JPS61144920U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるワーク位置決め機構の実
施例を示す正面図、第２図はその平面図、第３図
は位置決め部材の動作を示す説明図、第４図は第
二の実施例を示す平面図、第５図は第三の実施例
を示す正面図、第６図は従来のワーク位置決め機
構を示す正面図である。 １０……処理カツプ、１１……ワーク、１２…
…搬送経路、１３……取付ベース、１４……第一
の軸受部材、１６ａ，１６ｂ……レバー、１７…
…第二の軸受部材、１９……取付け板、２０……
位置決め部材、２１……吸着ヘツド（保持部）、
２２……駆動部、２４……ロツド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 半導体製造装置の処理カツプ内の保持部に、搬
   送経路上を運ばれてきたワークを保持する際に該
   ワークの位置決めをするワーク位置決め機構にお
   いて、上記ワークの搬送経路の上方または下方を
   略直角に横断して延びる取付け板を水平方向に設
   けると共に、この取付け板の前側辺にて上記搬送
   経路の領域にはワークの位置決め部材を水平に突
   出し、上記取付け板の側端部には平行リンクを回
   動自在に連結し、この平行リンクの一方のレバー
   には上記取付け板を前進、後退させるための駆動
   部を設け、この駆動部の駆動により上記位置決め
   部材が保持部に対するワークの位置決め位置に水
   平状態で前進、後退するようにしたことを特徴と
   するワーク位置決め機構。