JPS61139958A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS61139958A JPS61139958A JP26221084A JP26221084A JPS61139958A JP S61139958 A JPS61139958 A JP S61139958A JP 26221084 A JP26221084 A JP 26221084A JP 26221084 A JP26221084 A JP 26221084A JP S61139958 A JPS61139958 A JP S61139958A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- amorphous alloy
- recording medium
- temperature
- film
- element consisting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は光熱磁気記録、熱転写記録などに用いられ、レ
ーデ−光等の熱及び光を用いて情報の記録、再生を行な
う光熱磁気記録媒体に関する。
ーデ−光等の熱及び光を用いて情報の記録、再生を行な
う光熱磁気記録媒体に関する。
一般に、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、かつ室
温より高いキューリ温度を有する磁性薄膜はレーデ−光
等の光ビームを照射することによっ【数μm以下の情報
を記録、再生することができるので、高密度の光熱磁気
記録媒体として使用することが可能である。現在、この
ような光熱磁気記録媒体として、MnB1 、MnAt
Ge等の多結晶金属薄膜、GdCo及びGdFe等の希
土類−鉄族の非結晶質合金薄膜、Gd1G(ガドリニウ
ム鉄ガーネット)に代表される化合物単結晶薄膜などの
膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜が知
られている。
温より高いキューリ温度を有する磁性薄膜はレーデ−光
等の光ビームを照射することによっ【数μm以下の情報
を記録、再生することができるので、高密度の光熱磁気
記録媒体として使用することが可能である。現在、この
ような光熱磁気記録媒体として、MnB1 、MnAt
Ge等の多結晶金属薄膜、GdCo及びGdFe等の希
土類−鉄族の非結晶質合金薄膜、Gd1G(ガドリニウ
ム鉄ガーネット)に代表される化合物単結晶薄膜などの
膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜が知
られている。
MnB1に類される多結晶金属薄膜は、キューリ温度を
利用して蓄き込みが行なわれ、%にカー回転角が大きく
、かつ室温で数koeという大きな保磁力を有している
ため、光熱磁気記録媒体として優れている。しかし、キ
ューり温度が高い(MnBlではTc=36’O℃程度
)ために大きな書き込みエネルギーを必要とするという
欠点がある。また、多結晶体であるため化学量論的な組
成の薄膜を作製する必要があるが、こうした薄膜の作製
が技術的に困難であるという欠点がある。
利用して蓄き込みが行なわれ、%にカー回転角が大きく
、かつ室温で数koeという大きな保磁力を有している
ため、光熱磁気記録媒体として優れている。しかし、キ
ューり温度が高い(MnBlではTc=36’O℃程度
)ために大きな書き込みエネルギーを必要とするという
欠点がある。また、多結晶体であるため化学量論的な組
成の薄膜を作製する必要があるが、こうした薄膜の作製
が技術的に困難であるという欠点がある。
一方、GdIGに代表される化合物単結晶では、ガドリ
ニウムガリウムガーネット(GGG)単結晶基板上に磁
性単結晶薄膜が形成されるため、単結晶基板の不均一性
によって磁気特性が′影響を受げ易いこと1.また大面
積の単結晶基板を作製することが困難であるという欠点
がある。
ニウムガリウムガーネット(GGG)単結晶基板上に磁
性単結晶薄膜が形成されるため、単結晶基板の不均一性
によって磁気特性が′影響を受げ易いこと1.また大面
積の単結晶基板を作製することが困難であるという欠点
がある。
これに対して、GdCo、GdFeなどのような希土類
(RE)−鉄族(TM)の非晶質合金膜では上述したよ
うな結晶質の磁性薄膜と異なり非晶質であるため任意の
基体上に大面積の磁性薄膜を作製することが可能である
こと、非晶質合金膜の組成制御が容易であること、及び
結晶粒子がないので再生Cハ比の良い信号が得られるこ
