JPS61149803A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 干渉測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27712984A JPS61149803A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 干渉測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61149803A true JPS61149803A (ja) | 1986-07-08 |
Family
ID=17579192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27712984A Pending JPS61149803A (ja) | 1984-12-24 | 1984-12-24 | 干渉測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61149803A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136913U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | ||
| JPH0222502A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Kowa Co | 光干渉測定装置 |
| JP2001304837A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Nok Corp | 平面検査装置および平面検査方法 |
-
1984
- 1984-12-24 JP JP27712984A patent/JPS61149803A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136913U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 | ||
| JPH0222502A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Kowa Co | 光干渉測定装置 |
| JP2001304837A (ja) * | 2000-04-19 | 2001-10-31 | Nok Corp | 平面検査装置および平面検査方法 |
| JP4529227B2 (ja) * | 2000-04-19 | 2010-08-25 | Ｎｏｋ株式会社 | 平面検査装置および平面検査方法 |
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