JPS61132806A - 非接触式微小間隙測定方法 - Google Patents
非接触式微小間隙測定方法Info
- Publication number
- JPS61132806A JPS61132806A JP25411684A JP25411684A JPS61132806A JP S61132806 A JPS61132806 A JP S61132806A JP 25411684 A JP25411684 A JP 25411684A JP 25411684 A JP25411684 A JP 25411684A JP S61132806 A JPS61132806 A JP S61132806A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- light
- electrical signal
- labyrinth
- projecting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は非接触式微小間隙測定方法に関する。
例えば、多段型遠心圧縮機におい工は、第４図縦断面図
に示すように、回転軸１に圧縮用インペラー２が多段組
み込まれ、各インペラー間にはガスシール用ラビリンス
３が設置されており、ラビリンス３は第５図拡大横断面
図に示す工うに、隔壁４の内周に組み込まれ、回転軸１
との間には通常０．１〜０．５１１１１程度の適度のラ
ビリンス間隙δが設けられている。
に示すように、回転軸１に圧縮用インペラー２が多段組
み込まれ、各インペラー間にはガスシール用ラビリンス
３が設置されており、ラビリンス３は第５図拡大横断面
図に示す工うに、隔壁４の内周に組み込まれ、回転軸１
との間には通常０．１〜０．５１１１１程度の適度のラ
ビリンス間隙δが設けられている。
このラビリンス間隙δを測定する方法としては、従来、
車室及び隔壁４の上半分を取り除き、α）手の入る範囲
ですきまゲージを差し込み測定する、■ラビリンスと回
転軸の間に鉛線をはさみ込み、鉛線を変形させ、変形後
の厚みをノギス吟で測定する等の接触方式での測定方法
が採られている。
車室及び隔壁４の上半分を取り除き、α）手の入る範囲
ですきまゲージを差し込み測定する、■ラビリンスと回
転軸の間に鉛線をはさみ込み、鉛線を変形させ、変形後
の厚みをノギス吟で測定する等の接触方式での測定方法
が採られている。
しかしながら、α）の方法では測定精度が悪（、■の方
法では測定に時間と労力を用する等の問題がある。
法では測定に時間と労力を用する等の問題がある。
本発明はこのような事情に鑑みて提案されたもので、労
力少なく、迅速かつ正確に測定することのできる非接触
式微少間隔測定方法を提供することを目的とする。
力少なく、迅速かつ正確に測定することのできる非接触
式微少間隔測定方法を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段Ｊ
そのために本発明は、測定すべき間隙
の一側から該間隙よシも大きい径のスポット光の周期的
パルス光を該間隙に投光し、該間隙を通って他側へ出た
透過光を受光し、これを電気パルス信号に変換のうえ、
該電気パルス信号のうち投光パルス周波数成分のみを検
出し、この検出値に基づいて間隙値を求めることを特徴
とする。
パルス光を該間隙に投光し、該間隙を通って他側へ出た
透過光を受光し、これを電気パルス信号に変換のうえ、
該電気パルス信号のうち投光パルス周波数成分のみを検
出し、この検出値に基づいて間隙値を求めることを特徴
とする。
このような構成によシ、労力少なく、
迅速かつ正確に測定することのできる非接触式微小間隔
測定方法を得ることができる。
測定方法を得ることができる。
本発明を遠心圧縮機のラビリンス間隙の測定に適用した
一実施例を図面について説明すると、第１図はその測定
回路を示すブロック線図、第２図は第１図におけるラビ
リンス間隙と受光量との関係を示す線図、第３図は第゛
１図の光ファイバーの先端部を示す側１図である。
一実施例を図面について説明すると、第１図はその測定
回路を示すブロック線図、第２図は第１図におけるラビ
リンス間隙と受光量との関係を示す線図、第３図は第゛
１図の光ファイバーの先端部を示す側１図である。
上図において、第４〜５図と同一の記
号はそれぞれ第４〜５図と同二の部材を示し、５は投光
及び受光用の光ファイバーで、６はそれぞれその先端部
分を示す。
及び受光用の光ファイバーで、６はそれぞれその先端部
