JPS61136841A - 半導体ウエハ−等の取出移送装置 - Google Patents
半導体ウエハ−等の取出移送装置Info
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- JPS61136841A JPS61136841A JP25548284A JP25548284A JPS61136841A JP S61136841 A JPS61136841 A JP S61136841A JP 25548284 A JP25548284 A JP 25548284A JP 25548284 A JP25548284 A JP 25548284A JP S61136841 A JPS61136841 A JP S61136841A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 title claims description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 10
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 2
- 235000008429 bread Nutrition 0.000 description 1
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
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- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
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- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Special Conveying (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の目的）
この発明は、半導体ウェハーやプリントマスクなど、薄
くてぜい弱であり、しかも僅かの損傷や、汚損が性能上
霊命的となるような物体（以下７−クとよぶ）を準備位
置から取出し、加工位置へと移送する装置に関するもの
で、その目的は所要の面への損傷や汚損が発生するおそ
れのないワークの家出移送手段を提供するのにある。
くてぜい弱であり、しかも僅かの損傷や、汚損が性能上
霊命的となるような物体（以下７−クとよぶ）を準備位
置から取出し、加工位置へと移送する装置に関するもの
で、その目的は所要の面への損傷や汚損が発生するおそ
れのないワークの家出移送手段を提供するのにある。
従来、前記したようなワークの移送には、搬送用トレー
によるトレー搬送、無端ベルトや一対の平行オーリング
によるコンベヤ搬送、気流により移動させるエヤーベヤ
リング搬送などの手段が用いられているが、いずれも理
想からはなはだ遠い。
によるトレー搬送、無端ベルトや一対の平行オーリング
によるコンベヤ搬送、気流により移動させるエヤーベヤ
リング搬送などの手段が用いられているが、いずれも理
想からはなはだ遠い。
すなわち、トレー搬送やコンベヤ搬送によればワークが
移動物体に戴置されて移動する関係上、接触するワーク
の面に傷がつきやすく、エヤーベヤリング搬送では移送
における姿勢が不安定となったり、到着時における摩擦
が避けられないなどの欠点がある。この発明は、これら
の従来技術においてしばしば発生するワークの加工面の
外傷や汚れを完全に絶滅することに成功したものである
。
移動物体に戴置されて移動する関係上、接触するワーク
の面に傷がつきやすく、エヤーベヤリング搬送では移送
における姿勢が不安定となったり、到着時における摩擦
が避けられないなどの欠点がある。この発明は、これら
の従来技術においてしばしば発生するワークの加工面の
外傷や汚れを完全に絶滅することに成功したものである
。
（発明の構成）
以下、図示した実施例によりこの発明を説明すれば、１
はワークＷ支持用のワークホルダーで、１１２図に示し
