JPS61140837A - 傾斜調整試料台 - Google Patents
傾斜調整試料台Info
- Publication number
- JPS61140837A JPS61140837A JP26403184A JP26403184A JPS61140837A JP S61140837 A JPS61140837 A JP S61140837A JP 26403184 A JP26403184 A JP 26403184A JP 26403184 A JP26403184 A JP 26403184A JP S61140837 A JPS61140837 A JP S61140837A
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- JP
- Japan
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- sample
- sample stage
- base
- cylinder
- rotated
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は傾斜角度を調整するのに適した傾斜調整試料台
に関する。
に関する。
超音波顕微鏡装置においては試料台の傾斜角度を調整し
、レンズ光軸に対して試料観察面を直交“させる機構が
必要とされる。
、レンズ光軸に対して試料観察面を直交“させる機構が
必要とされる。
従来の傾斜（角度）調整試料台は、例えば第５図に示す
ように実開昭５７−１９４０６０号に開示されているも
のがある。
ように実開昭５７−１９４０６０号に開示されているも
のがある。
上記従来の試料台は、Ｘ方向用ゴニオメータ１とＹ方向
用ゴニオメータ２とを積み重ねて構成されている。Ｘ方
向用ゴニオメータ１は固定部３と移動部４とに分かれ、
送りネジ５を手で回動させることにより、固定部３０円
筒面状湾曲部６に沿って矢印Ａで示すように移動部４が
摺動し、移動部４上の試料７をＸ方向に傾けることがで
きる。
用ゴニオメータ２とを積み重ねて構成されている。Ｘ方
向用ゴニオメータ１は固定部３と移動部４とに分かれ、
送りネジ５を手で回動させることにより、固定部３０円
筒面状湾曲部６に沿って矢印Ａで示すように移動部４が
摺動し、移動部４上の試料７をＸ方向に傾けることがで
きる。
また、Ｙ方向用ゴニオメータ２は、Ｘ方向用ゴニオメー
タ１と同じ構造をしており、送りネジ８の手による回動
によりＹ方向の傾斜角度の調整を行うことができる。
タ１と同じ構造をしており、送りネジ８の手による回動
によりＹ方向の傾斜角度の調整を行うことができる。
尚、上記試料台１に対し、試料７の直上に対向される超
音波集束レンズ９は支持棒１０を介して加振器１１に取
付けられ、該加振器１１によってＸ方向に移動される。
音波集束レンズ９は支持棒１０を介して加振器１１に取
付けられ、該加振器１１によってＸ方向に移動される。
又、上記加振器１１は駆動装置１２によってＹ方向に移
動される台１３に取付けられている。従って、試料台１
に載置された試料７は超音波集束レンズ９によってＸ方
向及びＹ方向に走査されるようにしである。
動される台１３に取付けられている。従って、試料台１
に載置された試料７は超音波集束レンズ９によってＸ方
向及びＹ方向に走査されるようにしである。
ところで上記走査と共に、超音波が集束されて送受波さ
れるため、試料台１が傾斜していると、同一特性の試料
面に対しても送波及び受波される状態が異ってしまうの
で、正しい超音波情報を得ることができなくなってしま
う。このため、試料台１の傾斜角度を調整して、試料台
１表面が集束レンズ９の光軸と直交する状態に設定して
、走査した場合常に等しい距離に保持できるようにしな
ければならない。
れるため、試料台１が傾斜していると、同一特性の試料
面に対しても送波及び受波される状態が異ってしまうの
で、正しい超音波情報を得ることができなくなってしま
う。このため、試料台１の傾斜角度を調整して、試料台
１表面が集束レンズ９の光軸と直交する状態に設定して
、走査した場合常に等しい距離に保持できるようにしな
ければならない。
上記調整を手動で行うことは手間がかかるため、モータ
等の駆動機構により行えるようにすることが望まれる状
況にある。
等の駆動機構により行えるようにすることが望まれる状
況にある。
しかしながら上記従来例においては、その駆動のための
構造が複雑にならざるを得なかった。すなわち、送りネ
ジ８の回動によりＹ方向の傾斜調整をしていくと、Ｘ方
向用ゴニオメータ１の送りネジ５のＹ方向上の位置は、
どんどんずれていくため、この送りネジ５にモータを連
結した場合、送りネジ５のＹ方向の移動に伴ない、モー