となど優れた利点があることが知られている。膜面に垂
直方向に磁化容易軸を有するGdCo 、GdFeなど
の非晶質合金膜はキー−り温度あるいは磁気補償温度を
利用して書き込みを行なうことができる。
(RE)−鉄族(TM)の非晶質合金膜では上述したよ
うな結晶質の磁性薄膜と異なり非晶質であるため任意の
基体上に大面積の磁性薄膜を作製することが可能である
こと、非晶質合金膜の組成制御が容易であること、及び
結晶粒子がないので再生Cハ比の良い信号が得られるこ
となど優れた利点があることが知られている。膜面に垂
直方向に磁化容易軸を有するGdCo 、GdFeなど
の非晶質合金膜はキー−り温度あるいは磁気補償温度を
利用して書き込みを行なうことができる。
例えば、GdCo、GdFaの非晶質合金膜の膜面に局
部的に焦点を合わせ℃レーデビームを照射し、それぞれ
の膜物質の磁気補償温度あるいはキューリ温度付近の温
度まで加熱する。次に1その膜の加熱領域に対して膜面
に垂直に記録したい方向に外部磁場を印加し、その上冷
却するとその部分において反転磁区が形成され、情報が
記録される。
部的に焦点を合わせ℃レーデビームを照射し、それぞれ
の膜物質の磁気補償温度あるいはキューリ温度付近の温
度まで加熱する。次に1その膜の加熱領域に対して膜面
に垂直に記録したい方向に外部磁場を印加し、その上冷
却するとその部分において反転磁区が形成され、情報が
記録される。
ところが、従来のGdCo 、GdFeの非晶質合金膜
はカー回転角が大きい反面、磁気補償温度近傍で書き込
°みを行なうので、高保磁力を得ることのできる書き込
み温度範囲、記録媒体の組成範囲が非常に狭く、記録さ
れた情報が不安定で、かつ外部磁場の影響を受は易いと
いう欠点がある。
はカー回転角が大きい反面、磁気補償温度近傍で書き込
°みを行なうので、高保磁力を得ることのできる書き込
み温度範囲、記録媒体の組成範囲が非常に狭く、記録さ
れた情報が不安定で、かつ外部磁場の影響を受は易いと
いう欠点がある。
また、GdF@、TbF@のようなFeを含む非晶質合
金膜は、GdCo、TbCoのようなCoを含むものに
比べて酸化され易く、そのため特性の変化が著しく、長
期間の使用に耐えられないとい5欠点がある。
金膜は、GdCo、TbCoのようなCoを含むものに
比べて酸化され易く、そのため特性の変化が著しく、長
期間の使用に耐えられないとい5欠点がある。
更に、TbCo 、TbGdCo 、DyCoのような
RE−Co系の非晶質合金膜は、高保磁力を有し、耐食
性が良好である反面、キューリ温度が400℃以上であ
り、かつ結晶化温度より高いため、情報の記録に大きい
レーデ・母ワーが必要となり、記録g度が低下したり、
結晶化して消去不可能となったりする欠点がある。
RE−Co系の非晶質合金膜は、高保磁力を有し、耐食
性が良好である反面、キューリ温度が400℃以上であ
り、かつ結晶化温度より高いため、情報の記録に大きい
レーデ・母ワーが必要となり、記録g度が低下したり、
結晶化して消去不可能となったりする欠点がある。
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、ファラ
デー効果及びカー効果に優れ、高密度及び高感襄の光磁
気メモリに適した光熱磁気記録媒体を提供することを目
的とするものである。
デー効果及びカー効果に優れ、高密度及び高感襄の光磁
気メモリに適した光熱磁気記録媒体を提供することを目
的とするものである。
本発明の光熱磁気記録媒体は、膜面と垂直な方向に磁化
容易軸を有し、次式 RX(co、−、−、−cMn、sb’rc)1−X(
ただし、RはTb。
容易軸を有し、次式 RX(co、−、−、−cMn、sb’rc)1−X(
ただし、RはTb。
Gd、Dy、Ho、Erの5ち少なくとも1種からなる
重希土類元素、SはNl+Cu、Zn+RutRh、P
d、Re、Oa。
重希土類元素、SはNl+Cu、Zn+RutRh、P
d、Re、Oa。
Tr、Pt、Auのうち少なくとも1種からなる元素、
TはBi 、In+Sn、Sb+Pb+As、Gaのう
ち少なくとも1程からなる元素であり、x、a、b、c
はそれぞれ0、1<、x<0.5 、0.05≦a≦0
.3 、0.01≦b≦0.3 、0.01≦c≦0.
15 t O,1<a + b + e <0.4の関
係を満足する数である。)で表わされる非晶質合金膜を
具備したことを特徴とするものである。
TはBi 、In+Sn、Sb+Pb+As、Gaのう
ち少なくとも1程からなる元素であり、x、a、b、c
はそれぞれ0、1<、x<0.5 、0.05≦a≦0
.3 、0.01≦b≦0.3 、0.01≦c≦0.