たワーク取出位置Ａとワーク放出位置Ｂ間に往復可能に
設けられている。
はワークＷ支持用のワークホルダーで、１１２図に示し
たワーク取出位置Ａとワーク放出位置Ｂ間に往復可能に
設けられている。
Ａ、８間の往復移動には任意の手段を用いて差支えない
が、Ｉ！１図に示す実施例によれば、ワークホルダー１
は一対のレール８，８１上に図示されていないベアリン
グを介して載置され、正、反転可能なモーター６によっ
て駆動される無端ベルト９に固定されており、モーター
６を含むワークホルダー１の駆動回路にモーター６の正
転、反転の指令を与えることによってＮ２図に示したワ
ーク取出位置Ａとワーク放出位置Ｂ間の往復運動をワー
クホルダー１に丘わせることができる。
が、Ｉ！１図に示す実施例によれば、ワークホルダー１
は一対のレール８，８１上に図示されていないベアリン
グを介して載置され、正、反転可能なモーター６によっ
て駆動される無端ベルト９に固定されており、モーター
６を含むワークホルダー１の駆動回路にモーター６の正
転、反転の指令を与えることによってＮ２図に示したワ
ーク取出位置Ａとワーク放出位置Ｂ間の往復運動をワー
クホルダー１に丘わせることができる。
この発明によれば、ワークホルダー制御装置を冑するが
、この制御、装置の詳細は後述する。
、この制御、装置の詳細は後述する。
つぎに、この発明によれば、ワークホルダー１は、一対
のローラー２．２／に掛回した水平な無端ベルト３の上
ベルト３１および下ベルト３２にそれぞれ固定した一対
のワークつかみ具４，５を有している。ワークつかみ具
４，５は、たがいに向合って対立する一対の端爪４１
、５１を育するとともに、端爪４１および端爪５１から
それぞれの相手に向って下方に傾斜するそれぞれ一対の
路側縁４１息、４１ｂおよび路側縁５１１１５１ｂを有
している。
のローラー２．２／に掛回した水平な無端ベルト３の上
ベルト３１および下ベルト３２にそれぞれ固定した一対
のワークつかみ具４，５を有している。ワークつかみ具
４，５は、たがいに向合って対立する一対の端爪４１
、５１を育するとともに、端爪４１および端爪５１から
それぞれの相手に向って下方に傾斜するそれぞれ一対の
路側縁４１息、４１ｂおよび路側縁５１１１５１ｂを有
している。
第１図に示す例において、ワークつかみ具５はブラケッ
ト５２により上ベルト３１に取付けられているが、ワー
クつかみ具４を下ベルト３２に取付ける同様なブラケッ
トは図面に現われていない。
ト５２により上ベルト３１に取付けられているが、ワー
クつかみ具４を下ベルト３２に取付ける同様なブラケッ
トは図面に現われていない。
つぎに、この発明における前記したワークホルダー制御
装置について述べる。すなわち、このワークホルダー制
御装置は、モーター６を含む無端ベルト３の駆動回路と
、モーター７を含むワークホルダー１の駆動回路とを有
している。このワークホルダー制Ｗ装置はまた、ワーク
取出位置Ａにおいては、ワークつかみ具４，５の間隔を
短縮する方向（ｉＥ２因においてＯ−ラー２の左回転方
向）への無端ベルト３の駆動と、端爪４１ 、５１間に
７−クＷをはさんだときモーター６の負Ｍ＠ｍｌは第６
図のパルス状曲ＮＩＰのように急増するが、この急増に
対応して無端ベルト３の駆動回路にモーター６への電流
制限を指令するとともに、ワーク放出位１ＩＩＩＢへの
ワークホルダー１の移動をワークホルダー１の駆動回路
に指令する一方、ワーク放出位１！Ｂにおいては、ワー
クつかみ具４．５の間隔を伸長する方向（第２図におい
てＯ−ラー２の右回転方向）への無端ベルト３の駆動を
無端ベルト３の〆〆ダに鱗′メメＪ／Ｊ’〆駆動回路に
指令する回路を冑している。
装置について述べる。すなわち、このワークホルダー制
御装置は、モーター６を含む無端ベルト３の駆動回路と
、モーター７を含むワークホルダー１の駆動回路とを有
している。このワークホルダー制Ｗ装置はまた、ワーク
取出位置Ａにおいては、ワークつかみ具４，５の間隔を
短縮する方向（ｉＥ２因においてＯ−ラー２の左回転方
向）への無端ベルト３の駆動と、端爪４１ 、５１間に
７−クＷをはさんだときモーター６の負Ｍ＠ｍｌは第６