タの方も移動させる様な構成にせざるを得なかった。従
って、価格も高くなってしまうという欠点があった。
構造が複雑にならざるを得なかった。すなわち、送りネ
ジ８の回動によりＹ方向の傾斜調整をしていくと、Ｘ方
向用ゴニオメータ１の送りネジ５のＹ方向上の位置は、
どんどんずれていくため、この送りネジ５にモータを連
結した場合、送りネジ５のＹ方向の移動に伴ない、モー
タの方も移動させる様な構成にせざるを得なかった。従
って、価格も高くなってしまうという欠点があった。
本発明は上述した点にかんがみてなされたもので簡単な
構造で、モータ等を用いて駆動可能とする傾斜調整試料
台を提供することを目的とする。
構造で、モータ等を用いて駆動可能とする傾斜調整試料
台を提供することを目的とする。
本発明は上端面に傾斜端面を設け、且つ側面外周に回転
伝達機構をそれぞれ設けて、これに係合する回転伝達部
材によってそれぞれ独立に回転駆動可能とされ、その際
一方の回転によって、他方の係合位置等が変化しない第
１及び第２の円筒を設け、且つ前記傾斜端面に当接し、
該傾斜端面の回転に伴う上下動のみを回転されないでそ
の上方の試料台に伝達する試料台支持部材を設け、さら
に伸縮継手で試料台を安定に保持する弾性的支持手段を
設けることによって、手動でもモータ等による傾斜調整
にも広く適用できる傾斜調整試料台を実現している。
伝達機構をそれぞれ設けて、これに係合する回転伝達部
材によってそれぞれ独立に回転駆動可能とされ、その際
一方の回転によって、他方の係合位置等が変化しない第
１及び第２の円筒を設け、且つ前記傾斜端面に当接し、
該傾斜端面の回転に伴う上下動のみを回転されないでそ
の上方の試料台に伝達する試料台支持部材を設け、さら
に伸縮継手で試料台を安定に保持する弾性的支持手段を
設けることによって、手動でもモータ等による傾斜調整
にも広く適用できる傾斜調整試料台を実現している。
以下、図面を参照して本発明を具体的に説明する。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例に係り、第１図
は試料台部分を外した一実施例の平面図を示し、第２図
は一部を切欠いた一実施例の正面図を示し、第３図は一
部を切欠いた一実施例の側面図を示し、第４図は第１の
円筒の側面図を示す。
は試料台部分を外した一実施例の平面図を示し、第２図
は一部を切欠いた一実施例の正面図を示し、第３図は一
部を切欠いた一実施例の側面図を示し、第４図は第１の
円筒の側面図を示す。
一実施例の傾斜調整試料台２１は、ベース２２と、この
上部の支持体２３に取付けられた第１の円筒２４と、該
第１の円筒２４の上部に回動自在に設けられた第２の円
筒２５と、これら百円筒２４゜２５における垂直方向に
傾斜する上端面における各２箇所と係合する摺動支持部
材２６と、該摺動支持部材２６の上部に設けられた試料
台２７と、前記円筒２４．２５をそれぞれ回転駆動する
マイクロモータ２Ｂ 、２９とから構成されている。
上部の支持体２３に取付けられた第１の円筒２４と、該
第１の円筒２４の上部に回動自在に設けられた第２の円
筒２５と、これら百円筒２４゜２５における垂直方向に
傾斜する上端面における各２箇所と係合する摺動支持部
材２６と、該摺動支持部材２６の上部に設けられた試料
台２７と、前記円筒２４．２５をそれぞれ回転駆動する
マイクロモータ２Ｂ 、２９とから構成されている。
上記支持体２３はその中央に軸を下方に突設しベース２
２の凹部に嵌合させた状態で回動できるようにしである
。この支持体２３の上面には上記軸と同心となるリング
状の溝部２３ａが形成され、きるようにしである。
２の凹部に嵌合させた状態で回動できるようにしである
。この支持体２３の上面には上記軸と同心となるリング
状の溝部２３ａが形成され、きるようにしである。
この第１の円筒２４は、例えばその上端側の外側がリン
グ状に切欠かれて、リング状の第２の円筒２５が、第１
の円筒２４に対し独立に回動できるように嵌合させであ
る。上記百円筒２４ 、２５の外周には回転伝達機構と
してウオーム歯車２４ａ。
グ状に切欠かれて、リング状の第２の円筒２５が、第１
の円筒２４に対し独立に回動できるように嵌合させであ
る。上記百円筒２４ 、２５の外周には回転伝達機構と
してウオーム歯車２４ａ。
２５ａがそれぞれ形成されており、これら各ウオーム歯
車２４ａ 、 ２５ａは回転駆動手段としてのマイクロ
モータ２８，２９の回転軸に取付けた各回転伝達部材と
なるウオーム３１．３２と噛合しマイクロモータ２ｉ、
２９を回動させることによって、第１及び第２の円筒２
．４ 、２５をそれぞれ独立に回転駆動できるようにし
である。
車２４ａ 、 ２５ａは回転駆動手段としてのマイクロ
