JPS61137052A - 格子定数の高精度測定装置 - Google Patents
格子定数の高精度測定装置Info
- Publication number
- JPS61137052A JPS61137052A JP25752284A JP25752284A JPS61137052A JP S61137052 A JPS61137052 A JP S61137052A JP 25752284 A JP25752284 A JP 25752284A JP 25752284 A JP25752284 A JP 25752284A JP S61137052 A JPS61137052 A JP S61137052A
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- Japan
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- ray
- lattice constant
- crystal
- high accuracy
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野］
本発明は単結晶の格子定数を測定する装置に関するもの
で１，１！源に２本のＸ＠管球を使用し、測定試料の種
類、結晶の面指数に制限を受けずに高精度に格子定数を
測定できる装置に関する。
で１，１！源に２本のＸ＠管球を使用し、測定試料の種
類、結晶の面指数に制限を受けずに高精度に格子定数を
測定できる装置に関する。
従来の装置の概略を第１図に示す。従来の装置は特開昭
４９−３６７７号に記載されているように［Ｘ線源１か
ら発生したＸ線ビームを２方向に分割せるスリット２．
３金有し、該スリットによって２方向に分割されたＸ線
ビームそれぞれを反射させるモノクロメータ４，５と、
該モノクロメータ４，５によって反射されたそれぞれの
Ｘ線ビーム６．７が同一の回転台上に固定された標準試
料８と測定試料９の単結晶によって回折条件を滴しの格
子定数測定の基本は２結晶の平行配置ｆｒ：広用したも
のであｎ、ＸＭビーム２に対するモノクロメータ４と測
定試料９あるいは標準試料８には一定のＸ線結晶学的拘
束があり、これによって光学的配置が決定づけられてい
る。特に、測定試料の結晶面と同一の面指数をもクモノ
クロメータの回折角人がモノクロメータの結晶面に対し
て９０゜より小さな角度をとるものについては従来法で
は測定不可能となる。
４９−３６７７号に記載されているように［Ｘ線源１か
ら発生したＸ線ビームを２方向に分割せるスリット２．
３金有し、該スリットによって２方向に分割されたＸ線
ビームそれぞれを反射させるモノクロメータ４，５と、
該モノクロメータ４，５によって反射されたそれぞれの
Ｘ線ビーム６．７が同一の回転台上に固定された標準試
料８と測定試料９の単結晶によって回折条件を滴しの格
子定数測定の基本は２結晶の平行配置ｆｒ：広用したも
のであｎ、ＸＭビーム２に対するモノクロメータ４と測
定試料９あるいは標準試料８には一定のＸ線結晶学的拘
束があり、これによって光学的配置が決定づけられてい
る。特に、測定試料の結晶面と同一の面指数をもクモノ
クロメータの回折角人がモノクロメータの結晶面に対し
て９０゜より小さな角度をとるものについては従来法で
は測定不可能となる。
上記、理由から測定試料の結晶は種類、結晶の反射面に
一定の制約を受ける。結晶によっては測定できないもの
もあり、格子定数測定装置としての汎用性に欠けている
。
一定の制約を受ける。結晶によっては測定できないもの
もあり、格子定数測定装置としての汎用性に欠けている
。
本発明の目的は単結晶の格子定数測定装置において、Ｘ
線源として２本のＸ線管球を配置、これ−によって、本
装置の光学系における結晶学的制約を排除し、あらゆる
結晶（結晶面）の単結晶の格子定数をΔｄ／ｄで１０−
６〜１０−８の高精度で測定しうる格子定数測定装置を
提供することにある。
線源として２本のＸ線管球を配置、これ−によって、本
装置の光学系における結晶学的制約を排除し、あらゆる
結晶（結晶面）の単結晶の格子定数をΔｄ／ｄで１０−
６〜１０−８の高精度で測定しうる格子定数測定装置を
提供することにある。
本発明の特徴は格子定数測定装置において、Ｘ線源とし
て２本のＸ線管球を配置することにある。
て２本のＸ線管球を配置することにある。
このことにより、２本のＸ線管球間の距離を可変し、結
晶に対する入射Ｘ線ビームの入射角を任意に選択するこ
とができる。よって、Ｘ級結晶学的に光学系が拘束され
ることなく、任意の結晶面をもつ単結晶の格子定数を高
精度に測定することが可能となる。
晶に対する入射Ｘ線ビームの入射角を任意に選択するこ
とができる。よって、Ｘ級結晶学的に光学系が拘束され
ることなく、任意の結晶面をもつ単結晶の格子定数を高
精度に測定することが可能となる。
以下、本発明の一実施例を第２図により説明する。第２
図に示す格子定数測定装置の構成は基本的には第１図に
示す従来装置と同一である。従来装置と異なる所はＸ線
源１と１２の２本のＸ線管球を用いたことである。ここ
で重要なことは、Ｘ線ビーム２に対するモノクロメータ
の回折線６の方向人である。いま、モノクロメータとし
て５ｉ（５１１）非対称反射を使用した場曾、Ｘ線源を
ＣｕＫα（λ＝１５４（Ａ））とし、回折線の方向すな
わち回折素人は（１）式で示すブラックの式で与えられ
る。
図に示す格子定数測定装置の構成は基本的には第１図に
示す従来装置と同一である。従来装置と異なる所はＸ線
源１と１２の２本のＸ線管球を用いたことである。ここ
で重要なことは、Ｘ線ビーム２に対するモノクロメータ
の回折線６の方向人である。いま、モノクロメータとし
て５ｉ（５１１）非対称反射を使用した場曾、Ｘ線源を
ＣｕＫα（λ＝１５４（Ａ））とし、回折線の方向すな
わち回折素人は（１）式で示すブラックの式で与えられ
る。
２ｄｓｌｎθ＝λ ・・・・・・・・・（
１）ここで、ｄは結晶の格子面間隔■、θはブラッグ角
、λはＸ線の波長■である。
１）ここで、ｄは結晶の格子面間隔■、θはブラッグ角
、λはＸ線の波長■である。