図のパルス状曲ＮＩＰのように急増するが、この急増に
対応して無端ベルト３の駆動回路にモーター６への電流
制限を指令するとともに、ワーク放出位１ＩＩＩＢへの
ワークホルダー１の移動をワークホルダー１の駆動回路
に指令する一方、ワーク放出位１！Ｂにおいては、ワー
クつかみ具４．５の間隔を伸長する方向（第２図におい
てＯ−ラー２の右回転方向）への無端ベルト３の駆動を
無端ベルト３の〆〆ダに鱗′メメＪ／Ｊ’〆駆動回路に
指令する回路を冑している。
この発明にかかる装置は上記のようにしてなるので、ワ
ーク取出位！ＩＡにおいては、ワークつかみ具４，５の
間隔を短縮する方向へ無端ベルト３の駆動が指令され、
したがって、ワークつかみ兵４．５によってワークＷの
両端縁がはさまれる。
ーク取出位！ＩＡにおいては、ワークつかみ具４，５の
間隔を短縮する方向へ無端ベルト３の駆動が指令され、
したがって、ワークつかみ兵４．５によってワークＷの
両端縁がはさまれる。
そして、その際のモーター６の負荷１！ｆｉｌが前記し
たように急増するが、モーター６への電流制限が指令回
路により指令されるので、ワークＷはワークつかみ具４
，５の適当な挟持力によって確実に保持される。そして
その際、ワーク放出位置Ｂへのワークホルダー１の移動
がワークホルダー１の駆動回路に指令されるので、ワー
クホルダー１はワークＷをつかんで保持したままワーク
放出位置Ｂに移動する。
たように急増するが、モーター６への電流制限が指令回
路により指令されるので、ワークＷはワークつかみ具４
，５の適当な挟持力によって確実に保持される。そして
その際、ワーク放出位置Ｂへのワークホルダー１の移動
がワークホルダー１の駆動回路に指令されるので、ワー
クホルダー１はワークＷをつかんで保持したままワーク
放出位置Ｂに移動する。
さて、ワークつかみ具４．６はたがいに向合って対立す
る一対の端爪４１ 、５１からそれぞれの相手に向って
下方に傾斜するそれぞれ一対の斜側縁４１１．４１ｂお
よび斜側縁５１ ａ ＋ ５１ ｂを有するので、第５
図４示すように、ワークＷはその側縁ｊ＋Ｗ２と底面の
縁線Ｌ１１Ｌ２によってのみ支持され、これらの支持箇
所以外、特にワークＷの頂面、底面のような加工面は何
等の物体に接触しないので、ワークＷの取出から放出ま
での間において損傷や汚損を受けるおそれが絶無である
。
る一対の端爪４１ 、５１からそれぞれの相手に向って
下方に傾斜するそれぞれ一対の斜側縁４１１．４１ｂお
よび斜側縁５１ ａ ＋ ５１ ｂを有するので、第５
図４示すように、ワークＷはその側縁ｊ＋Ｗ２と底面の
縁線Ｌ１１Ｌ２によってのみ支持され、これらの支持箇
所以外、特にワークＷの頂面、底面のような加工面は何
等の物体に接触しないので、ワークＷの取出から放出ま
での間において損傷や汚損を受けるおそれが絶無である
。
ワークホルダー１がワーク放出位置Ｂに移動すれば、ワ
ークつかみ具４，５の間隔を伸長する方向への無端ベル
ト３の駆動が無端ベルト３の駆動回路に指令されるので
、ワークＷはワークつかみ具４５による挟持から解放さ
れて放出されるとともに、ワーク取出位置Ａへのワーク
ホルダー１の移動がワークホルダー１の駆動回路に摺合
されるので、ワークＷ放出後のワークホルダー１は再び
ワーク取出位置Ａに復帰し、かくして、ワークＷの加工
面に何等の損傷、汚損を受けることなく、ワークＷの取
出移送を繰返すことができる。
ークつかみ具４，５の間隔を伸長する方向への無端ベル
ト３の駆動が無端ベルト３の駆動回路に指令されるので
、ワークＷはワークつかみ具４５による挟持から解放さ
れて放出されるとともに、ワーク取出位置Ａへのワーク
ホルダー１の移動がワークホルダー１の駆動回路に摺合
されるので、ワークＷ放出後のワークホルダー１は再び
ワーク取出位置Ａに復帰し、かくして、ワークＷの加工
面に何等の損傷、汚損を受けることなく、ワークＷの取
出移送を繰返すことができる。
第２図には、この発明装置の適用例が示されている。す
なわち、この適用例では、多数のワークＷをソロパン玉
状のセパレーク−５によってたがいに隔離して重ねて保
管するグーＩ力七ットＣを第４図に示したエレベータ−