分を示す。
７は発光装置で高周波発振器８によって制御され、周期
的パルス元を発光し、投光用光ファイバーを通して少な
（とも測定すべき間隙より大きい径のスポット光をラビ
リンス３の間隙部の側面を照射し、ラビリンス３と回転
軸１とのすきまを通して反対側に洩れ出た光は受光用光
ファイバーで受光され、この受光信号は光電変換装置９
で電気パルス信号に変換の後、ｉ域フィルタ収はバイパ
スフィルタ（Ｏで投光パルス信号周波数成分のみが検出
され表示装置１１で整流後、間隙値が表示される。
的パルス元を発光し、投光用光ファイバーを通して少な
（とも測定すべき間隙より大きい径のスポット光をラビ
リンス３の間隙部の側面を照射し、ラビリンス３と回転
軸１とのすきまを通して反対側に洩れ出た光は受光用光
ファイバーで受光され、この受光信号は光電変換装置９
で電気パルス信号に変換の後、ｉ域フィルタ収はバイパ
スフィルタ（Ｏで投光パルス信号周波数成分のみが検出
され表示装置１１で整流後、間隙値が表示される。
このような装置において、ラビリンス間隙δと受光光量
Ｌｕとの間には第２図の関係があり、ラビリンス間隙δ
が大きいほど、受光用光ファイバー６の受光量Ｌｕも太
き（なるので、本方法によって０■から投光用光ファイ
バーの直径程度までの範囲の間隙を高精度にかつ非接触
で測定することができる。
Ｌｕとの間には第２図の関係があり、ラビリンス間隙δ
が大きいほど、受光用光ファイバー６の受光量Ｌｕも太
き（なるので、本方法によって０■から投光用光ファイ
バーの直径程度までの範囲の間隙を高精度にかつ非接触
で測定することができる。
こ瓦で、投受光用光ファイバーの先端は第３図（８）に
示す工うに、光軸に対して直角に切断したもの、Ｎ図（
ハ）に示す工うに、４５°Ｃ・こ切断したものが使用さ
れる。
示す工うに、光軸に対して直角に切断したもの、Ｎ図（
ハ）に示す工うに、４５°Ｃ・こ切断したものが使用さ
れる。
への構造では、光は直進するが、■の構造では、光は直
角に折り曲げられ、紬定時の操作性が改善される。
角に折り曲げられ、紬定時の操作性が改善される。
このような方法にＬれば、下記の効果が奏せられる。
α）一対の投受光用光ファイバーを使用することにより
、非接触での間隙測定が可能となる。
、非接触での間隙測定が可能となる。
■ 光源に周期的パルス光を使用することにより、照明
光その他外来散乱光による測定誤差が生じな（なる。
光その他外来散乱光による測定誤差が生じな（なる。
（３） 本発明法はタービン、圧縮機等のはか一般の
機械装置ですきまゲージ等が使用できない狭隘な部位で
のすきまの測定に使用することができる。
機械装置ですきまゲージ等が使用できない狭隘な部位で
のすきまの測定に使用することができる。
要するに本発明によれば、測定すべき間隙の一側から該
間隙よりも大きい径のスポット光の周期的パルス光を該
間隙に投光し、該間′″゛−京を通って他側へ出た透過 光を受光し、これを電気パルス信号に変換のうえ、該電
気パルス信号のうち投光パルス周波数成分のみを検出し
、この検出値に基づいて間隙値を求めることにより、労
力少な（迅速かつ正確に測定することのできる非接触式
微小間隙測定方法を得るから、本発明は産業上極めて有
益なものである。
間隙よりも大きい径のスポット光の周期的パルス光を該
間隙に投光し、該間′″゛−京を通って他側へ出た透過 光を受光し、これを電気パルス信号に変換のうえ、該電
気パルス信号のうち投光パルス周波数成分のみを検出し
、この検出値に基づいて間隙値を求めることにより、労
力少な（迅速かつ正確に測定することのできる非接触式
微小間隙測定方法を得るから、本発明は産業上極めて有
益なものである。
第１図は本発明を多段遠心圧縮機のラビリンス間隙の測
定に適用した一実施例を示すブロック線図、第２図は第
１図におけるラブリンス間隙と受光量との関係を示す線
図、第３図は第１図の光ファイバーの先端部を示す側面
図である。 第４図は公知の多段遠心圧縮機を示す縦断面図、第５図
は第４図のｖ−■に沿った部分拡大横断面図である。 １・・・回転軸、２・・・インペラー、３・・・ラビリ
ンス、４・・・ｌｌＡ壁、 ５・・・光ファイバー＋：
：５・・・先端部、７・・・発光装置、８・・・高周波
発振器、９・・・光電変換装置、１０・・・帯域フィル
ター又はバイパスフィルター、１１・・・表示装置。 δ・・・ラビリンス間隙、Ｌｕ・・・受光光量復代理人
弁理士 塚 本 正 文 第４図 第５図
定に適用した一実施例を示すブロック線図、第２図は第