モータ２８，２９の回転軸に取付けた各回転伝達部材と
なるウオーム３１．３２と噛合しマイクロモータ２ｉ、
２９を回動させることによって、第１及び第２の円筒２
．４ 、２５をそれぞれ独立に回転駆動できるようにし
である。
上記百円筒２４．２５の上端は、例えば各円筒の中心軸
（符号Ｚで示す）と垂直となる面からすれた傾斜する角
度で切欠いた傾斜端面２４ｂ 、 ２５ｂにしてあり、
第４図は例えば第１の円筒２４の場合を示す。
（符号Ｚで示す）と垂直となる面からすれた傾斜する角
度で切欠いた傾斜端面２４ｂ 、 ２５ｂにしてあり、
第４図は例えば第１の円筒２４の場合を示す。
上記各円筒２４．２５の傾斜端面２４ｂ 、 ２５ｂに
おける対向する２箇所に摺動部材３３，３３；３４．３
４が当接して板状の摺動支持部材２６が載置され、この
支持部材２６は、その中央が摺動部材３５により当接す
る伸縮継手３６で弾性的に支えられるようにして支持体
２３と連結されてい３４を介して第１及び第２の円筒２
４．２５の各傾斜端面２４ｂ 、 ２５ｂに押付けるよ
うにしである。
おける対向する２箇所に摺動部材３３，３３；３４．３
４が当接して板状の摺動支持部材２６が載置され、この
支持部材２６は、その中央が摺動部材３５により当接す
る伸縮継手３６で弾性的に支えられるようにして支持体
２３と連結されてい３４を介して第１及び第２の円筒２
４．２５の各傾斜端面２４ｂ 、 ２５ｂに押付けるよ
うにしである。
又、上記伸縮継手３６は、伸縮自在であわ、摺動部材３
３，３３；３４，３４の下端が円筒２４゜２５の傾斜端
面２４ｂ 、 ２５ｂに当接して上下動した場合、伸縮
して中央の摺動部材３５を介して支持部材２６を安定性
良く支持することになる。
３，３３；３４，３４の下端が円筒２４゜２５の傾斜端
面２４ｂ 、 ２５ｂに当接して上下動した場合、伸縮
して中央の摺動部材３５を介して支持部材２６を安定性
良く支持することになる。
上記摺動部材３３，３３；３４，３４及び３５の下端（
先端）にはそれぞれ凹部が形成され、各凹部には回転自
在となる金属球が埋め込まれである。従って、摺動部材
３３，３３；３４，３４の下端（に介装された各金属球
）が摺接する円筒２４．２５が回転された場合にも、金
属球が回転するため、摺１部材３３，３３；３４，３４
には殆んど摩擦が働かないので、円筒２４．２５の回動
に引きづられて支持部材２６が回転してしまうことがな
く（中央の摺動部材３５についても同様）、その上下動
を支持部材２６あるいは試料台２７に伝達できるように
しである。
先端）にはそれぞれ凹部が形成され、各凹部には回転自
在となる金属球が埋め込まれである。従って、摺動部材
３３，３３；３４，３４の下端（に介装された各金属球
）が摺接する円筒２４．２５が回転された場合にも、金
属球が回転するため、摺１部材３３，３３；３４，３４
には殆んど摩擦が働かないので、円筒２４．２５の回動
に引きづられて支持部材２６が回転してしまうことがな
く（中央の摺動部材３５についても同様）、その上下動
を支持部材２６あるいは試料台２７に伝達できるように
しである。
上記円筒２４．２５が回転されると、摺動部材３３．３
３；３４，３４が上下に変動し、この変動に追従して伸
縮できるように伸縮継手３６は柔かな合成樹脂、ゴム部
材等で形成されている。
３；３４，３４が上下に変動し、この変動に追従して伸
縮できるように伸縮継手３６は柔かな合成樹脂、ゴム部
材等で形成されている。
上記支持板２６は、その上部に載置された試料台２７を
例えばその隅部のねじ等で固定している。
例えばその隅部のねじ等で固定している。
このように構成された一実施例の動作を以下に説明する
。
。
超音波顕微鏡の試料台として使用する場合、一実施例の
上部の試料台２７が傾斜しているならば、例えばマイク
ロモータ２８を回転させることによって、このマイクロ
モータ２８のウオームと噛合するウオーム歯車２４ａを
有する第１の円筒２４が中心軸のまわりに回転する。こ
の第１の円筒２４が回転されると、その傾斜端面２４ｂ
に当接する摺動部材３３．３３は上記円筒２４の回転方
向に回転されないでその位置で上方又は下方に移動する
。
上部の試料台２７が傾斜しているならば、例えばマイク
ロモータ２８を回転させることによって、このマイクロ
モータ２８のウオームと噛合するウオーム歯車２４ａを
有する第１の円筒２４が中心軸のまわりに回転する。こ
の第１の円筒２４が回転されると、その傾斜端面２４ｂ
に当接する摺動部材３３．３３は上記円筒２４の回転方
向に回転されないでその位置で上方又は下方に移動する
。
（金属球が回転される。）これと共に、伸縮継手３６は
、伸張あるいは収縮して支持板２６の中央部を（浮いて
しまったりしまわないで）安定性良く支持することにな