のスクリューＲの回転によって段階的に降下させ、つね
にカセットＣ中の最下位のワークＷを７−クつかみ具４
，５によってつかんでカセットＣから取出すことができ
るようにしである。ＰｌはカセットＣの底板でフ字状の
平面形を有し、ワークホルダー１の無端ベルト３の一部
がそのフ字の四所に出入できるようになっている。カセ
ットＣの底板Ｐ１と天板Ｐ２は七バレークーＳに貫通し
た４本の支柱ｔにより結合されている。そして、このカ
セーＩトＣに支持されるワークＷがすべて取出されたと
きはカセットＣを取外し、再びワークＷを挿入保持させ
ることができるようになっている。ワーク展出位置Ｂに
おけるワークＷの放出にはＮ７図に示すようなワークつ
かみ臭１１ 、１２をそなえるワーク転送装置を用いる
とよい。第２図にはこのワーク転送装置が省略されてい
るが、この装置の構造は前記したワークホルダーｌと本
質的に同様で、前記した無端ベルト３と同様な無端ベル
トとこれに固定したワークつかみ具１１ 、１２を有し
、ワークＷはその縁線において斜側縁１１１ ｍ 、１
２１ ａに係合するとともに、端爪１１１ 、１２１に
よって挟持される。ただし、その無端ベルトと端爪１１
１ 、１２１との関係位置は第２図とは上下が反対であ
るとともに、無端ベルトの方向が１！２図の無端ベルト
３とは水平面内において直角方向である。また、このワ
ーク転送装置においてはワークホルダーは、ワークＷを
つかんでから上方に膠動後水平に進行することにより、
ワークＷの移動に支障がないようになっている。ワーク
転送装置によってワークＷの加工位置まで転送されたワ
ークＷはワークつかみ具１１゜１２の間隔を伸長するこ
とにより放出され、この加工位置において加工されるの
である。
なわち、この適用例では、多数のワークＷをソロパン玉
状のセパレーク−５によってたがいに隔離して重ねて保
管するグーＩ力七ットＣを第４図に示したエレベータ−
のスクリューＲの回転によって段階的に降下させ、つね
にカセットＣ中の最下位のワークＷを７−クつかみ具４
，５によってつかんでカセットＣから取出すことができ
るようにしである。ＰｌはカセットＣの底板でフ字状の
平面形を有し、ワークホルダー１の無端ベルト３の一部
がそのフ字の四所に出入できるようになっている。カセ
ットＣの底板Ｐ１と天板Ｐ２は七バレークーＳに貫通し
た４本の支柱ｔにより結合されている。そして、このカ
セーＩトＣに支持されるワークＷがすべて取出されたと
きはカセットＣを取外し、再びワークＷを挿入保持させ
ることができるようになっている。ワーク展出位置Ｂに
おけるワークＷの放出にはＮ７図に示すようなワークつ
かみ臭１１ 、１２をそなえるワーク転送装置を用いる
とよい。第２図にはこのワーク転送装置が省略されてい
るが、この装置の構造は前記したワークホルダーｌと本
質的に同様で、前記した無端ベルト３と同様な無端ベル
トとこれに固定したワークつかみ具１１ 、１２を有し
、ワークＷはその縁線において斜側縁１１１ ｍ 、１
２１ ａに係合するとともに、端爪１１１ 、１２１に
よって挟持される。ただし、その無端ベルトと端爪１１
１ 、１２１との関係位置は第２図とは上下が反対であ
るとともに、無端ベルトの方向が１！２図の無端ベルト
３とは水平面内において直角方向である。また、このワ
ーク転送装置においてはワークホルダーは、ワークＷを
つかんでから上方に膠動後水平に進行することにより、
ワークＷの移動に支障がないようになっている。ワーク
転送装置によってワークＷの加工位置まで転送されたワ
ークＷはワークつかみ具１１゜１２の間隔を伸長するこ
とにより放出され、この加工位置において加工されるの
である。
（発明の効果）
前記したように、この発明によれば、ワークの取出かう
移送完了までの間において、ワークは側縁および縁線の
みにより支持され、ワークの加工面が損傷や汚損を受け
る機会が絶無であるとともに、ワークは最適の圧力によ
って挟持されるので、きわめて安定な状態で確実に移送
され、したがって、半導体ウェハー等きわめてぜい弱な
ワークの品質管理を格段に高め、製品の不良率を著しく
低下させることができる。
移送完了までの間において、ワークは側縁および縁線の