15 t O,1<a + b + e <0.4の関
係を満足する数である。)で表わされる非晶質合金膜を
具備したことを特徴とするものである。
本発明の光熱磁気記録媒体はキューリ温度を利用して情
報を記録するものであり、特にキューリ温度(Tc)が
50℃<T a≦250℃の範囲であることが望ましい
。
報を記録するものであり、特にキューリ温度(Tc)が
50℃<T a≦250℃の範囲であることが望ましい
。
本発明の光熱磁気記録媒体において、RはTb ? G
d @ Dy r Ho + E rのうち少なくと
も1種からなる重希土類元素であり、このような元素を
含む場合1、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非
晶質合金膜が得られる。このRの含有量を表わすXは0
,1≦x≦0.5であることが必要である。
d @ Dy r Ho + E rのうち少なくと
も1種からなる重希土類元素であり、このような元素を
含む場合1、膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非
晶質合金膜が得られる。このRの含有量を表わすXは0
,1≦x≦0.5であることが必要である。
また、CGは耐酸化性などを向上して非晶質合金膜の磁
気特性が経済的に変化するのを防止するのに必要な成分
である。
気特性が経済的に変化するのを防止するのに必要な成分
である。
また、S (Ni、CutZn、Ru、Rh、Pd、R
e、Os、Ir、Pt+Auの5ち少なくとも1種から
なる元素)はキューy温度を情報の記録に適した範囲(
50〜250℃)に調整するのに必要な成分であり、M
n及びT(BitIn、Sn、Sb、Pb*As、Ga
のうち少なくとも1種からなる元素)はファラデー回転
角やカー回転角の増加に寄与する成分である。特に、M
nのみあるいはTのみでは効果が小さいのでMnとでと
は両者が含まれることが必要である。これらMn及びT
を添加することにより、Sを添加することに伴うファラ
デー回転角やカー回転角の低下を防止することができる
。
e、Os、Ir、Pt+Auの5ち少なくとも1種から
なる元素)はキューy温度を情報の記録に適した範囲(
50〜250℃)に調整するのに必要な成分であり、M
n及びT(BitIn、Sn、Sb、Pb*As、Ga
のうち少なくとも1種からなる元素)はファラデー回転
角やカー回転角の増加に寄与する成分である。特に、M
nのみあるいはTのみでは効果が小さいのでMnとでと
は両者が含まれることが必要である。これらMn及びT
を添加することにより、Sを添加することに伴うファラ
デー回転角やカー回転角の低下を防止することができる
。
この場合、これらの添加量を示す& + t) * 0
はそれぞれ0.05≦a≦0.3 、0.01<b<0
.3 、0.01≦cく0.15及び0.1≦8+b
+ c <0.4を満足するよ5に設定される。これは
aが0.05未満、Cが0.01未満ではファラデー回
転角やカー回転角の低下を防止する効果が少なく、bが
0.01未満ではキューリ温度範囲を調整する効果が少
なく、a+b+cが011未満ではこれら両方の効果が
得られないからであり、一方aが0.3、bが0.3、
Cが0.15、a+b+cが0,4をそれぞれ超えルト
キューリ温度が室温以下となり、記録ができなくなるた
めである。
はそれぞれ0.05≦a≦0.3 、0.01<b<0
.3 、0.01≦cく0.15及び0.1≦8+b
+ c <0.4を満足するよ5に設定される。これは
aが0.05未満、Cが0.01未満ではファラデー回
転角やカー回転角の低下を防止する効果が少なく、bが
0.01未満ではキューリ温度範囲を調整する効果が少
なく、a+b+cが011未満ではこれら両方の効果が
得られないからであり、一方aが0.3、bが0.3、
Cが0.15、a+b+cが0,4をそれぞれ超えルト
キューリ温度が室温以下となり、記録ができなくなるた
めである。
この工5に本発明の光熱磁気記録媒体は、RE−Coを
主成分とし、Mn、S及びTを適度に添加した組成を有
する非晶質合金膜を具備することにより、高保磁力を有
し耐食性が優れているとともに磁気光学効果(ファラデ
ー回転角やカー回転角)を低下させず、キューリ温度1
利用した記録が可能となる。
主成分とし、Mn、S及びTを適度に添加した組成を有
する非晶質合金膜を具備することにより、高保磁力を有
し耐食性が優れているとともに磁気光学効果(ファラデ
ー回転角やカー回転角)を低下させず、キューリ温度1
利用した記録が可能となる。
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
jまず
、第1図に示す高周波スパッタリング装置を用いて各種
組成の非晶質合金膜を作製した。
jまず
、第1図に示す高周波スパッタリング装置を用いて各種
組成の非晶質合金膜を作製した。
第1図において、チャンバー1にはガス導入パルプ2と
排気パルプ3とが設ゆられている。また、チャンバー1
内にはガラス基板4とターゲット5とが対向して設けら
れ、ターゲット5には高周波電源6が接続されている。
排気パルプ3とが設ゆられている。また、チャンバー1
内にはガラス基板4とターゲット5とが対向して設けら
れ、ターゲット5には高周波電源6が接続されている。
前記ターrヮト5としてはCo層の上にR(Tb 。
Gd、Dy、1(oir ) t Mnp8(Ni+C
ueZnpRu、RbtPdtRatOs I T r