る。このようにして支持板２６における円筒２４の中心
軸Ｚ方向と直交する方向における上記摺動部材３３．３
３を結ぶ方向の（ベース２２面と平行となる（例えばＹ
）方−向での）傾斜（ずれ）を調整できる。
、伸張あるいは収縮して支持板２６の中央部を（浮いて
しまったりしまわないで）安定性良く支持することにな
る。このようにして支持板２６における円筒２４の中心
軸Ｚ方向と直交する方向における上記摺動部材３３．３
３を結ぶ方向の（ベース２２面と平行となる（例えばＹ
）方−向での）傾斜（ずれ）を調整できる。
同様に、マイクロモータ２９を回転駆動することによっ
て、このマイクロモータ２９の回転軸に取付けられたウ
オーム３２と係合するウオーム歯車２５ｆｔが設けられ
た第２の円筒２５が回転駆動され、ベース２２面におけ
る上記第１の円筒２４の傾斜端面２４ａに当接する摺動
部材３３．３３と直交する（例えばＸ）方向における平
行方向からのずれを調整できる。
て、このマイクロモータ２９の回転軸に取付けられたウ
オーム３２と係合するウオーム歯車２５ｆｔが設けられ
た第２の円筒２５が回転駆動され、ベース２２面におけ
る上記第１の円筒２４の傾斜端面２４ａに当接する摺動
部材３３．３３と直交する（例えばＸ）方向における平
行方向からのずれを調整できる。
上記両マイクロモータ２Ｂ、２９を回転駆動することに
よって試料台２７をベース２２の面に平行にすることが
できる。この状態において試料台２７の上に試料を載置
することにより、試料に対し、超音波集束レンズを２次
元的に走査しながら超音波集束レンズを経て超音波を送
受波することによって、試料の音響特性を忠実に反映す
る超音波音響像を表示させることができる。
よって試料台２７をベース２２の面に平行にすることが
できる。この状態において試料台２７の上に試料を載置
することにより、試料に対し、超音波集束レンズを２次
元的に走査しながら超音波集束レンズを経て超音波を送
受波することによって、試料の音響特性を忠実に反映す
る超音波音響像を表示させることができる。
尚、上記一実施例においては第１の円筒２４は、その下
端を支持体２３に回動自在にしであるが、該支持体２３
に固定して共に回動できる構造にすることもできる。（
この場合、支持体２３と共に伸縮継手３６も回動するこ
とになる。）尚、マイクロモータ２Ｂ 、２９は直交す
る方向に設けなければならないものでなく、平行方向に
設けることもできるし、その他の方向に設けることもで
きる。
端を支持体２３に回動自在にしであるが、該支持体２３
に固定して共に回動できる構造にすることもできる。（
この場合、支持体２３と共に伸縮継手３６も回動するこ
とになる。）尚、マイクロモータ２Ｂ 、２９は直交す
る方向に設けなければならないものでなく、平行方向に
設けることもできるし、その他の方向に設けることもで
きる。
尚、上記一実施例においては試料台２７の高さを調整す
る手段を設けてないが、モータと歯車等を用いて高さ方
向を調整する手段を設けたものも本発明に属する。
る手段を設けてないが、モータと歯車等を用いて高さ方
向を調整する手段を設けたものも本発明に属する。
又、傾斜を調整する場合、マイクロモータ２８゜２９の
駆動スイッチを手動でオン、オフして行うものに限らず
、傾斜検出手段を設けて、マイクロモータ２８，２９の
駆動を制御して傾斜のない状態に自動設定できるように
することもできる。この手段としては、例えば特願昭５
８−２０７１４３号に提案されているものを用いること
ができる。
駆動スイッチを手動でオン、オフして行うものに限らず
、傾斜検出手段を設けて、マイクロモータ２８，２９の
駆動を制御して傾斜のない状態に自動設定できるように
することもできる。この手段としては、例えば特願昭５
８−２０７１４３号に提案されているものを用いること
ができる。
（これには上記高さ方向の調整手段も示しである。）尚
、マイクロモータ２Ｂ、２９等を用いないで、手動で調
整することもできることは明らかである。
、マイクロモータ２Ｂ、２９等を用いないで、手動で調
整することもできることは明らかである。
以上述べたように本発明によれば、上端にそれぞれ傾斜
端面を設け、外周面に回転伝達機構を設けて互いに独立
に回転駆動可能とされ、且つ一方の回転によって、他方
の回転駆動位置等の変化を受けない第１及び第２の円筒
を設け、各傾斜端面に回転されない状態で係合する介装
部材を介して試料台を支持すると共に、試料台を安定に
支持する弾性的支持手段を設けであるので傾斜角度を手
動で調整することは勿論、モータ等の回転駆動手段で調
整する場合にも適した傾斜調節試料台を実現できる。
端面を設け、外周面に回転伝達機構を設けて互いに独立
に回転駆動可能とされ、且つ一方の回転によって、他方