みにより支持され、ワークの加工面が損傷や汚損を受け
る機会が絶無であるとともに、ワークは最適の圧力によ
って挟持されるので、きわめて安定な状態で確実に移送
され、したがって、半導体ウェハー等きわめてぜい弱な
ワークの品質管理を格段に高め、製品の不良率を著しく
低下させることができる。
Ｎ１図はこの発ａ装置の一実施例の要部を示す斜視図、
Ｉ！２図は同じく、この発明装置の適用例の動作′ｍ期
用側面図、第３図は第２図のワーク取出位置における装
置のｘ−ｘ断面図、′ｌＸ４図はカセットのエレベータ
−の要部を示す側面図、１１！５図はワークつかみ具の
要部を示す孤大側面図、第６図はワークつかみ具用無端
ベルト駆動用モーターの負荷１８５１１Ｉの特性−原図
、第７図はワーク転送装置のワークつかみ具の要部を示
す正面図である。 Ａはワーク取出位置、Ｂはワーク放出位置、Ｗはワーク
、！は負荷１！１ｌｌｌｉ、 １はワークホルダー、２
．２１はＯ−ラー、３は無端ベルト、３１は上ベルト、
３２は下ベルト、４，５はワークつかみ具、４１ 、５
１は端爪、４１ ｍ ＋ ４１ ｂ ＋ ５１ ｍ ＋
５１ ｂは斜側縁、５２はブラケット、６，７はモー
ター、８．８／はレール、９は無端ベル＄はパルス状曲
１１Ａ、Ｗ１＋Ｗ２は１１１５１．Ｌ鳳、Ｌ２は緑慝、
Ｓは七バレーター、Ｃはカセット、Ｒはスクリュー、Ｐ
は底板、Ｐ２は天板、ｔは支柱、１１．１２はワーク
つかみ具、１１１ 、１１２は制電、１１１ ｍ 、
１２１ ｍは斜側縁で−ある。 特許出願人 株式会社エムチーシー ζ）
Ｉ！２図は同じく、この発明装置の適用例の動作′ｍ期
用側面図、第３図は第２図のワーク取出位置における装
置のｘ−ｘ断面図、′ｌＸ４図はカセットのエレベータ
−の要部を示す側面図、１１！５図はワークつかみ具の
要部を示す孤大側面図、第６図はワークつかみ具用無端
ベルト駆動用モーターの負荷１８５１１Ｉの特性−原図
、第７図はワーク転送装置のワークつかみ具の要部を示
す正面図である。 Ａはワーク取出位置、Ｂはワーク放出位置、Ｗはワーク
、！は負荷１！１ｌｌｌｉ、 １はワークホルダー、２
．２１はＯ−ラー、３は無端ベルト、３１は上ベルト、
３２は下ベルト、４，５はワークつかみ具、４１ 、５
１は端爪、４１ ｍ ＋ ４１ ｂ ＋ ５１ ｍ ＋
５１ ｂは斜側縁、５２はブラケット、６，７はモー
ター、８．８／はレール、９は無端ベル＄はパルス状曲
１１Ａ、Ｗ１＋Ｗ２は１１１５１．Ｌ鳳、Ｌ２は緑慝、
Ｓは七バレーター、Ｃはカセット、Ｒはスクリュー、Ｐ
は底板、Ｐ２は天板、ｔは支柱、１１．１２はワーク
つかみ具、１１１ 、１１２は制電、１１１ ｍ 、
１２１ ｍは斜側縁で−ある。 特許出願人 株式会社エムチーシー ζ）
Claims (1)
- ワーク取出位置Ａとワーク放出位置Ｂ間に往復可能なワ
ークＶ支持用のワークホルダー１と、下記のワークホル
ダー制御装置とを有し、ワークホルダー１は一対のロー
ラー２、２′に掛回した水平な無端ベルト３の上ベルト
３１および下ベルト３２にそれぞれ固定した一対のワー
クつかみ具４、５とを有し、ワークつかみ具４、５はた
がいに向合って対立する一対の端爪４１、５１からそれ
ぞれの相手に向って下方に傾斜するそれぞれ一対の斜側
縁４１ａ、４１ｂおよび斜側縁５１ａ、５１ｂを有し、
前記ワークホルダー制御装置はモーター６を含むワーク
ホルダー１の駆動回路と、モーター７を含む無端ベルト
３の駆動回路とを有するとともにワーク取出位置Ａにお
いては、ワークつかみ具４、５の間隔を短縮する方向へ
の無端ベルト３の駆動ならびに端爪４１、５１間にワー
クＶをはさんだときのモーター６の負荷電流Ｉの急増に
対応するモーター６への電流制限を無端ベルト３の駆動
回路に指令するとともに、ワーク放出位置Ｂへのワーク
ホルダー１の移動をワークホルダー１の駆動回路に指令
する一方、ワーク放出位置Ｂにおいては、ワークつかみ
具４、５の間隔を伸長する方向への無端ベルト３の駆動
を無端ベルト３の駆動回路に指令するとともに、ワーク
取出位置Ａへのワークホルダー１の移動をワークホルダ
ー１の駆動回路に指令する回路を有してなる半導体ウェ