第１図の実施例では測定試料を８ｉ（３３３）ｆ：仮定
し、モノクロメータは（５１１）非対称反射であり、こ
のときの面間隔ｄ ＝ １．０４５（Ａ）、波長はλ＝
１゜５４（Ａ）とすれば（１）式よりθ＝４７．４７°
となる。
し、モノクロメータは（５１１）非対称反射であり、こ
のときの面間隔ｄ ＝ １．０４５（Ａ）、波長はλ＝
１゜５４（Ａ）とすれば（１）式よりθ＝４７．４７°
となる。
すなわち回折角Ａ＝９４．９４°とり、従来法の第１図
ではＸ線ビーム６と７のなす角は鋭角になり、光学系に
かなり無理があることがわかる。本発明の第２図ではＡ
＝９４．９４°であってもＸ線源１と１２が任意の位置
にセットできるので問題はない。
ではＸ線ビーム６と７のなす角は鋭角になり、光学系に
かなり無理があることがわかる。本発明の第２図ではＡ
＝９４．９４°であってもＸ線源１と１２が任意の位置
にセットできるので問題はない。
仮に、 ８ ｉ （３１１） 非対称反射を考えた場
合、人＝５６．１２°となり、従来法（第１図）では光
学系ｔ−組み上げることは不可能となる。本発明の２管
球方式では、Ｘ線管球１．１２の位置を平行移動すれば
５ｉ（３１１）非対称反射のモノクロメータの使用も可
能となる。
合、人＝５６．１２°となり、従来法（第１図）では光
学系ｔ−組み上げることは不可能となる。本発明の２管
球方式では、Ｘ線管球１．１２の位置を平行移動すれば
５ｉ（３１１）非対称反射のモノクロメータの使用も可
能となる。
以上、述べたように、２結晶法による格子定数測定にお
いてはモノクロメータ４の格子面間隔と測定試料９の格
子面間隔が等しいものを使う必要条件がある。これによ
って従来装置ではＸ線源１が１つであるため、測定試料
にＸＦｆｉＡＭ晶学的に制約を受ける。しかし、本発明
の格子定数測定装置においてはＸＳ源ｔ−１と１２の２
個を配置することにより、上記制約は排除され、任意の
結晶の任意の結晶面での格子定数測定が可能となり、分
析装置としての汎用性に優れたものとなる。
いてはモノクロメータ４の格子面間隔と測定試料９の格
子面間隔が等しいものを使う必要条件がある。これによ
って従来装置ではＸ線源１が１つであるため、測定試料
にＸＦｆｉＡＭ晶学的に制約を受ける。しかし、本発明
の格子定数測定装置においてはＸＳ源ｔ−１と１２の２
個を配置することにより、上記制約は排除され、任意の
結晶の任意の結晶面での格子定数測定が可能となり、分
析装置としての汎用性に優れたものとなる。
本発明によれば、Ｘ線源を２個もつ格子定数測定装置で
あることから、モノクロメータからの回折線を測定試料
に対して入射角を任意に選択できる。よって、本発明に
よる格子定数測定の測定試料に対する制限は全くなく、
すべての単結晶試料に対して、Δｄ／ｄで１０−６〜１
０−” の高精度測定が可能である。
あることから、モノクロメータからの回折線を測定試料
に対して入射角を任意に選択できる。よって、本発明に
よる格子定数測定の測定試料に対する制限は全くなく、
すべての単結晶試料に対して、Δｄ／ｄで１０−６〜１
０−” の高精度測定が可能である。
第１図は従来の格子定数測定装置の概略構成を示す平面
図である。第２因は本発明の格子定数の高精度測定装置
の一実施例を示す平面図である。 １．１２・・・Ｘ線源、２．４・・・スリット、４，５
・・・モノクロメータ、６．７・・・Ｘ線ビーム、８・
・・標準冨 ｊ 記 冨 ２ 図
図である。第２因は本発明の格子定数の高精度測定装置
の一実施例を示す平面図である。 １．１２・・・Ｘ線源、２．４・・・スリット、４，５
・・・モノクロメータ、６．７・・・Ｘ線ビーム、８・
・・標準冨 ｊ 記 冨 ２ 図
Claims (1)
- １、単結晶の格子定数を測定する装置において、Ｘ線源
として２本のＸ線管球を配置することを特徴とする格子
定数の高精度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25752284A JPS61137052A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 格子定数の高精度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25752284A JPS61137052A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 格子定数の高精度測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61137052A true JPS61137052A (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=17307463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25752284A Pending JPS61137052A (ja) | 1984-12-07 | 1984-12-07 | 格子定数の高精度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61137052A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008247267A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Motors Corp | 車両の衝撃吸収構造 |
-
1984
- 1984-12-07 JP JP25752284A patent/JPS61137052A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008247267A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Mitsubishi Motors Corp | 車両の衝撃吸収構造 |
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