１図におけるラブリンス間隙と受光量との関係を示す線
図、第３図は第１図の光ファイバーの先端部を示す側面
図である。 第４図は公知の多段遠心圧縮機を示す縦断面図、第５図
は第４図のｖ−■に沿った部分拡大横断面図である。 １・・・回転軸、２・・・インペラー、３・・・ラビリ
ンス、４・・・ｌｌＡ壁、 ５・・・光ファイバー＋：
：５・・・先端部、７・・・発光装置、８・・・高周波
発振器、９・・・光電変換装置、１０・・・帯域フィル
ター又はバイパスフィルター、１１・・・表示装置。 δ・・・ラビリンス間隙、Ｌｕ・・・受光光量復代理人
弁理士 塚 本 正 文 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 測定すべき間隙の一側から該間隙よりも大 きい径のスポット光の周期的パルス光を該間隙に投光し
、該間隙を通って他側へ出た透過光を受光し、これを電
気パルス信号に変換のうえ、該電気パルス信号のうち投
光パルス周波数成分のみを検出し、この検出値に基づい
て間隙値を求めることを特徴とする非接触式微小間隙測
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411684A JPS61132806A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25411684A JPS61132806A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61132806A true JPS61132806A (ja) | 1986-06-20 |
Family
ID=17260441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25411684A Pending JPS61132806A (ja) | 1984-12-03 | 1984-12-03 | 非接触式微小間隙測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61132806A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5206703A (en) * | 1989-08-25 | 1993-04-27 | Renold Power Transmission Ltd. | Method of and apparatus for measuring small gaps |
| JP2000205832A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | プラズマ反応装置に用いるギャップ測定装置 |
| JP2015167880A (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | ギャップ検査装置 |
| JP2020067011A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社荏原製作所 | ポンプ装置、ポンプシステム及びポンプ装置における滑り軸受の点検方法 |
-
1984
- 1984-12-03 JP JP25411684A patent/JPS61132806A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5206703A (en) * | 1989-08-25 | 1993-04-27 | Renold Power Transmission Ltd. | Method of and apparatus for measuring small gaps |
| JP2000205832A (ja) * | 1999-01-19 | 2000-07-28 | Sharp Corp | プラズマ反応装置に用いるギャップ測定装置 |
| JP2015167880A (ja) * | 2014-03-05 | 2015-09-28 | 株式会社神戸製鋼所 | ギャップ検査装置 |
| JP2020067011A (ja) * | 2018-10-23 | 2020-04-30 | 株式会社荏原製作所 | ポンプ装置、ポンプシステム及びポンプ装置における滑り軸受の点検方法 |
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