HP t * Au )及びT(Bi 、l[n、S
n、Sb、Pb+As+Ga)の薄いチ、グを所定の組
成になるように所定数量を置いた10種の複合ターrア
トを用いた。そして、チャンバー1内の真空度をlXl
oTorr以上にした後、チャンバー1内に高純度のア
ルゴンを導入し、2X10 Torrの圧力でスパッ
タリングを行ない、ターダッ)5に対向して配置された
ガラス基板4の表面に200〜2000Xの合金膜7を
形成した。
ueZnpRu、RbtPdtRatOs I T r
HP t * Au )及びT(Bi 、l[n、S
n、Sb、Pb+As+Ga)の薄いチ、グを所定の組
成になるように所定数量を置いた10種の複合ターrア
トを用いた。そして、チャンバー1内の真空度をlXl
oTorr以上にした後、チャンバー1内に高純度のア
ルゴンを導入し、2X10 Torrの圧力でスパッ
タリングを行ない、ターダッ)5に対向して配置された
ガラス基板4の表面に200〜2000Xの合金膜7を
形成した。
以上のよ51Cして作製された合金MX7をX線回折で
調べたところすべて非晶質であった。また、組成を分析
した結果、それぞれ下記表に示す組成を有することがわ
かった。また、試料振動形磁力計を用い磁気特性を調べ
たところ、非晶質合金膜の膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有することがわかりた。また、キ乳−り@度の測定結
果を下記表に併記する。更に、これら非晶質合金膜から
なる光熱磁気記録媒体のカー効果による再生CA比の値
を調べた結果を下記表に併記する。
調べたところすべて非晶質であった。また、組成を分析
した結果、それぞれ下記表に示す組成を有することがわ
かった。また、試料振動形磁力計を用い磁気特性を調べ
たところ、非晶質合金膜の膜面に垂直方向に磁化容易軸
を有することがわかりた。また、キ乳−り@度の測定結
果を下記表に併記する。更に、これら非晶質合金膜から
なる光熱磁気記録媒体のカー効果による再生CA比の値
を調べた結果を下記表に併記する。
上記表から明らかなように、比較例1はMn。
S及びTを含まないので再生C7N比が低(、キューリ
温度が高い。また、比較例2についてもSを含まないの
で再生C7N比が低く、キューリ温度が高い。これに対
して実施例1〜8はいずれも高い再生C4比と情報の記
録に適した範囲(50〜250℃)のキューリ温度を示
している。
温度が高い。また、比較例2についてもSを含まないの
で再生C7N比が低く、キューリ温度が高い。これに対
して実施例1〜8はいずれも高い再生C4比と情報の記
録に適した範囲(50〜250℃)のキューリ温度を示
している。
また、実施例1の非晶質合金膜上に513N4膜及び高
分子封止層の保護膜を形成したディスクを作製した。そ
して、これを830 nmの半導体レーデ、フォーカシ
ング・トラッキングサーブ系。
分子封止層の保護膜を形成したディスクを作製した。そ
して、これを830 nmの半導体レーデ、フォーカシ
ング・トラッキングサーブ系。
信号検出系を具備した光学記録再生システムにセットし
、1800 rTImで回転し、5’OOngeeの周
期で200 ns@c幅t 8 m W 、直径1μm
の光/Jルスビームを照射し、記録磁界3000eを印
加して記録ピットを形成した。その後、3rnW、直径
1μmの連続レーデビームを照射してビット信号の再生
を行なったところ、再生信号のC/N比として55 d
Bを得た。次に、記録ビットの形状を偏光顕微鏡で観察
したところ、直径約1μmの円形磁区がコントラストよ
く観察された。また、記録後の前記ディスクを温度40
℃、湿度85チに保持された恒温槽中に放置し、1ケ月
後及び3ケ月後における再生信号C趣比を測定したとこ
ろ、それぞれ54 dB及び55 dBであった。
、1800 rTImで回転し、5’OOngeeの周
期で200 ns@c幅t 8 m W 、直径1μm
の光/Jルスビームを照射し、記録磁界3000eを印
加して記録ピットを形成した。その後、3rnW、直径
1μmの連続レーデビームを照射してビット信号の再生
を行なったところ、再生信号のC/N比として55 d
Bを得た。次に、記録ビットの形状を偏光顕微鏡で観察
したところ、直径約1μmの円形磁区がコントラストよ
く観察された。また、記録後の前記ディスクを温度40
℃、湿度85チに保持された恒温槽中に放置し、1ケ月
後及び3ケ月後における再生信号C趣比を測定したとこ
ろ、それぞれ54 dB及び55 dBであった。
このように測定誤差内で初期値との間に有意差が認めら
れず、磁気特性の経時的変化も少ないことが確認された
。
れず、磁気特性の経時的変化も少ないことが確認された
。
一方、比較例1の非晶質合金膜を用いて上記と同様な光
熱磁気記録特性を測定したところ、再生信号が得られず
、記録ビットも確認されなかった。
熱磁気記録特性を測定したところ、再生信号が得られず
、記録ビットも確認されなかった。
以上詳述した如く本発明の光熱磁気記録媒体によれば、
キューリ温度を利用した記録が可能となり、再生におけ
るC/N比が改善され、長期間にわたって情報の高密度
、高速度の記録、再生、消去ができる等顕著な効果を奏
するものである。
キューリ温度を利用した記録が可能となり、再生におけ
るC/N比が改善され、長期間にわたって情報の高密度
、高速度の記録、再生、消去ができる等顕著な効果を奏
するものである。
図は本発明の実施例において用いられた高周波ス/4ツ