の回転駆動位置等の変化を受けない第１及び第２の円筒
を設け、各傾斜端面に回転されない状態で係合する介装
部材を介して試料台を支持すると共に、試料台を安定に
支持する弾性的支持手段を設けであるので傾斜角度を手
動で調整することは勿論、モータ等の回転駆動手段で調
整する場合にも適した傾斜調節試料台を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第１図ないし第４図は本発明の一実施例に係り、第１図
は試料台部分を外した一実施例を示す平面図、第２図は
一実施例を一部切欠いて示す正面図、第３図は一実施例
を一部切欠いて示す側面図、第４図は第１の円筒を示す
側面図、第５図は従来例を示す斜視図である。 ２１・・・傾斜調節試料台 ２２・・・ベース２３・
・・支持体 ２４ 、２５・・・円筒２４ａ
、 ２５ａ・・・ウオーム歯車２４ｂ 、 ２５ｂ・
・・傾斜端面 ２６・・・（摺動）支持部材２７・・・
試料台２８ 、２９・・・マイクロモータ
３１ 、３２・−・ウオーム３６・・・伸縮継手
は試料台部分を外した一実施例を示す平面図、第２図は
一実施例を一部切欠いて示す正面図、第３図は一実施例
を一部切欠いて示す側面図、第４図は第１の円筒を示す
側面図、第５図は従来例を示す斜視図である。 ２１・・・傾斜調節試料台 ２２・・・ベース２３・
・・支持体 ２４ 、２５・・・円筒２４ａ
、 ２５ａ・・・ウオーム歯車２４ｂ 、 ２５ｂ・
・・傾斜端面 ２６・・・（摺動）支持部材２７・・・
試料台２８ 、２９・・・マイクロモータ
３１ 、３２・−・ウオーム３６・・・伸縮継手
Claims (1)
- 中心軸に対し垂直となる平面と異る傾斜端面が設けられ
、互いに独立に回転可能とされ、且つ外周面に回転伝達
機構がそれぞれ形成された第１及び第２の円筒と、前記
各回転伝達機構に係合してそれぞれ回転可能とされる回
転伝達部材と、前記傾斜端面に当接する介装部材を介し
て試料台を保持する試料台支持部材と、前記両円筒の中
心軸上等で前記試料台を伸縮自在に支持する弾性的支持
手段とを設けたことを特徴とする傾斜調整試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26403184A JPS61140837A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 傾斜調整試料台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26403184A JPS61140837A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 傾斜調整試料台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61140837A true JPS61140837A (ja) | 1986-06-27 |
| JPH0426418B2 JPH0426418B2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=17397586
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26403184A Granted JPS61140837A (ja) | 1984-12-14 | 1984-12-14 | 傾斜調整試料台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61140837A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023049047A1 (en) * | 2021-09-27 | 2023-03-30 | Beckman Coulter, Inc. | Adjustable mounting apparatus |
-
1984
- 1984-12-14 JP JP26403184A patent/JPS61140837A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023049047A1 (en) * | 2021-09-27 | 2023-03-30 | Beckman Coulter, Inc. | Adjustable mounting apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426418B2 (ja) | 1992-05-07 |
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