ハー等の取出移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25548284A JPS61136841A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 半導体ウエハ−等の取出移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25548284A JPS61136841A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 半導体ウエハ−等の取出移送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61136841A true JPS61136841A (ja) | 1986-06-24 |
Family
ID=17279370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25548284A Pending JPS61136841A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 半導体ウエハ−等の取出移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61136841A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0185326U (ja) * | 1987-11-26 | 1989-06-06 | ||
| CN106892257A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-06-27 | 嘉兴晟友机械科技有限公司 | 一种轴检测设备中的自动上料装置 |
| CN111559658A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-08-21 | 北京东瑞科技有限公司 | 一种口罩生产设备输料装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS555216A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-16 | Okamura Corp | Industrial robot hand with automatic centripetalism |
| JPS569188A (en) * | 1979-06-30 | 1981-01-30 | Fujitsu Fanuc Ltd | Device for gripping work |
-
1984
- 1984-12-03 JP JP25548284A patent/JPS61136841A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS555216A (en) * | 1978-06-19 | 1980-01-16 | Okamura Corp | Industrial robot hand with automatic centripetalism |
| JPS569188A (en) * | 1979-06-30 | 1981-01-30 | Fujitsu Fanuc Ltd | Device for gripping work |
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| CN106892257A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-06-27 | 嘉兴晟友机械科技有限公司 | 一种轴检测设备中的自动上料装置 |
| CN111559658A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-08-21 | 北京东瑞科技有限公司 | 一种口罩生产设备输料装置 |
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