タリング装置の概略構成図である。 1・・・チャンバー、2・・・ガス導入パルプ、3・・
・排気パルプ、4・・・ガラス基板、5・・・ター?y
ト、6・・・高周波電源、7・・・合金膜。
タリング装置の概略構成図である。 1・・・チャンバー、2・・・ガス導入パルプ、3・・
・排気パルプ、4・・・ガラス基板、5・・・ター?y
ト、6・・・高周波電源、7・・・合金膜。
Claims (2)
- (1)膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、次式R_
x(Co_1_−_a_−_b_−_cMn_aS_b
T_c)_1_−_x(ただし、RはTb、Gd、Dy
、Ho、Erのうち少なくとも1種からなる重希土類元
素、SはNi、Cu、Zn、Ru、Rh、Pd、Re、
Os、Tr、Pt、Auのうち少なくとも1種からなる
元素、TはBi、In、Sn、Sb、Pb、As、Ga
のうち少なくとも1種からなる元素であり、x、a、b
、cはそれぞれ0.1≦x≦0.5、0.05≦a≦0
.3、0.01≦b≦0.3、0.01≦c≦0.15
、0.1≦a+b+c≦0.4の関係を満足する数であ
る。)で表わされる非晶質合金膜を具備したことを特徴
とする光熱磁気記録媒体。 - (2)キューリ温度(Tc)が、50℃≦Tc≦250
℃であることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
光熱磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26221084A JPS61139958A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26221084A JPS61139958A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61139958A true JPS61139958A (ja) | 1986-06-27 |
Family
ID=17372604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26221084A Pending JPS61139958A (ja) | 1984-12-12 | 1984-12-12 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61139958A (ja) |
-
1984
- 1984-12-12 JP JP26221084A patent/JPS61139958A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0118506B2 (ja) | ||
GB2071696A (en) | Magneto-optical Recording Medium | |
JPH0123927B2 (ja) | ||
US4838962A (en) | Magneto-optical recording medium | |
JPS59103314A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS6079702A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS59178641A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPS60117436A (ja) | 磁気光学記憶素子 | |
EP0698881A1 (en) | Magnetooptical recording medium and method for reproducing information from the medium | |
JPS60231306A (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
JPH0351082B2 (ja) | ||
JPS6131533B2 (ja) | ||
JP2550633B2 (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
JPS61139958A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
JPS60187954A (ja) | 磁性薄膜記録媒体 | |
JPH0570922B2 (ja) | ||
JPH0316049A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JP2642656B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
JPH0470705B2 (ja) | ||
JPS6137765B2 (ja) | ||
JPH0259603B2 (ja) | ||
JPS60231307A (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
JPS5996714A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0232766B2 (ja) | Jikikogakukirokuzairyo | |
JP3010684B2 (ja) | 光記録媒体 |